KR100995260B1 - 기판의 반송 장치 및 반송 방법 - Google Patents

기판의 반송 장치 및 반송 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100995260B1
KR100995260B1 KR20077025529A KR20077025529A KR100995260B1 KR 100995260 B1 KR100995260 B1 KR 100995260B1 KR 20077025529 A KR20077025529 A KR 20077025529A KR 20077025529 A KR20077025529 A KR 20077025529A KR 100995260 B1 KR100995260 B1 KR 100995260B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
board
vacuum
vacuum chamber
valve
Prior art date
Application number
KR20077025529A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080016546A (ko
Inventor
다카시 구보
마사츠구 다바타
Original Assignee
아사히 가라스 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 아사히 가라스 가부시키가이샤 filed Critical 아사히 가라스 가부시키가이샤
Publication of KR20080016546A publication Critical patent/KR20080016546A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100995260B1 publication Critical patent/KR100995260B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0294—Vehicle bodies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

본 발명은 진공 펌프 및 진공 펌프의 전원 코드를 운반 중에 끌고 다니는 일 없이 기판을 반송 가능한 작업성이 양호한 기판의 반송 장치를 제공한다. 본체에 복수의 흡착 패드가 장착되고, 이들 흡착 패드에 의해 기판을 진공 흡착함으로써, 그 기판을 유지시켜 반송하는 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 흡착 패드에는 제 1 밸브를 통하여 진공 챔버가 설치되어 있고, 그 진공 챔버는 제 2 밸브와 연결부를 통하여 진공 펌프가 탈착 가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치.

