JPS62126305A - 表面形状測定方法および装置 - Google Patents
表面形状測定方法および装置Info
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- JPS62126305A JPS62126305A JP26510085A JP26510085A JPS62126305A JP S62126305 A JPS62126305 A JP S62126305A JP 26510085 A JP26510085 A JP 26510085A JP 26510085 A JP26510085 A JP 26510085A JP S62126305 A JPS62126305 A JP S62126305A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明に、被測定物の表面形状、特に非球面の測定に好
適な表面形状測定方法および装置に関する。
適な表面形状測定方法および装置に関する。
レンズ、鏡等の光学部品の表面形状（平面１球面、非球
面）全測定する方法として、干渉縞像から表面形状を求
める方法が広く行われている。このような干渉装置とし
ては、フィゾー干渉計、トワイマン９グリーン干渉計、
シェアリング干渉計等種々のものが知られている〃・、
そのいずれも被測定物の被検面全体を一度Ｋ ｆｉｌ１
足できる利点を有する反面、被検面にて反射し戻ってく
る元か干渉計観測部に到着しないと、干渉像か得られず
、測定不能になるという不都合全有する。第７図にフィ
ゾー型レーザー干渉計を用いて球面を測定する場合の例
を示す。Ｈｅ −Ｎ’ｅ気体レーザー等のレーザー光源
１から発射された波長λの単色光からなるレーザー元に
レンズ２に１９発散元となり、ビームスプリッタ３に当
って反射し、コリメータレンズ４によって再び平行光と
された後、集光レンズ５を経て被測定物８の被検面Ｓｔ
−照射する。
面）全測定する方法として、干渉縞像から表面形状を求
める方法が広く行われている。このような干渉装置とし
ては、フィゾー干渉計、トワイマン９グリーン干渉計、
シェアリング干渉計等種々のものが知られている〃・、
そのいずれも被測定物の被検面全体を一度Ｋ ｆｉｌ１
足できる利点を有する反面、被検面にて反射し戻ってく
る元か干渉計観測部に到着しないと、干渉像か得られず
、測定不能になるという不都合全有する。第７図にフィ
ゾー型レーザー干渉計を用いて球面を測定する場合の例
を示す。Ｈｅ −Ｎ’ｅ気体レーザー等のレーザー光源
１から発射された波長λの単色光からなるレーザー元に
レンズ２に１９発散元となり、ビームスプリッタ３に当
って反射し、コリメータレンズ４によって再び平行光と
された後、集光レンズ５を経て被測定物８の被検面Ｓｔ
−照射する。
この時、その光の一部は集光レンズ５の参照面で反射し
、ま几他の一部はその筐ま集光レンズ５を透過し、被検
面Ｓで反射する。これらの反射光の波面はそれぞれ参照
面と被検面Ｓの形態に応じた形状となっている。そして
、これら反射光は同−光路を戻ることにより互いに重ね
合わされ、コリメータレンズ４．ビームスプリッタ３を
通過し、結像レンズ６によってＣＣＤ等の撮像装置７の
撮像面に粘陳されることにより、両反射元の相互干渉に
基つぐ干渉縞を形成する。
、ま几他の一部はその筐ま集光レンズ５を透過し、被検
面Ｓで反射する。これらの反射光の波面はそれぞれ参照
面と被検面Ｓの形態に応じた形状となっている。そして
、これら反射光は同−光路を戻ることにより互いに重ね
合わされ、コリメータレンズ４．ビームスプリッタ３を
通過し、結像レンズ６によってＣＣＤ等の撮像装置７の
撮像面に粘陳されることにより、両反射元の相互干渉に
基つぐ干渉縞を形成する。
ところで、被検面Ｓが球面の場合、第８図に示すように
集光レンズ５の焦光点Ｏと被検面Ｓの曲率中Ｉｂとが一
致するように被測定物８を設置すれば、被検１ｆＯ８で
反射した元は同−光路を逆進し、被検面Ｓ全面の干渉像
が得られる。しかし、第９図に示すように被測デ物８′
の被検面Ｓ′が非球面の場合、例えばＢ方向から来た元
