JPH10160582A - 透過波面測定用干渉計 - Google Patents
透過波面測定用干渉計Info
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- JPH10160582A JPH10160582A JP8334402A JP33440296A JPH10160582A JP H10160582 A JPH10160582 A JP H10160582A JP 8334402 A JP8334402 A JP 8334402A JP 33440296 A JP33440296 A JP 33440296A JP H10160582 A JPH10160582 A JP H10160582A
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- wavefront
- optical system
- light
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学系において発生する収差を取り除くこと
により、高精度な波面収差測定を行う。 【解決手段】 被検光学系ＬＴＥＳＴを透過したのち第
１の反射面Ｒ１で反射し再び被検光学系ＬＴＥＳＴを透
過した被検波面と基準波面とを干渉させて得られた干渉
縞を解析することにより被検光学系ＬＴＥＳＴの透過波
面収差を測定する干渉計において、基準波面を発生する
第２の反射面ＦＰが被検波面の第１の反射面Ｒ１と共役
な配置になっている。
により、高精度な波面収差測定を行う。 【解決手段】 被検光学系ＬＴＥＳＴを透過したのち第
１の反射面Ｒ１で反射し再び被検光学系ＬＴＥＳＴを透
過した被検波面と基準波面とを干渉させて得られた干渉
縞を解析することにより被検光学系ＬＴＥＳＴの透過波
面収差を測定する干渉計において、基準波面を発生する
第２の反射面ＦＰが被検波面の第１の反射面Ｒ１と共役
な配置になっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レンズ系等の光学
系の透過波面の波面収差を測定するための干渉計に関す
る。
系の透過波面の波面収差を測定するための干渉計に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】干渉計を用いて光学系の透過波面を測定
する技術は従来よく知られている。しかし、基準面（参
照面）の配置については光路長を調節することは考慮さ
れていたが、基準面における波面の位相まで考慮した配
置には十分注意が払われていなかった。
する技術は従来よく知られている。しかし、基準面（参
照面）の配置については光路長を調節することは考慮さ
れていたが、基準面における波面の位相まで考慮した配
置には十分注意が払われていなかった。
【０００３】フィゾー干渉計は、被検レンズ（光学系）
を透過する測定光（被検波面）とフィゾー面で反射した
基準光とが同じ光路を通る共通光路干渉計である。共通
光路で発生した収差は、測定光と基準光との間でお互い
にキャンセルし、測定結果には影響しないとみなされて
いる。
を透過する測定光（被検波面）とフィゾー面で反射した
基準光とが同じ光路を通る共通光路干渉計である。共通
光路で発生した収差は、測定光と基準光との間でお互い
にキャンセルし、測定結果には影響しないとみなされて
いる。
【０００４】しかし、厳密に言うと、共通光路（特にフ
ィゾー面）で波面収差が発生すると、フィゾー面で反射
される基準光（参照光）の光路とフィゾー面を透過する
測定光の光路が異なるので、かかる波面収差は各々の光
路により異なる影響を受ける。このため、共通光路にお
いても、フィゾー面で発生した収差は基準光と測定光と
の間で互いにキャンセルしないこととなる。半導体露光
装置用結像レンズなどのように極めて高い測定精度が要
求されるレンズの測定において、共通光路でキャンセル
されなかった収差は、無視できない測定誤差となるので
問題である。
ィゾー面）で波面収差が発生すると、フィゾー面で反射
