JPH09159724A - 電子部品の特性測定装置及びその測定方法 - Google Patents
電子部品の特性測定装置及びその測定方法Info
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- JPH09159724A JPH09159724A JP7318986A JP31898695A JPH09159724A JP H09159724 A JPH09159724 A JP H09159724A JP 7318986 A JP7318986 A JP 7318986A JP 31898695 A JP31898695 A JP 31898695A JP H09159724 A JPH09159724 A JP H09159724A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】従来装置による一連の測定動作は、すべてシ−
ケンシャルに行なわれる関係で、サイクルタイムに占め
る動作の作業時間が長くなり、サイクルタイムを短縮す
ることが困難である。 【解決手段】電子部品Ｗを一定方向に間欠的に搬送する
メインの搬送系Ａの停止毎に、メインの搬送系の２サイ
クルに対して１回の割合で間欠回転しそれぞれが交互に
間欠回転する第１の測定系Ｂ１又は第２の測定系Ｂ２に
メインの搬送系から電子部品を移し替えると同時に第１
の測定系Ｂ１又は第２の測定系Ｂ２からメインの搬送系
に電子部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停止し
ている期間に電子部品のリ−ドＷａにプロ−ブＰＢを接
触させた上で、測定装置ＭＤをそれぞれの測定系に切り
替えて電子部品の特性を測定するものであって、測定時
間をほぼサイクルタイムに近似させることができ、作業
の効率化を図ることが可能となる。
ケンシャルに行なわれる関係で、サイクルタイムに占め
る動作の作業時間が長くなり、サイクルタイムを短縮す
ることが困難である。 【解決手段】電子部品Ｗを一定方向に間欠的に搬送する
メインの搬送系Ａの停止毎に、メインの搬送系の２サイ
クルに対して１回の割合で間欠回転しそれぞれが交互に
間欠回転する第１の測定系Ｂ１又は第２の測定系Ｂ２に
メインの搬送系から電子部品を移し替えると同時に第１
の測定系Ｂ１又は第２の測定系Ｂ２からメインの搬送系
に電子部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停止し
ている期間に電子部品のリ−ドＷａにプロ−ブＰＢを接
触させた上で、測定装置ＭＤをそれぞれの測定系に切り
替えて電子部品の特性を測定するものであって、測定時
間をほぼサイクルタイムに近似させることができ、作業
の効率化を図ることが可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はモ−ルド形半導体装
置，コンデンサなどの電子部品の特性測定を高速化でき
る電子部品の特性測定装置及びその測定方法に関する。
置，コンデンサなどの電子部品の特性測定を高速化でき
る電子部品の特性測定装置及びその測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種電子部品の特性測定装置
は、例えば図１２に示すように構成されている。同図に
おいて、Ｈはタ−ンテ−ブルの周辺にほぼ等ピッチにて
配置された複数の吸着ヘッドであって、図示しないセン
タ−バルブを介して真空系に接続されている。そして、
所定の停止ポジションには、吸着ヘッドＨに吸着された
電子部品Ｗのリ−ドＷａに対応する上下部分に複数のプ
ロ−ブＰＢがリ−ドＷａに対して接離自在なるように配
置されている。これらのプロ−ブＰＢは適宜のリ−ド線
を介して測定装置ＭＤに接続されている。
は、例えば図１２に示すように構成されている。同図に
おいて、Ｈはタ−ンテ−ブルの周辺にほぼ等ピッチにて
配置された複数の吸着ヘッドであって、図示しないセン
タ−バルブを介して真空系に接続されている。そして、
所定の停止ポジションには、吸着ヘッドＨに吸着された
