JPH0630236B2 - 走査型反射電子回折顕微装置 - Google Patents
走査型反射電子回折顕微装置Info
- Publication number
- JPH0630236B2 JPH0630236B2 JP59085273A JP8527384A JPH0630236B2 JP H0630236 B2 JPH0630236 B2 JP H0630236B2 JP 59085273 A JP59085273 A JP 59085273A JP 8527384 A JP8527384 A JP 8527384A JP H0630236 B2 JPH0630236 B2 JP H0630236B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- diffraction
- vacuum
- scanning
- face
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/2955—Electron or ion diffraction tubes using scanning ray
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は試料表面の結晶性を分析する場合などに利用さ
れれる走査型反射電子回折顕微装置に係り、特に、高度
の結晶情報の観察を可能にした顕微装置に関するもので
ある。
れれる走査型反射電子回折顕微装置に係り、特に、高度
の結晶情報の観察を可能にした顕微装置に関するもので
ある。
従来の走査型反射電子回折顕微装置の基本的な構成を第
１図に示す。第１図装置は次のように動作する。加速電
源１を有する電子銃２から放出される一次電子ビーム４
は収束レンズ３により真空容器６内にある試料７の表面
に収束される。走査電源１４により一次電子ビーム用偏
向コイル群５を動作させて一次電子ビーム４を試料７の
表面上で走査させる。そのときに得られる試料７の吸収
電流信号を陰極線管（以下、ＣＲＴと略称する）１３の
輝度変調信号にかえてＣＲＴ１３上に試料７の吸収電流
像を得る。この吸収電流像から試料７の分析すべき場所
を選択する。この分析点に一次電子ビーム４を固定照射
することによって得られる反射回折線８は蛍光板９上に
反射回折像としてのぞき窓１０を通して観測される。こ
の回折像を解析することによって試料７の表面上の任意
の場所の結晶状態（試料７表面部分を構成する元素の配
列状態）を分析することが可能となる。さらに、アパー
チャ１１を使用してある特定の回折スポットを選び、光
電変換素子（例えばホトマルチプライヤ）１２から得ら
れる電気信号を一次電子ビーム４の走査に同期させてＣ
ＲＴ１３の輝度変調信号にかえることによって、ＣＲＴ
１３上に回折顕微像が得られる。この回折顕微像から試
料７の表面の結晶分布がわかり、試料７の表面の結晶解
析の有力な手段となる。
１図に示す。第１図装置は次のように動作する。加速電
源１を有する電子銃２から放出される一次電子ビーム４
は収束レンズ３により真空容器６内にある試料７の表面
に収束される。走査電源１４により一次電子ビーム用偏
向コイル群５を動作させて一次電子ビーム４を試料７の
表面上で走査させる。そのときに得られる試料７の吸収
電流信号を陰極線管（以下、ＣＲＴと略称する）１３の
輝度変調信号にかえてＣＲＴ１３上に試料７の吸収電流
像を得る。この吸収電流像から試料７の分析すべき場所
を選択する。この分析点に一次電子ビーム４を固定照射
することによって得られる反射回折線８は蛍光板９上に
反射回折像としてのぞき窓１０を通して観測される。こ
の回折像を解析することによって試料７の表面上の任意
の場所の結晶状態（試料７表面部分を構成する元素の配
列状態）を分析することが可能となる。さらに、アパー
チャ１１を使用してある特定の回折スポットを選び、光
電変換素子（例えばホトマルチプライヤ）１２から得ら
れる電気信号を一次電子ビーム４の走査に同期させてＣ
ＲＴ１３の輝度変調信号にかえることによって、ＣＲＴ
１３上に回折顕微像が得られる。この回折顕微像から試
料７の表面の結晶分布がわかり、試料７の表面の結晶解
析の有力な手段となる。
このように走査型反射電子回折顕微装置は、試料表面の
結晶状態をミクロに調べる上で有力な装置であるが、し
かし、従来装置には次に述べるような問題があった。即
ち、蛍光板９上の特定の回折スポットによる発光をアパ
ーチャ１１によって選択する場合、蛍光板９やのぞき窓
１０の厚さにより蛍光板９上の発光点とアパーチャ１１
との間の距離をある値以下に小さくできないことから、
上記発光を大きな立体角で効率良く、かつ、精度よく集
光して光電変換素子１２に導くことができない問題点が
あった。
結晶状態をミクロに調べる上で有力な装置であるが、し
かし、従来装置には次に述べるような問題があった。即
ち、蛍光板９上の特定の回折スポットによる発光をアパ
ーチャ１１によって選択する場合、蛍光板９やのぞき窓
１０の厚さにより蛍光板９上の発光点とアパーチャ１１
との間の距離をある値以下に小さくできないことから、
上記発光を大きな立体角で効率良く、かつ、精度よく集
光して光電変換素子１２に導くことができない問題点が
