JPH0455138U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0455138U JPH0455138U JP9762290U JP9762290U JPH0455138U JP H0455138 U JPH0455138 U JP H0455138U JP 9762290 U JP9762290 U JP 9762290U JP 9762290 U JP9762290 U JP 9762290U JP H0455138 U JPH0455138 U JP H0455138U
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- JP
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- sample
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- transporting
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案の一実施例を示す
図である。 １……観察室、２……観察試料、３……ローダ
室、４……試料台、５……試料ステージ、６……
駆動部、７……ボールねじ、８，９……ガイド、
１０……板ばね、１１……ローラ、１２……板、
１３……板ばね、１４……ローラ。
図である。 １……観察室、２……観察試料、３……ローダ
室、４……試料台、５……試料ステージ、６……
駆動部、７……ボールねじ、８，９……ガイド、
１０……板ばね、１１……ローラ、１２……板、
１３……板ばね、１４……ローラ。
Claims (1)
- 観察試料を搬送する試料台と、その試料の位置
決めを行う試料ステージとの間に衝撃を吸収する
機構を設けたことを特徴とする半導体ウエハ観察
装置用試料ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9762290U JPH0455138U (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9762290U JPH0455138U (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0455138U true JPH0455138U (ja) | 1992-05-12 |
Family
ID=31838153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9762290U Pending JPH0455138U (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0455138U (ja) |
-
1990
- 1990-09-19 JP JP9762290U patent/JPH0455138U/ja active Pending
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