JPH0540025A - 形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置Info
- Publication number
- JPH0540025A JPH0540025A JP3197989A JP19798991A JPH0540025A JP H0540025 A JPH0540025 A JP H0540025A JP 3197989 A JP3197989 A JP 3197989A JP 19798991 A JP19798991 A JP 19798991A JP H0540025 A JPH0540025 A JP H0540025A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- light
- optical path
- inspected
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 波面横ずらし部や結像レンズ等の光学素子を
大型化することなく、非球面量の大きな被検面を正確に
測定し得る縞走査シアリング干渉計を利用した形状測定
装置を提供することである。 【構成】 光源１と被検面への入射光路に配置された対
物レンズ９と該対物レンズ９からの光を分割する光分割
素子６と該光分割素子６からの光束が入射する半透明鏡
１３，反射鏡１４で構成された波面横ずらし手段と該波
面横ずらし手段で形成された干渉縞を観測する撮像素子
１６とを備えた縞走査シアリング干渉計において、上記
光分割素子６と上記波面横ずらし手段との間の光路中に
挿入レンズ２２を挿脱可能に配置したことを特徴とす
る。
大型化することなく、非球面量の大きな被検面を正確に
測定し得る縞走査シアリング干渉計を利用した形状測定
装置を提供することである。 【構成】 光源１と被検面への入射光路に配置された対
物レンズ９と該対物レンズ９からの光を分割する光分割
素子６と該光分割素子６からの光束が入射する半透明鏡
１３，反射鏡１４で構成された波面横ずらし手段と該波
面横ずらし手段で形成された干渉縞を観測する撮像素子
１６とを備えた縞走査シアリング干渉計において、上記
光分割素子６と上記波面横ずらし手段との間の光路中に
挿入レンズ２２を挿脱可能に配置したことを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、縞走査シアリング干渉
計を利用した非球面レンズ等の面形状を測定するための
形状測定装置に関する。
計を利用した非球面レンズ等の面形状を測定するための
形状測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】所謂、縞走査シアリング干渉法はこの種
の形状等を測定する方法として既に知られている（Opti
cal Shop Testing:D.Malacara 編,Jhon Wiley and Sons
社．1978年 432頁）。そして従来、例えば特開昭６３−
２５２２０８号公報によりかかる縞走査シアリング干渉
計を利用した形状測定装置が開示されている。図４はこ
の形状測定装置の構成例を示しているが、図において、
１はレーザ光源、２は集光レンズ、３，３´はピンホー
ル、４，６及び１８はビームスプリッタ、５，７及び１
２は鏡、８はコリメータレンズ、９は対物レンズ、１０
は被検光学素子、１１はアライメント部、１３は半透明
鏡、１４は反射鏡、１５は結像レンズ、１６は撮像素
子、１７は干渉縞解析部、１９は光検知器、２０は位置
検出光検知器、そして２１は光軸である。
の形状等を測定する方法として既に知られている（Opti
cal Shop Testing:D.Malacara 編,Jhon Wiley and Sons
社．1978年 432頁）。そして従来、例えば特開昭６３−
２５２２０８号公報によりかかる縞走査シアリング干渉
計を利用した形状測定装置が開示されている。図４はこ
の形状測定装置の構成例を示しているが、図において、
１はレーザ光源、２は集光レンズ、３，３´はピンホー
ル、４，６及び１８はビームスプリッタ、５，７及び１
２は鏡、８はコリメータレンズ、９は対物レンズ、１０
は被検光学素子、１１はアライメント部、１３は半透明
鏡、１４は反射鏡、１５は結像レンズ、１６は撮像素
子、１７は干渉縞解析部、１９は光検知器、２０は位置
検出光検知器、そして２１は光軸である。
【０００３】かかる形状測定装置において、レーザ光源
１から出射した光は集光レンズ２及びピンホール３を通
過することにより発散する球面波となり、次にコリメー
タレンズ８，対物レンズ（ダイバージャレンズ）９によ
