JP3287744B2 - 電子部品の特性測定方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、チップコンデン
サ、チップインダクタ等のチップ状電子部品の電気的特
性を高速で測定するための電子部品の特性測定方法及び
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の電子部品の特性測定装置
としては、本出願人提案の特公平５−６６００９号及び
特公平６−８７０７２号に開示されたものがある。これ
らの特公平５−６６００９号及び特公平６−８７０７２
号の装置は、チップコンデンサ、チップインダクタ等の
チップ状電子部品（以下、チップ部品と言う）を保持し
搬送する間欠移動搬送テーブルと、該間欠移動搬送テー
ブル上のチップ部品に対し一対の測定用接触子を当接さ
せて電気的特性を測定する測定ユニットとを持ち、前記
間欠移動搬送テーブルの間欠送り動作を基準とし、これ
と機械的に連動させて前記測定ユニットの測定用接触子
を開閉して間欠搬送されたチップ部品を順次測定する構
成となっている。

【０００３】また、別の従来装置として、サーボモータ
を用いて間欠移動搬送テーブルを駆動するとともに、測
定ユニットの駆動にソレノイドを用いたものがあり、こ
の場合、間欠移動搬送テーブルの移動完了信号により測
定ユニットのソレノイドを駆動させて該間欠移動搬送テ
ーブル上の電子部品の測定を行っていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した特
公平５−６６００９号及び特公平６−８７０７２号の装
置では、間欠移動搬送テーブルの間欠送り動作を基準と
し、これと機械的に連動させて測定ユニットの測定用接
触子を開閉するものであるため、現状以上の高速化は困
難であり、給油等の定期的なメンテナンスを必要とす
る。また、電子部品の供給、排出での停止要因等に起因
する停止命令に対し、現状位置での瞬時停止が困難であ
った。

【０００５】また、サーボモータを用いて間欠移動搬送
テーブルを駆動するとともに、測定ユニットの駆動にソ
レノイドを用いた従来装置では、ソレノイドの寿命が短
いため、測定ユニットのソレノイドの寿命を考慮して定
期的な交換が必要でメンテナンスが面倒な欠点がある。

【０００６】本発明は、上記の点に鑑み、電子部品測定
の高速化、保守性及び動作の信頼性の向上を図ることの
できる電子部品の特性測定方法及び装置を提供すること
を目的とする。

【０００７】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。

【０００８】

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願請求項１の発明は、被測定物である電子部品の
端子電極に接触する接触子で電子部品の特性測定を行う
測定ユニットを駆動するために第１のサーボモータを用
いるとともに、前記測定ユニットの測定位置へ電子部品
を間欠搬送する間欠移動搬送テーブルを駆動するために
第２のサーボモータを用い、前記第１のサーボモータの
回転角度から前記測定ユニットの接触子が電子部品の端
子電極から離間している期間を検知し、当該期間内に前
記第２のサーボモータで前記間欠移動搬送テーブルを一
定量移動する電子部品の特性測定方法であって、通常時
は前記第１のサーボモータを連続回転させ、前記期間内
に前記第２のサーボモータによる前記間欠移動搬送テー
ブルの前記一定量の移動を完了できないときは前記第１
及び第２のサーボモータの回転を停止することを特徴と
している。

【００１０】

【００１１】本願請求項２の発明は、被測定物である電
子部品を間欠搬送する間欠移動搬送テーブルと、該間欠
移動搬送テーブルで間欠搬送された電子部品の端子電極
に接触する接触子を有していて電子部品の特性測定を行
う測定ユニットと、前記接触子の開閉を行うための第１
のサーボモータと、前記間欠移動搬送テーブルを駆動す
るための第２のサーボモータと、該第１のサーボモータ
の回転角度を検出する回転角度検出手段とを備え、前記
回転角度検出手段の検出出力が電子部品の端子電極から
前記接触子が離間していることを示している期間内に前
記第２のサーボモータで前記間欠移動搬送テーブルを駆
動する電子部品の特性測定装置であって、前記間欠移動
搬送テーブルの間欠搬送毎の一定量の移動を検出する確
認センサを設け、通常時は前記第１のサーボモータを連
続回転させるが、前記期間内に前記間欠移動搬送テーブ
ルの前記一定量の移動が完了していないことを前記確認
センサが検出したときは前記第１及び第２のサーボモー
タの回転を停止することを特徴としている。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る電子部品の特
性測定方法及び装置の実施の形態を図面に従って説明す
る。

【００１３】図１は本発明の実施の形態であって間欠移
動搬送テーブルとしてのロータリーインデックステーブ
ル及びその周辺の機構部分を示す正断面図、図２は測定
ユニットの接触子を開閉駆動する機構部分の正断面図、
図３は実施の形態の平面図、図４は測定ユニット部分を
示す拡大断面図、図５は実施の形態における電気制御系
統を示すブロック図、図６は実施の形態の動作説明のた
めのタイムチャートである。

【００１４】図１乃至図４において、間欠移動搬送テー
ブルとしてのロータリーインデックステーブル１は、装
置基台１１上に立設固定されたテーブル支持フレーム２
で水平面内で回転自在に軸支されている。すなわち、ロ
ータリーインデックステーブル１の中心に中心軸３が垂
直に固定されており、該中心軸３はテーブル支持フレー
ム２に固定の軸受４で回転自在に支持されている。図４
に示すように、被測定物としてのチップコンデンサ、チ
ップインダクタ等のチップ状電子部品１０は、ロータリ
ーインデックステーブル１の上面周縁部のキャリア部１
ａ上に等間隔で載置されている。なお、図示は省略した
が、各チップ状電子部品１０を位置ずれを起こさないよ
うに吸着保持するために、真空吸引路がキャリア部１ａ
のチップ状電子部品の載置位置に対応して形成されてい
る。

【００１５】前記装置基台１１に対し所定高さに固定支
持されていて、前記ロータリーインデックステーブル１
の周囲に位置する固定台板１２上には、図３の如く円環
を部分的に切欠いた平面形状の測定ユニット取付台座１
３が固定されており、該測定ユニット取付台座１３上に
測定ユニット２０が固定されている。ここでは図３のよ
うにロータリーインデックステーブル１の停止位置に対
応したステーションのうちの１４箇所の測定ステーショ
ンに測定ユニット２０がそれぞれ固定配置されている。

【００１６】各々の測定ユニット２０の構成は図４に示
される。この図において、測定ユニット２０は、測定ユ
ニット取付台座１３に固定されたユニット本体２１と、
該ユニット本体２１に対しナイフエッジ支点Ｐを中心と
して回動（揺動）するように取り付けられた一対の開閉
レバー２２と、一対の開閉レバー２２の下端にそれぞれ
取り付けられた相互に対向する一対のＬ型金属薄板の接
触子２３と、一対の接触子２３が閉じる向きに前記一対
の開閉レバー２２を付勢する圧縮ばね２４と、前記一対
の接触子２３の閉じたときの対向間隔を規定するストッ
パ用調整螺子２５と、各開閉レバー２２の上端に枢着さ
れたカムローラ２６とを有している。

【００１７】前記圧縮ばね２４はユニット本体２１に固
定のブラケット２７に取り付けられて、前記ナイフエッ
ジ支点Ｐより下の開閉レバー２２部分を押圧するもので
あり、前記ストッパ用調整螺子２５は前記ブラケット２
７に螺着されて、先端が前記ナイフエッジ支点Ｐより上
の開閉レバー２２部分に当接するものである。前記一対
の接触子２３にはリード端子２８を介しリード線が接続
され、チップ状電子部品１０の電気的特性を測定するた
めの測定機器に接続されるようになっている。

【００１８】前記測定ユニット２０の一対の接触子２３
の開閉動作は、下降時にカムローラ２６の間隔を狭くす
るカム面３０ａを形成した昇降カム部材３０で行うよう
になっており、昇降カム部材３０がカムローラ２６に当
接していない場合、一対の接触子２３は閉じた状態であ
って、ロータリーインデックステーブル１側のキャリア
部１ａ上にチップ状電子部品１０が載置されているとき
に、チップ状電子部品１０の両端面を挟み、当該チップ
状電子部品１０の両端部の外部端子電極に接触子２３が
それぞれ接触するようになっている。

【００１９】前記昇降カム部材３０が下降すると、その
カム面３０ａによりカムローラ２６が押されて一対のカ
ムローラ２６の間隔が狭くなる向きに一対の開閉レバー
２２が回動して各開閉レバー２２下端の接触子２３は開
き、前記キャリア部１ａ上のチップ状電子部品１０から
十分離れた位置に後退する。

【００２０】なお、ロータリーインデックステーブル１
の間欠回転によるチップ状電子部品１０の間欠搬送の際
には、測定ユニット２０の一対の接触子２３は開いた状
態で、キャリア部１ａ上のチップ状電子部品１０の移動
を妨げないようになっていることが必要である。

【００２１】各測定ユニット２０の一対の接触子２３を
開閉するための昇降カム部材３０は、それぞれカム取付
昇降板３１に固定され、該カム取付昇降板３１は前記固
定台板１２に対し垂直方向（上下方向）に摺動自在に支
持された昇降スライダ３２に固定されている。カム取付
昇降板３１は、図３の２点鎖線に示すように、ロータリ
ーインデックステーブル１の外縁外側に沿った円弧形状
で、固定台板１２上に４箇所取り付けられたリニアスラ
イドガイド３３で垂直方向（上下方向）に摺動自在に支
えられている。前記昇降スライダ３２の下端部にはカム
フォロアとしてのローラ３４，３５が枢着されている。

【００２２】図２において、４０は測定ユニット駆動用
サーボモータ（第１のサーボモータ）であり、該測定ユ
ニット駆動用サーボモータ４０は装置基台１１上に固定
のモータ取付台４１に設置、固定されている。この測定
ユニット駆動用サーボモータ４０の回転駆動軸４０ａ
は、モータ取付台４１上に固定の軸受４２で回転自在に
支持された水平回転軸４３にジョイント４４を介して連
結されている。前記水平回転軸４３の先端部には測定ユ
ニット駆動用カム部材４５が連結固定されている。該カ
ム部材４５には周回する凹溝４６が形成されており、カ
ム部材４５の外周面のカム面４５ａに前記カムフォロア
としてのローラ３４が接し、凹溝４６の内面のカム面４
５ｂにローラ３５が接するようになっている。すなわ
ち、ローラ３４，３５でカム部材４５のカム面４５ａ，
４５ｂ間の肉厚を挟持しており、カム部材４５の回転に
伴って昇降スライダ３２は上下し、ひいては昇降カム部
材３０を昇降させて測定ユニット２０の接触子２３の開
閉を実行させることができる。

【００２３】図３及び図５に示す如く、前記測定ユニッ
ト駆動用サーボモータ４０の回転駆動軸４０ａ（水平回
転軸４３）の回転角度を検出する回転角度検出手段とし
てロータリーエンコーダ５０及びカムポジショナー５４
が設けられている。すなわち、エンコーダ５０は測定ユ
ニット駆動用サーボモータ４０に並行してモータ取付台
４１上に設置、固定されており、エンコーダ５０の入力
軸５０ａと水平回転軸４３とにそれぞれベルト車（プー
リー）５１，５２が固着され、両ベルト車５１，５２間
にタイミングベルト５３が巻掛けられている。ここで、
エンコーダ５０は測定ユニット駆動用サーボモータ４０
が一定角度回転する毎に１個のパルスを図５の電気制御
系統のカムポジショナー５４に出力する。例えば、１度
毎に１個のパルスを出力するように設定すれば、測定ユ
ニット駆動用サーボモータ４０が１回転（３６０度回
転）する毎にエンコーダ５０は３６０個のパルスを出す
ことができる。カムポジショナー５４はエンコーダ５０
の基準位置（回転角零の位置で、例えば昇降カム部材３
０が下降限に到達したときの水平回転軸４３の位置）か
らのパルスを計数することで回転駆動軸４０ａの回転角
度、ひいてはこれに取り付けられたカム部材４５の回転
位置を検出することができる（従って、昇降カム部材３
０の昇降状態も知ることができる）。

【００２４】なお、測定ユニット駆動用サーボモータ４
０は通常一定回転数で連続運転しており、この結果、各
測定ユニット２０の接触子２３を開閉する昇降カム部材
３０は周期的に昇降を繰り返している（接触子２３は周
期的に開閉を繰り返している）。

【００２５】前記ロータリーインデックステーブル１を
間欠回転させるために前記テーブル支持フレーム２に搬
送駆動用サーボモータ（第２のサーボモータ）６０及び
減速機６１が設置、固定されている。すなわち、搬送駆
動用サーボモータ６０の回転駆動軸６０ａと減速機６１
の入力軸６１ａとはジョイント６２を介して連結され、
減速機６１の出力軸６１ｂとロータリーインデックステ
ーブル１側の中心軸３とはジョイント６３を介して連結
されている。水平軸３及び出力軸６１ｂは水平面に対し
垂直な向きの回転軸である。ロータリーインデックステ
ーブル１が所望の１回の間欠回転動作（いわゆる割出し
動作であって、この場合ステーション１個分の前進動
作）を完了したことを検出するために、前記減速機６１
の出力軸６１ｂに固定の穴あき又は溝付き回転検出板６
４とテーブル支持フレーム２に固定のフォトセンサ６５
とからなる分割確認センサＳ１が設けられている。この
分割確認センサＳ１はインデックステーブル１の間欠回
転完了時に回転検出板６４の穴又は溝をフォトセンサ６
５の光が通過する構造を例えば具備するものである。

【００２６】なお、搬送駆動用サーボモータ６０は間欠
運転であり、その間欠運転のタイミングは連続運転して
いる測定ユニット駆動用サーボモータ４０の回転駆動軸
４０ａの回転角度を基準として測定ユニット２０の接触
子２３の開いている期間を検出して行うようにする。こ
のような測定ユニット駆動用サーボモータ４０と搬送駆
動用サーボモータ６０の同期運転の詳細については後述
する。

【００２７】図３に示すように、ロータリーインデック
ステーブル１の外縁に沿って当該ロータリーインデック
ステーブル１の停止位置に対応させて設けたステーショ
ンのうち、被測定物であるチップ状電子部品１０を図４
に示すロータリーインデックステーブル１上のキャリア
部１ａ上に供給する所が供給ステーションであり、ここ
に供給ユニット７０が配置されている。該供給ユニット
７０は、いわゆるチップフィーダと呼ばれるもので、チ
ップ状電子部品１０を１列に整列し、１個毎分離してキ
ャリア部１ａ上に供給する機能を具備している。

【００２８】また、図３の如く、測定ユニット２０が配
置された測定ステーションの間、もしくは測定ステーシ
ョンの後段に位置する不良品排出ステーションに不良品
排出ノズル８１がそれぞれ設置されている。該不良品排
出ノズル８１は空気流を吹き出すもので、当該不良品排
出ノズル８１より前段の測定ユニット２０による電気的
特性の測定結果が不良と判定されたチップ状電子部品１
０をロータリーインデックステーブル１のキャリア部上
から空気流で吹き飛ばして図示しない不良品排出パイプ
に送り込むためのものである。

【００２９】全ての測定ステーションを通過し、各測定
ユニット２０による電気的特性の測定結果が良好と判断
されたチップ状電子部品１０を排出するための第１及び
第２良品排出ステーションに第１及び第２良品排出ノズ
ル８２，８３がそれぞれ設置されている。第１及び第２
良品排出ノズル８２，８３は、第１及び第２良品排出ス
テーションに良品が到来したときのみロータリーインデ
ックステーブル１上のチップ状電子部品１０を空気流で
吹き飛ばして図示しない良品排出パイプに送り込む。

【００３０】前記第２良品排出ノズル８３の後段の強制
排出ステーションには、強制排出ノズル８４が設置され
ており、ロータリーインデックステーブル１上に残った
チップ状電子部品１０を空気流で強制的に排除する。正
常な動作では不良品排出ステーション又は良品排出ステ
ーションでチップ状電子部品１０は排出され強制排出ス
テーションにはチップ状電子部品１０が残らない筈であ
るが、何らかの原因でチップ状電子部品１０が残る場合
がある。ロータリーインデックステーブル１上にチップ
状電子部品１０が残った状態で新たに供給ユニット７０
からチップ状電子部品１０の供給動作を実行すると不都
合なので、当該強制排出ステーションの強制排出ノズル
８４でチップ状電子部品１０を除いておく。

【００３１】図５の電気制御系統を示すブロック図にお
いて、測定ユニット駆動用サーボモータ４０及び搬送駆
動用サーボモータ６０の運転、停止の制御のためにサー
ボモータ制御部９０が設けられており、測定ユニット２
０の接触子２３の開閉状態を示すカムポジショナー５４
の出力信号、例えば、測定ユニット２０の接触子２３が
開放状態又は閉成状態となったことを示すタイミング信
号がカムポジショナー５４からサーボモータ制御部９０
に加えられようになっている。また、搬送駆動用サーボ
モータ６０によるロータリーインデックステーブル１の
１回の間欠回転動作、すなわち割り出し動作が完了した
ことを検出するための分割確認センサＳ１の検出信号
と、昇降カム部材３０が下降位置となったことを検出
（すなわち接触子２３の開放状態を検出）するための開
放確認センサＳ２の検出信号とがそれぞれサーボモータ
制御部９０に加えられている。

【００３２】前記測定ユニット駆動用サーボモータ４０
の回転角度を基準とした搬送駆動用サーボモータ６０の
同期運転について図６のタイムチャートを用いて以下に
説明する。

【００３３】図６（Ａ）に示すように、測定ユニット駆
動用サーボモータ４０が一定速度で回転することにより
各測定ユニット２０の一対の接触子２３を開閉するため
の昇降カム部材３０は、期間Ｔ１で下降状態（接触子２
３開放）、期間Ｔ２で下降位置からの上昇動作、期間Ｔ
３で上昇状態（接触子２３閉成）、期間Ｔ４で上昇位置
からの下降動作を行い、以後期間Ｔ１〜Ｔ４を繰り返
す。期間Ｔ３では一対の接触子２３が閉じて図４のよう
にキャリア部１ａ上のチップ状電子部品１０の両端部の
外部端子電極に接触しており、図６（Ａ）の斜線部で示
す測定期間Ｔ５で対を成した接触子２３間に接続された
測定機器で所要の電気的特性測定（静電容量、インダク
タンス、電気抵抗、絶縁耐圧測定等）を実行する。

【００３４】前記昇降カム部材３０の下降、上昇状態
（すなわち接触子２３の開閉状態）は、測定ユニット駆
動用サーボモータ４０の回転駆動軸４０ａに連動するロ
ータリーエンコーダ５０のパルス出力を受けるカムポジ
ショナー５４で検出することができ、接触子２３が開放
状態となったことを示すカムポジショナー５４のタイミ
ング信号と開放確認センサＳ２の昇降カム部材３０が実
際に下降位置にあることを示す検出信号との両方をサー
ボモータ制御部９０が受けたとき、搬送駆動用サーボモ
ータ６０の回転を開始させ、図６（Ｂ）の期間Ｔ６のロ
ータリーインデックステーブル１の割出し動作を実行さ
せる。ロータリーインデックステーブル１が所定角度の
回転動作（ステーション１個分の前進動作）を完了して
昇降カム部材３０の期間Ｔ１の下降状態継続中に分割確
認センサＳ１から割り出し完了を示す検出信号がサーボ
モータ制御部９０に出されたら、サーボモータ制御部９
０は搬送駆動用サーボモータ６０を停止し、図６（Ｂ）
の休止期間Ｔ７だけ搬送駆動用サーボモータ６０の停止
を継続する。そして、ロータリーインデックステーブル
１が停止している間の図６（Ａ）の斜線部で示す測定期
間Ｔ５に所要の電気的特性測定を実行した後、再びカム
ポジショナー５４の接触子開放を示すタイミング信号と
開放確認センサＳ２の昇降カム部材３０が下降位置にあ
ることを示す検出信号との両方がサーボモータ制御部９
０に印加されたとき、搬送駆動用サーボモータ６０の回
転が開始される。

【００３５】この図６に示すように、正常時は測定ユニ
ット駆動用サーボモータ４０を連続運転し、その回転駆
動軸４０ａの回転角度を検出して測定ユニット２０の接
触子２３が開いている一定のタイミングに同期させて搬
送駆動用サーボモータ６０を間欠運転することができ
る。

【００３６】なお、図６（Ａ）の昇降カム部材３０の下
降状態（接触子２３開放）を示す期間Ｔ１内にロータリ
ーインデックステーブル１の割り出し動作が完了できな
かった場合、すなわち期間Ｔ１内に分割確認センサＳ１
の分割確認の検出信号が得られない場合（割り出しを完
了していないことを検出した場合）、サーボモータ制御
部９０は直ちに測定ユニット駆動用サーボモータ４０及
び搬送駆動用サーボモータ６０の両方を停止する。ま
た、開放確認センサＳ２で昇降カム部材３０の下降が検
出できない場合も、サーボモータ制御部９０は直ちに測
定ユニット駆動用サーボモータ４０及び搬送駆動用サー
ボモータ６０の両方を瞬時に停止する。これらにより、
装置の損傷（例えば、測定ユニット２０の接触子２３、
ロータリーインデックステーブル１のキャリア部１ａ
等）やチップ状電子部品１０の損傷を未然に防止する。

【００３７】次に、この実施の形態の全体的な動作説明
を行う。

【００３８】ロータリーインデックステーブル１の外縁
に沿って設置されたステーションのうち、供給ステーシ
ョンでは供給ユニット７０からロータリーインデックス
テーブル１のキャリア部１ａ上に被測定物としてのチッ
プ状電子部品１０が移載され、ロータリーインデックス
テーブル１の間欠回転にともないステーション１個分毎
に順次前進していく。測定ステーションに到達したチッ
プ状電子部品１０は、測定ユニット２０の一対の接触子
２３が閉じたときに当該一対の接触子２３で挟まれ、チ
ップ状電子部品１０の両端部の外部端子電極に接触子２
３がそれぞれ接触することで所要の電気的特性の測定が
行われる。異なる測定ステーションの測定ユニット２０
では互いに異なる電気的特性についての測定が実施され
る。そして、いずれかの電気的特性が不良と判定された
チップ状電子部品１０は第１及び第２の良品排出ステー
ションに到達する前に、複数箇所の不良品排出ステーシ
ョンの不良品排出ノズル８１でロータリーインデックス
テーブル１上から排除される。排除されないで残ったチ
ップ状電子部品１０であって良品と判定されたものは第
１及び第２の良品排出ステーションの第１及び第２良品
排出ノズル８２，８３でロータリーインデックステーブ
ル１から良品排出パイプに送り込む。

【００３９】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。

【００４０】(1) 測定ユニット駆動用サーボモータ４
０は一定速度の連続回転であり、この回転駆動軸４０ａ
の回転角度を基準として測定ユニット２０の接触子２３
が開いているタイミングで搬送駆動用サーボモータ６０
を同期させて間欠回転させており、通常の動作状態では
測定ユニット駆動用サーボモータ４０が停止している時
間が皆無で時間の無駄が発生せず、測定処理の高速化に
対応できる。

【００４１】(2) ロータリーインデックステーブル１
の駆動及び測定ユニット２０の駆動に用いたサーボモー
タは一般的に故障が少なく、ソレノイド等に比較して長
寿命であり、保守が容易である。

【００４２】(3) ロータリーインデックステーブル１
や昇降カム部材３０等の動作に支障が生じた時は、測定
ユニット駆動用サーボモータ４０及び搬送駆動用サーボ
モータ６０の両方を瞬時に停止させることが可能であ
り、測定ユニット２０の接触子２３、ロータリーインデ
ックステーブル１のキャリア部１ａ、チップ状電子部品
１０等の破損を防止することができる。

【００４３】(4) 測定ユニット駆動用サーボモータ４
０と搬送駆動用サーボモータ６０の２つの独立したサー
ボモータを用いるため、フレキシブルな時間割り付けが
可能であり、かつ小型サーボモータの採用により装置全
体の小型化を図ることもできる。

【００４４】なお、上記実施の形態において、供給ユニ
ット７０に割り当てられた供給期間内にチップ状電子部
品１０の供給が完了できないときも測定ユニット駆動用
サーボモータ４０及び搬送駆動用サーボモータ６０の瞬
時停止を実行する構成とすることができる。

【００４５】また、測定ユニット２０の構成は適宜変更
可能であり、接触子の一方が固定で片側のみ可動となっ
ている構成、複数対の接触子を開閉する構成等が採用可
能である。

【００４６】さらに、測定ユニット駆動用サーボモータ
４０の回転駆動軸４０ａの回転角度検出を、エンコーダ
５０と該エンコーダ５０の出力パルスを計数するカムポ
ジショナー５４との組み合わせからなる回転角度検出手
段で検出したが、その他の角度検出手段を採用すること
も可能である。

【００４７】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被測定物である電子部品の端子電極に接触する接触子で
電子部品の特性測定を行う測定ユニットを駆動するため
に第１のサーボモータを用いるとともに、前記測定ユニ
ットの測定位置へ電子部品を間欠搬送する間欠移動搬送
テーブルを駆動するために第２のサーボモータを用い、
前記第１のサーボモータの回転角度から前記測定ユニッ
トの接触子が電子部品の端子電極から離間している期間
を検知し、当該期間内に前記第２のサーボモータで前記
間欠移動搬送テーブルを一定量移動する構成とし、さら
に通常時は前記第１のサーボモータを連続回転させ、前
記期間内に前記第２のサーボモータによる前記間欠移動
搬送テーブルの前記一定量の移動を完了できないときは
前記第１及び第２のサーボモータの回転を停止するよう
にしたので、電子部品測定の高速化、保守性及び動作の
信頼性の向上を図った電子部品の特性測定方法及び装置
を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電子部品の特性測定方法及び装置
の実施の形態であってロータリーインデックステーブル
及びその周辺の機構部分を示す正断面図である。

【図２】測定ユニットの接触子を開閉駆動するための機
構部分を示す正断面図である。

【図３】実施の形態の平面図である。

【図４】実施の形態における測定ユニット部分の拡大断
面図である。

【図５】実施の形態における電気系統を示すブロック図
である。

【図６】実施の形態の動作説明のためのタイムチャート
である。

【符号の説明】

１ ロータリーインデックステーブル １ａ キャリア部 ２ テーブル支持フレーム ３ 中心軸 ４，４２ 軸受 １０ チップ状電子部品 １１ 装置基台 １２ 固定台板 １３ 測定ユニット取付台座 ２０ 測定ユニット ２１ ユニット本体 ２２ 開閉レバー ２３ 接触子 ２４ 圧縮ばね ２５ ストッパ用調整螺子 ２６ カムローラ ２７ ブラケット ２８ リード端子 ３０ 昇降カム部材 ３０ａ，４５ａ，４５ｂ カム面 ３１ カム取付昇降板 ３２ 昇降スライダ ３３ リニアスライドガイド ３４，３５ ローラ ４０ 測定ユニット駆動用サーボモータ ４０ａ 回転駆動軸 ４１ モータ取付台 ４３ 水平回転軸 ４４，６２，６３ ジョイント ４５ カム部材 ４６ 凹溝 ５０ エンコーダ ５１，５２ ベルト車 ５３ タイミングベルト ５４ カムポジショナー ６０ 搬送駆動用サーボモータ ６０ａ 回転駆動軸 ６１ 減速機 ７０ 供給ユニット ８１ 不良品排出ノズル ８２，８３ 良品排出ノズル ８４ 強制排出ノズル ９０ サーボモータ制御部 Ｓ１ 分割確認センサ Ｓ２ 開放確認センサ

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−148712（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−144815（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−140578（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−118670（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物である電子部品の端子電極に接
   触する接触子で電子部品の特性測定を行う測定ユニット
   を駆動するために第１のサーボモータを用いるととも
   に、前記測定ユニットの測定位置へ電子部品を間欠搬送
   する間欠移動搬送テーブルを駆動するために第２のサー
   ボモータを用い、前記第１のサーボモータの回転角度か
   ら前記測定ユニットの接触子が電子部品の端子電極から
   離間している期間を検知し、当該期間内に前記第２のサ
   ーボモータで前記間欠移動搬送テーブルを一定量移動す
   る電子部品の特性測定方法であって、 通常時は前記第１のサーボモータを連続回転させ、前記
   期間内に前記第２のサーボモータによる前記間欠移動搬
   送テーブルの前記一定量の移動を完了できないときは前
   記第１及び第２のサーボモータの回転を停止することを
   特徴とする電子部品の特性測定方法。
2. 【請求項２】 被測定物である電子部品を間欠搬送する
   間欠移動搬送テーブルと、該間欠移動搬送テーブルで間
   欠搬送された電子部品の端子電極に接触する接触子を有
   していて電子部品の特性測定を行う測定ユニットと、前
   記接触子の開閉を行うための第１のサーボモータと、前
   記間欠移動搬送テーブルを駆動するための第２のサーボ
   モータと、該第１のサーボモータの回転角度を検出する
   回転角度検出手段とを備え、前記回転角度検出手段の検
   出出力が電子部品の端子電極から前記接触子が離間して
   いることを示している期間内に前記第２のサーボモータ
   で前記間欠移動搬送テーブルを駆動する電子部品の特性
   測定装置であって、 前記間欠移動搬送テーブルの間欠搬送毎の一定量の移動
   を検出する確認センサを設け、通常時は前記第１のサー
   ボモータを連続回転させるが、前記期間内に前記間欠移
   動搬送テーブルの前記一定量の移動が完了していないこ
   とを前記確認センサが検出したときは前記第１及び第２
   のサーボモータの回転を停止することを特徴とする電子
   部品の特性測定装置。