JP4694290B2 - 有限系光学素子の透過率測定方法及び透過率測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、有限系光学素子の透過率測定方法及び透過率測定装置に関し、また干渉縞の利用により高精度のアライメントができる有限系光学素子の透過率測定方法及び透過率測定装置に関する。

従来、レンズの透過光量の測定は、例えば図５や図６に示す装置を用いて行っていた。
図５に示す装置においては、半導体レーザ１１０から出射され、コリメータレンズ１２１で平行光化された光の一部がハーフミラー１２２を透過して被測定レンズ６０に入射する。被測定レンズ６０を透過した光は、反射ミラー１１５で反射されて再び被測定レンズ６０を透過し、ハーフミラー１２２で一部が透過し、残りは反射され集光レンズ１２５で集光されて絞り１２７を経て積分球１４１に入射する。積分球１４１に入射した光はその光量がフォトダイオード１４２で電流に変換されてその電流値が電流計１４３で測定される。このように電流値を測定することにより、電流値に対応する被測定レンズ６０の透過光量を求めることができる。

一方、図６に示す装置においては、半導体レーザ１１０から出射され、コリメータレンズ１２１で平行光化された光が被測定レンズ６０に入射する。被測定レンズ６０を透過した光は、集光レンズ１２８、絞り１２７を経て積分球１４１に入射する。積分球１４１に入射した光はその光量がフォトダイオード１４２で電流に変換されてその電流値が電流計１４３で測定される。このように電流値を測定することにより、電流値に対応する被測定レンズ６０の透過光量を求めることができる。
特開２００２−９０３０２号公報 特許第３４０６９４４号公報

しかし、上述の装置においては被測定レンズに平行光を入射してその透過率を測定しているため、レンズの有効径に合わせた有限光を照射したときの透過率が求められる有限系光学素子（例えばピックアップレンズ）の透過率測定を行うことは困難であった。

図５に示す装置を用いて有限系光学素子の透過率を測定するとしても、反射ミラー１１５をその光軸方向（図中のＺ方向）に移動させて被測定レンズ６０と反射ミラー１１５の距離を調整して、被測定レンズ６０から出射した光が反射ミラー１１５上の１点に集まるようにしてある（キャッツアイ状態）。キャッツアイ状態は、反射ミラー１１５に垂直入射させた場合の反射光とは反射率が異なるため、正確な透過光量を測定することができなかった。

また、図６に示す装置を用いて有限系光学素子の透過率を測定する場合においては、被測定レンズ６０を透過させるのは１回だけであり、ハーフミラー１２２を設ける必要がないため構成をシンプルにすることができるが、絞り１２７のスポット径が非常に小さいため被測定レンズ６０の位置決めが困難であった。

さらに、図５及び図６に示す装置では、あらかじめマスターレンズの透過光量に対応する電流値を測定しておいてから被測定レンズ６０の透過光量に対応する電流値を測定し、両者を比較して相対的な透過光量を求めていた。このため、被測定レンズ６０の種類、ロット等が変わるたびに測定の基準となるマスターレンズを用意しなければならなかった。

上記問題点を解決するために、本発明の透過率測定装置は、平行光が入射される集光レンズと、集光レンズにより集光された光を被測定レンズの有効径に対応するＮＡの光とする絞りと、集光レンズの光軸方向に移動可能であって、集光レンズを透過し、被測定レンズの有効径に対応する光の焦点位置に、曲率中心を合わせる凹面鏡と、凹面鏡で反射され、再び集光レンズに入射して平行光となった光の光量を測定する光量測定部と、基準平面板によって反射された光と、基準平面板を透過した後に被測定レンズを透過し、凹面鏡によって反射され、再び前記被測定レンズ及び基準平面板を透過した光と、によって得られる干渉縞を観察する干渉縞観察部と、を有することを特徴とする。

