JPS59157512A - 光学式位置検出装置 - Google Patents
光学式位置検出装置Info
- Publication number
- JPS59157512A JPS59157512A JP3236883A JP3236883A JPS59157512A JP S59157512 A JPS59157512 A JP S59157512A JP 3236883 A JP3236883 A JP 3236883A JP 3236883 A JP3236883 A JP 3236883A JP S59157512 A JPS59157512 A JP S59157512A
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- Japan
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- light
- polarizer
- lens
- polarization
- plane
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C3/00—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
- G01C3/10—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders using a parallactic triangle with variable angles and a base of fixed length in the observation station, e.g. in the instrument
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は対象物の前後方向への移動を検出する光学式
位置検出装置に関する。
位置検出装置に関する。
従来使用されているこの種の位置検出装置を第１図に示
す。発光源■から放射された光は、レンズ■により対象
物表面■にスポット光として集光される。そのスポット
の位置を一次元または二次元の位置検出素子（例えばＰ
ＳＤ）■を用いて該位置検出素子■上の位置として検知
し、その電気的信号を増幅部０．φ、処理部■により、
距離情報に変換し、表示部■により表示するものである
。
す。発光源■から放射された光は、レンズ■により対象
物表面■にスポット光として集光される。そのスポット
の位置を一次元または二次元の位置検出素子（例えばＰ
ＳＤ）■を用いて該位置検出素子■上の位置として検知
し、その電気的信号を増幅部０．φ、処理部■により、
距離情報に変換し、表示部■により表示するものである
。
ここで、対象物表面■に集光されたスポットは、レンズ
■により位置検出素子０表面のある位置（４）に集光さ
れるが、例えば対象物表面■が移動し破線で示される４
の位置に来た場合には、位置検出素子０表面上では郡の
位置に移動する事になる。
■により位置検出素子０表面のある位置（４）に集光さ
れるが、例えば対象物表面■が移動し破線で示される４
の位置に来た場合には、位置検出素子０表面上では郡の
位置に移動する事になる。
このスポット光の位置の変化を検出する事により、対象
物表面の位置を検出する装置である。しかし、この位置
検出装置の構成によると、対象物の表面状態が面の傾き
、凹凸、うねり等により変化すると、位置検出素子■に
入射する光量が極めて大きく変化するため増幅部■、（
６を構成するアンプのゲイン設定が困難であった。
物表面の位置を検出する装置である。しかし、この位置
検出装置の構成によると、対象物の表面状態が面の傾き
、凹凸、うねり等により変化すると、位置検出素子■に
入射する光量が極めて大きく変化するため増幅部■、（
６を構成するアンプのゲイン設定が困難であった。
例えば第２図ｆｂｌに示す如く投光軸■と受光軸［相］
のなす角度を２０度としたとき、対象物表面が±１０度
変化すると＠２図ｆａｔの如く受光量は約５ １０倍 の変化を生ずる。特に鏡面のような正反射光量
の多いものを対象として測定すると表面の傾きは大きな
影響を与えるのである。
のなす角度を２０度としたとき、対象物表面が±１０度
変化すると＠２図ｆａｔの如く受光量は約５ １０倍 の変化を生ずる。特に鏡面のような正反射光量
の多いものを対象として測定すると表面の傾きは大きな
影響を与えるのである。
この発明は上述の如き光学式の位置検出装置において対
貌物の表面状態による反射光量の変動の影響を受ける事
なく、精度良く位置検出できる光学式の位置検出装置を
提供することを目的とする。
貌物の表面状態による反射光量の変動の影響を受ける事
なく、精度良く位置検出できる光学式の位置検出装置を
提供することを目的とする。
この発明の要旨とするところは光源から放射された光を
一次元または二次元の受光素子で受光し、受光素子上の
受光位置の変化により物体の位置を検出する光学式位置
検出装置において、投光部に光に一定の偏光面を与える
偏光子を挿入し、受光部に偏光子を前記偏光面をもつ光
か透過して受光素子に入らないように配置したことを特
徴とする光学式位置検出装置である。
一次元または二次元の受光素子で受光し、受光素子上の
受光位置の変化により物体の位置を検出する光学式位置
検出装置において、投光部に光に一定の偏光面を与える
偏光子を挿入し、受光部に偏光子を前記偏光面をもつ光
か透過して受光素子に入らないように配置したことを特
徴とする光学式位置検出装置である。
以下、この発明を第３図に図示せる一実施例に基づき説
明する。
明する。
図面において、（１）はレーザー光等の単一色の光を出
す光源である。（２）は光源（１）より出た光を対象物
表面＋４１． （４１に収光させるレンズ、（ロ）はレ
ンズ（２）を出た光に特定方向の偏光面を与える偏光子
である。（９）は光源（１）より対象物表面（４１，（
４ｉへの投光軸である。
す光源である。（２）は光源（１）より出た光を対象物
表面＋４１． （４１に収光させるレンズ、（ロ）はレ
ンズ（２）を出た光に特定方向の偏光面を与える偏光子
である。（９）は光源（１）より対象物表面（４１，（
４ｉへの投光軸である。
（７）は対象物表面（４）と投光軸（９）の交点に向か
って配された収光用のレンズであり、該レンズ（７）の
背部には位置検出素子（８）の受光面がレンズ（力の光
軸に対して直角に配されている。
って配された収光用のレンズであり、該レンズ（７）の
背部には位置検出素子（８）の受光面がレンズ（力の光
軸に対して直角に配されている。
（６）はレンズ（７１の前に設けられた偏光子で、前記
偏光子（３）により与えた偏光面を持つ光を透過しない
ように配置されているものである。
偏光子（３）により与えた偏光面を持つ光を透過しない
ように配置されているものである。
増幅部ｆ９１． Ｉφ）、処理部（１０）、表示ｇｔｓ
（１１）は位置検出素子（８１の位置信号を電気的手
段により数個表示させるのに使用される一般的な処理系
統である。
（１１）は位置検出素子（８１の位置信号を電気的手
段により数個表示させるのに使用される一般的な処理系
統である。
光源（１１から放射された光は、レンズ（２）により対
象物表面＋４１にスポット光として集光される。ここで
レンズ（２）を出た光は、偏光子（３）を通って特定方
向の偏向面を持っている。この偏光面をもったスポット
光は偏向子（６）を介してレンズ（７１により、位置検
出素子（８１の表面上の位置（５）に集光される。受光
された信号は、増幅部ｆ９１． Ｉφ）で電流−電圧変
換及び増幅された後、処理部（１０）で演算し表示部（
１１）に距離を数字として表示される、対象物に表面照
射された偏向のかかった光のうち、正反射成分は偏向面
を保ったまま反射するか、乱反射成分は偏向面を保たな
い。従って受光側に設置された偏向子（６）は、対称物
の表面状態が変化してもし正反射成分か位置検出素子（
８目こ入射する状態になった場合においてもその正反射
光は偏光子（６１を透過することがない。この為、受光
素子（８）は必ず乱反射成分だけを受光することになり
、対象物の表面状態が変動しても、受光素子（８１に入
射する光量の変動は小さくなる。
象物表面＋４１にスポット光として集光される。ここで
レンズ（２）を出た光は、偏光子（３）を通って特定方
向の偏向面を持っている。この偏光面をもったスポット
光は偏向子（６）を介してレンズ（７１により、位置検
出素子（８１の表面上の位置（５）に集光される。受光
された信号は、増幅部ｆ９１． Ｉφ）で電流−電圧変
換及び増幅された後、処理部（１０）で演算し表示部（
１１）に距離を数字として表示される、対象物に表面照
射された偏向のかかった光のうち、正反射成分は偏向面
を保ったまま反射するか、乱反射成分は偏向面を保たな
い。従って受光側に設置された偏向子（６）は、対称物
の表面状態が変化してもし正反射成分か位置検出素子（
８目こ入射する状態になった場合においてもその正反射
光は偏光子（６１を透過することがない。この為、受光
素子（８）は必ず乱反射成分だけを受光することになり
、対象物の表面状態が変動しても、受光素子（８１に入
射する光量の変動は小さくなる。
この発明は、光源から放射された光を一次元または二次
元の受光素子で受光し、受光素子上の受光位置の変化に
より物体の位置を検出する光学式位置検出装置において
、投光部に光に一定の偏光面を与える偏光子を挿入し、
一定方向の偏向のかかった光を対象物に投光しその反射
光を受光部に挿入前記偏光面をもつ光を透過しないよう
に配した偏光子を介して受光する事により、対象物の表
面状態（例えば凹凸など）・傾きによって生じる受光素
子の入射光量の大幅な変動を減少させることができるの
である。
元の受光素子で受光し、受光素子上の受光位置の変化に
より物体の位置を検出する光学式位置検出装置において
、投光部に光に一定の偏光面を与える偏光子を挿入し、
一定方向の偏向のかかった光を対象物に投光しその反射
光を受光部に挿入前記偏光面をもつ光を透過しないよう
に配した偏光子を介して受光する事により、対象物の表
面状態（例えば凹凸など）・傾きによって生じる受光素
子の入射光量の大幅な変動を減少させることができるの
である。
従ってこの発明によれば対象物の表面状態の変動により
生じる受光素子の入射光」の変動を軽減することができ
る為、常に精度良く位置検出が可能となる。
生じる受光素子の入射光」の変動を軽減することができ
る為、常に精度良く位置検出が可能となる。
第１図及び第２図は背景技術を示す図で、第１図は概略
図、第２図（ａｔはグラフ、＠２図（ｂｌはグラフ（ａ
ｌの条件を示す概略図、第３図はこの発明の一実施例を
示す概略図である。 特許出願人 松下電工株式会社 代理人弁理士 竹 元 敏 丸 （ほか２名）
図、第２図（ａｔはグラフ、＠２図（ｂｌはグラフ（ａ
ｌの条件を示す概略図、第３図はこの発明の一実施例を
示す概略図である。 特許出願人 松下電工株式会社 代理人弁理士 竹 元 敏 丸 （ほか２名）
Claims (1)
- （１） 光源から放射された光を一次元または二次元
の受光素子で受光し、受光素子上の受光位置の変化によ
り物体の位置を検出する光学式位置検出装置において、
投光部に一定の偏光面を与える偏光子を挿入し、受光部
に偏光子を前記偏光面をもつ光が透過して受光素子に入
らないように配置したことを特徴とする光学式位置検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3236883A JPS59157512A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 光学式位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3236883A JPS59157512A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 光学式位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59157512A true JPS59157512A (ja) | 1984-09-06 |
Family
ID=12356999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3236883A Pending JPS59157512A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 光学式位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59157512A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614915A (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | 距離測定装置 |
| JPH01144810U (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | ||
| JPH0225710A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Hitachi Ltd | パターン検査方法 |
| JPH0299815A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-11 | Juki Corp | 光学距離センサ |
| JPH03115915A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-16 | Anritsu Corp | 厚み測定装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761903A (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-14 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | Inspecting device for terminal press-fixed of electric wire press-fixed with terminal |
| JPS5767107A (en) * | 1980-10-11 | 1982-04-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Method and device for measuring profile of top charging material in blast furnace |
-
1983
- 1983-02-28 JP JP3236883A patent/JPS59157512A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761903A (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-14 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | Inspecting device for terminal press-fixed of electric wire press-fixed with terminal |
| JPS5767107A (en) * | 1980-10-11 | 1982-04-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Method and device for measuring profile of top charging material in blast furnace |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614915A (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | 距離測定装置 |
| JPH01144810U (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | ||
| JPH0225710A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Hitachi Ltd | パターン検査方法 |
| JPH0299815A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-11 | Juki Corp | 光学距離センサ |
| JPH03115915A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-16 | Anritsu Corp | 厚み測定装置 |
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