JPH02161332A - 曲率半径測定装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は光学レンズ及び球面鏡の曲率半径を測定、検査
する装置及び方法に関するものである。

（従来の技術） この種の曲率半径測定装置は第８図に示すように、レー
ザ光源１を備え、これを被測定体の曲率を測定すべき面
２に、径の小さい平行な光ビーム例えばレーザビーム３
を照射するように配設するようにしている。被測定体は
図示しない駆動装置、例えば、マイクロメータのような
駆動装置により、曲率を測定すべき面の測定箇所の接線
方向に微小距離動かすようにしている。また、投影板４
をレーザ光源１と被測定体との間に、測定すべき面の測
定箇所の仮想接触平面と平行に配設しており、測定箇所
で反射したレーザビームの投射位置を明示し得るように
している。

かように構成した装置において、測定箇所の曲率は次の
ように求める。まず、駆動装置により被測定体を動かし
、センターリングすなわち照射したレーザビーム３が再
び同じ位置に戻るように調整する。これにより、入射角
αは０となる。この位置を図中に破線で示す。次に、被
測定体を測定箇所の接線方向に微小距離ｄ移動させる。

かように移動させた測定面の位置を図中に実線２′で示
す。この移動により、反射レーザビームの反射方向が５
から５′に変わり、投影板４に対する投影位置も微小距
離Ｘ移動する。今移動後の測定面２′に対するレーザビ
ーム３の入射角をθ、投影板４と測定面２．２′の接触
平面との距離を１、曲率半径をγとし、ｘ、ｄ＜ｌ、γ
とすると、・θは十分小さ（０＝ｓｉｎθ：Ｌａｎθと
近似できる。したがって、 Ｘユ１．２０　　　　・・・　（１） γＯ＝ｄ　　　　・・・　（２） これら式（１）、（２）より０を除去すると、曲率半径
γは γ＝２ｄｌ／ｘ　　　・・・　（３） で求まる。実際の測定に際しては、一定値Ｘが得られる
被測定体の移動位置ｄを測定するとよい。

このようにすると測定精度が向上する。例えば、投影板
の所定位置にスリットを設け、その後方に光検出器を配
置して、測定体を動かしたときの測定箇所からの反射レ
ーザビームをスリットを介して検出し、その場合の被測
定体の移動距離を求める。

（発明が解決しようとする課題） 上述した従来の曲率半径測定装置ではＸ及びｄの測定分
解能により曲率半径の測定精度が決定される。従って曲
率半径が小さいほどｄの値が小さくなるため相対的に精
度が悪くなる。又肉厚裏面の曲率半径は測定できない。

本発明は小さい曲率半径から大きい曲率半径まで高精度
で曲率半径を測定、検査し得る非接触型の曲率半径測定
装置及び測定検査方法を提供することを目的とする。

更に、本発明は曲率半径の測定と共に被検レンズの隣合
う２個の球面即ちレンズ面の肉厚あるいはレンズ面間の
空間間隔を測定し得る方法を提供することを目的とする
。

（課題を解決するための手段） 本発明曲率半径測定装置は点光源又はピンホールと、ビ
ームスプリッタと、点像を結ばせるための結像光学系と
、この結像光学系の光軸上に配置された被検物の取付部
と、この取付部及び前記結像光学系により結ばれる点像
の光軸上の相対位置（光路長）を変化するための移動機
構部と、この移動機構部の位置を測定するための測長部
とからなる曲率半径測定装置において、被検物からの反
射光により前記ビームスプリッタの後方に形成される点
像を検出するための受光素子と、この受光素子及び前記
ビームスプリッタ間に配置されウェッジ方向がすべて異
なる４個のウェッジプリズムからなる瞳４分割プリズム
と、この瞳４分割プリズムにより分割された光束により
前記受光素子上に形成された４個の点像の各々の重心又
は中心位置を検出し基準像面からの点像のずれの量、又
は、ずれの差に比例した量を算出するための画像計測部
と、算出結果を表示するための表示部とを具備すること
を特徴とする。

本発明曲率半径を測定する方法は、点光源又はピンホー
ルを結像光学系により被検面に投光し、被検面からの反
射光束により形成される像点の光軸に沿った基準位置か
らのずれの量、又は、ずれの差に比例した量をウェッジ
方向がすべて異なる４個のウェッジプリズムにより検出
し、この検出値がＯになるような光軸に沿った被検面の
２つの異なる位置（表面像と空中像に対応する双方の基
準位置からのずれの差がＯのときの位置）の差を測定す
ることを特徴とする。