電子部品Ｗのリ−ドＷａに対応する上下部分に複数のプ
ロ−ブＰＢがリ−ドＷａに対して接離自在なるように配
置されている。これらのプロ−ブＰＢは適宜のリ−ド線
を介して測定装置ＭＤに接続されている。
【０００３】この装置による電子部品Ｗの特性測定は、
図１３に示すように行なわれる。まず、適宜の停止ポジ
ションにて電子部品Ｗを吸着ヘッドＨの下端に真空吸着
させる。そして、測定ポジションにて吸着ヘッドＨが同
図ａに示すように停止すると、電子部品Ｗのリ−ドＷａ
に対向する部分に複数のプロ−ブＰＢが離隔状態で位置
している。次に、複数のプロ−ブＰＢがリ−ドＷａに向
けて移動し、それぞれのリ−ドＷａは同図ｂに示すよう
に挟持される。この状態において、電子部品Ｗのリ−ド
Ｗａは測定装置ＭＤに接続され、各種の特性測定が行な
われる。測定が終了すると、複数のプロ−ブＰＢは同図
ｃに示すようにリ−ドＷａから離隔される。然る後、こ
の電子部品Ｗは次サイクルにおけるタ−ンテ−ブルの間
欠回転に伴って次の作業ポジションに搬送される。
図１３に示すように行なわれる。まず、適宜の停止ポジ
ションにて電子部品Ｗを吸着ヘッドＨの下端に真空吸着
させる。そして、測定ポジションにて吸着ヘッドＨが同
図ａに示すように停止すると、電子部品Ｗのリ−ドＷａ
に対向する部分に複数のプロ−ブＰＢが離隔状態で位置
している。次に、複数のプロ−ブＰＢがリ−ドＷａに向
けて移動し、それぞれのリ−ドＷａは同図ｂに示すよう
に挟持される。この状態において、電子部品Ｗのリ−ド
Ｗａは測定装置ＭＤに接続され、各種の特性測定が行な
われる。測定が終了すると、複数のプロ−ブＰＢは同図
ｃに示すようにリ−ドＷａから離隔される。然る後、こ
の電子部品Ｗは次サイクルにおけるタ−ンテ−ブルの間
欠回転に伴って次の作業ポジションに搬送される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この特性測
定装置によれば、各ヘッドが停止する毎に、電子部品Ｗ
のリ−ドＷａにプロ−ブＰＢを接触させることによって
各種の特性を確実に検査・測定でき、測定結果に基づく
特性ランク別のマ−キング，分類などを的確に実施する
ことができるものである。
定装置によれば、各ヘッドが停止する毎に、電子部品Ｗ
のリ−ドＷａにプロ−ブＰＢを接触させることによって
各種の特性を確実に検査・測定でき、測定結果に基づく
特性ランク別のマ−キング，分類などを的確に実施する
ことができるものである。
【０００５】しかしながら、近時、作業インデックスの
短縮による設備の高速稼働が要求されているものの、上
述の一連の測定動作は、吸着ヘッドＨが測定ポジション
に移動して停止した後に、プロ−ブＰＢによる電子部品
Ｗのリ−ドＷａの挟持，特性測定，プロ−ブＰＢのリ−
ドＷａからの開放，の動作から構成されている関係で、
吸着ヘッドＨの停止期間における作業時間が長くなる。
短縮による設備の高速稼働が要求されているものの、上
述の一連の測定動作は、吸着ヘッドＨが測定ポジション
に移動して停止した後に、プロ−ブＰＢによる電子部品
Ｗのリ−ドＷａの挟持，特性測定，プロ−ブＰＢのリ−
ドＷａからの開放，の動作から構成されている関係で、
吸着ヘッドＨの停止期間における作業時間が長くなる。
【０００６】特に、上述の動作はすべてシ−ケンシャル
に行なわれるために、１サイクルに要する作業時間（サ
イクルタイム）はタ−ンテ−ブルの間欠回転時間，プロ
−ブＰＢによるリ−ドＷａの挟持時間，特性測定時間，
プロ−ブＰＢの開放時間，ロス時間の合計となり、いず
れかの作業時間を短縮しない限り作業インデックスの短
縮は達成し得ないものである。現実的には、そのいずれ
をも短縮することは設備的にも困難を伴うことが予想さ
れる。
に行なわれるために、１サイクルに要する作業時間（サ
イクルタイム）はタ−ンテ−ブルの間欠回転時間，プロ
−ブＰＢによるリ−ドＷａの挟持時間，特性測定時間，
プロ−ブＰＢの開放時間，ロス時間の合計となり、いず
れかの作業時間を短縮しない限り作業インデックスの短
縮は達成し得ないものである。現実的には、そのいずれ
