JPS5869934U - 電子ビ−ム描画装置の磁気シ−ルドカバ− - Google Patents
電子ビ−ム描画装置の磁気シ−ルドカバ−Info
- Publication number
- JPS5869934U JPS5869934U JP16517181U JP16517181U JPS5869934U JP S5869934 U JPS5869934 U JP S5869934U JP 16517181 U JP16517181 U JP 16517181U JP 16517181 U JP16517181 U JP 16517181U JP S5869934 U JPS5869934 U JP S5869934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic shield
- shield cover
- electron beam
- beam lithography
- lithography equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の断面図、第２図および第３図は本考案
の一実施例を示し第２図は断面図、第３図は上面カバー
を取除いた平面図、第４図は外側シールドカバーの他の
実施例における側面図である。 ２４・・・・・・試料室、２５・・・・・・鏡胴、３１
・・・・・・内側シールドカバー、３２・・・・・・外
側シールドカバー、３３・・・・・・小穴、３６・・・
・・・ルーバ。
の一実施例を示し第２図は断面図、第３図は上面カバー
を取除いた平面図、第４図は外側シールドカバーの他の
実施例における側面図である。 ２４・・・・・・試料室、２５・・・・・・鏡胴、３１
・・・・・・内側シールドカバー、３２・・・・・・外
側シールドカバー、３３・・・・・・小穴、３６・・・
・・・ルーバ。
Claims (2)
- （１） 試料室および鏡胴を内側磁気シールドカバー
で被うと共に、前記試料室および鏡胴の他これらに付属
するオートフィーダや駆動部等を含む装置全体を比較的
小形でかつほぼ４角形の外側磁気シールドカバーで被う
ようにした電子ビーム描画装置の磁気シールドカバー。 - （２）外側磁気シールドカバーの周面に小穴或いはルー
バを設けたことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項記載の電子ビーム描画装置の磁気シールドカバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16517181U JPS5869934U (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 電子ビ−ム描画装置の磁気シ−ルドカバ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16517181U JPS5869934U (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 電子ビ−ム描画装置の磁気シ−ルドカバ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5869934U true JPS5869934U (ja) | 1983-05-12 |
Family
ID=29957377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16517181U Pending JPS5869934U (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 電子ビ−ム描画装置の磁気シ−ルドカバ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5869934U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52136578A (en) * | 1976-05-12 | 1977-11-15 | Toshiba Corp | Electron beam exposure apparatus |
-
1981
- 1981-11-05 JP JP16517181U patent/JPS5869934U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52136578A (en) * | 1976-05-12 | 1977-11-15 | Toshiba Corp | Electron beam exposure apparatus |
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