って収束する球面波に変換されて被検光学素子１０へ入
射する。この被検光学素子１０の被検面で反射した光
は、上記とは逆に対物レンズ９，コリメータレンズ８を
通過し、ビームスプリッタ６において反射光と透過光と
に二分割される。そして分割された光のうちの反射光
は、半透明鏡１３，鏡１４の組合せにより構成される波
面横ずらし部に入射するが、この波面横ずらし部で光軸
に対して僅かに横にずらされた波面同士が干渉し、これ
により干渉縞が形成される。
１から出射した光は集光レンズ２及びピンホール３を通
過することにより発散する球面波となり、次にコリメー
タレンズ８，対物レンズ（ダイバージャレンズ）９によ
って収束する球面波に変換されて被検光学素子１０へ入
射する。この被検光学素子１０の被検面で反射した光
は、上記とは逆に対物レンズ９，コリメータレンズ８を
通過し、ビームスプリッタ６において反射光と透過光と
に二分割される。そして分割された光のうちの反射光
は、半透明鏡１３，鏡１４の組合せにより構成される波
面横ずらし部に入射するが、この波面横ずらし部で光軸
に対して僅かに横にずらされた波面同士が干渉し、これ
により干渉縞が形成される。
【０００４】ここで、図５を参照して上記波面横ずらし
部の作用を説明する。先ず、半透明鏡１３と鏡１４を間
隔Ｌに設定して配置しておき、半透明鏡１３へ入射光ａ
0 が入射した場合、該半透明鏡１３の裏面反射による光
をａ1 （反射光）、また半透明鏡１３を透過して鏡１４
の表面で反射後に再び半透明鏡１３を透過する光をａ 2
（透過光）とすると、反射光ａ1 と透過光ａ2 の間隔Δ
ｌは上記半透明鏡１３と鏡１４の間隔Ｌに依存（比例）
する。従って、間隔Ｌを適宜調節することにより、波面
の横ずらし量である上記間隔Δｌを自由に制御すること
ができる。
部の作用を説明する。先ず、半透明鏡１３と鏡１４を間
隔Ｌに設定して配置しておき、半透明鏡１３へ入射光ａ
0 が入射した場合、該半透明鏡１３の裏面反射による光
をａ1 （反射光）、また半透明鏡１３を透過して鏡１４
の表面で反射後に再び半透明鏡１３を透過する光をａ 2
（透過光）とすると、反射光ａ1 と透過光ａ2 の間隔Δ
ｌは上記半透明鏡１３と鏡１４の間隔Ｌに依存（比例）
する。従って、間隔Ｌを適宜調節することにより、波面
の横ずらし量である上記間隔Δｌを自由に制御すること
ができる。
【０００５】また、上記鏡１４は図示されていない電歪
素子等により矢印Ａ方向に微小量変位し得るようになっ
ていて、かかる鏡１４の変位により透過光ａ2 の光路長
のみを変化させることができ、これにより縞走査を行う
ことができる。
素子等により矢印Ａ方向に微小量変位し得るようになっ
ていて、かかる鏡１４の変位により透過光ａ2 の光路長
のみを変化させることができ、これにより縞走査を行う
ことができる。
【０００６】上記のように形成される干渉縞は、結像レ
ンズ１５によって例えば２次元ＣＣＤセンサ等で成る撮
像素子１６上に被検面の像が結像するように投影され
る。即ち撮像素子１６上では、被検面の情報を有する波
面が僅かに横にずらされて重なった状態になっている。
このことはつまり、波面の微分情報に相当する干渉縞が
表れていることである。
ンズ１５によって例えば２次元ＣＣＤセンサ等で成る撮
像素子１６上に被検面の像が結像するように投影され
る。即ち撮像素子１６上では、被検面の情報を有する波
面が僅かに横にずらされて重なった状態になっている。
このことはつまり、波面の微分情報に相当する干渉縞が
表れていることである。
【０００７】ところで、縞走査法を行う場合、レーザ光
源１から出射した光の波長をλとして、透過光ａ2 の光
路をλ／２Ｎ単位でＮ段階に刻みその光路長を変化させ
る（Ｎは１波長の分割数）。そして、撮像素子１６上の
各素子における干渉縞の強度Ｉj ( ｘ )（ｊ＝１〜Ｎ）
を測定した後、次式によって位相分布φ( ｘ, ｙ）を求
める。 そして上記位相分布φ( ｘ, ｙ）を積分することによ
り元の波面を求め、従ってこの求めた波面に対応する被
検面の形状を知ることができる。なお、被検面が非回転
対称の場合には、直交する２方向の縞の測定を行ってか
ら、それらを合成する必要がある。
源１から出射した光の波長をλとして、透過光ａ2 の光
路をλ／２Ｎ単位でＮ段階に刻みその光路長を変化させ
る（Ｎは１波長の分割数）。そして、撮像素子１６上の
各素子における干渉縞の強度Ｉj ( ｘ )（ｊ＝１〜Ｎ）
を測定した後、次式によって位相分布φ( ｘ, ｙ）を求
める。 そして上記位相分布φ( ｘ, ｙ）を積分することによ
り元の波面を求め、従ってこの求めた波面に対応する被
検面の形状を知ることができる。なお、被検面が非回転