本発明を方法としてみると、平行光を集光レンズにより集光し、絞りにより被測定レンズの有効径に対応するＮＡの光（ＮＡの光は、入射する光をＮＡ（開口数）に収束することができるレンズによる収束光をいう）の有限光とする有限光生成ステップと、有限光の焦点位置に凹面鏡の曲率中心を合わせる参照光オートコリメーションステップと、有限光を凹面鏡に照射し、この凹面鏡で反射され、集光レンズを再び透過することにより平行光化された反射光の光量を測定する反射光量測定ステップと、有限光を被測定レンズに透過させ、被測定レンズを透過した測定光の焦点位置に凹面鏡の曲率中心を合わせる測定光オートコリメーションステップと、集光レンズ及び被測定レンズを透過し、凹面鏡で反射し、被測定レンズ及び集光レンズを再び透過した後の平行光の光量を測定する透過光量測定ステップと、反射光量測定ステップで測定した光量と、透過光量測定ステップで測定した光量とを用いて被測定レンズの透過率を算出する透過率算出ステップと、を有することを特徴とする。

参照光オートコリメーションステップは、基準平面板によって反射された光と、基準平面板を透過した後に集光レンズを透過し、凹面鏡によって反射され、再び前記集光レンズ及び基準平面板を透過した光と、によって得られる干渉縞を観察することによって凹面鏡のアライメントを行う凹面鏡アライメントステップを含み、測定光オートコリメーションステップは、基準平面板によって反射された光と、基準平面板を透過した後に集光レンズ及び被測定レンズを透過し、凹面鏡によって反射され、再び被測定レンズ、集光レンズ及び基準平面板を透過した光と、によって得られる干渉縞を観察することによって被測定レンズのアライメントを行う被測定レンズアライメントステップを含むことができる。

凹面鏡によって反射された光及び被測定レンズを透過した光は、それらの光量をそれぞれ電流値として測定されることが好ましく、積分球で集められて光電変換素子によってその光量を電流に変換することができる。

光電変換素子は、フォトダイオードとすることができる。

本発明によると、有限系光学素子の透過率測定を行うことができる。反射光量（参照光の光量）および被測定レンズ（有限系光学素子）の透過光量（測定光の光量）測定は、同一の凹面鏡、同一の硝材やコートを有する凹面鏡、または同一の反射率を有する凹面鏡を用いている。反射光量（参照光の光量）測定時は、凹面鏡を移動することにより被測定レンズの有効径に対応するＮＡの光の焦点位置を凹面鏡の曲率中心にあわせ、透過光量（測定光の光量）測定時は、凹面鏡を移動することにより被測定レンズの焦点位置を凹面鏡の曲率中心にあわせて、凹面鏡に対して一様に垂直に入射させている（オートコリメーション状態）。
これにより、凹面鏡で反射した光は、入射した光と同じ光路を通るため、それぞれ同じ反射率が得られる。したがって、被測定レンズ（有限系光学素子）の反射光量および透過光量を高精度で測定することができ、得られた光量から正確な透過率を求めることができる。
また、干渉縞を利用することにより、被測定レンズ（有限系光学素子）の位置決めの困難性を解消し、高精度のアライメントを容易に行うことができる。さらに、測定レンズの種類が変わってもマスターレンズを必要としなくて良い。

以下、本発明の有限系光学素子の透過率測定方法及び透過率測定装置の一実施形態を詳細に説明する。
本発明に係る透過率は、集光レンズにより集光されて絞りを通過して凹面鏡で反射される光（参照光）の光量を測定し、集光レンズにより集光されて絞りを通過して被測定レンズを透過し、凹面鏡で反射されて再び被測定レンズと集光レンズを透過する光（測定光）の光量を測定し、それぞれ得られる光量をもとに算出する。

（参照光の光量測定装置）
集光レンズにより集光されて絞りを通過して凹面鏡で反射される光の光量を測定するには、図１に示す構成の装置を用いる。この装置においては、光源としての半導体レーザ１０から出射する光の光路上に、半導体レーザ１０側からコリメータレンズ２１、ハーフミラー２２、基準平面板３１、ハーフミラー２３、集光レンズ２８、絞り２９、凹面鏡３２の順に配置している。ハーフミラー２２で反射される光の光路上には、干渉縞観察部５０があり、ハーフミラー２３で反射される光の光路上には、光量測定部４０を配置している。

コリメータレンズ２１は、半導体レーザ１０からの入射光を平行光化する。ハーフミラー２２、２３は、それぞれ、半導体レーザ１０からの出射光の進行方向に対して４５度傾けられており、入射光の一部を反射し、残りを透過する性質を備えており、コリメータレンズ２１で平行光化された平行光は、一部が反射され、残りは透過する。

基準平面板３１は、半導体レーザ１０から出射する光の光路に対して垂直に配置されており、高精度に研磨された平面ガラス板であって、光源から遠い面には参照面３１ａが設けられており、この参照面３１ａは基準平面板３１に入射した光の一部を透過し、残りを反射する性質を有している。また、参照面３１ａにより反射した光と、参照面３１ａを透過した後に被測定レンズを透過した光との干渉縞を得ることができる。

集光レンズ２８は、半導体レーザ１０からの出射光の光路上に配置され、任意のＮＡを有するレンズである。半導体レーザ１０からの入射光をコリメータレンズ２１で平行光化された光は、ハーフミラー２２、基準平面板３１、ハーフミラー２３を透過し、集光レンズ２８に入射すると、凹面鏡３２に向けて集光された後に、絞り２９を通過し、凹面鏡３２に向かい有限光となる。有限光は、集光される任意のＮＡの光が、絞りを通過することにより、一定のＮＡの光となる光のことである。
絞り２９は、平行光を集光レンズ２８に入射させて得られる任意のＮＡ₁（開口数）の光２４ａを、被測定レンズの有効径に合わせたＮＡ₂の光２４ｂにする。凹面鏡３２は、高精度に研磨された曲面状のガラスからなり、絞り２９に近い表面に銀が沈着されている。凹面鏡３２はＮＡ₂をカバーし、絞り２９を通過する光の焦点位置に、曲率中心を合わせて配置される。このように凹面鏡３２を配置すると、凹面鏡３２に入射した光は垂直に入射し、入射した光と同じ光路を通り（オートコリメーション状態）、再び集光レンズ２８を透過して平行光となる。

凹面鏡３２で反射した光は、入射した光と同じ光路を通り、集光レンズ２８を透過して平行光化し、ハーフミラー２３で一部が反射され、残りは透過する。ハーフミラー２３で反射された光は、その光路上に配置された集光レンズ２６によって集光されて、絞り２７を通って光量測定部４０に入射する。
光量測定部４０は、積分球４１、フォトダイオード（光電変換素子）４２、電流計４３を有している。積分球４１は、球状の内面に硫酸バリウム等の拡散物質を塗布したものであって、入射した光を集積する。 積分球４１の内面には、入射した光の光量を電流に変換するフォトダイオード４２の一端が設けられており、変換された電流値を電流計４３で測定し、凹面鏡３２で反射された光の光量を測定することができる。なお、光電変換素子は、光量を電流に変換することができれば、フォトダイオードに限らず、トランジスタ、フォトリフレクタを用いることができる。

凹面鏡３２で反射された光のうち、ハーフミラー２３及び基準平面板３１を透過した光は、ハーフミラー２２で一部が反射され、残りは透過する。ハーフミラー２２で反射された光は、その光路上に配置された集光レンズ２５によって集光されて、干渉縞観察部５０に入射する。干渉縞観察部５０には、干渉縞観察カメラ５１およびモニター５２（または、干渉縞解析ユニット５３）を有している。この干渉縞観察カメラ５１には、基準平面板３１の参照面３１ａにおいて反射され、ハーフミラー２２で反射された光も入射しており、凹面鏡３２で反射された光との干渉縞を干渉縞観察カメラ５１に接続されたモニター５２で観察することができる。干渉縞観察カメラ５１には、アライメントのための基準画像データがあらかじめ保存されており、このデータに上記干渉縞の画像データを重ねてモニター５２に表示し、これを観察することにより、凹面鏡３２のアライメントを行うことができる。

（測定光の光量測定装置）
集光レンズにより集光されて絞りを通過して被測定レンズを透過し、凹面鏡で反射されて再び被測定レンズと集光レンズを透過する光の光量を測定するには、図２に示す構成の装置を用いて行う。この装置は、図１の絞り２９及び凹面鏡３２の間に被測定レンズ６０を配置したものである。

被測定レンズ６０は、半導体レーザ１０からの出射光の光路上において絞り２９につづいて、その光軸が半導体レーザ１０からの出射光の進行方向と一致するように配置される。被測定レンズ６０の有効径に合わせたＮＡ₂の光２４ｂが被測定レンズ６０に入射すると、凹面鏡３２に向けてＮＡ₃の光２４ｃが集光し、有限光となる。

凹面鏡３２は、参照光測定において使用する凹面鏡と同じものを用いることができる。また、同じ硝材やコートを有するもの、または同一の反射率を有するものを用いることができる。凹面鏡３２は、ＮＡ₃の光を反射するのに十分な大きさである。被測定レンズ６０を調整し、被測定レンズ６０の焦点位置に、凹面鏡３２の曲率中心を合わせる。このように配置して、被測定レンズ６０を透過した光を凹面鏡３２に対して垂直に入射させると、入射した光と同じ光路を通り（オートコリメーション状態）、再び被測定レンズ６０を透過し、集光レンズ２８を透過して平行光となる。

この平行光は、ハーフミラー２３で一部が反射され、残りは透過する。ハーフミラー２３で反射された光は、その光路上に配置された集光レンズ２６によって集光されて、絞り２７を通って積分球４１内に入射する。積分球４１に入射した光は、その内面に配置されたフォトダイオード４２によって光量が電流に変換され、この電流値を電流計４３で測定することによって、被測定レンズ６０を透過した光の光量を測定することができる。

被測定レンズ６０を再び透過した光のうち、ハーフミラー２３及び基準平面板３１を透過した光は、ハーフミラー２２で一部が反射され、残りは透過する。ハーフミラー２２で反射された光は、集光レンズ２５によって集光されて、干渉縞観察カメラ５１に入射する。この干渉縞観察カメラ５１には、基準平面板３１により反射された後にハーフミラー２２で反射された光も入射しており、被測定レンズ６０を透過した光との干渉縞が干渉縞観察カメラ５１に接続されたモニター５２で観察可能である。干渉縞観察カメラ５１には、アライメントのための基準画像データがあらかじめ保存されており、このデータに上記干渉縞の画像データを重ねてモニター５２に表示し、これを観察することにより、被測定レンズ６０のアライメントを行うことができる。

本発明においては、図３に示す装置を用いて被測定レンズ６０の干渉縞解析を行うことができる。この装置は、図２のモニター５２に代えて干渉縞解析ユニット５３を配置している。さらに、干渉縞解析ユニット５３には基準平面板３１の姿勢を変更可能な保持部５４が接続されている。なお、モニター５２と干渉縞解析ユニット５３を同時に干渉縞観察カメラ５１に接続しておき、測定内容に応じてモニター５２と干渉縞解析ユニット５３を同時に使用することもできる。