をも短縮することは設備的にも困難を伴うことが予想さ
れる。
【０００７】かといって、複数の測定装置を利用すれ
ば、見掛け上の作業時間を短縮でき、設備の高速化が可
能となるものの、装置全体の設備費が高騰するという新
たな問題が生ずる。
ば、見掛け上の作業時間を短縮でき、設備の高速化が可
能となるものの、装置全体の設備費が高騰するという新
たな問題が生ずる。
【０００８】それ故に、本発明の目的は、メインの搬送
系にバッファ機能を有する第１，第２の測定系を別設す
るという比較的に簡単な構成によって作業系の高速化が
可能となる電子部品の特性測定装置及びその測定方法を
提供することにある。
系にバッファ機能を有する第１，第２の測定系を別設す
るという比較的に簡単な構成によって作業系の高速化が
可能となる電子部品の特性測定装置及びその測定方法を
提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】従って、本発明は上述の
目的を達成するために、等ピッチに配置した複数のヘッ
ドを有し、かつヘッドに電子部品を支持して一定方向に
間欠的に搬送するメインの搬送系と、メインの搬送系に
同期すると共にそれの２サイクルに対して１回の割合で
間欠回転し、かつそれぞれが交互に間欠回転する第１，
第２の測定系と、第１，第２の測定系の所定の停止ポジ
ションに、電子部品のリ−ドに対して接離可能に配置し
た測定用のプロ−ブと、第１，第２の測定系のそれぞれ
のプロ−ブに切替手段を介して接続した単一の測定装置
とを具備し、前記メインの搬送系の停止毎に、メインの
搬送系から第１又は第２の測定系に電子部品を移し替え
ると同時に第１又は第２の測定系からメインの搬送系に
電子部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停止して
いる期間に電子部品のリ−ドにプロ−ブを接触させた上
で、測定装置を切替手段によってそれぞれの測定系に切
り替えて電子部品の特性を測定するものである。
目的を達成するために、等ピッチに配置した複数のヘッ
ドを有し、かつヘッドに電子部品を支持して一定方向に
間欠的に搬送するメインの搬送系と、メインの搬送系に
同期すると共にそれの２サイクルに対して１回の割合で
間欠回転し、かつそれぞれが交互に間欠回転する第１，
第２の測定系と、第１，第２の測定系の所定の停止ポジ
ションに、電子部品のリ−ドに対して接離可能に配置し
た測定用のプロ−ブと、第１，第２の測定系のそれぞれ
のプロ−ブに切替手段を介して接続した単一の測定装置
とを具備し、前記メインの搬送系の停止毎に、メインの
搬送系から第１又は第２の測定系に電子部品を移し替え
ると同時に第１又は第２の測定系からメインの搬送系に
電子部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停止して
いる期間に電子部品のリ−ドにプロ−ブを接触させた上
で、測定装置を切替手段によってそれぞれの測定系に切
り替えて電子部品の特性を測定するものである。
【００１０】又、本発明の第２の発明は、タ−ンテ−ブ
ルの周辺に複数のヘッドをほぼ等ピッチに配置すると共
に、タ−ンテ−ブルの下側にほぼ円形状のレ−ルを上下
方向にのみスライド自在なるように配置し、かつヘッド
がレ−ルに支持された状態で回転すると共にレ−ルの上
下動に応じて上下に選択的にスライドするように構成し
たメインの搬送系と、メインの搬送系に同期すると共に
それの２サイクルに対して１回の割合で間欠回転し、か
つそれぞれが交互に間欠回転する回転テ−ブルを備えた
第１，第２の測定系と、第１，第２の測定系の所定の停
止ポジションに、電子部品のリ−ドに対して接離可能に
配置した測定用のプロ−ブと、第１，第２の測定系のそ
れぞれのプロ−ブに切替手段を介して接続した単一の測
定装置とを具備し、前記メインの搬送系の停止に関連し
てレ−ルを下降・上昇させると共に、この動作に基づい
て第１，第２の測定系に対応する特定のヘッドを選択的
に下降・上昇させ、メインの搬送系から第１又は第２の
測定系に電子部品を移し替えると同時に第１又は第２の