対称の場合には、直交する２方向の縞の測定を行ってか
ら、それらを合成する必要がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、被検光学素
子１０の被検面で反射した光は、入射光路をレーザ光源
１へ向かって逆進し、図４に示したようにビームスプリ
ッタ６によって反射せしめられて上記波面横ずらし部に
入射する。この場合において、被検光学素子１０の被検
面が球面であれば、対物レンズ９の集光点と該被検面の
曲率中心とを一致させることにより図６において実線で
示したように反射光の経路は入射光と完全に一致する。
子１０の被検面で反射した光は、入射光路をレーザ光源
１へ向かって逆進し、図４に示したようにビームスプリ
ッタ６によって反射せしめられて上記波面横ずらし部に
入射する。この場合において、被検光学素子１０の被検
面が球面であれば、対物レンズ９の集光点と該被検面の
曲率中心とを一致させることにより図６において実線で
示したように反射光の経路は入射光と完全に一致する。
【０００９】しかしながら、被検光学素子１０の被検面
が非球面である場合、被検光学素子１０の被検面での反
射光は、近軸曲率中心を通らずに例えば図６において点
線により示したように、コリメータレンズ８を透過して
結像レンズ１５に至までの間、その径が太い光束となっ
て進み、このため通常の大きさのレンズや光学素子では
かかる光束がけられてしまう。そして特に被検面の非球
面量が大きい場合には被検面の位置を調整して反射光の
角度を大きくならないようにしたところで、かかる“け
られ”を防ぐことができなくなる。一方、このような問
題に対して、使用する光学素子を大型化する方法を取り
得るが、そのような方法によって光束を全て透過させる
ことができるビームスプリッタ又は結像レンズは著しく
大きくなってしまい、かかるビームスプリッタ等を用い
ることは実際問題として不可能である。
が非球面である場合、被検光学素子１０の被検面での反
射光は、近軸曲率中心を通らずに例えば図６において点
線により示したように、コリメータレンズ８を透過して
結像レンズ１５に至までの間、その径が太い光束となっ
て進み、このため通常の大きさのレンズや光学素子では
かかる光束がけられてしまう。そして特に被検面の非球
面量が大きい場合には被検面の位置を調整して反射光の
角度を大きくならないようにしたところで、かかる“け
られ”を防ぐことができなくなる。一方、このような問
題に対して、使用する光学素子を大型化する方法を取り
得るが、そのような方法によって光束を全て透過させる
ことができるビームスプリッタ又は結像レンズは著しく
大きくなってしまい、かかるビームスプリッタ等を用い
ることは実際問題として不可能である。
【００１０】本発明はかかる実情に鑑み、波面横ずらし
部や結像レンズ等の光学素子を大型化することなく、非
球面量の大きな被検面を正確に測定し得る縞走査シアリ
ング干渉計を利用した形状測定装置を提供することを目
的とする。
部や結像レンズ等の光学素子を大型化することなく、非
球面量の大きな被検面を正確に測定し得る縞走査シアリ
ング干渉計を利用した形状測定装置を提供することを目
的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明による形状測定装
置は、光源と被検面への入射光路に配置された対物レン
ズと該対物レンズからの光を分割する光分割素子と該光
分割素子からの光束が入射する半透明鏡で構成された波
面横ずらし手段と該波面横ずらし手段で形成された干渉
縞を観測する撮像素子とを備えた縞走査シアリング干渉
計において、上記光分割素子と上記波面横ずらし手段と
の間の光路中に挿入レンズを挿脱可能に配置したもので
ある。
置は、光源と被検面への入射光路に配置された対物レン
ズと該対物レンズからの光を分割する光分割素子と該光
分割素子からの光束が入射する半透明鏡で構成された波
面横ずらし手段と該波面横ずらし手段で形成された干渉
縞を観測する撮像素子とを備えた縞走査シアリング干渉
計において、上記光分割素子と上記波面横ずらし手段と
の間の光路中に挿入レンズを挿脱可能に配置したもので
ある。
【００１２】
【作用】本発明によれば、特に被検面の非球面量が大き
い場合、光分割素子及び波面横ずらし手段間の光路中に
挿入された挿入レンズにより、発散性の光束を収束させ
ることができ、これにより全ての光を撮像素子へ導くこ
とができる。従って、光の“けられ”を防ぐことができ
るので、このように非球面量が大きい被検面の測定を正
確に行うことができる。また、かかる収束レンズは光路
中に挿脱可能になっているため、その必要性に応じて適