Description

기판의 반송 장치 및 반송 방법{APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 플랫 패널 디스플레이용 등의 박판 유리 기판을 작업자에 의해 반송하기 위한 기판의 반송 장치 및 기판의 반송 방법에 관한 것이다.
액정 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이용 박판 유리 기판의 제조 방법의 하나로서, 플로트법이라 칭해지는 성형법을 이용한 제조 방법이 알려져 있다. 이 제조 방법은 상기 플로트법에 의해 용융 유리를 판 형상으로 성형하고, 그 후 연마 장치에 의해 유리판의 표면의 미소한 요철이나 물결을 연마하여 제거함으로써, 두께 0.5~1.1㎜ 의 박판 형상으로 하는 방법이다.
상기 유리 기판은 최근의 디스플레이의 대화면화로 인해 사이즈가 대형화되는 경향이 있다. 그 때문에, 대형의 박판 유리 기판 (예를 들어, 한 변이 1500㎜ 를 초과하는 것) 을 유리 기판 제조 공장이나 액정 디스플레이 조립 공장에서 작업자가 파지하여 반송하는 것은, 유리 기판이 무거워, 불필요한 외력을 가하면 박판 유리 기판이 용이하게 파손되기 때문에 곤란했다. 그래서, 박판 형상의 유리 기판을 반송하는 기판의 반송 장치로서, 예를 들어 특허 문헌 1 에 나타난 장치가 알려져 있다.
특허 문헌 1 에는, 반송 로봇에 사용되는 기판 반송 아암이 개시되고, 기판 반송 아암의 선단에는 복수의 진공 흡착부가 설치되어 있다. 이 반송 로봇에 의하면, 기판 반송 아암을 기판의 수취 위치로 이동시키고, 여기서 진공 흡착부에 의해 기판을 진공 흡착하여 유지한다. 이 후, 기판 반송 아암을 소정의 궤도에 따라 이동시키고, 기판을 수수 위치로 반송한다.
특허 문헌 1: 일본 공개특허공보 2000-133694호
발명의 개시
발명이 해결하고자 하는 과제
진공 흡착부에 의한 기판의 반송은 기판에 불필요한 외력을 가하는 일 없이 반송 가능한 점에서 대형 기판의 반송에 적합하지만, 특허 문헌 1 에 기재된 로봇에 의한 반송 장치에서는 궤도가 제한되기 때문에, 기판을 적절히 소정의 위치로 반송하기에는 적합하지 않다는 결점이 있었다.
한편, 손잡이가 달린 프레임에 복수의 흡착 패드가 설치됨과 함께, 이들 흡착 패드가 진공 펌프에 호스를 통하여 연결되어 이루어지는 반송 장치가 알려져 있다. 이 반송 장치는 흡착 패드에 진공 흡착된 기판을, 손잡이를 파지한 작업자에 의해 적절히 소정의 위치로 반송할 수 있다는 이점이 있지만, 반송시에 호스 및 진공 펌프의 전원 코드를 끌고 다닐 필요가 있기 때문에, 반송 범위가 제한됨과 함께 작업성이 나쁘다는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 작업성이 양호하게 기판을 반송하기 위한 반송 장치 및 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
과제를 해결하기 위한 수단
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 본체에 복수의 흡착 패드가 장착되고, 이들 흡착 패드에 의해 기판을 진공 흡착하여 유지함으로써, 그 기판을 반송하는 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 흡착 패드에는 제 1 밸브를 통하여 진공 챔버가 설치되어 있고, 그 진공 챔버는 제 2 밸브와 연결부를 통하여 진공 펌프가 탈착 가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치를 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시형태에서는, 상기 기판의 반송 장치는 상기 진공 펌프가 상기 연결부에 있어서 상기 진공 챔버로부터 분리되어 사용된다.
또한, 본 발명은 본체에 복수의 흡착 패드가 장착되고, 이들 흡착 패드에 의해 기판을 진공 흡착하여 유지함으로써, 그 기판을 반송하는 기판의 반송 방법으로서, 상기 흡착 패드를 제 1 밸브를 통하여 진공 챔버에 접속하고, 그 진공 챔버에 제 2 밸브와 연결부를 통하여 진공 펌프를 탈착 가능하게 장착하고, 우선, 기판의 흡착 전에 제 1 밸브를 닫음과 함께 제 2 밸브를 개방하고, 진공 챔버를 진공 펌프에 의해 진공 상태로 하고, 다음에, 제 2 밸브를 닫음과 함께, 진공 챔버로부터 진공 펌프를 연결부에 있어서 분리하고, 다음에 반송 장치의 흡착 패드를 기판에 맞닿게 하고, 기판에 대하여 흡착 패드를 위치 결정한 후, 제 1 밸브를 개방하고, 기판을 흡착 패드로 진공 흡착하고, 이 후, 반송 장치를 소정의 위치로 반송함으로써, 기판을 소정의 위치로 반송하는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 방법을 제공한다.
상기의 본 발명에 의하면, 기판의 흡착 전에 제 1 밸브를 닫음과 함께 제 2 밸브를 개방하고, 진공 챔버를 진공 펌프에 의해 진공 상태로 한다. 이 후, 제 2 밸브를 닫고, 진공 펌프를 진공 챔버로부터 연결부에 있어서 분리한다. 다음에, 반송 장치의 흡착 패드를 기판에 맞닿게 하고, 기판에 대하여 흡착 패드를 위치 결정한 후, 제 1 밸브를 개방하고, 기판을 흡착 패드에 의해 진공 흡착한다. 이상에 의해, 기판이 기판의 반송 장치에 유지된다. 이 후, 반송 장치를 작업자가 운반함으로써 반송 장치에 유지된 기판을 적절히 소정의 위치로 반송한다. 따라서, 진공 펌프, 진공 펌프의 호스, 및 진공 펌프의 전원 코드를 끌고 다니는 일 없이 기판을 반송할 수 있으므로, 기판 반송의 작업성이 크게 개선된다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시형태에서는, 상기 본체는 복수개의 프레임에 의해 구성되고, 이들 프레임은 중공의 프레임을 갖고 있으며, 그 중공의 프레임이 상기 진공 챔버로서 겸용된다.
이와 같이 본체를 구성하는 프레임의 적어도 일부를 중공의 프레임으로 하고, 이 중공의 프레임을 진공 챔버로서 겸용했으므로, 부품점수를 삭감할 수 있다. 예를 들어, 본체의 프레임은 시판되고 있는 강성이 높은 알루미늄제 파이프를 격자 형상으로 연결하고, 이것에 흡착 패드를 장착함과 함께, 상기 격자 형상의 프레임에 중공의 각(角) 파이프를 비스듬히 교차한 형상으로 설치함으로써 구성된다. 그리고, 이 중공의 각 파이프를 진공 챔버로서 겸용함으로써, 부품 수가 적어도 강성이 높은 반송 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 다른 바람직한 실시형태에서는, 상기 진공 챔버는 상기 흡착 패드에 의해 상기 기판을 여러 차례 반복하여 유지할 수 있는 진공이 얻어지는 용적을 갖고 있다.
이와 같이 진공 챔버는 기판을 여러 차례 반복하여 유지 가능한 진공을 확보할 수 있는 용적을 갖고 있기 때문에, 1 회의 반송마다 진공 챔버를 진공 펌프로 진공 흡인 (evacuate) 할 필요가 없어진다. 이로써, 진공 펌프에서의 진공 흡인의 횟수를 줄일 수 있으므로, 작업성이 더욱 향상된다.
발명의 효과
본 발명에 관련되는 기판의 반송 장치 및 그 반송 방법에 의하면, 본체에 설치한 흡착 패드에 제 1 밸브를 통하여 진공 챔버를 형성하고, 이 진공 챔버에 제 2 밸브와 연결부를 통하여 진공 펌프를 탈착 가능하게 장착하고 있으므로, 기판의 반송시에는 진공 펌프를 진공 챔버로부터 연결부에서 분리하는 것이 가능해져, 진공 펌프, 진공 펌프의 호스, 및 진공 펌프의 전원 코드를 끌고 다니는 일 없이 기판을 반송할 수 있다. 따라서, 기판 반송의 작업성을 크게 개선할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 기판의 반송 장치의 사용례를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 도 1 의 기판의 반송 장치의 전체 구성을 나타내는 평면도이다.
도 3 은 도 2 의 기판의 반송 장치의 측면도이다.
도 4 는 진공 챔버로부터 진공 펌프를 분리한 상태에 있어서의 반송 장치의 측면도이다.
도 5 는 박판 유리 기판으로부터 반송 장치를 분리한 상태에 있어서의 반송 장치의 측면도이다.
부호의 설명
G: 박판 유리 기판
10: 기판의 반송 장치
12: 프레임
14: 본체
16: 흡착 패드
18: 진공 챔버 (중공의 각 파이프)
20: 작업자
22: 손잡이
24: 호스
26: 3 포트 밸브 (제 1 밸브에 상당)
28: 개폐 밸브 (제 2 밸브에 상당)
30: 커플러 (연결부에 상당)
32: 커플러 (연결부에 상당)
34: 호스
36: 진공 펌프
38: 전원 코드
