JPS6129058A - 走査形電子顕微鏡の対物レンズ - Google Patents

走査形電子顕微鏡の対物レンズ

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Publication number
JPS6129058A
JPS6129058A JP14755984A JP14755984A JPS6129058A JP S6129058 A JPS6129058 A JP S6129058A JP 14755984 A JP14755984 A JP 14755984A JP 14755984 A JP14755984 A JP 14755984A JP S6129058 A JPS6129058 A JP S6129058A
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JP
Japan
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sample
objective lens
magnetic pole
electron microscope
lower magnetic
Prior art date
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Pending
Application number
JP14755984A
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English (en)
Inventor
Mitsugi Sato
貢 佐藤
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS6129058A publication Critical patent/JPS6129058A/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/10—Lenses
    • H01J37/14—Lenses magnetic
    • H01J37/141—Electromagnetic lenses

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は走査形電子顕微鏡の対物レンズに係り、特に、
大形試料を高分解能で観察可能な対物レンズに関する。
〔発明の背景〕
大形試料を対物レンズの磁極間隙に配置可能な対物レン
ズは、既に公知の事実（特開昭５８−１６１２３５）で
あるが、従来考案された方法は、試料の具体的な取出し
方法が示されていない。本発明け、この試料の取出方法
に着目して、従来の方法とほぼ同じ取出方法で、しかも
、対物レンズの磁極間隙内に大形試料を配置できるよう
にしたものである。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、半導体ウェーハのような大形試料を高
分解能で観察できる走査形電子顕微鏡を提供するにある
。
〔発明の概要〕
本発明は、試料ホルダーと対物レンズ下磁極を一体構造
として、試料ホルダーごと取り出せる構造にすることで
、従来とほぼ同じ方法で試料を取り付け、しかも、対物
レンズの磁極間隙内に大形試料が配置されて高分解能な
像観察ができるようにしたものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。試料
台１の下部に対物レンズ下磁極２が一体構造として取付
けられており、また試料台１の上部には、従来と同様の
試料移動部３が装着され、試料移動部３は下磁極２と対
物レンズ上磁極との磁路結合部８の範囲内で、二次元的
に移動できる。
試料台１を試料室に装着した後、Ｚ方向の移動ツマミ５
により、対物レンズ下磁極２と上磁極を結合する。
第２図は、対物レンズの下磁極２と」二磁極１０が結合
した状態を示しており、両磁極間隙内に、大形試料４が
配置される。また、試料４に照射した一次電子線１２に
より発生した二次電子１３は、対物レンズ上磁極１０の
上部に配置した二次電子検出器１１により補足される。
〔発明の効果〕
本発明によれば、従来の試料微動機構をそのまま適用し
て、大形試料を対物レンズの磁極間隙内に装着できる効
果があり、大形試料の高分解能観察が容易に実現できる
。
【図面の簡単な説明】
第１図は試料台下部と対物レンズ下磁極が一体となった
試料微動装置の説明図、第２図は第１図の試料微動装置
が試料室内にて対物レンズ上磁極と結合した時の断面図
を示す。 １・・・試料台、２・・・対物レンズ下磁極、３・・・
試料移動部、４・・・試料、５・・・Ｘ方向試料移動ツ
マミ、６・・・Ｙ方向試料移動ツマミ、７・・・Ｚ方向
試料移動ツマミ、８・・・磁路結合部、９・・・対物レ
ンズコイル、１０・・・対物レンズ上磁極、１１・・・
二次電子検出器、１２・・・−次電子線、１３・・・二
次電子。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、走査形電子顕微鏡の対物レンズの上下磁極を分割配
    置し、磁極間隙内に対物レンズ磁極面より大きな面積を
    有する試料ホルダーを配置したことを特徴とする走査形
    電子顕微鏡において、下磁極を試料ホルダーごと取りは
    ずし可能な構造を有することを特徴とする走査形電子顕
    微鏡の対物レンズ。
JP14755984A 1984-07-18 1984-07-18 走査形電子顕微鏡の対物レンズ Pending JPS6129058A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS641183A (en) * 1987-06-23 1989-01-05 Omron Tateisi Electron Co Optical card processor
EP0418894A2 (en) * 1989-09-20 1991-03-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. A scanning electron microscope and a method of displaying cross sectional profiles using the same

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS641183A (en) * 1987-06-23 1989-01-05 Omron Tateisi Electron Co Optical card processor
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