宜簡単に光路へ挿脱することができる。
い場合、光分割素子及び波面横ずらし手段間の光路中に
挿入された挿入レンズにより、発散性の光束を収束させ
ることができ、これにより全ての光を撮像素子へ導くこ
とができる。従って、光の“けられ”を防ぐことができ
るので、このように非球面量が大きい被検面の測定を正
確に行うことができる。また、かかる収束レンズは光路
中に挿脱可能になっているため、その必要性に応じて適
宜簡単に光路へ挿脱することができる。
【００１３】
【実施例】以下、図１乃至図３に基づき、従来例と同一
部材には同一符号を用いて本発明による形状測定装置の
一実施例を説明する。図１に示されるように装置の概略
構成は基本的に従来例の場合と同様であるためその詳細
な説明を省略するが、図示したように本発明装置では、
ビームスプリッタ６と鏡１２との間の光路中に挿入レン
ズ２２が挿脱可能に配置されている。
部材には同一符号を用いて本発明による形状測定装置の
一実施例を説明する。図１に示されるように装置の概略
構成は基本的に従来例の場合と同様であるためその詳細
な説明を省略するが、図示したように本発明装置では、
ビームスプリッタ６と鏡１２との間の光路中に挿入レン
ズ２２が挿脱可能に配置されている。
【００１４】図２は上記挿入レンズ２２を光路中に挿脱
するための機構を示している。図において、挿入レンズ
２２は雄アリ２３ａを有する基台２３に装着されてい
て、また上記基台２３は、その雄アリ２３ａと嵌合する
雌アリ２４ａを有する基台２４により、形状測定装置の
図示されていない本体側へ支持されている。さらに上記
基台２３には、挿入レンズ２２を上記光路から挿脱操作
するための操作ハンドル２５が設けられていると共に、
上記基台２４にはその長手方向に沿って逃げ用孔２４ｂ
が開設されており、上記操作ハンドル２５の操作により
挿入レンズ２２は基台２３を介して上記ビームスプリッ
タ６及び鏡１２間の光路から挿脱されるようになってい
る。上記の場合、操作ハンドル２５により基台２３を矢
印方向に移動させた際に上記挿入レンズ２２の中心が光
軸Ｘと一致する位置で該基台２３が基台２４の適所に当
接し、これにより挿入レンズ２２の位置出しを行い得る
ようになっている。
するための機構を示している。図において、挿入レンズ
２２は雄アリ２３ａを有する基台２３に装着されてい
て、また上記基台２３は、その雄アリ２３ａと嵌合する
雌アリ２４ａを有する基台２４により、形状測定装置の
図示されていない本体側へ支持されている。さらに上記
基台２３には、挿入レンズ２２を上記光路から挿脱操作
するための操作ハンドル２５が設けられていると共に、
上記基台２４にはその長手方向に沿って逃げ用孔２４ｂ
が開設されており、上記操作ハンドル２５の操作により
挿入レンズ２２は基台２３を介して上記ビームスプリッ
タ６及び鏡１２間の光路から挿脱されるようになってい
る。上記の場合、操作ハンドル２５により基台２３を矢
印方向に移動させた際に上記挿入レンズ２２の中心が光
軸Ｘと一致する位置で該基台２３が基台２４の適所に当
接し、これにより挿入レンズ２２の位置出しを行い得る
ようになっている。
【００１５】本発明による形状測定装置は上記ように構
成されており、挿入レンズ２２は操作ハンドル２５の操
作により光路から自在に挿脱される。ところで、非球面
である被検面の測定を行う際に、前述したように被検光
学素子１０の被検面での反射光のうち、ビームスプリッ
タ６で反射して撮像素子１６へ向かう光束が、徐々に発
散する場合がある。そして結像レンズ１５は通常のカメ
ラレンズを使用しているため、そのままでは特に鏡１２
付近で光束の径が大きい場合にはかかる光束の大部分が
該結像レンズ１５部分でけられてしまう。本発明によれ
ばこのような場合、上記挿入レンズ２２をビームスプリ
ッタ６及び鏡１２間の光路に挿入することにより、かか
る発散性の光束を収束させることができ、これにより全
ての光を撮像素子１６へ導くことができる。
成されており、挿入レンズ２２は操作ハンドル２５の操
作により光路から自在に挿脱される。ところで、非球面
である被検面の測定を行う際に、前述したように被検光
学素子１０の被検面での反射光のうち、ビームスプリッ
タ６で反射して撮像素子１６へ向かう光束が、徐々に発
散する場合がある。そして結像レンズ１５は通常のカメ
ラレンズを使用しているため、そのままでは特に鏡１２
付近で光束の径が大きい場合にはかかる光束の大部分が
該結像レンズ１５部分でけられてしまう。本発明によれ
ばこのような場合、上記挿入レンズ２２をビームスプリ
ッタ６及び鏡１２間の光路に挿入することにより、かか
る発散性の光束を収束させることができ、これにより全