あった。
本発明の目的は、従来技術での上記した問題点を解決
し、特定の回折スポットによる発光を効率良く、かつ、
精度よく集光することにより明るい信号を得ると共に、
高度の結晶情報を有する走査電子顕微像を得ることを可
能とする走査型反射電子回折顕微装置を提供することに
ある。
し、特定の回折スポットによる発光を効率良く、かつ、
精度よく集光することにより明るい信号を得ると共に、
高度の結晶情報を有する走査電子顕微像を得ることを可
能とする走査型反射電子回折顕微装置を提供することに
ある。
本発明の特徴は、上記目的を達成するために、蛍光板と
光電変換素子との間に光学レンズ及び出側端面が複数に
分岐したイメージガイドを設け、特定の回折スポットか
らの発光を大きな立体角にわたって集光し、さらに上記
回折スポット内の発光分布を選択的に分離検出して光電
変換素子に導き、それらの出力を信号処理手段を介して
画像信号とする構成にしたことである。
光電変換素子との間に光学レンズ及び出側端面が複数に
分岐したイメージガイドを設け、特定の回折スポットか
らの発光を大きな立体角にわたって集光し、さらに上記
回折スポット内の発光分布を選択的に分離検出して光電
変換素子に導き、それらの出力を信号処理手段を介して
画像信号とする構成にしたことである。
本発明の一実施例を第２図により説明する。第２図にお
いて、１５は光学レンズ、１６は出側端面が複数に分岐
したイメージガイドであり、その他は第１図従来例と同
じである。第２図において、反射回折線８よって作られ
る蛍光板９上のある特定の回折スポットの発光を光学レ
ンズ１５によってイメージガイド１６の入側端面に集束
し結像する。このとき、光学レンズ１５として（レンズ
口径）／（焦点距離）の比が大きいレンズを使用するこ
とによって、イメージガイド１６の入側端面に効率良く
特定の回折スポットの発光を集束できる。一例として、
第１図に示す従来装置において蛍光板９とアパーチャ１
１との間の距離を１０ｍｍ、アパーチャの孔径を１ｍｍ
とした場合と、第２図に示す実施例装置において光学レ
ンズ１５として口径が１０ｍｍ、焦点距離が１０ｍｍの
ものを使用し、蛍光板９と光学レンズ１５との距離を２
０ｍｍとした場合を比較すると、上記回折スポットの発
光を見込む立体角の比較から、本実施例装置によれば、
従来装置に比較して２５倍程度の高効率で集光すること
ができる。さらに、上記集光はイメージガイド１６によ
ってほとんど強度損失することなく光電変換素子１２に
導かれ、電気信号に変換されてＣＲＴ１３上の輝度変調
信号として使用される。このときイメージガイド１６に
より入側端面のイメージがそのまま他方の出側端面に伝
送されるので、極めて容易にある特定の回折スポット
や、回折スポットの一部からの発光のみを取出すことが
できる。さらにイメージガイド１６は自由に曲げること
ができるので、光学レンズ１５をのぞき窓１０の任意の
位置に移動させて種々の回折スポットの発光を自由に集
光できるという極めて操作性の良い信号検出を行なうこ
とができる。
いて、１５は光学レンズ、１６は出側端面が複数に分岐
したイメージガイドであり、その他は第１図従来例と同
じである。第２図において、反射回折線８よって作られ
る蛍光板９上のある特定の回折スポットの発光を光学レ
ンズ１５によってイメージガイド１６の入側端面に集束
し結像する。このとき、光学レンズ１５として（レンズ
口径）／（焦点距離）の比が大きいレンズを使用するこ
とによって、イメージガイド１６の入側端面に効率良く
特定の回折スポットの発光を集束できる。一例として、
第１図に示す従来装置において蛍光板９とアパーチャ１
１との間の距離を１０ｍｍ、アパーチャの孔径を１ｍｍ
とした場合と、第２図に示す実施例装置において光学レ
ンズ１５として口径が１０ｍｍ、焦点距離が１０ｍｍの
ものを使用し、蛍光板９と光学レンズ１５との距離を２
０ｍｍとした場合を比較すると、上記回折スポットの発
光を見込む立体角の比較から、本実施例装置によれば、
従来装置に比較して２５倍程度の高効率で集光すること
ができる。さらに、上記集光はイメージガイド１６によ
ってほとんど強度損失することなく光電変換素子１２に
導かれ、電気信号に変換されてＣＲＴ１３上の輝度変調
信号として使用される。このときイメージガイド１６に
より入側端面のイメージがそのまま他方の出側端面に伝
送されるので、極めて容易にある特定の回折スポット
や、回折スポットの一部からの発光のみを取出すことが
できる。さらにイメージガイド１６は自由に曲げること
ができるので、光学レンズ１５をのぞき窓１０の任意の
位置に移動させて種々の回折スポットの発光を自由に集
光できるという極めて操作性の良い信号検出を行なうこ
とができる。
ところで、本発明の特徴は、イメージガイド１６として
出側端面が複数（実施例では２個）に分岐しているイメ
ージガイドを使用したことである。この実施例構成によ
れば、電気信号処理回路１７により上記イメージガイド
のうちの一つの分岐に接続している光電変換素子１２の
みを動作させることによって、特定の回折スポットの一
部からの発光のみを極めて容易に信号とすることができ
る。さらに、複数に分岐した光による信号のうちの、あ
る２つの分岐信号に着目し電気信号処理回路１７によ
