KR100660952B1 - 레이저 스캐너 측정 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
모드 | 수광부 | 객체 | 매개변수 | 소자 | 항목 |
1 | 개별 180° | 유리 튜브 | 직경, 벽 두께 중심 위치 | 광 다이오드 어레이 D2 | A |
2 | 결합 | 유리 튜브 | 직경, 벽두께 중심 위치 | 빔 스플리터 50% 광 다이오드 어레이 D2 | St1 C |
3 | 개별 180° | 투명 섬유 | 위치 직경, 편광의 정도 | 빔 스플리터 편광 환상 광 다이오드 D4 광 다이오드 D1 | St1 B C |
4 | 결합 | 투명 섬유 | 위치 직경, 편광의 정도 | 빔 스플리터 50% 빔 스플리터 편광 환상 광 다이오드 D4 광 다이오드 D1 C | St1 St2 B |
5 | 결합 | 광학적 활성 층 | 연장, 층의 두께 | 빔 스플리터 50% 빔 스플리터 편광 광 다이오드 어레이 D2 광 다이오드 1 | St1 St2 B C |
6 | 결합 | 로드, 튜브 | 직경, 원뿔형, 반사 | 스캐닝 방향과 평행인 그리드 렌즈 빔 스플리터 50% | H B St1 |
7 | 결합 | 로드, 튜브 | 직경, 스캐닝 면에서의 위치 원뿔형, 반사, 속도 | 2축 그리드 빔 스플리터 렌즈 빔 스플리터 50% 렌즈 빔 스플리터 50% 광 다이오드 어레이 D2 광 다이오드 어레이 D3 광 다이오드 D1 (활성) 거울 | H St3 C St1 C St2 D E F G |
Claims (14)
- 레이저, 빔 편향부, 그리고 광학적 방사 시스템을 구비하여, 스캐닝 면과 함께 스캐닝 빔 경로를 형성하는 방사부와; 광학적 수광 시스템의 초점 면에 배치되어, 수광 빔 경로를 형성하는 광 검출기를 포함하는 수광부로 이루어지며, 상기 광학적 수광 시스템의 수직 면은 상기 스캐닝 빔 경로와 평행한 것인 레이저 스캐너 측정 시스템에 있어서,상기 광 검출기는 광 다이오드 어레이 또는 위치-판정(position-resolving) 광 다이오드인 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 광학적 수광 시스템의 초점 면의 수광 빔 경로의 상기 광 검출기의 전방에는 암시야 조리개(dark field stop)가 배치되어 있고,상기 암시야 조리개의 전방에서는 빔 스플리터에 의해 상기 수광 빔 경로로부터 일부분의 빔이 분할되며,상기 일부분의 빔 쪽에는 대략적으로 상기 광학적 수광 시스템의 초점 면에 광 다이오드가 배치되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 방사부와 상기 수광부는 측정될 객체에 대하여 동일한 쪽에 배치되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제2항에 있어서,상기 방사부와 상기 수광부는 측정될 객체에 대하여 동일한 쪽에 배치되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제3항에 있어서,상기 방사부에서 볼 때, 상기 측정될 객체의 후방에는 입사 방사를 그대로 또는 평행 오프셋으로 반사하여, 상기 수광 빔 경로가 상기 스캐닝 면과 평행하게 오프셋되는 면에 위치하도록 하는 재귀반사부가 배치되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제4항에 있어서,상기 방사부에서 볼 때, 상기 측정될 객체의 후방에는 입사 방사를 그대로 또는 평행 오프셋으로 반사하여, 상기 수광 빔 경로가 상기 스캐닝 면과 평행하게 오프셋되는 면에 위치하도록 하는 재귀반사부가 배치되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 방사부 내에는 상기 빔 편향부와 빔 발생지(beam-emerging site) 사이의 영역에 적어도 하나의 재귀반사부 또는 재귀반사 표시자(retro-reflecting marker)가 배치되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,스캐닝 면 내의 스캐너부의 광축에 대하여 0° 또는 180°와는 다른 각도로 하나 또는 복수의 수광부 또는 재귀반사부가 배치되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,스캐너 빔 경로에는 스캐닝 방향과 수직 방향으로 스캐닝 빔을 분할하는 광학계(예컨데, 스캐닝 방향에 대하여 수직인 라인을 가지는 그리드)가 배열되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,스캐너 빔 경로에는 스캐닝 방향과 평행 방향으로 스캐닝 빔을 분할하는 광학계(예컨데, 스캐닝 방향에 대하여 평행인 라인을 가지는 그리드)가 배열되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,조사 빔 경로와 수광 빔 경로 중 일방 또는 쌍방 모두에는 상이한 편광 방사를 위한 광학 소자{예컨데, 편광 빔 스플리터, 월라스톤(Wollaston) 프리즘, 지연 플레이트, 글랜-톰슨(Glan-Thompson) 프리즘 등}가 배치되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,수광 빔 경로에는 파장에 관하여 선택적인 필터(예컨데, 간섭 필터, 색 필터, 또는 차단 필터 등)가 배치되어 있는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,결합된 스캐너/수광부에서, 또는 외부 공간에서, 또는 광 가이드에 의해 기준 빔 경로를 실현하고, 그 실현된 기준 빔 경로를 측정되는 객체로부터 생기는 빔 경로와 중첩시켜, 그 결과 지역과 시간의 경과에 따라 달라지는 간섭 패턴을 적어도 하나의 검출 소자에 의해 검출하는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,생산 공정 제어에 적용되는 것인 레이저 스캐너 측정 시스템.
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