ての光を撮像素子１６へ導くことができる。
【００１６】ここで図３はかかる挿入レンズ２２による
発散性の光束に対する収束効果を実際の光線追跡例で示
したもので、なおこの図３では被検光学素子１０の被検
面での反射光光路上のビームスプリッタ６及び鏡１２等
の光学素子が省略されているが、図から明らかなように
挿入レンズ２２を光路に挿入することにより、被検光学
素子１０の被検面からの反射光がすべて結像レンズ１５
によって拾われるようになっている。なお、かかる挿入
レンズ２２が光路中に挿入されていなければ、すべての
光束を撮像素子１６へ集めることができないので、もは
やこの種の形状測定を適正に行うことはできなくなる。
また、上記挿入レンズ２２を使用する場合に図３に示し
た各光学素子の焦点距離の具体例はちなみに次のような
数値である。対物レンズ９：７１．０５ｍｍ、コリメー
タレンズ８：６７０．２ｍｍ、挿入レンズ２２：２０
０．０ｍｍ及び結像レンズ１５：５０．０ｍｍである。
発散性の光束に対する収束効果を実際の光線追跡例で示
したもので、なおこの図３では被検光学素子１０の被検
面での反射光光路上のビームスプリッタ６及び鏡１２等
の光学素子が省略されているが、図から明らかなように
挿入レンズ２２を光路に挿入することにより、被検光学
素子１０の被検面からの反射光がすべて結像レンズ１５
によって拾われるようになっている。なお、かかる挿入
レンズ２２が光路中に挿入されていなければ、すべての
光束を撮像素子１６へ集めることができないので、もは
やこの種の形状測定を適正に行うことはできなくなる。
また、上記挿入レンズ２２を使用する場合に図３に示し
た各光学素子の焦点距離の具体例はちなみに次のような
数値である。対物レンズ９：７１．０５ｍｍ、コリメー
タレンズ８：６７０．２ｍｍ、挿入レンズ２２：２０
０．０ｍｍ及び結像レンズ１５：５０．０ｍｍである。
【００１７】このように挿入レンズ２２を光路に挿入す
ることにより、発散性の光束に対する収束効果を得るこ
とができるが、挿入レンズ２２を光路中に挿入する場
合、操作ハンドル２５の操作により挿入レンズ２２に対
する正確な位置出し行われる。即ち、挿入レンズ２２を
光路に挿脱するためのガイド機構として雄アリ２３ａと
雌アリ２４ａを使用しているので、挿入レンズ２２の中
心を光軸Ｘと高い精度で一致させることができ、且つ光
路中に挿入された挿入レンズ２２を安定して保持するこ
とができる。
ることにより、発散性の光束に対する収束効果を得るこ
とができるが、挿入レンズ２２を光路中に挿入する場
合、操作ハンドル２５の操作により挿入レンズ２２に対
する正確な位置出し行われる。即ち、挿入レンズ２２を
光路に挿脱するためのガイド機構として雄アリ２３ａと
雌アリ２４ａを使用しているので、挿入レンズ２２の中
心を光軸Ｘと高い精度で一致させることができ、且つ光
路中に挿入された挿入レンズ２２を安定して保持するこ
とができる。
【００１８】ところで、本実施例では、縞走査シアリン
グにより得られた測定波面から、光学系の収差を差し引
いて被検面の情報のみを抽出するデータ処理が行われ
る。そしてこのデータ処理方法はビームスプリッタ６，
コリメータレンズ８及び対物レンズ９等による収差を、
予めそれらの設計値を用いてコンピュータ等により求め
ておき、最終的な測定結果から差し引いて行うもので、
このような方法は所謂、デジタルヌルテストと呼ばれて
いる。
グにより得られた測定波面から、光学系の収差を差し引
いて被検面の情報のみを抽出するデータ処理が行われ
る。そしてこのデータ処理方法はビームスプリッタ６，
コリメータレンズ８及び対物レンズ９等による収差を、
予めそれらの設計値を用いてコンピュータ等により求め
ておき、最終的な測定結果から差し引いて行うもので、
このような方法は所謂、デジタルヌルテストと呼ばれて
いる。
【００１９】かかるデジタルヌルテストを応用する場
合、縞走査シアリング干渉計を構成する各光学素子はそ
の数が少ない程正確なデータを得ることができる。この
ため、被検面が球面又は非球面量が小さい非球面の場合
には上記挿入レンズ２２を光路中に挿入しないで測定を
して上記デジタルヌルテストを行い、またこれで充分正
確なデータが得られる。一方、被検面からの反射光が発
散性を有している場合には上記のように挿入レンズ２２
を光路中に挿入した状態で上記デジタルヌルテストを行
えばよく、この場合にも挿入レンズ２２の効果によって
正確なデータが得られる。このように挿入レンズ２２は
それが必要な場合にのみ光路中に挿入されるから、デジ
タルヌルテストを行う場合の光学素子の数を最少するこ
とができ、しかも正確な測定が保証される。