り、これらの信号の差をＣＲＴ１３の輝度変調信号とし
て使用することもできる。この信号処理は、試料７の表
面の結晶方位の微細な変化によって反射回折線８の方向
が僅かに変化することによって生じるコントラストを鮮
明にＣＲＴ１３上に表示し、試料７の表面の微細な結晶
構造変化を観察することを容易にする。
出側端面が複数（実施例では２個）に分岐しているイメ
ージガイドを使用したことである。この実施例構成によ
れば、電気信号処理回路１７により上記イメージガイド
のうちの一つの分岐に接続している光電変換素子１２の
みを動作させることによって、特定の回折スポットの一
部からの発光のみを極めて容易に信号とすることができ
る。さらに、複数に分岐した光による信号のうちの、あ
る２つの分岐信号に着目し電気信号処理回路１７によ
り、これらの信号の差をＣＲＴ１３の輝度変調信号とし
て使用することもできる。この信号処理は、試料７の表
面の結晶方位の微細な変化によって反射回折線８の方向
が僅かに変化することによって生じるコントラストを鮮
明にＣＲＴ１３上に表示し、試料７の表面の微細な結晶
構造変化を観察することを容易にする。
以上述べたように、本発明による装置は、信号検出部と
して、光学レンズと出側端面を複数に分岐したイメージ
ガイドを使用することにより、特定の回折スポットによ
る発光、あるいは上記回折スポットの一部による発光の
みを効率良く、かつ、精度よく集光し、これを電気信号
に変換して、感度が高く操作性の良い信号検出を行なう
ことができると共に、高度の結晶情報を有する走査電子
顕微像が得られるという極めて優れた利点を持つ。
して、光学レンズと出側端面を複数に分岐したイメージ
ガイドを使用することにより、特定の回折スポットによ
る発光、あるいは上記回折スポットの一部による発光の
みを効率良く、かつ、精度よく集光し、これを電気信号
に変換して、感度が高く操作性の良い信号検出を行なう
ことができると共に、高度の結晶情報を有する走査電子
顕微像が得られるという極めて優れた利点を持つ。
第１図は従来装置の構成図、第２図、は本発明の実施例
を示す構成図である。 ＜符号の説明＞ １……加速電源、２……電子銃 ３……収束レンズ、４……一次電子ビーム ５……一次電子ビーム用偏向コイル群 ６……真空容器、７……試料 ８……反射回折線、９……蛍光板 １０……のぞき窓、１１……アパーチャ １２……光電変換素子、１３……陰極線管（ＣＲＴ） １４……走査電源、１５……光学レンズ １６……イメージガイド、１７……電気信号処理回路
を示す構成図である。 ＜符号の説明＞ １……加速電源、２……電子銃 ３……収束レンズ、４……一次電子ビーム ５……一次電子ビーム用偏向コイル群 ６……真空容器、７……試料 ８……反射回折線、９……蛍光板 １０……のぞき窓、１１……アパーチャ １２……光電変換素子、１３……陰極線管（ＣＲＴ） １４……走査電源、１５……光学レンズ １６……イメージガイド、１７……電気信号処理回路
Claims (1)
- 【請求項１】真空中で電子源から取りだした一次電子ビ
ームを収束レンズ及び偏向系を介して試料表面上の所定
領域に所定角度で照射し、試料表面で反射される反射回
折線による回折像を蛍光板上に形成し、この蛍光板上の
回折像の中の特定の回折スポットからの発光を真空外に
取出して光電変換素子により電気信号に変換し走査電子
顕微像を得る走査型反射電子回折顕微装置において、上
記蛍光板上の回折像の中の特定の回折スポットからの発
光を、真空外に設けられた光学レンズにより真空外に取
り出して出側端面が２個以上の複数に分岐したイメージ
ガイドの入側端面に集光し、該集光された上記特定回折
スポットからの発光を複数に分岐した上記イメージガイ
ドの出側端面を介してそれぞれ上記光電変換素子に導い
て電気信号に変換し、さらに、該複数の電気信号を信号
処理手段を介して画像信号とすることを特徴とする走査
型反射電子回折顕微装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59085273A JPH0630236B2 (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | 走査型反射電子回折顕微装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59085273A JPH0630236B2 (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | 走査型反射電子回折顕微装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60230346A JPS60230346A (ja) | 1985-11-15 |