される基準光（参照光）の光路とフィゾー面を透過する
測定光の光路が異なるので、かかる波面収差は各々の光
路により異なる影響を受ける。このため、共通光路にお
いても、フィゾー面で発生した収差は基準光と測定光と
の間で互いにキャンセルしないこととなる。半導体露光
装置用結像レンズなどのように極めて高い測定精度が要
求されるレンズの測定において、共通光路でキャンセル
されなかった収差は、無視できない測定誤差となるので
問題である。
【０００５】トワイマン・グリーン干渉計を用いた場合
には、測定光の光路と基準光（参照光）の光路が異なる
ため、共通でない光路で各々収差が発生し、フィゾー干
渉計よりも更に測定精度は低下するという問題がある。
には、測定光の光路と基準光（参照光）の光路が異なる
ため、共通でない光路で各々収差が発生し、フィゾー干
渉計よりも更に測定精度は低下するという問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明のうち請
求項１ないし２記載の発明は、たとえばフィゾー干渉計
などのような干渉計において、共通光路で発生する収差
を取り除くことができ、高精度な波面収差測定が可能な
透過波面測定用干渉計を提供することを目的としてい
る。
求項１ないし２記載の発明は、たとえばフィゾー干渉計
などのような干渉計において、共通光路で発生する収差
を取り除くことができ、高精度な波面収差測定が可能な
透過波面測定用干渉計を提供することを目的としてい
る。
【０００７】さらに請求項３ないし５記載の発明は、請
求項１ないし２記載の発明の目的に加えて、トワイマン
・グリーン干渉計等の共通光路を有さない干渉計の場合
あるいはフィゾー干渉計等でもフィゾー面を被検波面の
反射面と共役な位置に配置できない場合において、干渉
計で発生する収差を除去することができる透過波面測定
用干渉計を提供することを目的としている。
求項１ないし２記載の発明の目的に加えて、トワイマン
・グリーン干渉計等の共通光路を有さない干渉計の場合
あるいはフィゾー干渉計等でもフィゾー面を被検波面の
反射面と共役な位置に配置できない場合において、干渉
計で発生する収差を除去することができる透過波面測定
用干渉計を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のうち請求項１ないし２記載の透過波面測定用
干渉計は、被検光学系を透過したのち第１の反射面で反
射し再び被検光学系を透過した被検波面とフィゾー面な
どの基準反射面（参照面）で反射する基準波面とを干渉
させて得られた干渉縞を解析することにより、被検光学
系の透過波面収差を測定する干渉計において、基準波面
を発生する第２の反射面（基準反射面）が被検波面の第
１の反射面と被検光学系について共役な配置になってい
ることを特徴とする。
に本発明のうち請求項１ないし２記載の透過波面測定用
干渉計は、被検光学系を透過したのち第１の反射面で反
射し再び被検光学系を透過した被検波面とフィゾー面な
どの基準反射面（参照面）で反射する基準波面とを干渉
させて得られた干渉縞を解析することにより、被検光学
系の透過波面収差を測定する干渉計において、基準波面
を発生する第２の反射面（基準反射面）が被検波面の第
１の反射面と被検光学系について共役な配置になってい
ることを特徴とする。
【０００９】かかる構成により基準反射面と被検波面の
反射面とが被検光学系により結像関係にあるので、基準
反射面における波面の位相が被検波面の反射面において
もそのまま保たれることとなる。すなわち、フィゾー面
などの基準反射面で波面収差（位相の乱れ）が発生した
場合、その波面収差の位相関係は被検波面の反射面にお
いても保持される。したがって、フィゾー面などの基準
反射面で発生した波面収差は、測定光と基準光との間で
等しくなるので、共通光路においてかかる波面収差はキ
ャンセルされることとなる。このように、フィゾー干渉
計の基準面（フィゾー面）と被検レンズ透過光の反射面
を共役な配置にすることによって、干渉計の収差が測定
結果に与える影響を除去することができる。なお、基準
