JPS58150261U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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JPS58150261U
JPS58150261U JP4795882U JP4795882U JPS58150261U JP S58150261 U JPS58150261 U JP S58150261U JP 4795882 U JP4795882 U JP 4795882U JP 4795882 U JP4795882 U JP 4795882U JP S58150261 U JPS58150261 U JP S58150261U
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JP
Japan
Prior art keywords
sample
scanning electron
electron microscope
turret
support
Prior art date
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Pending
Application number
JP4795882U
Other languages
English (en)
Inventor
英二 渡辺
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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Publication of JPS58150261U publication Critical patent/JPS58150261U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の構成を示す図、第２図はカ
ソードルミネッセンス像観察時の配置を示す図、第３図
は変形例の部分断面図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 支持体上に載置された試料に電子線を細く集束して照射
    すると共に二次元的に走査し、試料より発生する情報信
    号を検出して表示手段へ送るようにした走査電子顕微鏡
    と、上記試料を観察するために上記支持体の下方に配置
    された対物レンズと、該対物レンズを保持し試料直下の
    観察位置へ移動させるためのターレットとを有する光学
    顕微鏡を備えた装置において、前記ターレットに上記試
    料から発生するカソードルミネッセンス光を集光するた
    めの集光レンズを取付け、該集光レンズにより集光され
    たカソードルミネッセンス光を検出するための検出器を
    設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
JP4795882U 1982-04-02 1982-04-02 走査電子顕微鏡 Pending JPS58150261U (ja)

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JP4795882U JPS58150261U (ja) 1982-04-02 1982-04-02 走査電子顕微鏡

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JP4795882U JPS58150261U (ja) 1982-04-02 1982-04-02 走査電子顕微鏡

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JPS58150261U true JPS58150261U (ja) 1983-10-08

Family

ID=30058899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4795882U Pending JPS58150261U (ja) 1982-04-02 1982-04-02 走査電子顕微鏡

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JP (1) JPS58150261U (ja)

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