| JPH0630236B2 true JPH0630236B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=13853950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59085273A Expired - Lifetime JPH0630236B2 (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | 走査型反射電子回折顕微装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0630236B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2689449B2 (ja) * | 1987-12-04 | 1997-12-10 | 株式会社島津製作所 | 反射電子回折装置 |
| JPH071688B2 (ja) * | 1991-02-15 | 1995-01-11 | 株式会社島津製作所 | 走査型反射電子回折顕微鏡 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5931174B2 (ja) * | 1976-04-26 | 1984-07-31 | 株式会社日立製作所 | 透過形走査電子顕微鏡 |
| JPS56167465U (ja) * | 1980-05-16 | 1981-12-11 |
-
1984
- 1984-04-27 JP JP59085273A patent/JPH0630236B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60230346A (ja) | 1985-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4211924A (en) | Transmission-type scanning charged-particle beam microscope | |
| US5362964A (en) | Environmental scanning electron microscope | |
| US5008537A (en) | Composite apparatus with secondary ion mass spectrometry instrument and scanning electron microscope | |
| US4099055A (en) | Scanning transmission electron microscope | |
| JPH0390845A (ja) | 表面分析方法およびその装置 | |
| US6031230A (en) | Reflected electron detector and a scanning electron microscope device using it | |
| US4382182A (en) | Method of displaying an image of phase contrast in a scanning transmission electron microscope | |
| US5675148A (en) | Scanning reflection electron diffraction microscope | |
| US3942005A (en) | Electron scanning apparatus | |
| US3872305A (en) | Convertible scanning electron microscope | |
| JPH0630236B2 (ja) | 走査型反射電子回折顕微装置 | |
| CN114910457A (zh) | 一种阴极荧光共聚焦显微光谱成像系统和方法 | |
| US6426491B2 (en) | Micro-aperture probe evaluating apparatus having a display and a collimating optical system | |
| US3155827A (en) | Electron microscope with a secondary electron source utilized for electron probe analysis | |
| US4179609A (en) | Point scattering detector | |
| JP2602523B2 (ja) | カソードルミネッセンス測定装置 | |
| JPS6335481Y2 (ja) | ||
| JP2748956B2 (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| SU982117A1 (ru) | Коллектор светового излучени | |
| JPS60144646A (ja) | カソ−ドルミネツセンス観察・分析装置 | |
| JPH0439657Y2 (ja) | ||
| JPS6056344A (ja) | 走査型反射電子回折顕微装置 | |
| JPS62223961A (ja) | 走査型反射電子回折顕微装置 | |
| JPS62110249A (ja) | 走査型反射電子回折顕微装置 | |
| JPS5923444A (ja) | 走査型反射電子回折顕微装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |