JPS60144646A - カソ−ドルミネツセンス観察・分析装置 - Google Patents
カソ−ドルミネツセンス観察・分析装置Info
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- JPS60144646A JPS60144646A JP122384A JP122384A JPS60144646A JP S60144646 A JPS60144646 A JP S60144646A JP 122384 A JP122384 A JP 122384A JP 122384 A JP122384 A JP 122384A JP S60144646 A JPS60144646 A JP S60144646A
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- JP
- Japan
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- mirror
- sample
- cathodoluminescence
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- luminescence
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
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- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は走査型電子顕微鏡におけるカソードルミネッ
センス観察・分析装置に関するものである。
センス観察・分析装置に関するものである。
鉱物の分析、生体月利検査、セラミックスの損傷検査や
発光性半導体材料の検査等に用いられる走査型電子顕微
鏡において、電子線を試料の表面に照射り”るとＸＩ！
ｊ１１２次電子及びカソードルミネッセンス（ｃａｔｈ
ｏｄｅｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ ）などが試料の表面
から放出される。これらを検出して、ディスプレイ装置
に導き観察分析することによって試料についての情報を
得ることができる。
発光性半導体材料の検査等に用いられる走査型電子顕微
鏡において、電子線を試料の表面に照射り”るとＸＩ！
ｊ１１２次電子及びカソードルミネッセンス（ｃａｔｈ
ｏｄｅｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ ）などが試料の表面
から放出される。これらを検出して、ディスプレイ装置
に導き観察分析することによって試料についての情報を
得ることができる。
これら３つの放射線のうちＸ線はＸ線マイクロアナライ
ザによって分析され、また２次電了は２次電子像という
いわゆる電子顕微鏡写真に踊られる等、いずれも公知の
技術によって観察分析が可能である。
ザによって分析され、また２次電了は２次電子像という
いわゆる電子顕微鏡写真に踊られる等、いずれも公知の
技術によって観察分析が可能である。
カソードルミネッ［ンスも同様に観察・分析に利用され
得る。但し、カソードルミネッセンスは非常に微弱な光
であるので、これを観察・分析に利用するには各方向に
反射される光を効率良く集光する必要があり、従来は放
物面鏡、楕円面鏡等の非球凹面反射鏡によって集光する
方法が用いられていた。第１図において１は従来のカソ
ードルミネッセンス検出装瞳の一例ｒある。電子Ｆｉ１
３が試料２の表面に照射されると各方向にカソードルミ
ネッ［ンス４が発旭られ、試料２の周囲の上、前後、左
右をドーム状に覆ってセットされた楕円凹面反射鏡５の
反射面６によって反射される。試料２は楕円凹面反射１
５の第１の焦点に置かれ、従って上記反射されたカソー
ドルミネッセンス４は全て楕円凹面反射鏡５の第２の焦
点７に集光される。これを第２の焦点７にその一端８ａ
をセットされたＡプティカルガイド８によって取り出す
