JPS5999436U - 照度モニタ - Google Patents

照度モニタ

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Publication number
JPS5999436U
JPS5999436U JP19506582U JP19506582U JPS5999436U JP S5999436 U JPS5999436 U JP S5999436U JP 19506582 U JP19506582 U JP 19506582U JP 19506582 U JP19506582 U JP 19506582U JP S5999436 U JPS5999436 U JP S5999436U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask
arcuate
arcuate illumination
outline
illumination
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Pending
Application number
JP19506582U
Other languages
English (en)
Inventor
米田　龍次
稔 池田
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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  • Control Of Exposure In Printing And Copying (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、反射型投影露光装置の構成図、第２図は、従
来の照度モニタの方法を示す斜視図、第３図は、本考案
の原理を示す斜視図、第４図は、本考案の一実施例を示
す上面図および側面断面図である。 １・・・照明光学系、２・・・円弧状照明、３・・・マ
スク、４・：・パターン面、５・・・投影光学系、６・
・・ウェハ、７・・・テーブル走査方向、８・・・テー
ブル、９・・・水銀ランプ、１０・・・露光に利用する
光の光路、１１・・・照度計、１１′・・・照度計、１
２・・・露光に利用しない光の光路、１３・・・ウェハ
上に転写されるマ支り上のパターンの範囲を囲む外形線
、１４・・・マスク走査方向、１５・・・領域、１６・
・・領域、１７・・・マスｙｌ　？　肥 ・≧ｆ〜−） へへ） 士− ｌ　　　＼ 一、１１−ｊ：３ ＼　　　　　　　　　　（ｂＬ−

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マスクを照明する円弧状照明が、マスク上に形成された
    パターンを、投影光学系を経てウェハ上に投影転写する
    ように、前記円弧状照明の円弧部に対する最も長尺な弦
    と垂直な方向または垂直に近い方向に、マスクを走査す
    る機構を有する反射型投影露光装置の、露光直前におけ
    るマスクと前記円弧状照明の相対的な位置関係において
    、ウェハ上に投影転写されるマスク上のパターンの範囲
    を囲む外形線と、マスクの走査方向と平行な前記外形線
    の接線と、前記円弧状照明の円弧状外形線とではさまれ
    て形成される領域、または前記領域と光学的に等価な位
    置に照度計を配置することを特徴とする照度モニタ。
JP19506582U 1982-12-24 1982-12-24 照度モニタ Pending JPS5999436U (ja)

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JP19506582U JPS5999436U (ja) 1982-12-24 1982-12-24 照度モニタ

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19506582U JPS5999436U (ja) 1982-12-24 1982-12-24 照度モニタ

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Publication Number Publication Date
JPS5999436U true JPS5999436U (ja) 1984-07-05

Family

ID=30419077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19506582U Pending JPS5999436U (ja) 1982-12-24 1982-12-24 照度モニタ

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