又、本発明方法は点光源又はピンホールを結像光学系に
より被検レンズに投光し、被検レンズからの反射光束に
より形成される像点の光軸に沿った基準位置からのずれ
の量、又は、ずれの差に比例した量をウェッジ方向がす
べて異なる４個のウェッジプリズムにより検出し、この
検出値がＯになるような被検レンズの隣合う２個の反射
球面に対応する光軸に沿った被検面の位置（隣合う２個
の球面から各々反射される表面像に対応する基準位置か
らのずれの量が０のときの位置）を測定し、この測定値
と隣合う２個の球面のうち結像光学系に近いほうの面か
ら結像光学系側の被検レンズの全光学面の曲率半径、偏
芯量及び面間隔と結像光学系より遠いほうの面から結像
光学系側の被検レンズの全材質の屈折率とから該隣合う
２個の球面の面間隔（肉厚又は空気間隔）を算出して求
めることを特徴とする。

本発明方法は点光源又はピンホールを結像光学系により
被検レンズに投光し、被検レンズからの反射光束により
形成される像点の光軸に沿った基準位置からのずれの量
、又は、ずれの差に比例した量をウェッジ方向がすべて
異なる４個のウェッジプリズムにより検出し、この検出
値がＯになるような被検レンズの内部の被検光学系面に
対応する光軸に沿った被検レンズの２個の異なる位置（
被検光学面から反射される表面と窓中像に対応する双方
の基準位置からのずれの量が０のときの位置）を測定し
、この測定値と前記被検光学面より結像光学系側にある
被検レンズの全光学面の曲率半径と材質の屈折率と面間
隔とにより被検レンズの内部の被検光学面の曲率半径を
算出して求めることを特徴とする。

（構成） 第１図（ａ）、（ｂ）において、１１はレーザ光等によ
り構成れる点光源もしくはピンホール物点である。

１２は半透鏡、半透プリズム等のビームスプリッタ、１
３は点光源１１の像を結ばせるための結像光学系、１４
は結像点、１５は被検面、１６は被検物の取付部を夫々
示し、これらを図示のごとく配置する。この場合被検面
１５及び被検物１６は被検面１５の表面中心部に被検結
像点１４が一致している状態を示しているものとする。

１７はビームスプリッタ１２にたいして点光源１１とは
反対側の光路中に配設された瞳４分割プリズムで、第１
図（Ｃ）に示すごと（４個のウェッジプリズムより成り
、ウェッジ方向がすべて異なるような配置で構成されて
いる。１８は半透鏡１２に対して点光源１１と共役な位
置での被検面１５からの反射像点を示し、詳細には第１
図（Ｃ）の４個の点像１８（ａ）〜１８（ｄ）である。

１９は４個の点像１８（ａ）１８〜（ｄ）の重心位置を
検出するための受光素子、２０は基準像面（点光源１１
の共役位置）からの点像のずれの量に比例した量を算出
するための演算部、２１はこの演算部２０による演算結
果を表示するための表示部である。また図示していない
が被検物の取付部１６を光軸に沿って移動するための移
動機構部及びその移動量を測定するための測長部をも設
ける。

（作用） 点光源１１から出た光束は半透鏡であるビームスプリッ
タ１２により反射し、結像光学系１３により結像点１４
に結像される。今、取付部１６を移動し被検面１５の面
頂と結像点１４とが接近してくると被検面１５による反
射光束が結像光学系１３を通り、ビームスプリッタ１２
を通過し、瞳４分割プリズム１７を通った後、反射像点
１８付近に集光する。ここで瞳４分割プリズム１７によ
り光束が４分割され、従って、瞳４分割プリズム部分１
７（ａ　）を通る４分円の光束は反射像点１８（ａ）に
集光され、瞳４分割プリズム部分１７（ｂ）を通る４分
円の光束は反射像点１８（ｂ）に集光され、以下同様に
瞳４分割プリズム部分１７（ｃ）及び１７（ｄ）を通る
４分円の光束は各々反射像点１８（Ｃ）及び１８（ｄ）
に集光される。ここで被検面１５の面頂が結像点１４よ
り右方にある場合、集光点（点像）の位置は受光面より
右側にできるため受光面上での像のパターンは幾何光学
的に考えると第１図（ｆ）に示すようになる。

