JP7465199B2 - 実装装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る実装装置の実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図1に示すように、実装装置1は、ウエーハホルダ100上のチップ101をピックアップして、基板200に向けて搬送し、基板200に実装する。この実装装置1は、ウエーハステージ2、移載部3、実装部4及び基板ステージ5を備えている。
このような実装装置1において、図2に示すように、ウエーハステージ2は、エキスパンド機構21を備える。エキスパンド機構21は、隣接するチップ101間にギャップを生成する。このエキスパンド機構21は、押さえプレート22、押さえプレート22の駆動機構23及び円筒体24を備える。押さえプレート22は、中心孔221を有する円環状の板である。押さえプレート22の内径及び外径は、ウエーハリング103と同心円状の位置関係にあるとき、押さえプレート22とウエーハリング103とがオーバーラップする領域を有するように設定されている。円筒体24の外径は、押さえプレート22の中心孔221よりも小さく、ウエーハリング103の内径よりも小さい。この押さえプレート22と円筒体24は同軸配置される。
次に、移載部3について更に詳細に説明する。図4に示すように、移載部3は、チップ101をピックアップする保持部33、中継移動機構31及びピックアップ移動機構32を備えている。中継移動機構31にピックアップ移動機構32が取り付けられ、ピックアップ移動機構32にアーム34を介して保持部33が取り付けられている。
以上のウエーハステージ2及び移載部3は、押さえプレート22の傾き検出に利用される。図5は、実装装置1の制御構成を示すブロック図である。図5に示すように、実装装置1は、ウエーハステージ2、移載部3、実装部4及び基板ステージ5の動作を制御する制御部6を備えている。制御部6は、所謂コンピュータにより構成され、制御プログラム及び各種データが記憶されている。制御プログラムは、二つのプログラム部により成る。第1のプログラム部は、チップ101を基板200に実装する実装動作の制御内容が記述されている。第2のプログラム部は、ウエーハホルダ100が実装装置1内に搬入されたときに実装動作に先立って行われる傾き検査動作が記述されている。
制御部6の制御に従った傾き検査部7の動作について説明する。図6に示すように、直動機構25x及び25yは、高さ測定部71の一要素として、コレットチェンジャ36をピックアップポジション81に位置合わせする。この位置合わせは、押さえプレート22がウエーハリング103を押し下げる最中又はその前後に行われる。ピックアップ移動機構32は、高さ測定部71の一要素として、保持部33をコレットチェンジャ36に近づけ、保持部33に測定用のコレット331を装着させる。測定用のコレット331は硬質材のため、ゴム製のコレット331とは異なり、押さえプレート22への接触によっても歪まず、高さが精度良く検出でき、傾き検査用に好適である。
図9は、この制御部6による傾き検査動作及び実装動作を示すフローチャートである。図10は、傾き検査の動作を示すフローチャートである。図9に示すように、まず、制御部6は、ウエーハホルダ100が交換等によってウエーハステージ2に装着されたことを検知する(ステップS01)。例えば、ウエーハステージ2にウエーハホルダ100を装着するロボットアームを実装装置1に備え付けるようにしてもよい。ロボットアームがウエーハホルダ100をウエーハステージ2に装着し、制御部6に対して装着の完了信号を出力する。また、制御部6はシーケンス制御にて、ウエーハホルダ100がウエーハステージ2に装着されたと判断するようにしてもよい。
以上のように、この実装装置1は傾き検査部7を備えるようにした。この傾き検査部7は、エキスパンド機構21によってウエーハシート102が伸張された後、押さえプレート22の傾きを検査する。そして、この実装装置1は、傾き検査部7の検査結果に応じて、ウエーハリング103に張設されたウエーハシート102に貼着されたウエーハから基板200へチップ101を移す実装動作を実行又は中止する。これにより、実装動作前に押さえプレート22の傾きが検出できるため、押さえプレート22が傾くことで、実装動作によってチップ101を脱落や損傷等によって台無し(無駄)にすることを防止できる。
以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。
2 ウエーハステージ
21 エキスパンド機構
22 押さえプレート
221 中心孔
23 駆動機構
231 ナット
232 ネジ軸
233 軸受け
234 プーリ
235 タイミングベルト
236 駆動プーリ
237 回転モータ
24 円筒体
25x 直動機構
25y 直動機構
251 ガイドレール
252 ネジ軸
26 バックアップ体
3 移載部
31 中継移動機構
32 ピックアップ移動機構
321 ガイドレール
322 ネジ軸
323 スライダ
324 回転モータ
33 保持部
331 コレット
34 アーム
341 ガイドレール
35 タッチセンサ
35a 検出用ドグ
35b センサコイル
35c 付勢体
36 コレットチェンジャ
4 実装部
41 保持部
5 基板ステージ
6 制御部
61 駆動量検出部
7 傾き検査部
71 高さ測定部
72 高さ比較部
73 高さ測定ポイント
81 ピックアップポジション
82 実装ポジション
83 受渡しポジション
84 基準高さ
100 ウエーハホルダ
101 チップ
102 ウエーハシート
103 ウエーハリング
200 基板
Claims (5)
- エキスパンド機構によって伸張されたウエーハシートからチップをピックアップして基板へ実装する実装動作を行う実装装置であって、
前記ウエーハシートを一端部で支持する円筒体と、
円環形状を有し、前記ウエーハシートを保持するウエーハリングを押さえ込みながら、中心孔に前記円筒体を通すように、前記円筒体の前記一端部を超えて移動する押さえプレートと、
前記押さえプレートと前記円筒体によって前記ウエーハシートが伸張された後、前記円筒体に対する前記押さえプレートの傾きを検査する傾き検査部と、
を備え、
前記傾き検査部の検査結果に応じて前記実装動作を実行又は中止すること、
を特徴とする実装装置。 - 前記傾き検査部は、前記押さえプレート上の複数箇所の高さを測定し、複数箇所の高さの差に基づき、前記押さえプレートの傾きを検査すること、
を特徴とする請求項1記載の実装装置。 - 前記実装動作で、前記チップをピックアップする保持部と、
前記実装動作で、前記保持部を前記チップに向けて移動させるピックアップ移動機構と、
を備え、
前記傾き検査部は、
前記保持部及び前記ピックアップ移動機構を含み、
前記保持部を前記押さえプレートの複数箇所において接触するまで移動させ、複数箇所での前記保持部の移動量に基づき、複数箇所の高さを測定すること、
を特徴とする請求項2記載の実装装置。 - 前記傾き検査部は、
前記保持部に設けられ、当該保持部の接触を検出するセンサと、
前記センサが接触を検出するまで、前記保持部の移動量を検出する移動量検出部と、
を更に備えること、
を特徴とする請求項3記載の実装装置。 - 測定用のコレットが収容されたコレットチェンジャを備え、
前記保持部は、前記押さえプレートの複数箇所に接触する際、前記測定用のコレットを装着していること、
を特徴とする請求項3又は4記載の実装装置。
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