合、縞走査シアリング干渉計を構成する各光学素子はそ
の数が少ない程正確なデータを得ることができる。この
ため、被検面が球面又は非球面量が小さい非球面の場合
には上記挿入レンズ２２を光路中に挿入しないで測定を
して上記デジタルヌルテストを行い、またこれで充分正
確なデータが得られる。一方、被検面からの反射光が発
散性を有している場合には上記のように挿入レンズ２２
を光路中に挿入した状態で上記デジタルヌルテストを行
えばよく、この場合にも挿入レンズ２２の効果によって
正確なデータが得られる。このように挿入レンズ２２は
それが必要な場合にのみ光路中に挿入されるから、デジ
タルヌルテストを行う場合の光学素子の数を最少するこ
とができ、しかも正確な測定が保証される。
【００２０】
【発明の効果】上述したように本発明によれば、被検面
が球面又は非球面量が小さい非球面の場合と非球面量が
大きい非球面の場合とで、挿入レンズを光路に適宜挿脱
することにより、いずれの場合においても正確なデジタ
ルヌルテストを行うことができる。そして特に非球面量
が大きい非球面の被検面の場合にかかる挿入レンズを挿
入することにより、従来不可能であった非球面量の測定
を行うことができる等の利点を有している。
が球面又は非球面量が小さい非球面の場合と非球面量が
大きい非球面の場合とで、挿入レンズを光路に適宜挿脱
することにより、いずれの場合においても正確なデジタ
ルヌルテストを行うことができる。そして特に非球面量
が大きい非球面の被検面の場合にかかる挿入レンズを挿
入することにより、従来不可能であった非球面量の測定
を行うことができる等の利点を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による形状測定装置の一実施例の全体構
成図である。
成図である。
【図２】本発明による形状測定装置における挿入レンズ
のための挿脱機構の構成例を示す斜視図である。
のための挿脱機構の構成例を示す斜視図である。
【図３】本発明による形状測定装置における挿入レンズ
による発散性の光束に対する収束効果を説明する図であ
る。
による発散性の光束に対する収束効果を説明する図であ
る。
【図４】従来の形状測定装置の全体構成図である。
【図５】従来の形状測定装置における波面横ずらし部の
作用を説明する図である。
作用を説明する図である。
【図６】従来の形状測定装置における非球面の被検面で
の反射光の挙動を説明する図である。
の反射光の挙動を説明する図である。
１ レーザ光源 ２ 集光レンズ ３，３´ ピンホール ４，６ ビームスプリッタ ５，７ 鏡 ８ コリメータレンズ ９ 対物レンズ １０ 被検光学素子 １１ アライメント部 １２ 鏡 １３ 半透明鏡 １４ 反射鏡 １５ 結像レンズ １６ 撮像素子 １７ 干渉縞解析部 １９ 光検知器 ２０ 位置検出光検知器 ２１ 光軸 ２２ 挿入レンズ ２３ 基台 ２４ 基台 ２５ 操作ハンドル
Claims (1)
- 【請求項１】 光源と被検面への入射光路に配置された
対物レンズと該対物レンズからの光を分割する光分割素
子と該光分割素子からの光束が入射する半透明鏡で構成
された波面横ずらし手段と該波面横ずらし手段で形成さ
れた干渉縞を観測する撮像素子とを備えた縞走査シアリ
ング干渉計において、上記光分割素子と上記波面横ずら
し手段との間の光路中に挿入レンズを挿脱可能に配置し
て成る形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3197989A JPH0540025A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3197989A JPH0540025A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0540025A true JPH0540025A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16383662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3197989A Withdrawn JPH0540025A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0540025A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011089804A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Canon Inc | 干渉計 |