。
得る。但し、カソードルミネッセンスは非常に微弱な光
であるので、これを観察・分析に利用するには各方向に
反射される光を効率良く集光する必要があり、従来は放
物面鏡、楕円面鏡等の非球凹面反射鏡によって集光する
方法が用いられていた。第１図において１は従来のカソ
ードルミネッセンス検出装瞳の一例ｒある。電子Ｆｉ１
３が試料２の表面に照射されると各方向にカソードルミ
ネッ［ンス４が発旭られ、試料２の周囲の上、前後、左
右をドーム状に覆ってセットされた楕円凹面反射鏡５の
反射面６によって反射される。試料２は楕円凹面反射１
５の第１の焦点に置かれ、従って上記反射されたカソー
ドルミネッセンス４は全て楕円凹面反射鏡５の第２の焦
点７に集光される。これを第２の焦点７にその一端８ａ
をセットされたＡプティカルガイド８によって取り出す
。
Ａプティカルガイド８の他端８ｂはＡブチイカルーノイ
ルター１１を介して光電子増倍管１２につながり、更に
観察・分析のための装置につながる。
ルター１１を介して光電子増倍管１２につながり、更に
観察・分析のための装置につながる。
ここで前記三種類の放射線による観察・分析装置が互い
に他の邪魔にならずに同時に使用でき、多角的、効率的
に観察・分析できることが望ましいが、従来装［′ｒ−
は同時使用ができない。例えば上記のような従来のカソ
ードルミネッセンス検出Ｉ！装置においては、試料２は
楕円凹面反射１１５によって覆われてしまうため、Ｘ線
マイクロアナライザの併設ができない。
に他の邪魔にならずに同時に使用でき、多角的、効率的
に観察・分析できることが望ましいが、従来装［′ｒ−
は同時使用ができない。例えば上記のような従来のカソ
ードルミネッセンス検出Ｉ！装置においては、試料２は
楕円凹面反射１１５によって覆われてしまうため、Ｘ線
マイクロアナライザの併設ができない。
Ｘ線マイクロアナライザを併設できるようにしようとす
ればカソードルミネッセンスの集光装置は試料から、一
定の距離をおき、かつ試料の周囲には邪魔になるものを
配置しないことが必要になる。こうした条件を満たす方
法として従来ＢｋＴＪの第２の例として直径はぼ２ｃｍ
の複数の集光用レンズを一直線上に配置し、試料に一番
近いレンズを試料から上記一定距離をｍｔｔ、、た状態
で集光するという方法が考えられる。しかし、この方法
では、集光用のレンズと試料の間の距離が大きいため、
集光立体角が小さくなり、従って集光効率が低下するた
め、試料に照射する電子線を強くしなりれば観察・分析
に必要な強さのカソードルミネッセンスが発生せず、試
料への吸収電流間を例えば、アルミナセラミックスの損
−検査の場合では１０７ないし１０アンペアにしなけれ
ばならない。
ればカソードルミネッセンスの集光装置は試料から、一
定の距離をおき、かつ試料の周囲には邪魔になるものを
配置しないことが必要になる。こうした条件を満たす方
法として従来ＢｋＴＪの第２の例として直径はぼ２ｃｍ
の複数の集光用レンズを一直線上に配置し、試料に一番
近いレンズを試料から上記一定距離をｍｔｔ、、た状態
で集光するという方法が考えられる。しかし、この方法
では、集光用のレンズと試料の間の距離が大きいため、
集光立体角が小さくなり、従って集光効率が低下するた
め、試料に照射する電子線を強くしなりれば観察・分析
に必要な強さのカソードルミネッセンスが発生せず、試
料への吸収電流間を例えば、アルミナセラミックスの損
−検査の場合では１０７ないし１０アンペアにしなけれ
ばならない。
ところが電流量を上記の如く増ヤリと他の２つの線によ
る観察・分析がやはり同時併用できない。
る観察・分析がやはり同時併用できない。
即ち、２次電子による画像は鮮明でなくなる。またｘｍ
マイクロアナライザの分析は１０−’１．ｐら１０−１
゜アンペアという、１桁ないし２指手さな電流でないと
できない。
マイクロアナライザの分析は１０−’１．ｐら１０−１
゜アンペアという、１桁ないし２指手さな電流でないと
できない。
そこで３つの線♀うちカソードルミネッセンスによる装
置を使用する時だけ電流量を切換えて増や１ことになる
が、電流量を切換えることには問題がある。即ち、Ｔ方
の装置により試料のある箇所を観察・分析し工いて、同
じ箇所を他方の装置により観察・分析して関坪を調べよ
うとすれば、電流量を切換えるため電子ビームの絞りの
再調整が必要である。またｉＩｍコイルで絞るため画像
の位置も狂ってしまい、同じ箇所を観察・分析できず、
何回もやり直１’Ｗで手間と時間もかかり、幼牛的な観
察・分析ができない。また、電流ｍを増やづ゛ことは、
試料の汚＊、帯電、電子線損傷等の原因となり、また電
流−を元に戻した時に、非点が出て焦点を合わすこと、
が出来なくな、ることがあり、また、視野が狭くなって
低倍率の写真が撮れなくなる等の問題があり、対策技術
の開発が望まれていた。
置を使用する時だけ電流量を切換えて増や１ことになる
が、電流量を切換えることには問題がある。即ち、Ｔ方
の装置により試料のある箇所を観察・分析し工いて、同
じ箇所を他方の装置により観察・分析して関坪を調べよ
うとすれば、電流量を切換えるため電子ビームの絞りの
再調整が必要である。またｉＩｍコイルで絞るため画像
の位置も狂ってしまい、同じ箇所を観察・分析できず、
何回もやり直１’Ｗで手間と時間もかかり、幼牛的な観
察・分析ができない。また、電流ｍを増やづ゛ことは、
試料の汚＊、帯電、電子線損傷等の原因となり、また電
流−を元に戻した時に、非点が出て焦点を合わすこと、
が出来なくな、ることがあり、また、視野が狭くなって
低倍率の写真が撮れなくなる等の問題があり、対策技術
の開発が望まれていた。
この発明は上記や如き事情に鑑みてなされたものであっ
て、微弱なカソードルミネッセンスを効率よく集光でき
て試料の電子線ｍ傷等ら少なくかつｘＩ！マイク［］ア
ナライザど同一吸収電流量の条件下で同時併用できるカ
ソードルミネッセンス観察・分析装置を提供することを
目的どしくいる。
て、微弱なカソードルミネッセンスを効率よく集光でき
て試料の電子線ｍ傷等ら少なくかつｘＩ！マイク［］ア
ナライザど同一吸収電流量の条件下で同時併用できるカ
ソードルミネッセンス観察・分析装置を提供することを
目的どしくいる。
この目的に対応して、この発明のカソードルミネタセン
ス観察・分析装置は試料と電子銃の間にミラーと反射対
物鏡を配置し前記電子銃からの電子線を前記ミラー及び
前記反射対物鏡の細孔を通して前記試料に照射し、前記
試料からの光を前記反射対物鏡で集光したのち、前記ミ
ラーで光路変更させて光取出し部に導くように構成し／
ｊことを特徴としている。
ス観察・分析装置は試料と電子銃の間にミラーと反射対
物鏡を配置し前記電子銃からの電子線を前記ミラー及び
前記反射対物鏡の細孔を通して前記試料に照射し、前記
試料からの光を前記反射対物鏡で集光したのち、前記ミ
ラーで光路変更させて光取出し部に導くように構成し／
ｊことを特徴としている。
以下、この発明の詳細を一実施例を示９図面について説
明する。
明する。
第２図において２１はカソードルミネッセンス観察・分
析装置である。カソードルミネッセンス観察・分析装置
２１においては電子＃ｃ２２、ミラー２３、反射対物鏡
２４及び試料台２５がこの順に一直線上に配置されてい
る。
析装置である。カソードルミネッセンス観察・分析装置
２１においては電子＃ｃ２２、ミラー２３、反射対物鏡
２４及び試料台２５がこの順に一直線上に配置されてい
る。
ミラー２３は電子銃２２から試わ１台２５に向かってか
つ試別台２５に照剣される電子Ｆｉ１２６を細孔を通し
て通過さｕｌかつ、逆に試料台２５から光ｌられるルミ
ネッセンス光を電子線２６の方向とイ白な一つのツノ向
に進路変更ざけ得るように、電子線２６の方向と４５°
の角度をなすように配置されでいる。
つ試別台２５に照剣される電子Ｆｉ１２６を細孔を通し
て通過さｕｌかつ、逆に試料台２５から光ｌられるルミ
ネッセンス光を電子線２６の方向とイ白な一つのツノ向
に進路変更ざけ得るように、電子線２６の方向と４５°
の角度をなすように配置されでいる。
反射対物鏡２４は２個の反射鏡を組み合Ｖて一体的に、
抜ぎ差し可能に構成したものである。
