JPS59262U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS59262U JPS59262U JP9543282U JP9543282U JPS59262U JP S59262 U JPS59262 U JP S59262U JP 9543282 U JP9543282 U JP 9543282U JP 9543282 U JP9543282 U JP 9543282U JP S59262 U JPS59262 U JP S59262U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electron
- electron microscope
- scanning electron
- scanning
- Prior art date
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- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を説明するための図、第２図は本考案の
一実施例の構成を示す図、第３図は試料側から見たシュ
ラウドを示す図である。 １：試料、２：電子線、３：反射電子検出器、４：ホル
ダ、５：電子銃、６：集束レンズ、７Ｘ、 ７Ｙ：偏
向コイル、８：シュラウド、１０〜１４：リング、１５
：薄板。
一実施例の構成を示す図、第３図は試料側から見たシュ
ラウドを示す図である。 １：試料、２：電子線、３：反射電子検出器、４：ホル
ダ、５：電子銃、６：集束レンズ、７Ｘ、 ７Ｙ：偏
向コイル、８：シュラウド、１０〜１４：リング、１５
：薄板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 電子銃と、該電子銃から発生した電子線を試料上に
細く集束するための集束レンズと、試料上で電子線を走
査するための偏向手段と、試料上方に配置される反射電
子検出器を備えた走査電子顕微鏡において、前記反射電
子検出器の検出面を区−する如く導電性薄板を形成した
覆いを該検出面に近接して配置し、且つ該覆いを構成す
る薄板を試料上の電子線照射領域へ向けて傾けたことを
特徴する走査電子顕微鏡。 ２ 前記覆いは導電性薄板製のリングを同心状に配列し
てなる実用新案登録請求の範囲第１項記載の走査電子顕
微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9543282U JPS59262U (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9543282U JPS59262U (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59262U true JPS59262U (ja) | 1984-01-05 |
Family
ID=30227900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9543282U Pending JPS59262U (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59262U (ja) |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP9543282U patent/JPS59262U/ja active Pending
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