| KR20150080563A (ko) * | 2012-11-30 | 2015-07-09 | 퀘드 테크놀러지즈 인터내셔날, 인크. | 통합된 파면 센서 및 프로파일로미터 |
| CN114459619A (zh) * | 2022-01-27 | 2022-05-10 | 华南师范大学 | 一种相移量实时在线测量装置及方法 |
-
1991
- 1991-08-07 JP JP3197989A patent/JPH0540025A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011089804A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Canon Inc | 干渉計 |
| KR20150080563A (ko) * | 2012-11-30 | 2015-07-09 | 퀘드 테크놀러지즈 인터내셔날, 인크. | 통합된 파면 센서 및 프로파일로미터 |
| CN114459619A (zh) * | 2022-01-27 | 2022-05-10 | 华南师范大学 | 一种相移量实时在线测量装置及方法 |
| CN114459619B (zh) * | 2022-01-27 | 2023-08-08 | 华南师范大学 | 一种相移量实时在线测量装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6909509B2 (en) | Optical surface profiling systems | |
| US5493398A (en) | Device for observing test-piece surfaces by the speckle-shearing-method for the measurement of deformations | |
| JP2002071513A (ja) | 液浸系顕微鏡対物レンズ用干渉計および液浸系顕微鏡対物レンズの評価方法 | |
| JP2009162539A (ja) | 光波干渉測定装置 | |
| US7538890B2 (en) | Wavefront-measuring interferometer apparatus, and light beam measurement apparatus and method thereof | |
| JPH02161332A (ja) | 曲率半径測定装置及び方法 | |
| JP4667965B2 (ja) | 光ビーム測定装置 | |
| US20040150834A1 (en) | Application of the phase shifting diffraction interferometer for measuring convex mirrors and negative lenses | |
| TW200521481A (en) | Focusing system and method | |
| US6924897B2 (en) | Point source module and methods of aligning and using the same | |
| JP4739806B2 (ja) | 光ビーム測定装置および方法 | |
| JP2005062012A (ja) | 耐振動型干渉計装置 | |
| JPH0540025A (ja) | 形状測定装置 | |
| JPH10160582A (ja) | 透過波面測定用干渉計 | |
| JP2831428B2 (ja) | 非球面形状測定機 | |
| JP3061653B2 (ja) | 非球面の測定方法および測定装置 | |
| JP2002048673A (ja) | 光学素子又は光学系の物理量測定方法 | |
| JP3916991B2 (ja) | 圧子形状測定器 | |
| JP2000097633A (ja) | マーク位置検出装置およびこれを用いたマーク位置検出方法 | |
| JPH0814854A (ja) | 計算機ホログラムを有する平板及びそれを用いた計測 方法 | |
| JP2902417B2 (ja) | 波面収差測定用干渉装置 | |
| JP2890639B2 (ja) | 真球度の絶対測定方法及び装置 | |
| JP2593493B2 (ja) | レンズの調整，検査装置 | |
| JP3410800B2 (ja) | 耐振動型干渉計 | |
| JPH11109253A (ja) | 干渉顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |