JPS5894251U - 荷電粒子線応用装置 - Google Patents

荷電粒子線応用装置

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JPS5894251U
JPS5894251U JP18806181U JP18806181U JPS5894251U JP S5894251 U JPS5894251 U JP S5894251U JP 18806181 U JP18806181 U JP 18806181U JP 18806181 U JP18806181 U JP 18806181U JP S5894251 U JPS5894251 U JP S5894251U
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JP
Japan
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charged particle
particle beam
beam application
application equipment
main lens
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Application number
JP18806181U
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Inventor
勝広 黒田
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、動的焦点合わせ前後の荷電粒子線の軌道を示
した断面図である。第２図は、第１図構成の光学系固有
の偏向歪みと、動的焦点合わせ時の偏向歪みを示した図
面である。第３図は、本考案の一実施例の光学系とその
ときの荷電粒子軌道を示した断面図である。 １・・・物点、３・・・試料面、４・・・偏向器、５・
・・主レンズ、６１〜６３・・・補助レンズ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　荷電粒子源より発生した荷電粒子線を細く絞るため
    の主レンズと、上記荷電粒子を２次元に偏向走査する偏
    向器とをそなえた装置において、各偏向点で上記荷電粒
    子線の焦点を再調整するための補助レンズを少なくとも
    ３個以上備えることにより、偏向歪み補正も同時に行な
    うことを特徴とする荷電粒子線応用装置。 ２　補助レンズのうち少なくとも１個は、主レンズの内
    部に配置されたことを特徴とする実用新案登録請求の範
    囲第１項記載の荷電粒子線応用装置。
JP18806181U 1981-12-18 1981-12-18 荷電粒子線応用装置 Pending JPS5894251U (ja)

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