測定系からメインの搬送系に電子部品を移し替え、かつ
それぞれの測定系が停止している期間に電子部品のリ−
ドにプロ−ブを接触させた上で、測定装置を切替手段に
よってそれぞれの測定系に切り替えて電子部品の特性を
測定することを特徴とする。
ルの周辺に複数のヘッドをほぼ等ピッチに配置すると共
に、タ−ンテ−ブルの下側にほぼ円形状のレ−ルを上下
方向にのみスライド自在なるように配置し、かつヘッド
がレ−ルに支持された状態で回転すると共にレ−ルの上
下動に応じて上下に選択的にスライドするように構成し
たメインの搬送系と、メインの搬送系に同期すると共に
それの２サイクルに対して１回の割合で間欠回転し、か
つそれぞれが交互に間欠回転する回転テ−ブルを備えた
第１，第２の測定系と、第１，第２の測定系の所定の停
止ポジションに、電子部品のリ−ドに対して接離可能に
配置した測定用のプロ−ブと、第１，第２の測定系のそ
れぞれのプロ−ブに切替手段を介して接続した単一の測
定装置とを具備し、前記メインの搬送系の停止に関連し
てレ−ルを下降・上昇させると共に、この動作に基づい
て第１，第２の測定系に対応する特定のヘッドを選択的
に下降・上昇させ、メインの搬送系から第１又は第２の
測定系に電子部品を移し替えると同時に第１又は第２の
測定系からメインの搬送系に電子部品を移し替え、かつ
それぞれの測定系が停止している期間に電子部品のリ−
ドにプロ−ブを接触させた上で、測定装置を切替手段に
よってそれぞれの測定系に切り替えて電子部品の特性を
測定することを特徴とする。
【００１１】又、本発明の第３の発明は、タ−ンテ−ブ
ルの周辺に複数のヘッドをほぼ等ピッチに配置すると共
に、タ−ンテ−ブルの下側にほぼ円形状のレ−ルを上下
方向にのみスライド自在なるように配置し、かつヘッド
がレ−ルに支持された状態で回転すると共にレ−ルの上
下動に応じて上下にスライドするように構成したメイン
の搬送系と、少なくとも第１，第２の測定系に対応する
メインの搬送系のヘッドの周辺に配置し、レ−ルの下降
動作に伴うヘッドの下降を、特定のヘッドに対してのみ
選択的にロックするロック機構と、メインの搬送系に同
期すると共にそれの２サイクルに対して１回の割合で間
欠回転し、かつそれぞれが交互に間欠回転する回転テ−
ブルを備えた第１，第２の測定系と、第１，第２の測定
系の所定の停止ポジションに、電子部品のリ−ドに対し
て接離可能に配置した測定用のプロ−ブと、第１，第２
の測定系のそれぞれのプロ−ブに切替手段を介して接続
した単一の測定装置とを具備し、前記メインの搬送系の
停止に関連してレ−ルを下降・上昇させると共に、この
動作に基づいて第１，第２の測定系に対応するヘッドの
うち、特定のヘッドのみは下降をロック機構によりロッ
クし、他のヘッドはロック機構によりロックしないで適
宜に下降・上昇させ、メインの搬送系から第１又は第２
の測定系に電子部品を移し替えると同時に第１又は第２
の測定系からメインの搬送系に電子部品を移し替え、か
つそれぞれの測定系が停止している期間に電子部品のリ
−ドにプロ−ブを接触させた上で、測定装置を切替手段
によってそれぞれの測定系に切り替えて電子部品の特性
を測定することを特徴とする。
ルの周辺に複数のヘッドをほぼ等ピッチに配置すると共
に、タ−ンテ−ブルの下側にほぼ円形状のレ−ルを上下
方向にのみスライド自在なるように配置し、かつヘッド
がレ−ルに支持された状態で回転すると共にレ−ルの上
下動に応じて上下にスライドするように構成したメイン
の搬送系と、少なくとも第１，第２の測定系に対応する
メインの搬送系のヘッドの周辺に配置し、レ−ルの下降
動作に伴うヘッドの下降を、特定のヘッドに対してのみ
選択的にロックするロック機構と、メインの搬送系に同
期すると共にそれの２サイクルに対して１回の割合で間
欠回転し、かつそれぞれが交互に間欠回転する回転テ−
ブルを備えた第１，第２の測定系と、第１，第２の測定
系の所定の停止ポジションに、電子部品のリ−ドに対し
て接離可能に配置した測定用のプロ−ブと、第１，第２
の測定系のそれぞれのプロ−ブに切替手段を介して接続
