SU1582226A1 - Устройство дл контрол поверхностных микропотенциалов - Google Patents
Устройство дл контрол поверхностных микропотенциалов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1582226A1 SU1582226A1 SU853873745A SU3873745A SU1582226A1 SU 1582226 A1 SU1582226 A1 SU 1582226A1 SU 853873745 A SU853873745 A SU 853873745A SU 3873745 A SU3873745 A SU 3873745A SU 1582226 A1 SU1582226 A1 SU 1582226A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- analyzer
- probe
- forming
- registration
- condenser unit
- Prior art date
Links
Abstract
Изобретение относитс к области микрозондовой техники и может быть использовано в электронной микроскопии. Цель изобретени - повышение чувствительности контрол . Устройство содержит зондоформирующую систему, состо щую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклон ющей системы 3, объектодержател 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторичного потока электронов типа "цилиндрическое зеркало", системы 7 регистрации, экранирующей диафрагмы 8. Анализатор 6 и система 7 регистрации расположены соосно с зондоформирующей системой, при этом анализатор 6 и система 7 регистрации расположены между конденсорным блоком 2 и формирующей линзой 5. 2 ил.
Description
1
(21)3873745/24-63
(22)26.03.85
(46) 30.07.90. Бюл. № 28
(71)Московский институт электронного машиностроени
(72)В,:В.Рыбалко
(53) 621.385.833(088.8)
(56) Авторское свидетельство СССР
№ 503316, к . Н 01 J 37/26,10.04,74,
(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ МИКРОПОТЕНЦИАЛОВ
(57) Изобретение относитс к микро- зондовой технике и может быть использовано в электронной микроскопии. Цель изобретени - повышение чувствит тельности контрол . Устройство содержит зондоформирующую систему, состо
К индикатору
(Л
О1
00
к ю
(Э
о
//////////////////// i
Фиг./
щую из источника 1 зондирующих частиц , конденсорного блока 2, электростатической отклон ющей системы 3, объектодержател 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторичного потока электронов типа цилиндрическое зеркало, системы 7 регистрации„
Изобретение относитс к микрозон- довой технике и может быть использовано в микроскопии (например, электронной ) .
Цель изобретени повышение чувствительности контрол .
На фиг,1 изображен вариант устройства с расположением формирующей линзы перед плоскостью объектодержател ; на фиг.2 - вариант устройства с расположением формирующей линзы за плоскостью объектодержател .
Устройство содержит зондоформирую- щую систему, состо щую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклон ющей системы 39 объектодержател 4, формирующей линзы 5 и анализатора 6 вторичного потока электронов типа цилиндрическое зеркало, выполненного из немагнитного материала с электропровод щим поверхностным слоем, системы 7 регистрации сигнала и экранирующей диафрагмы 8.
Устройство работает следующим образом .
Источник 1 генерирует поток зондирующих частиц (например, электронов), который предварительно фокусируетс
конденсорным блоком 2 и сканируетс отклон ющей системой 3 по поверхности объектодержател 4, При этом с помощью фокусирующей линзы 5 поток фокусируетс в зонд в плоскости объектодержател 4, Поток вторично эмиссионного сигнала, генерируемый в образце, установленном на объекте- держателе 4, поступает на вход анализатора 6. Анализатор настраиваемс на любой участок энергетического спектра вторичных частиц, Далее облу
экранирующей диафрагмы 8. Анализатор
6и сист ема 7 регистрации расположены соосно с зондоформирующей системой , при этом анализатор 6 и система
7регистрации расположены между кон- денсорным блоком 2 и формирующей линзой 5. 2 ил.
5
0
5
0
5
0
0
чают контролируемый участок, регистрируют сигнал на выходе системы 7 регистрации и регулируют потенциал анализатора 6 до того момента, когда сигнал достигнет первоначального значени . Тогда определ ют величину потенциала контролируемого участка по формуле I
ик и0 + л и,
где 170 - известньй потенциал первоначального облученного участка;
4U - величина изменени фокусирующего потенциала анализатора при его регулировке во врем зондировани контролируемого участка.
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл контрол поверх- нЪстных микропотенциалов, содержащее последовательно расположенные зондо- формирующую систему, включающую источник зондирующих частиц, конденсорный блок, формирующую линзу и объектодер- жатель, анализатор вторичного потока электронов, систему регистрации, отличающеес тем, что, с целью повыше ч чувствительности контрол , анализатор вторичного потока электронов и система регистрации расположены соосно с зондоформирующей системой, при этом анализатор и система регистрации расположены между конденсорным блоком и формирующей линзой, анализатор вторичного потока электронов выполнен в виде цилиндрического зеркала, а регистратор - в виде коллектора электронов„Фиг. 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853873745A SU1582226A1 (ru) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | Устройство дл контрол поверхностных микропотенциалов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853873745A SU1582226A1 (ru) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | Устройство дл контрол поверхностных микропотенциалов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1582226A1 true SU1582226A1 (ru) | 1990-07-30 |
Family
ID=21169275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU853873745A SU1582226A1 (ru) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | Устройство дл контрол поверхностных микропотенциалов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1582226A1 (ru) |
-
1985
- 1985-03-26 SU SU853873745A patent/SU1582226A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3626184A (en) | Detector system for a scanning electron microscope | |
| KR850001390B1 (ko) | 2차 전자 검출장치 | |
| EP0769799A2 (en) | Scanning electron microscope | |
| US4714833A (en) | Arrangement for detecting secondary and/or backscatter electrons in an electron beam apparatus | |
| US2257774A (en) | Electronic-optical device | |
| EP0242993A1 (en) | Apparatus and method for collecting charged particles | |
| JPS61288357A (ja) | 定量的電位測定用スペクトロメ−タ−対物レンズ装置 | |
| EP0113746B1 (en) | An elektrode system of a retarding-field spectrometer for a voltage measuring electron beam apparatus | |
| JPS6369135A (ja) | 電子検出装置 | |
| JP2001511304A (ja) | 改善された２次電子検出のための磁界を用いた環境制御型ｓｅｍ | |
| JPS63318052A (ja) | 直接的画像化式の単色光電子顕微鏡 | |
| US5780859A (en) | Electrostatic-magnetic lens arrangement | |
| US5591971A (en) | Shielding device for improving measurement accuracy and speed in scanning electron microscopy | |
| US5045705A (en) | Charged particle beam apparatus with charge-up compensation | |
| JPS61288358A (ja) | 定量的電位測定用スペクトロメ−タ−対物レンズ装置 | |
| US5146089A (en) | Ion beam device and method for carrying out potential measurements by means of an ion beam | |
| JPH03173054A (ja) | 粒子線装置 | |
| EP0790634B1 (en) | Electrostatic-magnetic lens arrangement | |
| SU1582226A1 (ru) | Устройство дл контрол поверхностных микропотенциалов | |
| US2354263A (en) | Electron microscope | |
| US4982091A (en) | Electron beam apparatus and method for detecting secondary electrons | |
| US2348031A (en) | Method of focusing electron microscopes | |
| JPH0955181A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH07153410A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
| SU931018A1 (ru) | Устройство дл измерени распределени плотности ускоренных частиц в фазовом пространстве |