抜ぎ差し可能に構成したものである。
二個のうら一方は凹面鏡２４ａであり、その頂点には電
子線２６を通過させる穴２９ａをもち、ぞの鏡面２７ａ
が試料台２５と対向しかつ試別台２５とは一定距離をお
きＸ線マイクロアナライザの併設を可能としＣいる。
子線２６を通過させる穴２９ａをもち、ぞの鏡面２７ａ
が試料台２５と対向しかつ試別台２５とは一定距離をお
きＸ線マイクロアナライザの併設を可能としＣいる。
他方は凸面鏡２ ／ｌ ｂであって、凹面鏡２４．８よ
り小さく、その中心に電子Ｉ！ｉ！２６を通過さＵる穴
２９１）をもち、凹面鏡２’ ４ ａど試お１台２５の
間の試ｒ１台２５に接近した位置にその鏡面２７ ｔ＋
が前記鏡面２７ａとス・１向Ｊるように配置されている
。
り小さく、その中心に電子Ｉ！ｉ！２６を通過さＵる穴
２９１）をもち、凹面鏡２’ ４ ａど試お１台２５の
間の試ｒ１台２５に接近した位置にその鏡面２７ ｔ＋
が前記鏡面２７ａとス・１向Ｊるように配置されている
。
凹面鏡２４ ａと凸面鏡２４ｂとは、次のような条件を
満たり鏡面形状と大きさと位置関係をｂつように構成さ
れている。即ら、試料台２５にレットされた試料２８に
電子線２６が当たることにより各方向に向かって発せら
れるカソードルミネッセンスのうち凸面鏡２４１１の周
縁部Ｊ：り外側に出るカソードルミネッセンス３１が、
四面１１２４ ａの鏡面２７ａで反射されて凸面ｔＱ
２４ ｔ＋の鏡面２７ｂ上に達し、更にここで反射され
て凹面鏡２４ａの中心の穴２９ａに向かい、ここで試別
２８の面から穴２６ｂを直接通過しＣ来たカソードルミ
ネッセンス３２と合流し、合流した全庁のカソードルミ
ネッセンス３３がＸ線マイクロアナライザ分析時と同じ
吸収電流ｍの条件下（°、観察・分析を可能とする十分
な強さをもつという条イ！１である。更に凸面鏡２４１
１と試別２８との位置（よＸ線マイクロアナライザによ
るＸ線の分析、更には２次電子検出器による２次電子の
補集に邪魔にならない距離を有している。
満たり鏡面形状と大きさと位置関係をｂつように構成さ
れている。即ら、試料台２５にレットされた試料２８に
電子線２６が当たることにより各方向に向かって発せら
れるカソードルミネッセンスのうち凸面鏡２４１１の周
縁部Ｊ：り外側に出るカソードルミネッセンス３１が、
四面１１２４ ａの鏡面２７ａで反射されて凸面ｔＱ
２４ ｔ＋の鏡面２７ｂ上に達し、更にここで反射され
て凹面鏡２４ａの中心の穴２９ａに向かい、ここで試別
２８の面から穴２６ｂを直接通過しＣ来たカソードルミ
ネッセンス３２と合流し、合流した全庁のカソードルミ
ネッセンス３３がＸ線マイクロアナライザ分析時と同じ
吸収電流ｍの条件下（°、観察・分析を可能とする十分
な強さをもつという条イ！１である。更に凸面鏡２４１
１と試別２８との位置（よＸ線マイクロアナライザによ
るＸ線の分析、更には２次電子検出器による２次電子の
補集に邪魔にならない距離を有している。
ミラー２３で進路変更されＩこカソードルミネッセンス
３３は必要によりミラー３４並びにレンズ３つで進路変
更並びに集光され、分光器３５で分光された後、光電子
増倍＠３６に入れられＣ波長毎に増幅され、処Ｉｑ１回
路３７にａ３いて電気信号に換えられて処理され、表示
！！ｉ １１３８に特定の波長（の画像や波艮分イ１１
弯として表示され得るＪ、うに（ｊ４成されている。
３３は必要によりミラー３４並びにレンズ３つで進路変
更並びに集光され、分光器３５で分光された後、光電子
増倍＠３６に入れられＣ波長毎に増幅され、処Ｉｑ１回
路３７にａ３いて電気信号に換えられて処理され、表示
！！ｉ １１３８に特定の波長（の画像や波艮分イ１１
弯として表示され得るＪ、うに（ｊ４成されている。
このように４１へ１戊されたカソードルミネッセンス観
察・分析装置２１においては電子銃２２から発けられＩ
ｃ電子線２Ｇはミラー２３を細孔を通しＣ通過し、凹面
鏡２４ａ及び凸面鏡２４１）の穴２７ｆ１及び２７１＋
を通過して試別台２５の」二の試オ′１１２８に当たり
、これらよって発せられたカソードルミネッセンスは反