40: 압력 게이지
42: 호스
44: 압력 게이지
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
이하, 첨부 도면에 따라 본 발명에 관련되는 기판의 반송 장치 및 그 반송 방법의 바람직한 실시형태에 대하여 상세히 설명한다.
도 1 은 액정 디스플레이에 사용되는 박판 유리 기판 (G) 을 반송하는 반송 장치 (10) 의 사용례를 나타낸 사시도이다. 이 박판 유리 기판 (G) 은 약 0.5~1.1㎜ 의 판두께로 성형된 플로트 판유리를 연마 장치에 의해 표면의 미소한 요철이나 물결을 연마 제거함으로써 제조된 한 변이 1500㎜ 를 초과하는 대형의 것이다. 본 발명은 이러한 얇은 대형 기판의 반송에 적합하지만, 기판의 크기나 두께는 한정되지 않는다. 또한, 본 발명에 적용되는 기판은 액정 디스플레이용 박판 유리 기판 (G) 에 한정되는 것이 아니라, 플라즈마 디스플레이용으로 사용되는 유리 기판이어도 되고, 태양 전지용으로 사용되는 유리 기판 등이어도 된다.
도 1 에 나타내는 반송 장치 (10) 는 시판되고 있는 강성이 높은 알루미늄제 파이프 (12, 12···) 를 격자 형상으로 조립 장착함으로써 구성된 본체 (14) 와, 본체 (14) 의 전역에 소정의 간격을 두고 다수 설치된 고무제 흡착 패드 (16, 16···) 와, 본체 (14) 에 비스듬히 교차한 형상으로 설치된 중공의 각 파이프 (18, 18) 등으로 구성되어 있다. 이 각 파이프 (18, 18) 는 본체 (14) 의 일부를 구성하고 있지만, 본 발명의 반송 장치에서는 각 파이프 (18, 18) 의 내부 공간을 진공실로서 사용하는 것이다. 즉, 각 파이프 (18, 18) 는 진공 챔버로서 겸용되고 있다. 반송 장치 (10) 에 있어서, 알루미늄제 파이프 (12, 12···)는 중실(中實)이어도 되고, 재질도 알루미늄 이외의 프레임재를 사용할 수 있다. 또한 중공의 각 파이프 (18, 18) 도 중공의 프레임이면, 그 형체는 적절히 결정할 수 있다. 이하, 각 파이프 (18) 를 진공 챔버 (18) 라 바꿔 말하여 설명한다.
상기 반송 장치 (10) 에 있어서, 본체 (14) 의 좌우의 2 변에는 작업자 (20, 20) 가 파지하는 손잡이 (22, 22) 가 프레임 (12) 의 단부로부터 측방으로 돌출하여 설치되어 있지만, 이 손잡이 (22) 는 본체 (14) 의 2 변에 한정하지 않고 4 변에 설치해도 된다. 또한, 도시는 되어 있지 않지만, 본체 (14) 를 바닥면 등에 세운 상태에서 놓기 위한 다리부를 본체 (14) 의 손잡이 (22, 22) 가 설치되어 있지 않은 변에 설치해도 된다.
상기 반송 장치 (10) 의 흡착 패드 (16, 16···)는 도 2 와 같이 흡착 패드 (16) 의 개수분만큼 분기 형성된 호스 (24) 를 통하여 연통되어 있고, 이 호스 (24) 는 3 포트 밸브 (제 1 밸브에 상당)(26) 를 통하여 진공 챔버 (18) 에 연결되어 있다. 또한, 진공 챔버 (18) 는 개폐 밸브 (제 2 밸브에 상당)(28) 를 통하여 커플러 (연결부에 상당)(30) 에 접속되고, 이 커플러 (30) 에는 커플러 (연결부에 상당)(32) 가 탈착 가능하게 연결된다. 그리고, 커플러 (32) 에는 호스 (34) 를 통하여 진공 펌프 (36) 가 접속되어 있다. 따라서, 진공 펌프 (36) 는 커플러 (30, 32) 를 통하여 진공 챔버 (18) 에 착탈 가능하게 되어 있다. 3 포트 밸브 (26), 개폐 밸브 (28), 및 커플러 (30) 는 본체 (14) 에 장착되고, 작업자 (20) 에 의해 수동 조작 및 착탈 조작된다.
또한, 도 2 상에서 부호 38 은 진공 펌프 (36) 의 전원 코드이다. 본 발명의 반송 장치 (10) 에서는, 반송 중에 있어서 전원 코드 (38) 를 끌고 다닐 필요가 없기 때문에, 전원 코드 (38) 는 릴에 감겨진 긴 것이 아니라, 수 미터 정도의 짧은 것이 사용되고 있다. 도 3 에 있어서 부호 40 은 진공 챔버 (18) 의 진공도를 측정하는 압력 게이지이며, 진공 챔버 (18) 와 3 포트 밸브 (26) 를 접속하는 호스 (42) 에 설치되어 있다. 또한, 부호 44 는 호스 (24) 의 진공도, 즉 각각의 흡착 패드 (12) 의 진공도를 측정하는 압력 게이지이다. 작업자 (20) 는 이들 압력 게이지 (40, 44) 에 표시된 감압도를 육안으로 확인함으로써, 반송 장치 (10) 의 현재의 진공도나 흡착시의 리크 등을 파악할 수 있다. 이로써, 대형의 박판 유리 기판 (G) 을 높은 안전도로 반송할 수 있다.
다음에, 상기와 같이 구성된 기판의 반송 장치 (10) 의 작용에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 박판 유리 기판 (G) 의 흡착 전에, 3 포트 밸브 (26) 를 폐포트 (26A) 로 전환하여 3 포트 밸브 (26) 를 닫음과 함께, 개폐 밸브 (28) 를 개방한다. 다음에, 커플러 (30, 32) 끼리를 연결시켜 진공 챔버 (18) 와 진공 펌프 (36) 를 접속한다. 다음에, 진공 펌프 (36) 를 구동시켜, 진공 챔버 (18) 가 진공 상태에 도달한 것을 측정 게이지 (40) 에 의해 확인한 후, 진공 펌프 (36) 를 정지시킨다. 이로써, 반송 장치 (10) 에 의한 박판 유리 기판 (G) 의 흡착 유지의 준비가 완료된다.
다음에, 개폐 밸브 (28) 를 닫아 진공 챔버 (18) 와 진공 펌프 (36) 를 차단 한 후, 도 4 와 같이 커플러 (30) 로부터 커플러 (32) 를 떼어냄으로써, 진공 챔버 (18) 로부터 진공 펌프 (36) 를 분리한다.
다음에, 작업자 (20) 가 반송 장치 (10) 를 박판 유리 기판 (G) 의 수취 위치까지 이동시킨 후, 작업자 (20) 에 의해 반송 장치 (10) 의 흡착 패드 (16, 16···) 를 박판 유리 기판 (G) 에 맞닿게 한다. 그리고, 박판 유리 기판 (G) 에 대하여 흡착 패드 (16, 16···) 를 위치 결정한 후, 3 포트 밸브 (26) 를 개(開)포트 (26B) 로 전환하여 3 포트 밸브 (26) 를 개방함으로써, 박판 유리 기판 (G) 을 흡착 패드 (16, 16···) 에 의해 진공 흡착한다. 이상의 동작에 의해, 박판 유리 기판 (G) 이 반송 장치 (10) 에 유지된다.
이 후, 도 1 과 같이 반송 장치 (10) 에 유지된 박판 유리 기판 (G) 은 본체 (14) 를 작업자 (20, 20) 가 운반함으로써 적절히 소정의 수수 위치로 반송된다. 따라서, 이 반송 중에 있어서, 진공 펌프 (36), 진공 펌프 (36) 의 호스 (34), 및 진공 펌프 (36) 의 전원 코드 (38) 를 끌고 다니는 일 없이 박판 유리 기판 (G) 을 반송할 수 있으므로, 기판 반송의 작업성이 크게 개선된다. 그리고, 박판 유리 기판 (G) 을 수수 위치로 반송하면, 도 5 와 같이 3 포트 밸브 (26) 를 폐(閉)포트 (26A) 로 전환하여, 폐포트 (26A) 를 통해서 흡착 패드 (16, 16···) 를 대기 개방한다. 이로써, 흡착 패드 (16, 16···) 의 흡착력이 소실되므로, 박판 유리 기판 (G) 으로부터 반송 장치 (10) 의 본체 (14) 를 분리할 수 있다.
이 후, 2 매째의 박판 유리 기판 (G) 을 반송하는 경우에는, 도 4 에 나타낸 바와 같이 본체 (14) 를 박판 유리 기판 (G) 의 수취 위치까지 재이동시킨 후, 흡 착 패드 (16, 16···) 를 박판 유리 기판 (G) 에 맞닿게 하여 3 포트 밸브 (26) 를 개방하고, 박판 유리 기판 (G) 을 흡착 패드 (16, 16···) 에 진공 흡착시킨다. 이 후, 전술한 바와 같이 박판 유리 기판 (G) 을 반송 장치 (10) 를 이용하여 반송하면 된다.
본 예의 반송 장치 (10) 에서는, 상기한 바와 같이 본체 (14) 를 구성하는 파이프 중 중공의 프레임을 구성하는 각 파이프 (18, 18) 를 진공 챔버 (18) 로서 겸용하고 있으므로, 부품점수를 삭감할 수 있다. 즉, 각 파이프 (18, 18) 가 본체 (14) 의 구성 부재로서 기능하고 있으므로, 본체 (14) 의 구성 부재를 그만큼 삭감할 수 있고, 또한 각 파이프 (18, 18) 가 진공 챔버를 겸하고 있으므로, 진공 채널을 별개로 형성하지 않아도 된다는 큰 이점을 얻을 수 있다.
또한, 상기 반송 장치 (10) 에 있어서, 진공 챔버 (18) 는 흡착 패드계내를 박판 유리 기판 (G) 을 유지 가능한 감압도로 유지하고, 흡착 패드 (16, 16···) 로 박판 유리 기판 (G) 을 여러 차례 (예를 들어 5 회) 반복하여 유지할 수 있는 진공이 얻어지는 용적을 갖고 있다. 이 때문에, 1 회의 반송마다 진공 챔버 (18) 를 진공 펌프 (28) 에 의해 진공 흡인할 필요가 없어, 진공 펌프 (28) 에 의한 진공 흡인의 횟수를 줄일 수 있다. 이 점에서도 작업성이 더욱 향상된다.
이하, 박판 유리 기판 (G) 을 흡착 패드 (16) 에 의해 진공 흡인하지 않고 여러 차례 흡착 유지하기 위한 진공 챔버 (18) 계의 체적 V1, 흡착 패드 (16) 계의 체적 V2, 흡착 패드 (16) 의 최저 유지 압력 Pmin 의 관계에 대하여 설명한다.
진공 챔버 (18) 계 (3 포트 밸브 (26) 로부터 진공 챔버 (18) 내부까지의 계) 의 체적을 V1, 흡착 패드 (16) 계 (3 포트 밸브 (26) 로부터 전체 흡착 패드 (16) 내부까지의 계) 의 체적을 V2, 계 전체 (진공 챔버 (18) 계 및 흡착 패드 (16) 계) 의 체적을 V1+V2, 진공 챔버 (18) 계에 존재하는 기체의 물질량 (단위: 몰) 을 n1, 흡착 패드 (16) 계에 존재하는 기체의 물질량 (단위: 몰) 을 n2, 기체 상수를 R, 열역학 온도 (단위: K) 를 T, 진공 챔버 (18) 의 초기 내부 압력을 P1, 흡착 패드 (16) 의 초기 내부 압력을 P2 로 했을 경우,
P1V1=n1RT, P2V2=n2RT
이다 (단, P2 의 초기값은 대기압).
가령 절대 압력하에서 P1=0kPa 로 하면, 초기 상태에서는
P1=0,
P2V2=n2RT···(Ⅰ) 이다.
그리고, 3 포트 밸브 (26) 를 개포트 (26B) 로 전환하여 박판 유리 기판 (G) 이 흡착 패드 (16) 에 의해 흡착되면, 진공 챔버 (18) 의 내부 압력 P1' 은 P1'(V1+V2)=n2RT=P2V2 로 표시된다 (P1' 은 흡착 패드 (16) 에 의해 박판 유리 기판 (G) 을 흡착한 후의 진공 챔버 (18) 의 내부 압력).
따라서, P1'=P2V2/(V1+V2) 가 된다. 또한, 이 때 체적이 V1+V2 인 계 전체 (진공 챔버 (18) 계 및 흡착 패드 (16) 계) 에는 물질량 n2 (몰) 의 기체가 존재한다.
다음에, 3 포트 밸브 (26) 를 폐포트 (26A) 로 전환하여 흡착 패드 (16, 16···) 를 대기 개방하고, 흡착 패드 (16) 계의 압력이 대기압이 되면,
P1'V1={n2V1/(V1+V2)}RT
가 된다. 또한, 3 포트 밸브 (26) 를 개포트 (26B) 로 다시 전환하여 박판 유리 기판 (G) 이 흡착 패드 (16) 에 의해 재흡착되면, 진공 챔버 (18) 의 내부 압력 P1'' 은,
P1''(V1+V2)=〔n2+{n2V1/(V1+V2)}〕RT
인 관계가 된다 (P1'' 은 흡착 패드 (16) 에 의해 박판 유리 기판 (G) 을 흡착한 후에 한 번 개방하고, 또 다시 흡착 패드 (16) 에 의해 박판 유리 기판 (G) 을 흡착한 후의 진공 챔버 (18) 의 내부 압력). 요컨대,
P1''=〔n2+{n2V1/(V1+V2)}〕RT/(V1+V2)
={n2/(V1+V2)+n2V1/(V1+V2)2}RT ··· (Ⅱ)
이 된다.
한편, (Ⅰ) 식에 의해, RT=P2V2/n2 이므로, 단열 변화라 가정하고 계산을 간 략한 경우, (Ⅱ) 식은,
P1''={n2/(V1+V2)+n2V1/(V1+V2)2}P2V2/n2 ··· (Ⅲ)
이 되고, (Ⅲ) 식은,
P1''={1/(V1+V2)+V1/(V1+V2)2}P2V2 ··· (Ⅳ)
이 된다 (이 때 P2 는 대기압이다).
이상과 같이, 체적 V1, V2 를 결정하고, 흡착 패드 (16) 의 최저 유지 압력 Pmin 을 결정함으로써, P1''<Pmin 인 관계를 유지하는 한, 본 발명의 반송 장치는 박판 유리 기판 (G) 을 몇 번이라도 흡착, 개방할 수 있다.
또한, 본 예의 반송 장치 (10) 에서는, 본체의 일부를 구성하는 각 파이프 (18, 18) 가 진공 챔버를 겸하고 있지만, 진공 챔버는 진공실만을 목적으로 하여 본체에 별개로 설치해도 된다.
본 발명은 액정 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이용 기판과 같이 얇아 대형 유리 기판의 반송에 유용하다.
또한, 2005년 7월 8일에 출원된 일본 특허출원 제2005-200051호의 명세서, 특허 청구의 범위, 도면 및 요약서의 전체 내용을 여기에 인용하여, 본 발명의 명세서의 개시로서 도입하는 것이다.

Claims (9)

  1. 본체에 복수의 흡착 패드가 장착되고, 이들 흡착 패드에 의해 기판을 진공 흡착하여 유지함으로써, 그 기판을 반송하는 기판의 반송 장치에 있어서,
    그 본체는 복수개의 프레임에 의해 구성되고, 그 프레임은 중공의 프레임을 가지며,
    상기 흡착 패드에는 제 1 밸브를 통하여 그 중공 프레임으로 이루어지는 진공 챔버가 설치되어 있고, 그 진공 챔버는 제 2 밸브와 연결부를 통하여 진공 펌프가 탈착 가능하게 장착되고, 상기 흡착 패드에 의해 상기 기판을 여러 차례 반복하여 유지할 수 있는 진공이 얻어지는 용적을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 반송 장치는 상기 진공 펌프가 상기 연결부에 있어서 상기 진공 챔버로부터 분리되어 사용되는 기판의 반송 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체는 복수개의 파이프를 격자 형상으로 조립 장착하고, 추가로 중공의 파이프를 비스듬히 교차한 형상으로 설치하여 구성되어 있고, 이 중공의 파이프가 상기 진공 챔버로서 겸용되어 있는 기판의 반송 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은 판두께가 0.5 ~ 1.1 ㎜ 이고, 한 변이 1500 ㎜ 를 초과하는 유리 기판인 기판의 반송 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임의 재질은 알루미늄인 기판의 반송 장치.
  7. 중공 프레임을 포함하는 복수개의 프레임으로 이루어지는 본체에 복수의 흡착 패드가 장착되고, 이들 흡착 패드에 의해 기판을 진공 흡착하여 유지함으로써, 그 기판을 반송하는 기판의 반송 방법으로서,
    상기 흡착 패드를 제 1 밸브를 통하여 그 중공의 프레임으로 이루어지는 진공 챔버에 접속하고, 그 진공 챔버에 제 2 밸브와 연결부를 통하여 진공 펌프를 탈착 가능하게 장착하고,
    우선, 기판의 흡착 전에 제 1 밸브를 닫음과 함께 제 2 밸브를 개방하고, 진공 챔버를 진공 펌프에 의해 진공 상태로 하고,
    다음에, 제 2 밸브를 닫음과 함께, 진공 챔버로부터 진공 펌프를 연결부에 있어서 분리하고,
    다음에 반송 장치의 흡착 패드를 기판에 맞닿게 하고, 기판에 대하여 흡착 패드를 위치 결정한 후, 제 1 밸브를 개방하고, 기판을 흡착 패드에 의해 진공 흡착하고,
    이 후, 반송 장치를 반송함으로써, 기판을 소정의 위치로 반송하는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 방법.
  8. 삭제
  9. 제 1 항, 제 2 항, 제 4 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본체에 진공 챔버의 진공도를 측정하는 압력 게이지와 흡착 패드의 진공도를 측정하는 압력 게이지가 설치되어 있는 기판의 반송 장치.
KR20077025529A 2005-07-08 2006-07-06 기판의 반송 장치 및 반송 방법 KR100995260B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2005-00200051 2005-07-08
JP2005200051 2005-07-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080016546A KR20080016546A (ko) 2008-02-21
KR100995260B1 true KR100995260B1 (ko) 2010-11-19