は被検面Ｓ′にほぼ垂直に入射し、Ｂ方向へ反射される
が、入方向から来た元はＡ′方向へ反射され干渉計外へ
出てしまう。このため、第１Ｏ図に示すように観測でき
る像は、実線で示す試料外径に対し中心部の干渉縞だけ
となり、全面の測定が困難になるという不具合がめった
。
集光レンズ５の焦光点Ｏと被検面Ｓの曲率中Ｉｂとが一
致するように被測定物８を設置すれば、被検１ｆＯ８で
反射した元は同−光路を逆進し、被検面Ｓ全面の干渉像
が得られる。しかし、第９図に示すように被測デ物８′
の被検面Ｓ′が非球面の場合、例えばＢ方向から来た元
は被検面Ｓ′にほぼ垂直に入射し、Ｂ方向へ反射される
が、入方向から来た元はＡ′方向へ反射され干渉計外へ
出てしまう。このため、第１Ｏ図に示すように観測でき
る像は、実線で示す試料外径に対し中心部の干渉縞だけ
となり、全面の測定が困難になるという不具合がめった
。
本発明に係る表面形状測定方法および装置は上述した工
うな問題を解決すべくなされたもので、その目的は被検
面、特に非球面からなる被検面の全面を確実に測定し得
るようにフることにるる。
うな問題を解決すべくなされたもので、その目的は被検
面、特に非球面からなる被検面の全面を確実に測定し得
るようにフることにるる。
そのため、本発明に係る表面形状測定方法は、被測定物
を干渉装置の光軸に沿って移動させ、該固定物の被検面
を径方向に分割側足し、各部分々々の測定データを互い
につなぎ合わせることにエフ被検面全体の測定テークを
得るようにしｋものである。
を干渉装置の光軸に沿って移動させ、該固定物の被検面
を径方向に分割側足し、各部分々々の測定データを互い
につなぎ合わせることにエフ被検面全体の測定テークを
得るようにしｋものである。
ま次、本発明に係る干渉装置ｉは、被測定物を干渉装置
の光軸に沿って移動させる装置と、コンピュータとを備
え、前記移動装置により前記被測定物を移動させてその
被検面を径方向に分割測定し、各部分々々の測定テーク
を前記コンピュータにエフ互いにつなぎ合わせて被検面
全体の測定データを得る工うにしたものでるる。
の光軸に沿って移動させる装置と、コンピュータとを備
え、前記移動装置により前記被測定物を移動させてその
被検面を径方向に分割測定し、各部分々々の測定テーク
を前記コンピュータにエフ互いにつなぎ合わせて被検面
全体の測定データを得る工うにしたものでるる。
本発明においては被検面ヲ佳方向に複数個の区画に分割
し、その分割された区画毎に測定し、しかる後各部分々
々の測定データを互いにつなぎ合わせて全体の測定デー
タを得るようにしているので、被検面が非球面であって
も被検面全体の測定が可能である。
し、その分割された区画毎に測定し、しかる後各部分々
々の測定データを互いにつなぎ合わせて全体の測定デー
タを得るようにしているので、被検面が非球面であって
も被検面全体の測定が可能である。
以下、本発明を図面に示す冥施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明をシェアリング干渉計に適用し几場合の
一冥施例を示す光学系の図である。シェアリング干渉計
は、基準参照面を用いず、被測定波面を２分し、これら
を互いに横にずらしくシェア）て自分自身で干渉を起こ
させる干渉計で、参照用原器を必要とせず、また側足レ
ンジを広くとれるという特徴を有し、特にレンズ、ｆＲ
等の比較的収差の大きい光学部品の球面、非球面の測定
に有利とされる。図中、１０は被測定物８全干渉計の光
軸り方向に移動させる移動装置、１１はビームスプリッ
タ、１２．１３は全反射鏡、１４は全反射鏡１２金光軸
方向に移動させるピエゾ素子等の駆動装置、１５はリレ
ーレンズ、１６は結像し：ｙス、１７６１ Ａ／Ｄ変換
器、１８はコンピュータである。なお、図中第７図と同
一構成部材のものに対しては同一符号を以って示す。全
反射鏡１３はビームスプリッタ１１によって分割され次
２つの元来のうち該スプリッタ１１により反射した反射
光に横すらし全与えるもので、これに入射する反射光の
中心を通る九腺に対して直交しておらず、この直交する
方向から微小角度θだけ傾いており、ま次適宜な傾斜機
構（図示せず）によって保持されることにより直交する
２方向に傾斜される工うに構成されている。このような
構成自体に従来のシェアリング干渉計と何ら異なる点に
ない。コンピュータ１８は移Ｑ）装置１０の制御を行い
、またその移動Ｉ！−を読み、′１比撮像装置７に結像
した干渉像を読み込み解析する。
一冥施例を示す光学系の図である。シェアリング干渉計
は、基準参照面を用いず、被測定波面を２分し、これら
を互いに横にずらしくシェア）て自分自身で干渉を起こ
させる干渉計で、参照用原器を必要とせず、また側足レ
ンジを広くとれるという特徴を有し、特にレンズ、ｆＲ
等の比較的収差の大きい光学部品の球面、非球面の測定
に有利とされる。図中、１０は被測定物８全干渉計の光
軸り方向に移動させる移動装置、１１はビームスプリッ
タ、１２．１３は全反射鏡、１４は全反射鏡１２金光軸
方向に移動させるピエゾ素子等の駆動装置、１５はリレ
ーレンズ、１６は結像し：ｙス、１７６１ Ａ／Ｄ変換
器、１８はコンピュータである。なお、図中第７図と同
一構成部材のものに対しては同一符号を以って示す。全
反射鏡１３はビームスプリッタ１１によって分割され次
２つの元来のうち該スプリッタ１１により反射した反射
光に横すらし全与えるもので、これに入射する反射光の
中心を通る九腺に対して直交しておらず、この直交する
方向から微小角度θだけ傾いており、ま次適宜な傾斜機
構（図示せず）によって保持されることにより直交する
２方向に傾斜される工うに構成されている。このような
構成自体に従来のシェアリング干渉計と何ら異なる点に
ない。コンピュータ１８は移Ｑ）装置１０の制御を行い
、またその移動Ｉ！−を読み、′１比撮像装置７に結像
した干渉像を読み込み解析する。
光源１から出几元は発散レンズ２およびビームスプリッ
タ３を経てコリメータレンズ４を透過し、光軸りと平行
な平行光線とされ友後、集光レンズ５によって集光され
、被検面Ｓｅ照射する。ここで反射した元は再び集光レ
ンズ５．コリメータレンズ４お工びビームスグリツタ３
を透過し、ＪＲ２のビームスグリツタ１１に工って２分
され、異なった光路奮進む各光束に全反射ｔＡ１２．１
３の面上にそれぞれ収束する。そして、これらの反射鏡
１２．１３Ｔ反損した両元来はビームスプリッタ１１に
戻り、ここで再び重ね合わされる。この時全反射鏡１３
は前述した通り微小角度θ傾いている之め、全反射鏡１
３に実線で示す如く入射した光束は、該反射鏡にて反射
すると、その反射光束は破線で示す如く進み、入射時の
光束と倣小量ずれることになる。したがって、各全反射
鏡１２゜１３にて反射しビームスプリッタ１１に戻り、
再び重ね合わされ几両元束は横方向に微小瀘Δｄ（シェ
ア量）だけずれ、干渉を起す。そして、重ね合わされ念
光束はリレーレンズ１５．結像レンズ１６を経て撮像装
置７の撮像面に結像され干渉縞を形成する。この干渉縞
は画像情報として電気信号に変換された後、Ａ／Ｄ変換
器１７に工ってデジタル信号に変換され、コンピュータ
１８に送られる。コンピュータ１８は画像情報エリ干渉
計固有の残留収差を取り除き、縞解析を行うことで被検
面Ｓの面形状が測定される。
タ３を経てコリメータレンズ４を透過し、光軸りと平行
な平行光線とされ友後、集光レンズ５によって集光され
、被検面Ｓｅ照射する。ここで反射した元は再び集光レ
ンズ５．コリメータレンズ４お工びビームスグリツタ３
を透過し、ＪＲ２のビームスグリツタ１１に工って２分
され、異なった光路奮進む各光束に全反射ｔＡ１２．１
３の面上にそれぞれ収束する。そして、これらの反射鏡
１２．１３Ｔ反損した両元来はビームスプリッタ１１に
戻り、ここで再び重ね合わされる。この時全反射鏡１３
は前述した通り微小角度θ傾いている之め、全反射鏡１
３に実線で示す如く入射した光束は、該反射鏡にて反射
すると、その反射光束は破線で示す如く進み、入射時の
光束と倣小量ずれることになる。したがって、各全反射
鏡１２゜１３にて反射しビームスプリッタ１１に戻り、
再び重ね合わされ几両元束は横方向に微小瀘Δｄ（シェ
ア量）だけずれ、干渉を起す。そして、重ね合わされ念
光束はリレーレンズ１５．結像レンズ１６を経て撮像装
置７の撮像面に結像され干渉縞を形成する。この干渉縞
は画像情報として電気信号に変換された後、Ａ／Ｄ変換
器１７に工ってデジタル信号に変換され、コンピュータ
１８に送られる。コンピュータ１８は画像情報エリ干渉
計固有の残留収差を取り除き、縞解析を行うことで被検
面Ｓの面形状が測定される。
ここで、シェアリング干渉計４干渉計の一種でろる以上
、観測系に元が到達しなければ、被検面Ｓの測定が不可
能になる点で例外ではない。また、第２図に示すように
中心付近の平均半径かで１ 。
、観測系に元が到達しなければ、被検面Ｓの測定が不可
能になる点で例外ではない。また、第２図に示すように
中心付近の平均半径かで１ 。
周辺付近の平均半径がｒ２の非球面レンズη・らなる被
測定物８′を測定する場合、実線に示す位置、すなわち
集光レンズ５の焦光点０と、被測定物８′の中心付近の
平均球面の中心とが一致する位置に該被測定物８′を設
置する。この時観測できる像は第９図および第１θ図に
おいて既述し７′ｊ通り試料外径に対して中心部の干渉
縞だけとなり、被検面Ｓ′全全面亘る測定が困難になる
ものである。
測定物８′を測定する場合、実線に示す位置、すなわち
集光レンズ５の焦光点０と、被測定物８′の中心付近の
平均球面の中心とが一致する位置に該被測定物８′を設
置する。この時観測できる像は第９図および第１θ図に
おいて既述し７′ｊ通り試料外径に対して中心部の干渉
縞だけとなり、被検面Ｓ′全全面亘る測定が困難になる
ものである。
そこで、本発明は被測定物８′を光軸方向に移動させ、
被検面Ｓ′を径方向に部分的に測定し、各部分々々の測
定データを互いにつなぎ合わせることにエフ被検面全体
の測定データ全得るようにし友ものである。
被検面Ｓ′を径方向に部分的に測定し、各部分々々の測
定データを互いにつなぎ合わせることにエフ被検面全体
の測定データ全得るようにし友ものである。
すなわち、先ず第２図実線位置（＠９図における位置）
にて被検面Ｓ′を測定する。この時の干渉縞は第１Ｏ図
に示す中心部付近のみの干渉縞となり、これ全画像情報
に変換してコンピュータ１８に取り込む。
にて被検面Ｓ′を測定する。この時の干渉縞は第１Ｏ図
に示す中心部付近のみの干渉縞となり、これ全画像情報
に変換してコンピュータ１８に取り込む。
次に、第２図破線位置、すなわち焦光点０と、被検面°
Ｓ′の周辺付近の平均球面の中心とが一致する位置に被
測定物８′を移動、＠置する。この時、被検面Ｓ′に入
射する元は、第３図に示すように周辺付近で反射した九
走Ｃ，Ｄのみが、入射する光束とはぼ同一経路をたどっ
て戻り、中心付近で反射し友光束Ｅは干渉計外へ出てし
まう。し次がって、撮像装＠７に結像される干渉像は第
４図に示す工うにドーナツ状をなす周辺部のみの干渉縞
となり、これを画像情報に変換してコンピュータ１８に
取り込む。
Ｓ′の周辺付近の平均球面の中心とが一致する位置に被
測定物８′を移動、＠置する。この時、被検面Ｓ′に入
射する元は、第３図に示すように周辺付近で反射した九
走Ｃ，Ｄのみが、入射する光束とはぼ同一経路をたどっ
て戻り、中心付近で反射し友光束Ｅは干渉計外へ出てし
まう。し次がって、撮像装＠７に結像される干渉像は第
４図に示す工うにドーナツ状をなす周辺部のみの干渉縞
となり、これを画像情報に変換してコンピュータ１８に
取り込む。
また、第２図一点鎖線位置、すなわちコリメータレンズ
５の焦点位ｉ！Ｏに被測定物８′を移動し、ｒｌ＋ｒ！
全寮測する。
５の焦点位ｉ！Ｏに被測定物８′を移動し、ｒｌ＋ｒ！
全寮測する。
以上の測定データより被検面Ｓ′の中心部付近おＬび＠
１辺部付近の形状をコンピュータ１Ｂで算出し、それ全
圧いにつなぎ合わせると、被検面Ｓ′全全体形状を測星
することができる。
１辺部付近の形状をコンピュータ１Ｂで算出し、それ全
圧いにつなぎ合わせると、被検面Ｓ′全全体形状を測星
することができる。
この場合、第５図お１び第６図に示す１うに一般の非球
面の場合には、Ｍ：、軸力向に被測定物８′をＪ１″１
次移動させ、測定区画を増やせばよい。
面の場合には、Ｍ：、軸力向に被測定物８′をＪ１″１
次移動させ、測定区画を増やせばよい。
すなわち、先ず中心部ａの干渉縞像を測定してそのデー
タをコンピュータ１Ｂに取９込む。′ｔＪ？、に、被測
定物８″を光軸方向に移動し、中心部ａの外側の輪状区
画すの干渉縞像全測定してそのデータをコンピュータ１
Ｂに取り込む。このｍハ中心部ａと輪状区画すは若干オ
ーバーラツプした部分金持つようにする。また、この時
の被測定物８′の移動量を読み取る。以下、同様に被６
１１１定物８′を移動させて輪状区画ｃ、ｄ、ｅの干渉
縞保全順次測定し、そのデータをコンピュータ１８に取
り込む。
タをコンピュータ１Ｂに取９込む。′ｔＪ？、に、被測
定物８″を光軸方向に移動し、中心部ａの外側の輪状区
画すの干渉縞像全測定してそのデータをコンピュータ１
Ｂに取り込む。このｍハ中心部ａと輪状区画すは若干オ
ーバーラツプした部分金持つようにする。また、この時
の被測定物８′の移動量を読み取る。以下、同様に被６
１１１定物８′を移動させて輪状区画ｃ、ｄ、ｅの干渉
縞保全順次測定し、そのデータをコンピュータ１８に取
り込む。
干渉縞測定が終ったら、以上のデータをもとにコンピュ
ータ１８で、中心部ａお工び各輪状区画す、ｃ、ｄ、ｅ
毎に表面形状を算出する。そして、各データのオーバー
ラツプ部分と被測定物８′の移動量によジテータのつな
ぎ合わせ全行い、被検面Ｓ′全全面形状を得る。
ータ１８で、中心部ａお工び各輪状区画す、ｃ、ｄ、ｅ
毎に表面形状を算出する。そして、各データのオーバー
ラツプ部分と被測定物８′の移動量によジテータのつな
ぎ合わせ全行い、被検面Ｓ′全全面形状を得る。
［発明の効果〕
以上述べたように不発明に詠る表面形状測定方法お工ひ
装置ｋに、被測定物金光軸方向に移動させることに１９
、被検面全径方向に部分毎に測定し、各部分毎の測定デ
ータを互いにつなぎ合わせて被検面全体の形状金測定す
るようにしているので、従来の干渉測定では干渉計の光
路上不可能とされていた大きな変位１よを持つ非球面の
副足が可能となり、その効果は非常に大である。
装置ｋに、被測定物金光軸方向に移動させることに１９
、被検面全径方向に部分毎に測定し、各部分毎の測定デ
ータを互いにつなぎ合わせて被検面全体の形状金測定す
るようにしているので、従来の干渉測定では干渉計の光
路上不可能とされていた大きな変位１よを持つ非球面の
副足が可能となり、その効果は非常に大である。
第１図に本発明をシェアリング干渉針に適用した場合の
一実施例を示す図、第２図は非球面測定の場合の試料位
置を示す図、第３図μ被検面の中心部測定時の状態を示
す図、第４図は被検面周辺部の干渉縞像を示す図、第５
図および第６図は一般の非球面を有する被測定物の側面
図および正面図、第７図はフィゾー干渉計の従来例を示
す図、第８図は球面測定時の状態？示す図、ｖｇ９図は
非球面測定時の状Ｍを示す図、第１０図に非球面測定時
の干渉縞像を示す図である。 １・・・・レ−ｆ−７Ｙ［，３・・・・ビームスプリッ
タ、４・・・・コリメークレンズ、５・―・・集光レン
ズ、Ｉ・・・・撮像装置、８，８′・・・・被測定物、
１２．１３・・・・全反射鏡、１０魯拳・・移！ｌ＋７
］装置、１１＠１１４−ビームスプリッタ、１７・φ・
・Ａ／Ｄ変換器、１８ ・−・・コンピュータ、８・・
・壷被検面（球面）、Ｓ′ ・・・・被検面（非球面）
。 特昨出願人 京セラ株式会社
一実施例を示す図、第２図は非球面測定の場合の試料位
置を示す図、第３図μ被検面の中心部測定時の状態を示
す図、第４図は被検面周辺部の干渉縞像を示す図、第５
図および第６図は一般の非球面を有する被測定物の側面
図および正面図、第７図はフィゾー干渉計の従来例を示
す図、第８図は球面測定時の状態？示す図、ｖｇ９図は
非球面測定時の状Ｍを示す図、第１０図に非球面測定時
の干渉縞像を示す図である。 １・・・・レ−ｆ−７Ｙ［，３・・・・ビームスプリッ
タ、４・・・・コリメークレンズ、５・―・・集光レン
ズ、Ｉ・・・・撮像装置、８，８′・・・・被測定物、
１２．１３・・・・全反射鏡、１０魯拳・・移！ｌ＋７
］装置、１１＠１１４−ビームスプリッタ、１７・φ・
・Ａ／Ｄ変換器、１８ ・−・・コンピュータ、８・・
・壷被検面（球面）、Ｓ′ ・・・・被検面（非球面）
。 特昨出願人 京セラ株式会社
Claims (2)
- （１）被測定物を干渉装置の光軸に沿つて移動させ、該
測定物の被検面を径方向に分割測定し、各部分部分の測
定データを互いにつなぎ合わせることにより被検面全体
の測定データを得るようにしたことを特徴とする表面形
状測定方法。 - （２）被測定物を干渉装置の光軸に沿つて移動させる装
置と、コンピュータとを備え、前記移動装置により前記
被測定物を移動させてその被検面を径方向に分割測定し
、各部分々々の測定データを前記コンピュータにより互
いにつなぎ合わせて被検面全体の測定データを得るよう
にしたことを特徴とする干渉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26510085A JPS62126305A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 表面形状測定方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26510085A JPS62126305A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 表面形状測定方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62126305A true JPS62126305A (ja) | 1987-06-08 |
Family
ID=17412603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26510085A Pending JPS62126305A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 表面形状測定方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62126305A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5960379A (en) * | 1996-11-27 | 1999-09-28 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Method of and apparatus for measuring shape |
| JP2009288051A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Canon Inc | 測定方法 |
| JP2010122206A (ja) * | 2008-10-20 | 2010-06-03 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
| JP2010145184A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Canon Inc | 測定方法及び測定装置 |
| EP2228623A1 (en) | 2009-03-11 | 2010-09-15 | Fujinon Corporation | Three-dimensional shape measuring method and device |
| US20110242545A1 (en) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | Fujifilm Corporation | Aspheric surface measuring apparatus |
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-
1985
- 1985-11-27 JP JP26510085A patent/JPS62126305A/ja active Pending
Cited By (10)
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