面と被検波面の反射面を共役な位置に配置できる干渉計
であれば本発明はフィゾー干渉計に限られるものではな
い。
反射面とが被検光学系により結像関係にあるので、基準
反射面における波面の位相が被検波面の反射面において
もそのまま保たれることとなる。すなわち、フィゾー面
などの基準反射面で波面収差（位相の乱れ）が発生した
場合、その波面収差の位相関係は被検波面の反射面にお
いても保持される。したがって、フィゾー面などの基準
反射面で発生した波面収差は、測定光と基準光との間で
等しくなるので、共通光路においてかかる波面収差はキ
ャンセルされることとなる。このように、フィゾー干渉
計の基準面（フィゾー面）と被検レンズ透過光の反射面
を共役な配置にすることによって、干渉計の収差が測定
結果に与える影響を除去することができる。なお、基準
面と被検波面の反射面を共役な位置に配置できる干渉計
であれば本発明はフィゾー干渉計に限られるものではな
い。
【００１０】さらに上記目的を達成するために本発明の
うち請求項３ないし５記載の透過波面測定用干渉計は、
被検光学系を透過したのち第１の反射面で反射し再び被
検光学系を透過した波面と基準波面を干渉させることに
より得られた干渉縞を解析することにより、上記被検光
学系の透過波面収差を測定する干渉計において、被検光
学系が存在しない状態で、被検波面を反射する第１の反
射面が被検光学系が存在したときに結像する位置に置か
れた第２の反射面からの反射光と基準波面との第１の干
渉縞を測定し、次に被検光学系を透過したのち第１の反
射面で反射し再び被検光学系を透過した波面と基準波面
を干渉させることにより得られた第２の干渉縞を測定
し、第２の干渉縞の測定結果から第１の干渉縞の測定結
果を減算処理する構成である。
うち請求項３ないし５記載の透過波面測定用干渉計は、
被検光学系を透過したのち第１の反射面で反射し再び被
検光学系を透過した波面と基準波面を干渉させることに
より得られた干渉縞を解析することにより、上記被検光
学系の透過波面収差を測定する干渉計において、被検光
学系が存在しない状態で、被検波面を反射する第１の反
射面が被検光学系が存在したときに結像する位置に置か
れた第２の反射面からの反射光と基準波面との第１の干
渉縞を測定し、次に被検光学系を透過したのち第１の反
射面で反射し再び被検光学系を透過した波面と基準波面
を干渉させることにより得られた第２の干渉縞を測定
し、第２の干渉縞の測定結果から第１の干渉縞の測定結
果を減算処理する構成である。
【００１１】かかる構成の干渉計では、まず最初に被検
レンズが存在しない状態で、被検レンズ透過光の反射面
が被検光学系が存在する場合に結像する位置に配置した
高精度な反射面からの反射光と基準光との第１の干渉縞
を測定しておく。次に、被検光学系を置いた状態で通常
の透過波面測定を行い第２の干渉縞を測定する。そして
第２回目の測定結果から第１回目の測定結果を減算す
る。第１の測定では干渉計自身の有する収差を測定して
いることとなるので、この減算処理により干渉計の有す
る収差を取り除き、被検光学系の波面収差を正確に測定
することが可能となる。かかる減算を行う場合に、１回
目に被検レンズの波面収差を測定しておき、２回目に被
検レンズが存在しない状態で高精度な反射面を用いて測
定して、各々の測定結果を減算してもよいことは言うま
でもない。
レンズが存在しない状態で、被検レンズ透過光の反射面
が被検光学系が存在する場合に結像する位置に配置した
高精度な反射面からの反射光と基準光との第１の干渉縞
を測定しておく。次に、被検光学系を置いた状態で通常
の透過波面測定を行い第２の干渉縞を測定する。そして
第２回目の測定結果から第１回目の測定結果を減算す
る。第１の測定では干渉計自身の有する収差を測定して
いることとなるので、この減算処理により干渉計の有す
る収差を取り除き、被検光学系の波面収差を正確に測定
することが可能となる。かかる減算を行う場合に、１回
目に被検レンズの波面収差を測定しておき、２回目に被
検レンズが存在しない状態で高精度な反射面を用いて測
