JPS5971563U - 二次電子検出器 - Google Patents

二次電子検出器

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Publication number
JPS5971563U
JPS5971563U JP16627482U JP16627482U JPS5971563U JP S5971563 U JPS5971563 U JP S5971563U JP 16627482 U JP16627482 U JP 16627482U JP 16627482 U JP16627482 U JP 16627482U JP S5971563 U JPS5971563 U JP S5971563U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
secondary electron
detector
electron
electron detector
shield
Prior art date
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Pending
Application number
JP16627482U
Other languages
English (en)
Inventor
泰 中泉
正 大高
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Publication of JPS5971563U publication Critical patent/JPS5971563U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の二次電子検出器を示す図、第２図及び第
３図は本考案の実施例を示す図、第４図はバネ状円筒の
説明図、第５図はシールドの説明図である。 １・・・−次電子ビーム、２・・・対物レンズ、３・・
・試料、４，４′・・・偏向コイル、５・・・二次電子
、６・・・二次電子検出器、８・・・シールド筒、９・
・・シンチレータ、１０・・・ライトガイド、１１・・
・メツシュ状円筒、１２・・・バネ状円筒、１３・・・
シールド。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　電子銃で発生した一次電子ビームを対物レンズの磁
    場内に置かれた試料に照射し、試料から発生した二次電
    子を対物レンズから電子銃側に設置した二次電子検出器
    によって検出するようにした走査電子顕微鏡に於て、前
    記二次電子検出器を軸対称に複数個設けたことを特徴と
    する二次電子検出器。 ２　請求範囲第１項記載の二次電子検出器に於て、前記
    二次電子検出器近傍の光軸の周囲に実質的に前記検出器
    に印加された高電圧の電界をシールドし、かつ、前記二
    次電子が透過する形状のシールドを設け、該シールドに
    正の電位を印加することを特徴とする二次電子検出器。
JP16627482U 1982-11-04 1982-11-04 二次電子検出器 Pending JPS5971563U (ja)

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JP16627482U JPS5971563U (ja) 1982-11-04 1982-11-04 二次電子検出器

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JP16627482U JPS5971563U (ja) 1982-11-04 1982-11-04 二次電子検出器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5971563U true JPS5971563U (ja) 1984-05-15

Family

ID=30364054

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16627482U Pending JPS5971563U (ja) 1982-11-04 1982-11-04 二次電子検出器

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61192556U (ja) * 1985-05-14 1986-11-29

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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