また逆に被検面１５の面頂が結像点１４より左方にある
場合には第１図（ｇ）に示すような像のパターンが得ら
れるようになる。このパターンは波動光学的に考えたほ
うが実際に近（、この場合４つの像はいずれも、重心を
同一とする楕円率１：ｆ２の楕円形状となる。この状態
を示すのは第１図（ｆ）のパターンに対応した場合が第
１図（ｆ−１）のパターン形状である。なお、物点がピ
ンホールでない場合、像のパターンは物点の形状となる
。例えば大きさのある円形物点の場合には、第１図（ｆ
）のパターンに相当する場合が第１図（ｆ−２）のパタ
ーンであり、これは完全な円形状である。このように円
形状の像パターンのほうが画像処理が高速化できる利点
がある。第１図（ｇ）についても上述した所と同様であ
る。

今４つの像点の座標を（χ８、ｙυ、（χ＊、　’Ｉ　
ｔ）、（χ３，３’　３）及び（χ４．ｙ４）とし、次
式で示す微小部分Δを考える。

Δ＝（χ、−χ４）＋（ｙ　＋　−ｙ　３）ここで被検
面１５の面頂の結像点１４からのずれの量（左側を正と
する）をδとすれば、Δ＝にδとなる。

ここでｋは結像光学系１３による倍率と明るさにより決
定されるＯ以外の定数である。従ってΔ＝０のときのみ
被検面１５の面頂と結像点１４とが一致することになる
。このΔを演算部２０で算出し、この値を表示部２１で
表示するようになっているため、表示部２１の表示を見
ながら、これが０になるように被検物の取付部１６を再
度移動し微調整を行う。そしてこの作業により、被検面
１５の面頂を極めて高い精度で結像点１４に一致させる
ことができ、このときの取付部１６の位置を測長原点と
してリセットする。

次に、被検面１５が凸面の場合には左側に、凹面の場合
には右側に取付部１６を再度移動してい（と、再び受光
面上に点像が形成されるようになる。この点像形成位置
を第１図（ａ）及び（ｂ）に被検面２２（被検面１５に
対応）及び取付部２３（取付部１６に対応）として示す
。この像を以下空中像と称する。これに対して被検面１
５の面頂と取付部１４とが一致した状態で形成される像
を表面像と称する。

従って、かかる表面像の場合と全（同様の手段によって
表示部２１の表面値が０になるように取付部２３を同様
に微調整し、その後、測長部により原点からの取付部２
３の位置を測定し、この値を被検面の曲率半径とするこ
とにより曲率半径の測定が完了する。

（第１実施例） （構成） 次に、本発明方法の実施例を第２図に示す。第２図にお
いて１０１はハロゲンランプ、１０２は照明用のレンズ
、１０３はピンホール、１０４は半透鏡、１０５はピン
ホール１０３の像を結ばせるための結像光学系、１０６
はピンホール１０３の結像点に面頂が一致したときの被
検レンズの位置を示す。１０７は瞳４分割プリズム、１
０８は４個の光位置検出素子からなる検出素子、１０９
は検出素子１０８からの出力信号を増幅するための増幅
部、１１０は点像のずれの量に比例した量を算出するた
めの演算部、１１１は表示部であり、これら構成素子を
図示のように配置する。また図示しないが、被検レンズ
１０６を光軸に沿って移動するための移動機構部及び移
動量を測定するための測長部をも設ける。１１２は被検
レンズ１０６が移動した状態にある被検レンズを示して
いる。また、本例では瞳４分割プリズムとして第３図又
は第４図に示すようなプリズムを使用する。即ち、前述
の第１図（Ｃ）〜（ｅ）に示すプリズムは中厚及び中薄
のウェッジプリズムを交互に接合して構成したのに対し
、第３図に示すプリズムはすべて中薄、第４図に示すプ
リズムはすべて中厚のものを接合して構成している。な
お、瞳４分割プリズムとして前述のプリズムを用いても
同等問題はない。

（作用） 本例ではハロゲンランプ１０１を出た光束が、照明用の
レンズ１０２によりピンホール１０３を照明する。

ピンホール１０３の像は半透鏡１０４で反射され結像光
学系１０５によって被検レンズ１０６に結像する。今、
被検レンズ１０６の位置に示すように、結像位置と被検
レンズ１０６の面像の位置とが合致すると演算部１１０
の出力が０になるように設定しである。従って、ここで
面頂のずれの量は（χ、−χ４）−（ｙ＋−ｙ＊）に比
例した量となり、この（χ、−χ４）−（ｙ＋−ｙ３）
に比例した量が前述したように演算部１１０から出力さ
れる。次に被検レンズ１１２の位置に示すように被検面
レンズ１０６を光軸上で曲率半径程度移動すると、この
移動量に相当する信号が演算部１１０からの出力され、
従ってこの出力が０になるように被検レンズを微調整す
る。微調整完了時で面頂検出時の位置に対するこの微調
整後の位置を測長部により測定することによって曲率半
径を求めることができる。演算部１１０の出力は表示部
１１１を見ながら調整することができる。また、検出素
子１０８の出力は各々χ、ｙ方向に対応する電圧信号で
あるため、これを増幅部１０９により増幅して演算部１
１０に供給するようにする。

（効果） 本例によれば、分割プリズムを構成している４個のプリ
ズムを全く同一構造のものとすると共に光位置検出素子
を用いることにより安価な装置を構成することができる
。

（第２実施例） （構成） 第５図に示す第２実施例において、２００はハロゲンラ
ンプ、２０１は照明用レンズ、２０２はピンホール、２
０３は半透鏡、２０４は結像光学系、２０５．２０６お
よび２０７は全反射鏡、２０８はホルダ、２０９は被検
レンズ、２１Ｏは像点、２１１は像点２１０を拡大また
は縮小してテレビカメラに投影するためのリレーレンズ
、２１２はリレーレンズ２１１の射出瞳付近に配設され
た瞳４分割プリズム、２１３はテレビカメラを示し、こ
れらを第５図に示すように配置し、全反射鏡２０６およ
び２０７は一体となってボックスに取り付けられて光軸
上を移動する機構を有している。さらに図示しないがこ
の移動量を測定するための測長部と、テレビカメラ２１
３の出力を処理するための画像計測部と、モニタとを追
加構成するようにしている。なお被検面レンズ２０９は
ホルダ２０８上におくことによって光軸上に曲率中心が
位置するように調整する。

（作用） 本例では、ハロゲンランプ２００を出た光束は照明用の
レンズ２０１によりピンホール２０２を照明する。

ピンホール像は結像光学系２０４によって被検レンズ２
０９付近に結像する。ここでこの結像点は全反射鏡２０
６．２０７を光軸上に移動することによって変化する。

今、これを変化させることにより、被検レンズ２０９の
下面の面頂付近に結像点を一致させることにより、４個
のピンホール像をモニタ上で観察することができる。こ
の状態で画像計測部の出力値をリセットする（０にする
）。次に同様に全反射鏡２０６．２０７を移動して被検
レンズ２０９の下面の曲率中心付近に前記結像点を一致
させることにより、同じように４個のピンホール像がモ
ニタ上で１１１察される。この状態で画像計測部からの
出力がＯになるように全反射鏡２０６．２０７を微調整
して移動する。従ってこのときの測長部の出力値の２倍
が曲率半径となる。リレーレンズ２１１はピンホール像
を拡大することにより検出精度を上げるためと、素子２
１１〜２１３までをユニット化し、ピンホール２０２と
共役な位置に結像したときに検出値がＯとなるような機
械調整を容易にするために設けてものである。全反射鏡
２０５は被検レンズを載置するだけで安定した検出がで
きるために設けたものである。さらに全反射鏡２０６．
２０７は装置全体をコンパクトにするために設けている
。

（効果） 本例によれば、高精度にしてコンパクトで、さらに操作
性の良好な装置を得ることができる。

（第３実施例） （構成） 本発明の第３実施例を第６図に示す。本例において、３
０１は半導体レーザ、３０２は偏光プリズム、３０３は
１／４λ板、３０４は結像光学系、３（Ｌ５は被検レン
ズで（１）〜（６）はその各被検面を示す。３０６はリ
レーレンズ、３０７は瞳４分割プリズム、３０８はＣＣ
Ｄカメラ、３０９は画像計測部、３１Ｏはモニタ、３１
１はプリンタを示し、これらを第６図に示すように配置
する。

なお図示しないが、被検レンズ３０５を光軸上に移動す
るための機構部と、光軸のまわりを回転するための機構
部と、移動量を測定するための測長部とをも設けている
。偏光プリズム３０２及び１／４λ板３０３は、半導体
レーザ３０１の光量損失を最小とするためのもので、半
導体レーザ３０１の偏波面にたいして偏光プリズム３０
２及び１／４λ板３０３を特定な位置関係に定めるよう
にしている。この関係については公知なのでその説明を
省略する。半導体レーザ３吋と偏光プリズム３０２との
間にＮＡを変換するためのレンズを挿入すると、光量損
失をさらに小さ（することができる。

