JPS5894251U - 荷電粒子線応用装置 - Google Patents
荷電粒子線応用装置Info
- Publication number
- JPS5894251U JPS5894251U JP18806181U JP18806181U JPS5894251U JP S5894251 U JPS5894251 U JP S5894251U JP 18806181 U JP18806181 U JP 18806181U JP 18806181 U JP18806181 U JP 18806181U JP S5894251 U JPS5894251 U JP S5894251U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- beam application
- application equipment
- main lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、動的焦点合わせ前後の荷電粒子線の軌道を示
した断面図である。第2図は、第1図構成の光学系固有
の偏向歪みと、動的焦点合わせ時の偏向歪みを示した図
面である。第3図は、本考案の一実施例の光学系とその
ときの荷電粒子軌道を示した断面図である。 1・・・物点、3・・・試料面、4・・・偏向器、5・
・・主レンズ、61〜63・・・補助レンズ。
した断面図である。第2図は、第1図構成の光学系固有
の偏向歪みと、動的焦点合わせ時の偏向歪みを示した図
面である。第3図は、本考案の一実施例の光学系とその
ときの荷電粒子軌道を示した断面図である。 1・・・物点、3・・・試料面、4・・・偏向器、5・
・・主レンズ、61〜63・・・補助レンズ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 荷電粒子源より発生した荷電粒子線を細く絞るため
の主レンズと、上記荷電粒子を2次元に偏向走査する偏
向器とをそなえた装置において、各偏向点で上記荷電粒
子線の焦点を再調整するための補助レンズを少なくとも
3個以上備えることにより、偏向歪み補正も同時に行な
うことを特徴とする荷電粒子線応用装置。 2 補助レンズのうち少なくとも1個は、主レンズの内
部に配置されたことを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第1項記載の荷電粒子線応用装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18806181U JPS5894251U (ja) | 1981-12-18 | 1981-12-18 | 荷電粒子線応用装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18806181U JPS5894251U (ja) | 1981-12-18 | 1981-12-18 | 荷電粒子線応用装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5894251U true JPS5894251U (ja) | 1983-06-25 |
Family
ID=30102873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18806181U Pending JPS5894251U (ja) | 1981-12-18 | 1981-12-18 | 荷電粒子線応用装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5894251U (ja) |
-
1981
- 1981-12-18 JP JP18806181U patent/JPS5894251U/ja active Pending
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