Family

ID=37637036

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20077025529A KR100995260B1 (ko) 2005-07-08 2006-07-06 기판의 반송 장치 및 반송 방법

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4984075B2 (ko)
KR (1) KR100995260B1 (ko)
TW (1) TW200740676A (ko)
WO (1) WO2007007642A1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009295682A (ja) * 2008-06-03 2009-12-17 Mitsubishi Materials Techno Corp ガラス板のハンドリング装置
JP5506203B2 (ja) * 2009-02-03 2014-05-28 株式会社日立ハイテクノロジーズ 表示パネル基板搬送装置及び表示パネルモジュール組立装置
WO2013044395A1 (en) * 2011-09-30 2013-04-04 Ats Automation Tooling Systems Inc. System and method for providing vacuum to a moving element
CN107534005A (zh) * 2015-05-26 2018-01-02 罗斯柯公司 用于处理电子部件的船形件、组件和方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1126553A (ja) * 1997-07-09 1999-01-29 Fujitsu Ltd 吸着コレット
JPH11177286A (ja) * 1997-12-09 1999-07-02 Sharp Corp 基板搬送プレート及びその処理装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06163671A (ja) * 1992-11-19 1994-06-10 Kawasaki Steel Corp 真空ピンセット及び真空供給治具
JPH08111452A (ja) * 1994-10-07 1996-04-30 Nec Kansai Ltd ウェーハキャリア
JP3225340B2 (ja) * 1995-07-27 2001-11-05 株式会社新川 リードフレームの吸着保持装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1126553A (ja) * 1997-07-09 1999-01-29 Fujitsu Ltd 吸着コレット
JPH11177286A (ja) * 1997-12-09 1999-07-02 Sharp Corp 基板搬送プレート及びその処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP4984075B2 (ja) 2012-07-25
KR20080016546A (ko) 2008-02-21
TWI320393B (ko) 2010-02-11
JPWO2007007642A1 (ja) 2009-01-29
WO2007007642A1 (ja) 2007-01-18
TW200740676A (en) 2007-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100995260B1 (ko) 기판의 반송 장치 및 반송 방법
TWI527747B (zh) 非接觸吸著盤
US20030161737A1 (en) Stable vacuum adapter
JPH11188681A (ja) 基板搬送用ハンド及びその吸着機構
US10120215B2 (en) Apparatus for carrying substrate by off-line vacuum suction and method for transporting substrate
JPWO2015030168A1 (ja) 板状積層体の製造方法および装置
CN206123476U (zh) 一种用于液晶面板的真空吸盘工装
CN205630660U (zh) 机器人偏光片吸板结构
CN102495492A (zh) Uvm制程中取放片方法及用于实施该方法的取片组合装置
US6673161B2 (en) Substrate handling end effector
CN108025587B (zh) 粘贴装置和粘贴方法
JPH09246365A (ja) 基板用保持治具
CN102446795A (zh) 基板搬运装置及搬运方法
CN214173677U (zh) 保压测试装置
CN211263094U (zh) 一种检测半导体设备的装置
CN211260362U (zh) 多路独立进气系统
JPH1126553A (ja) 吸着コレット
CN208147623U (zh) 一种机器人砂纸打磨手爪
CN112326150A (zh) 一种飞机机体结构气密试验装置及其试验方法
US20130236282A1 (en) Transferring apparatus for liquid crystal panel
CN207239951U (zh) 一种可增加tft－lcd玻璃基板研磨时补正效果的双气路装置
JP2009224286A (ja) プラズマディスプレイパネルの製造装置
CN219081944U (zh) 一种可以平滑自破空的真空发生器
CN219275532U (zh) 一种晶片抛光用取片装置
CN207687669U (zh) 一种集成化的气体置换装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131017

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141105

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151030

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161104

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171103

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee