JPH04127956U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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Publication number
JPH04127956U
JPH04127956U JP3407091U JP3407091U JPH04127956U JP H04127956 U JPH04127956 U JP H04127956U JP 3407091 U JP3407091 U JP 3407091U JP 3407091 U JP3407091 U JP 3407091U JP H04127956 U JPH04127956 U JP H04127956U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scanning electron
electron microscope
cathode ray
mirror
condensing
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Pending
Application number
JP3407091U
Other languages
English (en)
Inventor
隆一郎 多持
俊介 腰原
満彦 山田
Original Assignee
株式会社日立製作所
日立計測エンジニアリング株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本考案は走査電子顕微鏡に関し、特に陰極線蛍
光と反射電子をひとつの検出器で同時に検出するものを
提供することにある。 【構成】集光ミラーの光反射面においてアルミニウム膜
5とミラー基材7の間に蛍光物質の薄層6を設けること
により達成される。 【効果】集光ミラーに陰極線の集光と反射電子の検出と
いう2つの機能を持たせることができるため、装置の価
格を低減できるとともに取付けスペースを節約できる。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は走査電子顕微鏡に関し、特に試料からの陰極線蛍光の集光と反射電子 の検出を同時に行うものに関する。
【0002】
【従来の技術】
試料表面で発生した陰極線蛍光の検出を反射電子の検出とまったく独立した形 で行う手法は、Journal of IEE of Japan(1990) 6月号 567ページか ら570ページ、NEW DIAMOND(1989) 10月号 26ページから33 ページに記載されている。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来技術においては、反射電子の検出を行う場合は専用の独 立した反射電子検出器を必要とする。本考案の目的は、試料表面からの陰極線蛍 光の集光と反射電子の検出という2つの機能をひとつの集光ミラーに持たせて、 前記2つの異なる情報媒体を同時に検出するものを提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、集光ミラーの光反射面においてアルミニウムなど金属薄膜とガラ スなど基材との間に螢光物質の薄層を設けることにより達成される。
【0005】
【作用】
試料表面からの陰極線蛍光はアルミニウムなどの金属薄層で反射し、ミラーの 反射面の形状が楕円球の場合には焦点位置に集光する。一方、反射電子は一般に エネルギーが高い(5〜25keV)ため金属薄層を通過して螢光物質に達し、 蛍光を励起する。この蛍光を二次電子増倍管などを用いて信号電流に変換するこ とにより反射電子情報の同時検出が可能となる。
【0006】
【実施例】
本考案の原理を図1に示す。真空中において電子線1が試料2の表面を照射す ると、陰極線蛍光3,反射電子4,二次電子(図省略)などの情報媒体が励起さ れる。陰極線蛍光3はミラー基材(ガラスなど)7の光反射面に形成されている アルミニウム膜5で反射し、焦点位置に設けられた光ファイバに集光される。一 方、反射電子4はアルミニウム膜5を通過し蛍光物質の膜6に達し、蛍光8を励 起する。
【0007】 図2は本考案の一実施例を示すもので、対物レンズ10で収束された電子線1 を試料2の表面に照射することにより発生した陰極線蛍光3は、図1で説明した ミラー7(ただし、光反射面の詳細な構造は図2では省略)で反射され光ファイ バ9に集光されて分光器13に導かれる。また、分光器13の出力は増幅器12 で増幅されたのちCRT(図省略)に供給されて輝度変調像を形成する。一方、 反射電子4はミラー7で光に変換されたのち、さらに光電子増倍管11で信号電 流に変えられて増幅器12で増幅されたのちCRT(図省略)に供給され陰極線 蛍光像と反射電子像の同時観察が可能となる。
【0008】
【考案の効果】
本考案によれば、陰極線集光ミラーに反射電子検出機能を付加することが可能 となるため、製品の価格を低減できるとともに取付けスペースを大幅に節約でき る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の原理を説明するための図である。
【図2】本考案の一実施例を示す装置構成図である。
【符号の説明】
1…電子線、2…試料、3…陰極線蛍光、4…反射電
子、5…アルミニウム膜、6…蛍光物質、7…ミラー基
材(ガラス)、8…蛍光、9…光ファイバ、10…対物
レンズ、11…光電子増倍管、12…増幅器、13…分
光器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 山田 満彦 茨城県勝田市市毛882番地 日立計測エン ジニアリング株式会社内

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】光反射面においてアルミニウムなど金属光
    反射膜とガラスなど基材との間に蛍光物質の薄層を有す
    ることにより、試料表面で発生した陰極線蛍光(カソー
    ドルミネセンス)の集光と反射電子検出を同時に行うこ
    との可能な集光ミラーを備えたことを特徴とする走査電
    子顕微鏡。
JP3407091U 1991-05-15 1991-05-15 走査電子顕微鏡 Pending JPH04127956U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004503062A (ja) * 2000-07-07 2004-01-29 エルエーオー・エレクトローネンミクロスコピイ・ゲーエムベーハー 変化する圧力領域のための検出器、およびこのような検出器を備える電子顕微鏡

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004503062A (ja) * 2000-07-07 2004-01-29 エルエーオー・エレクトローネンミクロスコピイ・ゲーエムベーハー 変化する圧力領域のための検出器、およびこのような検出器を備える電子顕微鏡

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