定して、各々の測定結果を減算してもよいことは言うま
でもない。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の実施例をトワイマン・グ
リーン干渉計の場合について図１に基づいて説明する。
レーザ光源（不図示）からの光は所望の光束径の平行光
とされ、ビームスプリッタＢＳに入射する。ビームスプ
リッタＢＳの反射光は、集光レンズＬ１により被検レン
ズＬＴＥＳＴの物側焦点面に集光される。この光は被検
レンズＬＴＥＳＴを透過後、像側焦点面に集光した後、
集光点に曲率中心を持つ高精度な球面反射面（反射鏡）
Ｒ１により反射され、再び、被検レンズＬＴＥＳＴ、集
光レンズＬ１を経てビームスプリッタＢＳに至る。
リーン干渉計の場合について図１に基づいて説明する。
レーザ光源（不図示）からの光は所望の光束径の平行光
とされ、ビームスプリッタＢＳに入射する。ビームスプ
リッタＢＳの反射光は、集光レンズＬ１により被検レン
ズＬＴＥＳＴの物側焦点面に集光される。この光は被検
レンズＬＴＥＳＴを透過後、像側焦点面に集光した後、
集光点に曲率中心を持つ高精度な球面反射面（反射鏡）
Ｒ１により反射され、再び、被検レンズＬＴＥＳＴ、集
光レンズＬ１を経てビームスプリッタＢＳに至る。
【００１３】他方、ビームスプリッタＢＳを透過した光
は、基準（参照）光路の反射面（反射鏡）Ｒ２で反射さ
れビームスプリッタＢＳに戻る。そして、被検レンズを
透過してきた光束と反射面Ｒ２から来る光束が重ね合わ
されて結像レンズＩＬを透過した後撮像素子ＩＥ上で干
渉縞が観察される。レーザ光源がエキシマレーザの様な
空間コヒーレンスの悪い光の場合には、被検光路と結像
関係を合わせるため、ビームエキスパンダＢＥなどのア
フォーカル光学系が必要になる。
は、基準（参照）光路の反射面（反射鏡）Ｒ２で反射さ
れビームスプリッタＢＳに戻る。そして、被検レンズを
透過してきた光束と反射面Ｒ２から来る光束が重ね合わ
されて結像レンズＩＬを透過した後撮像素子ＩＥ上で干
渉縞が観察される。レーザ光源がエキシマレーザの様な
空間コヒーレンスの悪い光の場合には、被検光路と結像
関係を合わせるため、ビームエキスパンダＢＥなどのア
フォーカル光学系が必要になる。
【００１４】測定光路と基準光路で発生する波面収差に
ついて以下説明する。被検波面は次式（１）のように表
すことができる。 Ｗｏ＝Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｒ１＋Ｗｃｏｎ＋Ｗｂｓ１ （１） ここでＷｏは被検波面、Ｗｔｅｓｔは被検レンズＬＴＥ
ＳＴの収差、Ｗｒ１は反射面Ｒ１の収差、Ｗｃｏｎは集
光レンズＬ１の収差、Ｗｂｓ１はビームスプリッタＢＳ
の収差である。
ついて以下説明する。被検波面は次式（１）のように表
すことができる。 Ｗｏ＝Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｒ１＋Ｗｃｏｎ＋Ｗｂｓ１ （１） ここでＷｏは被検波面、Ｗｔｅｓｔは被検レンズＬＴＥ
ＳＴの収差、Ｗｒ１は反射面Ｒ１の収差、Ｗｃｏｎは集
光レンズＬ１の収差、Ｗｂｓ１はビームスプリッタＢＳ
の収差である。
【００１５】参照波面についても同様に次式（２）で表
すことが出来る。 Ｗｒ＝Ｗｂｅｘ＋Ｗｒ２＋Ｗｂｓ２ （２） ここで、Ｗｒは参照波面、Ｗｂｅｘはビームエキスパン
ダＢＥの収差、Ｗｒ２は反射面Ｒ２の収差、Ｗｂｓ２ビ
ームスプリッタＢＳの収差である。
すことが出来る。 Ｗｒ＝Ｗｂｅｘ＋Ｗｒ２＋Ｗｂｓ２ （２） ここで、Ｗｒは参照波面、Ｗｂｅｘはビームエキスパン
ダＢＥの収差、Ｗｒ２は反射面Ｒ２の収差、Ｗｂｓ２ビ
ームスプリッタＢＳの収差である。
【００１６】したがって被検レンズを測定した場合の干
渉縞Ｂの位相Ｉｂは Ｉｂ＝Ｗｏ−Ｗｒ ＝Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｒ１＋Ｗｃｏｎ＋Ｗｂｓ１−Ｗｂｅｘ−Ｗｒ２−Ｗｂｓ２ ．．．．．（３） となる。反射面Ｒ１，Ｒ２が十分高精度であり、Ｗｒ１