射対物鏡２４によ・）−Ｃ集められて、Ｘ線ンイク［，
１アナライザにＪ、る分析と同吸収電流耶の条イ！１下
で、観察・分析用０しな強さでミラー２３に向かい、こ
こで進路変更されてミラー３４に達して更に進路変更さ
れた後レンズ３９で集光され、分光器３５、光電子増倍
管３６、処Ｉ１１回路３７を軽で表示装置３８に鮮明な
画像等とし【表示される。反射対物鏡２４ ＧＪ試料２
８にかなり近接しＵｎｉ！置するこができ、したがつＣ
集光立体角が大きく、集光効率がよいため、この際、電
流量を１１すやす必要がな（、試別の電子線１（ｉ傷等
も少ない。
察・分析装置２１においては電子銃２２から発けられＩ
ｃ電子線２Ｇはミラー２３を細孔を通しＣ通過し、凹面
鏡２４ａ及び凸面鏡２４１）の穴２７ｆ１及び２７１＋
を通過して試別台２５の」二の試オ′１１２８に当たり
、これらよって発せられたカソードルミネッセンスは反
射対物鏡２４によ・）−Ｃ集められて、Ｘ線ンイク［，
１アナライザにＪ、る分析と同吸収電流耶の条イ！１下
で、観察・分析用０しな強さでミラー２３に向かい、こ
こで進路変更されてミラー３４に達して更に進路変更さ
れた後レンズ３９で集光され、分光器３５、光電子増倍
管３６、処Ｉ１１回路３７を軽で表示装置３８に鮮明な
画像等とし【表示される。反射対物鏡２４ ＧＪ試料２
８にかなり近接しＵｎｉ！置するこができ、したがつＣ
集光立体角が大きく、集光効率がよいため、この際、電
流量を１１すやす必要がな（、試別の電子線１（ｉ傷等
も少ない。
この実施例では分光器を用いているが分光器３５及び光
電子増倍管３６からなる出力部△を、光電子増倍管３６
のみとして、カソードルミネッセンス３３の強弱により
明暗を示す画像を表；］ミ装置３８上に得るように構成
づ″ることもでざる。
電子増倍管３６からなる出力部△を、光電子増倍管３６
のみとして、カソードルミネッセンス３３の強弱により
明暗を示す画像を表；］ミ装置３８上に得るように構成
づ″ることもでざる。
出力部Ａとして分光器３５と光電子増倍管３６を組合け
たもの、及び光電子指１８管３６だｔノのものの両方を
準備し−Ｃ一方を選択できるようトニ構成することもで
きる。
たもの、及び光電子指１８管３６だｔノのものの両方を
準備し−Ｃ一方を選択できるようトニ構成することもで
きる。
以上の説明から明らかな通りこの発明によれば、微弱な
カソードルミネッセンスを効率良く集光（゛きて試料の
電子線損傷等も少なく、かつＸ線マーイクロアナライザ
と同−吸収電流団の条件下で同時併用できるカソードル
ミネッセンス観察・分４１１装置を得ることができる。
カソードルミネッセンスを効率良く集光（゛きて試料の
電子線損傷等も少なく、かつＸ線マーイクロアナライザ
と同−吸収電流団の条件下で同時併用できるカソードル
ミネッセンス観察・分４１１装置を得ることができる。
く実験例〉
■この発明のカソードルミネッセンスｌ！察・分析装置
により２ Ｘ １ ｏ９Ａの吸収電流量で観察されたア
ルミナヒラミックスの摩擦面の試料のカソードルミネッ
センスによる画像番よ経用であった。
により２ Ｘ １ ｏ９Ａの吸収電流量で観察されたア
ルミナヒラミックスの摩擦面の試料のカソードルミネッ
センスによる画像番よ経用であった。
Ｑ）従来の装置の第２例とし′Ｃあけた装置により■と
同じ吸収電流量で観察された■と同一のアルミ、ＬＬ７
ラミツクスの摩擦面の試料のカソードルミネッセンスに
よる画像は不鮮明であった。
同じ吸収電流量で観察された■と同一のアルミ、ＬＬ７
ラミツクスの摩擦面の試料のカソードルミネッセンスに
よる画像は不鮮明であった。
０この発明のカソードルミネッセンスＩ！察・分４１ｉ
装置と同時４７１用した２次電子観寮分析装置により■
と同じ吸収雷流聞′ｃ観察された■と同一の）′ルミ′
）ｔ？ラミックスの摩擦面の試料の２次電ｒ像は１明Ｃ
あった。
装置と同時４７１用した２次電子観寮分析装置により■
と同じ吸収雷流聞′ｃ観察された■と同一の）′ルミ′
）ｔ？ラミックスの摩擦面の試料の２次電ｒ像は１明Ｃ
あった。
第１図は従ヌ（のカソードルミネッセンス観察・分４打