本発明による透過率の測定動作について説明する。
（参照光の光量測定方法）
参照光の光量の測定（図１）前に、絞り２９の位置設定と凹面鏡３２のアライメントを行う。絞り２９は、集光レンズ２８で集光されるＮＡ₁の光２４ａを被測定レンズ６０の有効径に対応するＮＡ₂の光２４ｂとなるように光軸方向に移動する（有限光生成ステップ）。絞り２９の位置を固定し、集光レンズ２８の焦点位置が凹面鏡３２の曲率中心に一致する（オートコリメーション状態）ように凹面鏡３２をその光軸方向に移動して位置を設定する（参照光オートコリメーションステップ）。凹面鏡３２のアライメントは、基準平面板３１における反射光と参照光とによる干渉縞をモニター５２で観察しながら、凹面鏡３２の保持部（図示せず）を制御して凹面鏡３２の姿勢を調整し、その光軸方向に移動して行う。モニター５２には、干渉縞観察カメラ５１にあらかじめ保存されている基準画像データと、干渉縞の画像データとを重ねて表示することができる。アライメントができていない場合には、これらの画像データはモアレ縞が生じるが、凹面鏡３２の姿勢を調整し、モアレ縞画像の縞の周期を最大としてモアレ縞が現れなくする（ワンカラー）ことによりアライメントを完了する。このように干渉縞を利用してアライメントを行うことにより、高精度に半導体レーザ１０からの出射光に対するアライメント（垂直出し）を行うこ
とができる。

以上のようにアライメントされた凹面鏡３２における参照光を積分球４１内に取り込み、これをフォトダイオード４２により電流に変換することによりオートコリメーション状態の参照光の光量に対応する電流値を測定することができる。

（測定光の光量測定方法）
図２に示すように、被測定レンズ６０を絞り２９と凹面鏡３２の間に配置して、測定光の光量を測定する前に、絞り２９の位置設定、被測定レンズ６０および凹面鏡３２のアライメントを行う。
絞り２９は、集光レンズ２８で集光されるＮＡ₁の光２４ａを被測定レンズ６０の有効径に対応するＮＡ₂の光２４ｂとなるように光軸方向に移動する（有限光生成ステップ）。集光レンズ２８で集光されるＮＡ₁の光２４ａは、絞り２９を通過することにより被測定レンズ６０の有効径に対応するＮＡ₂の光２４ｂとなり、被測定レンズ６０に入射する。被測定レンズ６０から出射するＮＡ₃の光２４ｃの焦点位置が凹面鏡３２の曲率中心に一致する（オートコリメーション状態）ように凹面鏡３２をその光軸方向に移動する（測定光オートコリメーションステップ）。凹面鏡３２のアライメントは、参照光の光量測定と同様の操作で行う。
被測定レンズ６０のアライメントは、位置設定した絞り２９とアライメントされた凹面鏡３２を固定して、基準平面板３１における反射光と被測定レンズ６０の透過光とによる干渉縞をモニター５２で観察しながら、被測定レンズ６０の保持部（図示せず）を制御して被測定レンズ６０の姿勢を調整して行う。モニター５２には、干渉縞観察カメラ５１にあらかじめ保存されている基準画像データと、干渉縞の画像データとを重ねて表示することができる。アライメントができていない場合には、これらの画像データによりモアレ縞が生じるが、被測定レンズ６０の姿勢を調整し、モアレ縞画像の縞の周期を最大としてモアレ縞が現れなくする（ワンカラーにする）ことによりアライメントを完了する。このように干渉縞を利用してアライメントを行うことにより、半導体レーザ１０からの出射光に対する被測定レンズ６０のアライメント（垂直出し）を高精度に行うことができる。

（被測定レンズ６０を透過した光の光量の測定）
以上のようにアライメントされた被測定レンズ６０を透過して凹面鏡３２で反射し、再び被測定レンズ６０を透過し、集光レンズ２８を透過して平行光になった光を積分球４１内に取り込み、これをフォトダイオード４２により電流に変換することによりオートコリメーション状態の測定光の光量に対応する電流値を測定することができる。

