JPS59158100U - 走査型電子線加速装置 - Google Patents
走査型電子線加速装置Info
- Publication number
- JPS59158100U JPS59158100U JP5313483U JP5313483U JPS59158100U JP S59158100 U JPS59158100 U JP S59158100U JP 5313483 U JP5313483 U JP 5313483U JP 5313483 U JP5313483 U JP 5313483U JP S59158100 U JPS59158100 U JP S59158100U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- scanning electron
- beam accelerator
- abstract
- accelerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案を適用した走査型電子線加速装置を示す
外観斜視図、第２図はその概略的な断面図、第３図は得
られる電子ビームの形状を示す平面図である。 １・・・電子銃、２・・・走査マグネット、３・・・窓
、４・・・被照射物。 第２図 第３図
外観斜視図、第２図はその概略的な断面図、第３図は得
られる電子ビームの形状を示す平面図である。 １・・・電子銃、２・・・走査マグネット、３・・・窓
、４・・・被照射物。 第２図 第３図
Claims (1)
- 被照射物の走行方向に対して電子ビームを拡げるととも
に、この電子ビームを被照射物の幅方向に走査してなる
走査型電子線加速装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5313483U JPS59158100U (ja) | 1983-04-09 | 1983-04-09 | 走査型電子線加速装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5313483U JPS59158100U (ja) | 1983-04-09 | 1983-04-09 | 走査型電子線加速装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59158100U true JPS59158100U (ja) | 1984-10-23 |
Family
ID=30183480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5313483U Pending JPS59158100U (ja) | 1983-04-09 | 1983-04-09 | 走査型電子線加速装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59158100U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220254A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-30 | Nisshin Haiboruteeji Kk | 電子線照射装置 |
| JPWO2014049696A1 (ja) * | 2012-09-26 | 2016-08-22 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法、半導体製造装置 |
-
1983
- 1983-04-09 JP JP5313483U patent/JPS59158100U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220254A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-30 | Nisshin Haiboruteeji Kk | 電子線照射装置 |
| JPWO2014049696A1 (ja) * | 2012-09-26 | 2016-08-22 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法、半導体製造装置 |
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