＝Ｗｒ２＝０とみなすことができたとしても Ｉｂ＝Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｃｏｎ＋Ｗｂｓ１−Ｗｂｅｘ−Ｗｂｓ２ （４） となり、集光レンズ、ビームエキスパンダ、ビームスプ
リッタの誤差は除くことはできずに残ってしまう。
渉縞Ｂの位相Ｉｂは Ｉｂ＝Ｗｏ−Ｗｒ ＝Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｒ１＋Ｗｃｏｎ＋Ｗｂｓ１−Ｗｂｅｘ−Ｗｒ２−Ｗｂｓ２ ．．．．．（３） となる。反射面Ｒ１，Ｒ２が十分高精度であり、Ｗｒ１
＝Ｗｒ２＝０とみなすことができたとしても Ｉｂ＝Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｃｏｎ＋Ｗｂｓ１−Ｗｂｅｘ−Ｗｂｓ２ （４） となり、集光レンズ、ビームエキスパンダ、ビームスプ
リッタの誤差は除くことはできずに残ってしまう。
【００１７】次に第２回目の測定を行う。被検レンズＬ
ＴＥＳＴを取り除き、十分に高精度な反射面Ｒ３をその
曲率中心が集光レンズＬ１の集光点に一致する位置に置
く場合を考えると、 Ｗｏ’＝Ｗｒ３＋Ｗｃｏｎ’＋Ｗｂｓ１ （５） ここで、Ｗｏ’は被検波面、Ｗｒ３は反射面Ｒ３の収
差、Ｗｃｏｎ’は集光レンズＬ１の収差、Ｗｂｓ１はビ
ームスプリッタＢＳの収差である。
ＴＥＳＴを取り除き、十分に高精度な反射面Ｒ３をその
曲率中心が集光レンズＬ１の集光点に一致する位置に置
く場合を考えると、 Ｗｏ’＝Ｗｒ３＋Ｗｃｏｎ’＋Ｗｂｓ１ （５） ここで、Ｗｏ’は被検波面、Ｗｒ３は反射面Ｒ３の収
差、Ｗｃｏｎ’は集光レンズＬ１の収差、Ｗｂｓ１はビ
ームスプリッタＢＳの収差である。
【００１８】観測される干渉縞Ａの位相Ｉａは式（５）
と式（２）との差として表すことができるので、 Ｉａ＝Ｗｏ’−Ｗｒ ＝Ｗｒ３＋Ｗｃｏｎ’＋Ｗｂｓ１−Ｗｂｅｘ−Ｗｒ２−Ｗｂｓ２ ．．．．．（６） となる。干渉縞Ｂの位相Ｉｂから干渉縞Ａの位相Ｉａを
減算すると、 ΔＩ＝Ｉｂ−Ｉａ ＝（Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｒ１＋Ｗｃｏｎ＋Ｗｂｓ１−Ｗｂｅｘ−Ｗｒ２ −Ｗｂｓ２）−（Ｗｒ３＋Ｗｃｏｎ’＋Ｗｂｓ１−Ｗｂｅｘ−Ｗｒ２−Ｗ ｂｓ２） ＝Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｒ１＋Ｗｃｏｎ−Ｗｒ３−Ｗｃｏｎ’ （７） となり、参照基準光路で発生する収差はキャンセルされ
ることがわかる。
と式（２）との差として表すことができるので、 Ｉａ＝Ｗｏ’−Ｗｒ ＝Ｗｒ３＋Ｗｃｏｎ’＋Ｗｂｓ１−Ｗｂｅｘ−Ｗｒ２−Ｗｂｓ２ ．．．．．（６） となる。干渉縞Ｂの位相Ｉｂから干渉縞Ａの位相Ｉａを
減算すると、 ΔＩ＝Ｉｂ−Ｉａ ＝（Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｒ１＋Ｗｃｏｎ＋Ｗｂｓ１−Ｗｂｅｘ−Ｗｒ２ −Ｗｂｓ２）−（Ｗｒ３＋Ｗｃｏｎ’＋Ｗｂｓ１−Ｗｂｅｘ−Ｗｒ２−Ｗ ｂｓ２） ＝Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｒ１＋Ｗｃｏｎ−Ｗｒ３−Ｗｃｏｎ’ （７） となり、参照基準光路で発生する収差はキャンセルされ
ることがわかる。
【００１９】更に、反射面Ｒ１、Ｒ３が十分高精度だと
すると、式（７）においてＷｒ１＝Ｗｒ３＝０とおくこ
とができるので、 ΔＩ＝Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｃｏｎ−Ｗｃｏｎ’ （８） となる。
すると、式（７）においてＷｒ１＝Ｗｒ３＝０とおくこ
とができるので、 ΔＩ＝Ｗｔｅｓｔ＋Ｗｃｏｎ−Ｗｃｏｎ’ （８） となる。
【００２０】式（８）のΔＷｃｏｎ＝Ｗｃｏｎ−Ｗｃｏ
ｎ’は、集光レンズ自体が同じものであっても、結像関
係が変化するために変化する成分（波面が進行するに従
って形を変えるため）を表している。
ｎ’は、集光レンズ自体が同じものであっても、結像関
係が変化するために変化する成分（波面が進行するに従
って形を変えるため）を表している。
【００２１】反射面Ｒ３を反射面Ｒ１の被検レンズによ
る像の位置、すなわち共役な位置に一致させたときに
は、位相関係も反射面Ｒ１と反射面Ｒ３との間で保たれ
Ｗｃｏｎ＝Ｗｃｏｎ’となるので、式（８）は ΔＩ＝Ｗｔｅｓｔ となり、被検レンズの収差だけを取り出すことが出来
る。
る像の位置、すなわち共役な位置に一致させたときに
は、位相関係も反射面Ｒ１と反射面Ｒ３との間で保たれ
Ｗｃｏｎ＝Ｗｃｏｎ’となるので、式（８）は ΔＩ＝Ｗｔｅｓｔ となり、被検レンズの収差だけを取り出すことが出来
る。
【００２２】フィゾー干渉計の場合にも同様の方法を用
いることが出来るのは明らかである。時間コヒーレンス
の良い光源を用いることが出来る場合には、外乱の影響
を受けにくいフィゾー干渉計を用いる方が望ましい。
いることが出来るのは明らかである。時間コヒーレンス
の良い光源を用いることが出来る場合には、外乱の影響
を受けにくいフィゾー干渉計を用いる方が望ましい。
【００２３】図１、図２において、破線は干渉計の結像
関係を表している。図１では、反射鏡Ｒ１とＲ２は、結
像レンズＩＬによって撮像素子ＩＥの撮像面上に結像し
ている。被検レンズＬＴＥＳＴの波面収差とは、正確に
は被検レンズの瞳面上での波面収差のことであり、被検
レンズの瞳面を撮像面上に結像すべきであるが、被検レ
ンズを光が往復する光学系では、往路の瞳面と復路の瞳
面の両方に焦点を合わせることは不可能であるため、そ
の間に位置する反射鏡Ｒ１を撮像素子上に結像してい
る。
関係を表している。図１では、反射鏡Ｒ１とＲ２は、結
像レンズＩＬによって撮像素子ＩＥの撮像面上に結像し
ている。被検レンズＬＴＥＳＴの波面収差とは、正確に
は被検レンズの瞳面上での波面収差のことであり、被検
レンズの瞳面を撮像面上に結像すべきであるが、被検レ
ンズを光が往復する光学系では、往路の瞳面と復路の瞳
面の両方に焦点を合わせることは不可能であるため、そ
の間に位置する反射鏡Ｒ１を撮像素子上に結像してい
る。
【００２４】本発明の他の実施例を図２に示す。図２は
偏光を利用したフィゾー干渉計であり、干渉縞が形成さ
れる過程は従来知られているものと同様である。フィゾ
ー干渉計を用いる場合には、基準（参照）波面を反射す
る基準面ＦＰ（フィゾー面）を、被検波面を反射する面
Ｒ１と共役な位置に配置することにより、干渉縞Ａの測
定を行わず、干渉縞Ｂの測定だけで、干渉計光学系で発
生する収差の影響を受けずに、被検レンズの波面収差だ
けを測定することが出来る。
偏光を利用したフィゾー干渉計であり、干渉縞が形成さ
れる過程は従来知られているものと同様である。フィゾ
ー干渉計を用いる場合には、基準（参照）波面を反射す
る基準面ＦＰ（フィゾー面）を、被検波面を反射する面
Ｒ１と共役な位置に配置することにより、干渉縞Ａの測
定を行わず、干渉縞Ｂの測定だけで、干渉計光学系で発
生する収差の影響を受けずに、被検レンズの波面収差だ
けを測定することが出来る。
【００２５】
【発明の効果】本発明の透過波面測定用干渉計によれ
ば、基準反射面を被検波面の反射面と共役な位置に置く
ことにより、干渉計で発生する収差が測定結果に与える
影響を除去することが可能となり高精度な波面収差測定
が出来る。
ば、基準反射面を被検波面の反射面と共役な位置に置く
ことにより、干渉計で発生する収差が測定結果に与える
影響を除去することが可能となり高精度な波面収差測定
が出来る。
【００２６】さらに、本発明では、フィゾー干渉計等に
おいて基準反射面を被検波面の反射面と共役な位置に置
くことができない場合あるいはトワイマン・グリーン干
渉計などの場合でも、基準面の位置を考慮したうえで、
被検光学系の波面収差と被検光学系を除いた状態の干渉
計自身の収差を測定し、減算処理を行うことで、干渉計
で発生する収差が測定結果に与える影響を除去すること
が可能となり高精度な波面収差測定が出来る。
おいて基準反射面を被検波面の反射面と共役な位置に置
