JP2006038488A5

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Publication number: JP2006038488A5
Application number: JP2004214676A
Authority: JP
Filing date: 2004-07-22
Publication date: 2007-08-23
Anticipated expiration: 2024-07-22

Claims

被検光学系に対して光を入射させる入射光学系と、
前記被検光学系の光軸上に設けられ、前記被検光学系に前記光を少なくとも１回往復させる往復光学系と、
前記被検光学系に往復した被検光により現れる点像を強調拡大する前記被検光学系の偏心調整用の点像拡大光学系と、
前記被検光学系に往復した前記被検光と参照光との干渉により前記被検光学系の透過波面収差を反映した干渉縞を生成する前記被検光学系のレンズ調整用の干渉計と、
前記点像拡大光学系による前記点像の強調拡大と前記干渉計による前記干渉縞の生成とを切り替える光学系切替機構と、
を具備したことを特徴とするレンズ組立支援装置。
被検光学系に対して光を入射させる入射光学系と、
前記被検光学系の光軸上に設けられ、前記被検光学系に前記光を少なくとも１回往復させる往復光学系と、
前記往復光学系によって前記被検光学系に往復した被検光により現れる点像を強調拡大する点像拡大光学系と、
前記往復光学系によって前記被検光学系に往復した被検光と参照光との干渉により前記被検光学系の透過波面収差を反映した干渉縞を生成する干渉計と、
前記点像拡大光学系による前記点像の強調拡大又は前記干渉計による前記干渉縞の生成に切り替える光学系切替機構と、
前記干渉計により生成された前記干渉縞の画像データに基づいて前記被検光学系の透過波面収差を求める解析装置と、
を具備したことを特徴とするレンズ組立支援装置。
前記光学系切替機構は、前記入射光学系と前記往復光学系と前記点像拡大光学系とを有する前記被検光学系の偏心調整用の第１の調整光学系と、前記入射光学系と前記往復光学系と前記干渉計とを有する前記被検光学系のレンズ調整用の第２の調整光学系とに切り替えることを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ組立支援装置。
前記光学系切替機構は、前記干渉計の光軸を遮光可能な遮光機構と、
前記遮光機構により前記干渉計の光軸を遮光している状態で、前記点像拡大光学系の光軸から抜き出され、前記遮光機構により前記干渉計の光軸を遮光していない状態で、前記点像拡大光学系の光軸上に挿入されて前記干渉縞を前記点像拡大光学系に伝送させる光学素子と、
を有することを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ組立支援装置。
前記遮光機構は、前記点像拡大光学系により前記点像を強調拡大するときに前記干渉計の光軸を遮光し、前記干渉計により前記干渉縞を生成するときに前記干渉計の光軸から抜き出されることを特徴とする請求項４記載のレンズ組立支援装置。
前記遮光機構は、前記干渉計の光軸に対して挿脱可能なシャッターを有することを特徴とする請求項４記載のレンズ組立支援装置。
前記点像拡大光学系は、前記被検光学系に往復した前記被検光による前記点像を撮像する撮像素子を有し、
前記光学素子は、前記点像拡大光学系の光軸上に挿入されることにより前記被検光学系の瞳位置と前記撮像素子とを共役関係にすることを特徴とする請求項４記載のレンズ組立支援装置。
前記往復光学系は、前記入射光学系により入射されて前記被検光学系を透過した前記光の光路上に配置され、前記被検光学系を透過した前記光を反射して再び前記被検光学系に透過させる球面ミラーを有することを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ組立支援装置。
前記球面ミラーは、前記被検光学系の焦点位置を中心とした曲率を有する凹球面又は凸球面のミラーである特徴とする請求項８記載のレンズ組立支援装置。
前記往復光学系は、前記入射光学系により入射されて前記被検光学系を透過した前記光の光路上に配置され、前記被検光学系を透過した前記光を反射して再び前記被検光学系に透過させる球面ミラーと、
前記球面ミラーに対して前記被検光学系を介して対向配置され、前記球面ミラーで反射して前記被検光学系を透過した前記光の一部を反射して再び前記被検光学系に透過させる一部反射ミラーと、
を有することを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ組立支援装置。
前記点像拡大光学系は、前記被検光学系に往復した前記被検光による前記点像を拡大投影する結像光学系と、
前記結像光学系により拡大投影された前記点像を撮像する撮像素子と、
を有することを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ組立支援装置。
前記入射光学系は、レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力された前記レーザ光を導く光ファイバーと、
前記光ファイバーから出射された前記レーザ光をコリメートするコリメートレンズと、を有することを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ組立支援装置。
前記干渉計は、前記入射光学系からの前記光を前記参照光として反射する参照平面ミラーと、
前記参照平面ミラーを前記光の光軸方向に移動させる移動素子と、
を有することを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ組立支援装置。
前記被検光学系及び前記球面ミラーを一体的に前記被検光学系の瞳位置を中心に傾斜させる傾斜機構を有することを特徴とする請求項１２記載のレンズ組立支援装置。
前記解析装置は、前記拡大光学系により強調拡大された前記点像の強度分布を解析することを特徴とする請求項２記載のレンズ組立支援装置。
前記干渉計は、前記入射光学系からの前記光を前記参照光として反射する参照平面ミラーと、前記参照平面ミラーを前記光の光軸方向に移動させる移動素子とを有し、
前記解析装置は、前記参照平面ミラーの移動により得られる各位相の異なる複数の前記干渉縞の像から前記前記被検光学系の前記透過波面収差を求める、
ことを特徴とする請求項２記載のレンズ組立支援装置。
前記傾斜機構により前記被検光学系及び前記球面ミラーを一体的に前記被検光学系の瞳位置を中心に傾斜させた状態で、前記解析装置は、前記被検光学系の光軸外での前記被検光学系の偏心コマ収差を求め、又は前記被検光学系の光軸外での透過波面収差を求める、
ことを特徴とする請求項１４記載のレンズ組立支援装置。
前記被検光学系は、複数のレンズを同一光軸上に配置してなることを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ組立支援装置。