装置の断面説明図、第２図はこの発明のカソードルミネ
ッセンス観察・分析装置の構成説明図ぐある。 ２２・・・電子銃 ２３・・・ミラー ２４・・・反則
文・１物Ｉｔ ２４ａ−・・凹面ａ ２４ｂ・・・凸１
（ｉｊ ＧＡ２５・・・試料台 ２６・・・電子線 ２
７ａ・・・鏡面２７（）・・・鏡面 ２８・・・試＄３
１ ２９ａ・・・穴２９ｂ・・・穴
装置の断面説明図、第２図はこの発明のカソードルミネ
ッセンス観察・分析装置の構成説明図ぐある。 ２２・・・電子銃 ２３・・・ミラー ２４・・・反則
文・１物Ｉｔ ２４ａ−・・凹面ａ ２４ｂ・・・凸１
（ｉｊ ＧＡ２５・・・試料台 ２６・・・電子線 ２
７ａ・・・鏡面２７（）・・・鏡面 ２８・・・試＄３
１ ２９ａ・・・穴２９ｂ・・・穴
Claims (1)
- 試料と電子銃の間にミラーと反射対物鏡を配置し前記電
子銃からの電子線を前記ミラー及び前記反射対物鏡の細
孔を通して前記試料に黒用１ノ、前記試料からの光を前
記反射対物鏡で集光したのち、前記ミラーで光路変更さ
けて光取出し部に導くように構成したことを特徴とする
カソードルミネッセンス観察・分析装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP122384A JPS60144646A (ja) | 1984-01-07 | 1984-01-07 | カソ−ドルミネツセンス観察・分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP122384A JPS60144646A (ja) | 1984-01-07 | 1984-01-07 | カソ−ドルミネツセンス観察・分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60144646A true JPS60144646A (ja) | 1985-07-31 |
Family
ID=11495467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP122384A Pending JPS60144646A (ja) | 1984-01-07 | 1984-01-07 | カソ−ドルミネツセンス観察・分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60144646A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH081492U (ja) * | 1996-04-01 | 1996-10-18 | 東レ株式会社 | 浄水器 |
| JPH081493U (ja) * | 1996-04-01 | 1996-10-18 | 東レ株式会社 | 浄水器 |
| EP1348949A2 (en) * | 2002-03-27 | 2003-10-01 | Horiba, Ltd. | X-ray analysis apparatus and method |
| JP2007071646A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | カソードルミネッセンス検出装置 |
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| JPS58155733A (ja) * | 1982-03-11 | 1983-09-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 評価装置 |
| JPS58219439A (ja) * | 1982-06-15 | 1983-12-20 | Kawasaki Steel Corp | レ−ザ発光分光分析装置 |
-
1984
- 1984-01-07 JP JP122384A patent/JPS60144646A/ja active Pending
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