JPH0517875Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野〕 この考案はシヨートアーク型の放電灯と、この
放電灯からの光を集光する集光鏡と、反射鏡とを
有する光照射装置に関するものである。

［従来の技術］ 光照射によつて、接着剤、塗料、インク及びレ
ジスタ等を硬化させたり乾燥させたれ、半導体ウ
エハに対するマスクパターンの露光等様々な処理
をすることが行なわれている。そして、上記光照
射には、例えばキセノンランプや超高圧水銀灯等
のシヨートアーク型の放電灯が用いられている。

第２図は露光装置に用いる従来の光照射装置の
主要部の概略構成を示す説明図であり、２０は灯
体で、この灯体２０は光源としてのシヨートアー
ク型の放電灯である超高圧水銀灯（以下ランプと
いう）１、このランプ１の光を集光する集光鏡
２，バンドパスフイルタ（BPF）３、インテグ
レータレンズ４、反射鏡５，６，１７，コンデン
サレンズユニツト７からなり、この灯体２０から
出力される有効光線（露光に使用される光線）
は、原画としてのマスクパターンからの光を露光
処理物体に結像させるための結像レンズを経て、
露光処理物体の露光面に照射される。集光線２、
反射鏡５，６は主として赤外線域の光を透過し、
他の波長域の光を反射する熱線透過型である石英
製のコールドミラーで構成している。このコール
ドミラーである反射鏡５を透過した熱線を受光す
る位置に受光板１１を設けている。

また、８は反射鏡５の支持フレーム、９はこの
支持フレーム８の側面の一部にネジ等で取り付け
られた取り外し可能な板、１０は灯体２０の側面
の扉で、１１は受光板、１９は通風孔である。

第２図における光照射装置において、ランプ１
は長時間使用しているうちに劣化してしまう。そ
こで、この劣化したランプ１を交換することが行
われる。

ランプ１の交換に際しては、灯体２０の扉１０
を外して後、反射鏡５の支持フレーム８の側面の
板９を取り外す。その後、灯体２０内に作業者が
手を入れて、ランプ１の下端のネジ１４を廻して
外し、リード線１５を取り外して後、ランプ１の
先端のネジ部１３を支持板１２対して廻すことに
よつて、ランプ１を取り外す。

［考案が解決しようとする課題］ 上記のような従来の光照射装置において、ラン
プ交換の際、ランプの下端のリード線接続用のネ
ジを外した後、作業者が誤つてネジ、または場合
によつてはランプ自体を反射鏡の上に取り落とし
てしまうことがあり、それによつてコールドミラ
ー等で構成された高価な反射鏡を傷付けたり、破
損させたりする恐れがある。

特に、フオトリソグラフイ用の露光装置に使用
される光照射装置では、わずかな反射鏡の傷も露
光不良になる場合がある。

この考案はかかる課題を解決するためになされ
たもので、作業者がランプ交換の際、誤つてラン
プやネジを取り落としても反射鏡を傷付けたりし
て損なうことのない光照射装置を提供することを
目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この考案の光照
射装置における灯体内には、反射鏡の反射面を覆
う形状の反射鏡保護板を、取り付け取り外し可能
に載置するための支持片が設けられた構成を有す
るものである。

［作用］ 上記の反射鏡保護板を使用することにより、ラ
ンプ交換の際の落下物等による反射鏡に対する傷
等の心配はない。

［実施例］ 第１図ａはこの考案の一実施例である光照射装
置の主要部の概略を示す説明図、同図ｂは同図ａ
の扉を外してランプ交換を行う状態を示す説明図
である。

第１図ａ，ｂにおいて、２１はランプ交換等、
灯体２０内のメンテナンスの際の反射鏡５の反射
面を覆う反射鏡保護板、１６はこの反射鏡保護板
が載置されるために、灯体２０内の反射鏡５の支
持フレーム８の端部に設けられた支持片である。
また、第２図と同一符号は同一または相当部分を
示す。

いま、この灯体２０内のランプ１が、劣化等の
原因で交換する必要が生じた時、作業者は、灯体
２０の側面にネジ等で取り付けられた扉１０を取
り外し、さらに支持フレーム８の側面に取り付
け、取り外し自在に設けられた板９を外す。その
後、第１図ｂに示すように、反射鏡保護板２１の
一方の端部を支持フレーム８の側面の支持片に接
触させて固定すると、他方の端部に形成された鍔
部２１ａの一部は支持フレーム８の外部にはみ出
した状態になる。

第１図ｂのような状態において、作業者はラン
プ１の交換を行うため、ネジ１４を弛めて、リー
ド線１５を取り外し、その後、ランプ１を廻すこ
とによつてランプ１の上部口金に設けられたネジ
部１３を支持板１２からはずし、ランプ１の交換
を行う。そして、最後に反射鏡保護板２１を取り
はずし、板９、扉１０を取り付ける。

上記の作業を行う際に、ランプ１、ネジ１４、
その他工具等の物体を作業者が誤つて落下させた
としても反射鏡保護板２１が反射鏡５の反射面を
覆つているので、反射面が損傷を受けることはな
い。また、反射鏡保護板２１の鍔部２１ａがはみ
出しているので、反射鏡保護板２１を取り除かな
い限り、支持フレーム８の側面の板９を閉じるこ
とができず、作業者が反射鏡保護板２１を置き忘
れることもない。

尚、例えば反射鏡保護板２１を置き忘れてラン
プ１を点灯させると、ランプ１からの光による熱
により反射鏡保護板２１が損傷を受ける。勿論、
灯体２０から光が正しく出射しない。

［考案の効果］ 以上説明したとおり、この考案の光照射装置に
おける灯体内には、反射鏡の反射面を覆う形状の
反射鏡保護板を、取り付け取り外し可能に載置す
るための支持片が設けられた構成を有するので、
特に石英製のコールドミラー等からなる高価なミ
ラーに対しても破損の心配が全くない。さらに反
射鏡保護板の一方の端部が支持片に載置された
際、他方の端部は、取り外された灯体からはみ出
す構成を有するので、作業の際に反射鏡保護板を
取り付けたまま装置を閉じることがない。

【図面の簡単な説明】

第１図ａはこの考案の一実施例である光照射装
置の主要部の概略を示す説明図、同図ｂは同図ａ
の扉を外してランプ交換を行う状態を示す説明
図、第２図は従来の露光装置に用いる光照射装置
の主要部の概略構成を示す説明図である。 図中、１……ランプ、２……集光鏡、３……
BPF、４……インテグレータレンズ、５，６，
１７……反射鏡、７……レンズユニツト、８……
支持フレーム、９……板、１０……扉、１２……
支持板、１３……ネジ部、１４……ネジ、１５…
…リード線、１６……支持片、２０……灯体、２
１……反射鏡保護板、２１ａ……鍔部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 垂直点灯されるシヨートアーク型放電灯と、
   この放電灯を覆い、放電灯からの光を下方に指
   向させる集光鏡と、前記放電灯及び集光鏡の下
   方に配置される反射鏡と、この反射鏡の支持フ
   レームと、これらを収納し側面の一部が取り外
   し自在に構成された灯体からなる光照射装置に
   おいて、灯体内には、反射鏡の反射面を覆う形
   状の反射鏡保護板を、取り付け取り外し可能に
   載置するための支持片が設けられたことを特徴
   とする光照射装置。 (2) 反射鏡保護板の一方の端部が支持片に載置さ
   れた際、他方の端部は、取り外された灯体の側
   面または支持フレームからはみ出す構成を有す
   ることを特徴とする請求項(1)に記載の光照射装
   置に使用される反射鏡保護板。