JPH0235440U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0235440U JPH0235440U JP11363788U JP11363788U JPH0235440U JP H0235440 U JPH0235440 U JP H0235440U JP 11363788 U JP11363788 U JP 11363788U JP 11363788 U JP11363788 U JP 11363788U JP H0235440 U JPH0235440 U JP H0235440U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- suction
- vacuum suction
- jig
- electromagnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例の斜視図、第２
図は第１の実施例の専用治具無しの状態における
正面図、第３図は第１の実施例の専用治具装着時
の三角法による図、第４図は第１の実施例の専用
治具装着法を示す図、第５図は本考案の第２の実
施例の電磁コイルオフ状態を示す正面図、第６図
は第２の実施例の電磁コイルオン状態を示す正面
図である。 １……ベース、２……着脱フレーム固定板、３
……専用治具着脱フレーム、４……電磁コイル、
５……真空吸着用専用治具、６……止めねじ、７
……案内シヤフト、８……スプリング、９……鉄
芯、１０……センサー取付穴、１１……吸引口、
１２……クランプ専用治具、１２ａ……シヤフト
、１２ｂ……クランプ部、１２ｃ……コンタクト
プレート。
図は第１の実施例の専用治具無しの状態における
正面図、第３図は第１の実施例の専用治具装着時
の三角法による図、第４図は第１の実施例の専用
治具装着法を示す図、第５図は本考案の第２の実
施例の電磁コイルオフ状態を示す正面図、第６図
は第２の実施例の電磁コイルオン状態を示す正面
図である。 １……ベース、２……着脱フレーム固定板、３
……専用治具着脱フレーム、４……電磁コイル、
５……真空吸着用専用治具、６……止めねじ、７
……案内シヤフト、８……スプリング、９……鉄
芯、１０……センサー取付穴、１１……吸引口、
１２……クランプ専用治具、１２ａ……シヤフト
、１２ｂ……クランプ部、１２ｃ……コンタクト
プレート。
Claims (1)
- 半導体パツケージを保持搬送するハンドリング
装置の吸着ヘツドにおいて、内部に真空吸着用穴
の明いた電磁吸着面と、該電磁吸着面と真空吸着
治具を密接せしめる機構を有するフレームと、該
フレームと嵌合により容易に着脱可能な真空吸着
治具とを具備することを特徴とする簡易切換型吸
着ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11363788U JPH0235440U (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11363788U JPH0235440U (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0235440U true JPH0235440U (ja) | 1990-03-07 |
Family
ID=31353653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11363788U Pending JPH0235440U (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0235440U (ja) |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP11363788U patent/JPH0235440U/ja active Pending
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