（作用） 本例では、半導体レーザ３０１を出た光束は偏光プリズ
ム３０２で反射され、１／４λ板３０３を透過し結像光
学系３０４に入射する。結像光学系３０４に入射した光
束は収束光となり被検レンズ３０５に入射する。ここで
、この収束点に被検面３０５（１）の面頂がほぼ一致し
ている場合、被検面３０５（１）による反射光束は元の
光路をもどり偏光プリズム３０２に入射する。偏光プリ
ズム３０２に入射した収束光は、今度は反射せずに偏光
プリズム３０２を透過し半導体レーザ３旧と共役なる点
に一旦点像を形成する。この点像をリレーレンズ３０６
によりＣＣＤカメラ３０８に拡大又は縮小投影する。こ
のとき、ｌ１１４分割プリズム３０７の効果により他の
実施例と同様に４個の点像が形成される（第７図（ａ）
）。次いで、画像計測部３０９でこの各点像の重心位置
を検出し、これを演算処理して、モニタ３１０に結果を
表示する。この表示値が０となるように微調整（４点の
像は第７図（ｂ）のごとくなる）した後、測長表示をリ
セットする。次に、被検面３０５（１）の曲率中心付近
に前記収束点を一致させるように被検レンズ３０５を移
動しモニタ３１０の表示値が０になるように微調整した
後、測長部によって被検面３０５（１”）の曲率半径を
求めることができる。次に被検レンズ３０５を回転する
ことにより第７図（Ｃ）に示すごとく４点の平均座標値
が一般に変化し円状の軌跡を示す。この回転半径に比例
定数を乗することにより被検面３０５（１）の偏芯量も
求めることができる。次に被検面３０５（２）の反射光
により４個の表面像が得られるように被検レンズ３０５
を移動し、さらに表示値がＯとなるように微調整した後
副長部により、被検レンズ３０５の位置を検出する。こ
の検出値と、すでに検出済の被検面３０５（１）の曲率
半径と、偏芯量と、被検面３０５（１）、３０５（２）
を形成する材質の屈折率（既知とする）とにより被検面
３０５（１）及び３０５（２）の面間隔（図の場合レン
ズ肉厚）を求めることができる。本例では、１枚のレン
ズに対して測定を行った（この場合式はｄ　ｌ＝ｆ　（
ＲＩｎ　ｎ　Ｉ＋δυ）が、レンスカ多数枚ニなるとｃ
Ｌ（面間隔）は次式のようになる。

ｄ　＋＋ａ−ｒ（Ｒ１，Ｒ２＋　”・ｒ　Ｒ，、ｄ＋１
　ｄｔ＋　”’ｒ　ｄｗｍ−Ｉｔ　ｎｌ、ｎｔ＋　”・
ｎｗａＨδ４．δ２．・・・、δ、） 次に、被検面３０５（２）の反射光により４個の空中像
が得られるように被検面レンズ３０５を移動し、さらに
モニタの表示値が０になるように微調整した後副長部に
より被検レンズ３０５の位置を検出する。この検出値と
、これまでの検出値と、屈折率とから被検面３０５（２
）の曲率半径を求めることができる。さらに、被検レン
ズ３０５を回転させることにより、同様にこれまでの検
出値と、屈折率とから被検面３０５（２）の偏芯をも検
出することができる。

このようにして、透過部の材質が既知の場合には構成レ
ンズの枚数に関係無く各面の曲率半径、面間隔偏芯量を
順次最終面まで、正確に求めることができる。ただし条
件としてどの面からの反射像かを認識する必要があり、
このために各面の曲率半径の概略値が必要であることは
勿論である。

（効果） 本例によれば、曲率半径だけでなく面間隔及び面偏芯を
も高精度に検出することができる。また半導体レーザを
使用しているため一般に被検面からの反射光を多量とす
ることができるのでＳ／Ｎ比を改善することができる。

（発明の効果） 上述したように本発明によれば、小さい曲率半径から大
きい曲率半径まで曲率半径を高精度に測定、検査するこ
とができる。

また、組上がりレンズの各面の曲率半径、偏芯量及び隣
合う面の面間隔の高精度の測定、検査を非破壊、非接触
で実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は本発明曲率半径測定装置の原理
構成を示す説明図、 第１図（Ｃ）〜（ｅ）は本発明曲率半径測定装置の瞳４
分割プリズム及び反射像点を示す斜視図、第１図（ｆ）
〜（ｇ）は反射像点を示す平面図、第２図は本発明曲率
半径測定装置の第１実施例の構成を示す説明図 第３及び４図は＠４分割プリズムの構成を示す斜視図、 第５図は本発明曲率半径測定装置の第２実施例の構成を
示す斜視図、 第６図は本発明曲率半径測定装置の第３実施例の構成を
示す平面図、 第７図（ａ）〜（Ｃ）は反射像点を示す平面図、第８図
は従来の曲率半径測定装置の構成を示す平面図である。 ２０８　・・・ ２１１．３０６ ２１３　　・・・ ３０２　・・・ ３０３　・・・ ３０９　・・・ ３１０　　・・・ ホルダ、２０９．３９５　　・・・　被検レンズ・・・
　リレーレンズ テレビカメラ 偏光プリズム １／４λ板、　３０８　　・・・　ＣＣＤカメラ画像計
測部 モニタ、３１１　　・・・　プリンタ １１．１０１．２００．３０１　　・・・　点光源１２
．１０４．２０３、　・・・　半透鏡１３．１０５．２
０４．３０４　　・・・　結像光学系１４．２１０　　
・・・　結像点、１５　　・・・　被検面１６　　・・
・　取付部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、点光源又はピンホールと、ビームスプリッタと、点
   像を結ばせるための結像光学系と、この結像光学系の光
   軸上に配置された被検物の取付部と、この取付部及び前
   記結像光学系により結ばれる点像の光軸上の相対位置（
   光路長）を変化するための移動機構部と、この移動機構
   部の位置を測定するための測長部とからなる曲率半径測
   定装置において、被検物からの反射光により前記ビーム
   スプリッタの後方に形成される点像を検出するための受
   光素子と、この受光素子及び前記ビームスプリッタ間に
   配置されウェッジ方向がすべて異なる４個のウェッジプ
   リズムからなる瞳４分割プリズムと、この瞳４分割プリ
   ズムにより分割された光束により前記受光素子上に形成
   された４個の点像の各々の重心又は中心位置を検出し基
   準像面からの点像のずれの量、又は、ずれの差に比例し
   た量を算出するための画像計測部と、算出結果を表示す
   るための表示部とを具備することを特徴とする曲率半径
   測定装置。 ２、点光源又はピンホールを結像光学系により被検面に
   投光し、被検面からの反射光束により形成される像点の
   光軸に沿った基準位置からのずれの量、又は、ずれの差
   に比例した量をウェッジ方向がすべて異なる４個のウェ
   ッジプリズムにより検出し、この検出値が０になるよう
   な光軸に沿った被検面の２つの異なる位置（表面像と空
   中像に対応する双方の基準位置からのずれの差が０のと
   きの位置）の差を測定することにより、曲率半径を求め
   るようにしたことを特徴とする曲率半径測定方法。 ３、点光源又はピンホールを結像光学系により被検レン
   ズに投光し、被検レンズからの反射光束により形成され
   る像点の光軸に沿った基準位置からのずれの量、又は、
   ずれの差に比例した量をウェッジ方向がすべて異なる４
   個のウェッジプリズムにより検出し、この検出値が０に
   なるような被検レンズの隣合う２個の反射球面に対応す
   る光軸に沿った被検面の位置（隣合う２個の球面から各
   々反射される表面像に対応する基準位置からのずれの量
   が０のときの位置）を測定し、この測定値と隣合う２個
   の球面のうち結像光学系に近いほうの面から結像光学系
   側の被検レンズの全光学面の曲率半径、偏芯量及び面間
   隔と結像光学系より遠いほうの面から結像光学系側の被
   検レンズの全材質の屈折率とから該隣合う２個の球面の
   面間隔（肉厚又は空気間隔）を算出して求める曲率半径
   測定方法。 ４、点光源又はピンホールを結像光学系により被検レン
   ズに投光し、被検レンズからの反射光束により形成され
   る像点の光軸に沿った基準位置からのずれの量、又は、
   ずれの差に比例した量をウェッジ方向がすべて異なる４
   個のウェッジプリズムにより検出し、この検出値が０に
   なるような被検レンズの内部の被検光学系面に対応する
   光軸に沿った被検レンズの２個の異なる位置（被検光学
   面から反射される表面と空中像に対応する双方の基準位
   置からのずれの量が０のときの位置）を測定し、この測
   定値と前記被検光学面より結像光学系側にある被検レン
   ズの全光学面の曲率半径と材質の屈折率と面間隔とによ
   り被検レンズの内部の被検光学面の曲率半径を算出して
   求める曲率半径測定方法。