した単一の測定装置とを具備し、前記メインの搬送系の
停止に関連してレ−ルを下降・上昇させると共に、この
動作に基づいて第１，第２の測定系に対応するヘッドの
うち、特定のヘッドのみは下降をロック機構によりロッ
クし、他のヘッドはロック機構によりロックしないで適
宜に下降・上昇させ、メインの搬送系から第１又は第２
の測定系に電子部品を移し替えると同時に第１又は第２
の測定系からメインの搬送系に電子部品を移し替え、か
つそれぞれの測定系が停止している期間に電子部品のリ
−ドにプロ−ブを接触させた上で、測定装置を切替手段
によってそれぞれの測定系に切り替えて電子部品の特性
を測定することを特徴とする。
【００１２】さらに、本発明の第４の発明は、電子部品
を一定方向に間欠的に搬送するメインの搬送系の停止毎
に、メインの搬送系の２サイクルに対して１回の割合で
間欠回転しそれぞれが交互に間欠回転する第１又は第２
の測定系にメインの搬送系から電子部品を移し替えると
同時に第１又は第２の測定系からメインの搬送系に電子
部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停止している
期間に電子部品のリ−ドにプロ−ブを接触させた上で、
測定装置をそれぞれの測定系に切り替えて電子部品の特
性を測定することを特徴とし、第５の発明は、前記第
１，第２の測定系に存在する電子部品の特性測定に際
し、いずれか一方の測定系に存在する電子部品の特性を
測定している時には他方の測定系に存在する電子部品は
特性測定の準備段階にあることを特徴とする。
を一定方向に間欠的に搬送するメインの搬送系の停止毎
に、メインの搬送系の２サイクルに対して１回の割合で
間欠回転しそれぞれが交互に間欠回転する第１又は第２
の測定系にメインの搬送系から電子部品を移し替えると
同時に第１又は第２の測定系からメインの搬送系に電子
部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停止している
期間に電子部品のリ−ドにプロ−ブを接触させた上で、
測定装置をそれぞれの測定系に切り替えて電子部品の特
性を測定することを特徴とし、第５の発明は、前記第
１，第２の測定系に存在する電子部品の特性測定に際
し、いずれか一方の測定系に存在する電子部品の特性を
測定している時には他方の測定系に存在する電子部品は
特性測定の準備段階にあることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
１〜図１０を参照して説明する。同図において、Ａは電
子部品Ｗが一定方向に間欠的に搬送されるメインの搬送
系であり、Ｂ１，Ｂ２はメインの搬送系Ａに関連して配
置された第１，第２の測定系である。尚、メインの搬送
系Ａは図１０ａの上段に示すように１サイクル毎に間欠
回転し、第１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ２は図１０ａの中
段，下段に示すようにメインの搬送系Ａの２サイクルに
対して１回の割合で間欠回転すると共に、それぞれが交
互に間欠回転するように構成されている。
１〜図１０を参照して説明する。同図において、Ａは電
子部品Ｗが一定方向に間欠的に搬送されるメインの搬送
系であり、Ｂ１，Ｂ２はメインの搬送系Ａに関連して配
置された第１，第２の測定系である。尚、メインの搬送
系Ａは図１０ａの上段に示すように１サイクル毎に間欠
回転し、第１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ２は図１０ａの中
段，下段に示すようにメインの搬送系Ａの２サイクルに
対して１回の割合で間欠回転すると共に、それぞれが交
互に間欠回転するように構成されている。
【００１４】このメインの搬送系Ａは、具体的には例え
ば次のように構成されている。１は取付板であって、こ
れの上面にはほぼ筒状のシャフトハウジング２が垂直に
固定されている。このシャフトハウジング２には図１０
ａの上段に示すように間欠回転するシャフト３が、それ
の上下端が突出するように貫通して配置されており、図