くことができない場合あるいはトワイマン・グリーン干
渉計などの場合でも、基準面の位置を考慮したうえで、
被検光学系の波面収差と被検光学系を除いた状態の干渉
計自身の収差を測定し、減算処理を行うことで、干渉計
で発生する収差が測定結果に与える影響を除去すること
が可能となり高精度な波面収差測定が出来る。
【図１】トワイマン・グリーン干渉計の実施例を示す図
である。
である。
【図２】フィゾー干渉計である他の実施例を示す図であ
る。
る。
ＬＴＥＳＴ 被検光学系 Ｒ１ 反射面１ Ｒ２ 反射面２ Ｒ３ 反射面３ Ｌ１ 集光レンズ ＢＳ ビームスプリッタ ＢＥ ビームエキスパンダ ＦＰ フィゾー面（基準面） ＦＬ フィゾーレンズ ＩＬ 結像レンズ ＩＥ 撮像素子 ＷＰ１ λ／２板 ＷＰ２ λ／４板
Claims (5)
- 【請求項１】 被検光学系を透過したのち第１の反射面
で反射し再び前記被検光学系を透過した被検波面と基準
波面とを干渉させて得られた干渉縞を解析することによ
り、前記被検光学系の透過波面収差を測定する干渉計に
おいて、前記基準波面を発生する第２の反射面が前記被
検波面の前記第１の反射面と共役な配置であることを特
徴とする透過波面測定用干渉計。 - 【請求項２】 干渉計がフィゾー干渉計であることを特
徴とする請求項１記載の透過波面測定用干渉計。 - 【請求項３】 被検光学系を透過したのち第１の反射面
で反射し再び前記被検光学系を透過した被検波面と基準
波面を干渉させることにより得られた干渉縞を解析する
ことにより、前記被検光学系の透過波面収差を測定する
干渉計において、前記被検光学系が存在しない状態で、
前記被検波面を反射する前記第１の反射面と共役な位置
に置かれた第２の反射面からの反射光と基準波面とを干
渉させて得られる第１の干渉縞を測定し、次に被検光学
系が存在する状態で前記被検光学系を透過したのち前記
第１の反射面で反射し再び前記被検光学系を透過した前
記被検波面と前記基準波面とを干渉させて得られる第２
の干渉縞を測定し、前記第２の干渉縞の測定結果から前
記第１の干渉縞の測定結果を減算処理して前記被検波面
の波面収差を求めることを特徴とする透過波面測定用干
渉計。 - 【請求項４】 干渉計がフィゾー干渉計であることを特
徴とする請求項３項記載の透過波面測定用干渉計。 - 【請求項５】 干渉計がトワイマン・グリーン干渉計で
あることを特徴とする請求項３項記載の透過波面測定用
干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8334402A JPH10160582A (ja) | 1996-12-02 | 1996-12-02 | 透過波面測定用干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8334402A JPH10160582A (ja) | 1996-12-02 | 1996-12-02 | 透過波面測定用干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10160582A true JPH10160582A (ja) | 1998-06-19 |
Family
ID=18276973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8334402A Withdrawn JPH10160582A (ja) | 1996-12-02 | 1996-12-02 | 透過波面測定用干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10160582A (ja) |
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1996
- 1996-12-02 JP JP8334402A patent/JPH10160582A/ja not_active Withdrawn
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