（透過率の算出）
被測定レンズ６０の透過率の算出は、演算部５３ａ（図３参照）内にあらかじめ記憶された演算手段によって、演算部５３ａ内のメモリに記憶された、集光レンズにより集光されて絞りを通過して被測定レンズを透過し、凹面鏡で反射されて再び被測定レンズと集光レンズを透過する光（測定光）の光量と、集光レンズにより集光されて絞りを通過して凹面鏡で反射される光（参照光）の光量とにもとづいて、演算して被測定レンズ６０の透過率を算出することができる。

（被測定レンズ６０の干渉縞解析）
被測定レンズ６０の干渉縞解析を行う場合を図３に示す。干渉縞観察カメラ５１に干渉縞解析ユニット５３を接続する。すると、モニター５３ｄに現在の被測定レンズ６０の姿勢を示す数値データが表示される。操作者は、入力部５３ｂにて数値データを入力し、その数値データに基づいて指示部５３ｃから基準平面板３１の保持部５４に指示がされ、この保持部５４が作動して被測定レンズ６０が所定の姿勢をとるように調整する。また、観察される干渉縞は干渉縞観察カメラ５１に入力され、干渉縞観察カメラ５１から得られる干渉縞画像データに基づいて干渉縞解析ユニット５３にて時間的縞解析や空間的縞解析を同時に行い、被測定レンズ６０の光学性能を算出し、モニター５３ｄに表示することができる。
なお、干渉縞解析に必要な被測定レンズ６０の姿勢情報をあらかじめ干渉縞解析ユニット５３内の記憶部（図示せず）に保存しておいて、操作者による干渉縞解析開始の指示により自動的にモニター５３ｄに姿勢情報を出力して干渉縞解析を行うこともできる。

本実施形態の変形例について図４を参照しつつ説明する。この例においては、図２においてハーフミラー２２とハーフミラー２３との間に配置された基準平面板３１に代えて、半導体レーザ１０から入射してハーフミラー２２で反射される光の進行方向にミラー３４を配置してある。このような構成とすると、半導体レーザ１０からハーフミラー２２に入射する光は、一部は透過してハーフミラー２３、集光レンズ２８、絞り２９を経て被測定レンズ６０へ向かう。そして、ハーフミラー２２に入射する残りの光は、反射してミラー３４へ向かう。

被測定レンズ６０を透過した光は、凹面鏡３２で反射されて再び被測定レンズ６０を透過し、一部はハーフミラー２３で反射して集光レンズ２６、絞り２７を経て積分球４１に入射し、ハーフミラー２３を透過した光の一部はハーフミラー２２で反射されて集光レンズ２５を経て干渉縞観察カメラ５１に入射する。一方、ミラー３４では入射光がほとんど反射され、ハーフミラー２２へもどる。この光がハーフミラー２２を透過すると集光レンズ２５で集束されて干渉縞観察カメラ５１に入射する。

本発明の実施形態に係る反射光量の測定を行うときの装置構成を示す図である。 本発明の実施形態に係る透過率の測定を行うときの装置構成を示す図である。 本発明の実施形態に係る干渉縞解析を行うときの装置構成を示す図である。 本発明の実施形態の変形例における装置構成を示す図である。 従来の透過率測定方法における装置構成を示す図である。 従来の透過率測定方法における装置構成を示す図である。

符号の説明

１０ 半導体レーザ
２１ コリメータレンズ
２２ ハーフミラー
２３ ハーフミラー
２４ａ ＮＡ₁の光
２４ｂ ＮＡ₂の光
２４ｃ ＮＡ₃の光
２５ 集光レンズ
２６ 集光レンズ
２７ 絞り
２８ 集光レンズ
２９ 絞り
３１ 基準平面板
３１ａ 参照面
３２ 凹面鏡
３４ ミラー
４０ 光量測定部
４１ 積分球
４２ フォトダイオード
５０ 干渉縞観察部
５１ 干渉縞観察カメラ
５２ モニター
５３ 干渉縞解析ユニット
５３ａ 演算部
５３ｂ 入力部
５３ｃ 指示部
５３ｄ モニター
５４ 保持部
６０ 被測定レンズ

Claims (9)

1. 平行光を集光レンズにより集光し、絞りにより被測定レンズの有効径に対応するＮＡの光の有限光とする有限光生成ステップと、
   前記有限光の焦点位置に凹面鏡の曲率中心を合わせる参照光オートコリメーションステップと、
   前記有限光を前記凹面鏡に照射し、この凹面鏡で反射され、前記集光レンズを再び透過することにより平行光化された反射光の光量を測定する反射光量測定ステップと、
   前記有限光を前記被測定レンズに透過させ、前記被測定レンズを透過した測定光の焦点位置に凹面鏡の曲率中心を合わせる測定光オートコリメーションステップと、
   前記集光レンズ及び前記被測定レンズを透過し、凹面鏡で反射し、前記被測定レンズ及び前記集光レンズを再び透過した後の平行光の光量を測定する透過光量測定ステップと、
   前記反射光量測定ステップで測定した光量と、前記透過光量測定ステップで測定した光量とを用いて前記被測定レンズの透過率を算出する透過率算出ステップと、
   を有することを特徴とする有限系光学素子の透過率測定方法。
2. 前記参照光オートコリメーションステップは、
   基準平面板によって反射された光と、前記基準平面板を透過した後に集光レンズを透過し、凹面鏡によって反射され、再び前記集光レンズ及び前記基準平面板を透過した光と、によって得られる干渉縞を観察することによって前記凹面鏡のアライメントを行う凹面鏡アライメントステップを含み、
   前記測定光オートコリメーションステップは、
   基準平面板によって反射された光と、前記基準平面板を透過した後に集光レンズ及び被測定レンズを透過し、凹面鏡によって反射され、再び前記被測定レンズ、前記集光レンズ及び前記基準平面板を透過した光と、によって得られる干渉縞を観察することによって前記被測定レンズのアライメントを行う被測定レンズアライメントステップを含む、請求項１記載の有限系光学素子の透過率測定方法。
3. 前記透過光量測定ステップにおいては、光量を電流値として測定する請求項１又は請求項２記載の有限系光学素子の透過率測定方法。
4. 積分球で集められる光を光電変換素子によって電流に変換する請求項１から３のいずれか１項記載の有限系光学素子の透過率測定方法。
5. 前記光電変換素子は、フォトダイオードである請求項１から４のいずれか１項記載の有限系光学素子の透過率測定方法。
6. 平行光が入射される集光レンズと、
   前記集光レンズにより集光された光を被測定レンズの有効径に対応するＮＡの光とする絞りと、
   前記集光レンズの光軸方向に移動可能であって、前記集光レンズを透過し、被測定レンズの有効径に対応する光の焦点位置に、曲率中心を合わせる凹面鏡と、
   前記凹面鏡で反射され、再び集光レンズに入射して平行光となった光の光量を測定する光量測定部と、
   基準平面板によって反射された光と、前記基準平面板を透過した後に被測定レンズを透過し、凹面鏡によって反射され、再び前記被測定レンズ及び前記基準平面板を透過した光と、によって得られる干渉縞を観察する干渉縞観察部と、
   を有することを特徴とする有限系光学素子の透過率測定装置。
7. 前記光量測定部においては、光量を電流値として測定する請求項６記載の有限系光学素子の透過率測定装置。
8. 前記光量の測定は、光を積分球で集めて光電変換素子によってその光量を電流に変換することによって行う請求項６又は請求項７記載の有限系光学素子の透過率測定装置。
9. 前記光電変換素子は、フォトダイオードである請求項６から８のいずれか１項記載の有限系光学素子の透過率測定装置。

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