JPS59103360U - 複合顕微鏡 - Google Patents
複合顕微鏡Info
- Publication number
- JPS59103360U JPS59103360U JP20187282U JP20187282U JPS59103360U JP S59103360 U JPS59103360 U JP S59103360U JP 20187282 U JP20187282 U JP 20187282U JP 20187282 U JP20187282 U JP 20187282U JP S59103360 U JPS59103360 U JP S59103360U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microscope
- scanning electron
- sample
- compound
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の構成を示す図、第２図、第
５図及び第６図はマーク部材の断面を示す図、第３図は
光学顕微鏡像を示す図、第４図は走査電子顕微鏡像を示
す図である。 １ニスライドガラス、２：試料台、４：電子銃、９：走
査回路、１０：偏向コイル、１１：検出器、１３：表示
装置、１４．１８：対物レンズ、１７：接眼レンズ、１
９：ターレット、２１：移動機構、２２：マーク部材、
２３：光透過性支持体。
５図及び第６図はマーク部材の断面を示す図、第３図は
光学顕微鏡像を示す図、第４図は走査電子顕微鏡像を示
す図である。 １ニスライドガラス、２：試料台、４：電子銃、９：走
査回路、１０：偏向コイル、１１：検出器、１３：表示
装置、１４．１８：対物レンズ、１７：接眼レンズ、１
９：ターレット、２１：移動機構、２２：マーク部材、
２３：光透過性支持体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試料台上に載置された試料に電子線を細く集束して
照射すると共に二次元的に走査し、試料より発生する情
報信号を検出して表示手段へ送るようにした走査電子顕
微鏡と、上記試料を観察するための上記試料台の下方に
配置された光学顕微鏡とを備えた複合顕微鏡において、
螢光材料を含む部材を該走査電子顕微鏡の光軸を横切っ
て交換可能に設け、該部材への電子線の照射に基づく螢
光材料の発光を光学顕微鏡によって観察可能にしたこと
を特徴とする複合顕微鏡。 ２ 前記部材は、前記試料台の一部に取付けられている
実用新案登録請求の範囲第１項記載の複合顕微鏡。 ３ 該部材の少な（とも走査電子顕微鏡側表面は、凹凸
状に形成され、該表面の走査電子顕微鏡像の観察によっ
て該走査電子顕微鏡の焦点合せを可能とする実用新案登
録請求の範囲第１項記載の複合顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20187282U JPS59103360U (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 複合顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20187282U JPS59103360U (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 複合顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59103360U true JPS59103360U (ja) | 1984-07-11 |
Family
ID=30427357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20187282U Pending JPS59103360U (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 複合顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59103360U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01149353A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Shimadzu Corp | 反射電子回折装置 |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP20187282U patent/JPS59103360U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01149353A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Shimadzu Corp | 反射電子回折装置 |
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