示しない軸受などによって支持されている。シャフト３
の上方部分にはタ−ンテ−ブル５が固定されており、そ
の周辺部分にはほぼ等ピッチ間隔で複数のヘッド６が上
下方向にのみスライド可能に配置されている。尚、この
ヘッド６はタ−ンテ−ブル５から等ピッチ間隔で放射状
に延在させた複数のア−ムの先端部分に配置することも
できる。特に、このヘッド６は、例えば下端面に吸着孔
を開口する吸着ノズル７と、吸着ノズル７の下方に固定
された第１のガイドロ−ラ８と、吸着ノズル７の上方に
固定された第２のガイドロ−ラ９とから構成されてい
る。尚、吸着ノズル７は後述するセンタ−バルブなどを
介して真空系に接続されている。
ば次のように構成されている。１は取付板であって、こ
れの上面にはほぼ筒状のシャフトハウジング２が垂直に
固定されている。このシャフトハウジング２には図１０
ａの上段に示すように間欠回転するシャフト３が、それ
の上下端が突出するように貫通して配置されており、図
示しない軸受などによって支持されている。シャフト３
の上方部分にはタ−ンテ−ブル５が固定されており、そ
の周辺部分にはほぼ等ピッチ間隔で複数のヘッド６が上
下方向にのみスライド可能に配置されている。尚、この
ヘッド６はタ−ンテ−ブル５から等ピッチ間隔で放射状
に延在させた複数のア−ムの先端部分に配置することも
できる。特に、このヘッド６は、例えば下端面に吸着孔
を開口する吸着ノズル７と、吸着ノズル７の下方に固定
された第１のガイドロ−ラ８と、吸着ノズル７の上方に
固定された第２のガイドロ−ラ９とから構成されてい
る。尚、吸着ノズル７は後述するセンタ−バルブなどを
介して真空系に接続されている。
【００１５】一方、シャフトハウジング２の上方部分
で、かつタ−ンテ−ブル５の下側部分には円形状のレ−
ル（円形レ−ル）１０が上下方向にのみスライド可能に
配置されており、その周縁部分の上側には上述の第１の
ガイドロ−ラ８が当接されている。この円形レ−ル１０
の下側にはスライダ−１１が固定されており、このスラ
イダ−１１はシャフトハウジング２の外面に垂直に固定
されたレ−ル１２をガイドとして上下動自在なるように
構成されている。特に、スライダ−１１の側部には、下
端が図示しないカムに係合されたタイロッド１３が配置
されており、カムの回転に関連するタイロッド１３の上
下動によってスライダ−１１が各サイクル毎に上下動す
る。このスライダ−１１の上下動に連動して円形レ−ル
１０は各サイクル毎に一定のストロ−クで上下動すると
共に、この動作に応じてヘッド６も後述するロック機構
の動作状態に基づいて選択的に上下動する。
で、かつタ−ンテ−ブル５の下側部分には円形状のレ−
ル（円形レ−ル）１０が上下方向にのみスライド可能に
配置されており、その周縁部分の上側には上述の第１の
ガイドロ−ラ８が当接されている。この円形レ−ル１０
の下側にはスライダ−１１が固定されており、このスラ
イダ−１１はシャフトハウジング２の外面に垂直に固定
されたレ−ル１２をガイドとして上下動自在なるように
構成されている。特に、スライダ−１１の側部には、下
端が図示しないカムに係合されたタイロッド１３が配置
されており、カムの回転に関連するタイロッド１３の上
下動によってスライダ−１１が各サイクル毎に上下動す
る。このスライダ−１１の上下動に連動して円形レ−ル
１０は各サイクル毎に一定のストロ−クで上下動すると
共に、この動作に応じてヘッド６も後述するロック機構
の動作状態に基づいて選択的に上下動する。
【００１６】又、シャフト３の上端にはセンタ−バルブ
１４が配置されている。このセンタ−バルブ１４はロ−
タとステ−タとから構成されており、ロ−タ側はシャフ
ト３の上端に固定されており、ステ−タ側は第１のブラ
ケット１５を介して第２のブラケット１６に固定されて
いる。尚、第１のブラケット１５は例えばＬ形に形成さ
れており、下端は取付板１に固定されている。上述の吸
着ノズル７の上端はフレキシブル性を有するホ−ス１
７，フィルタ−１８を介してセンタ−バルブ１４のロ−
タ側に接続されており、ステ−タ側を通して真空系に接
続されている。
１４が配置されている。このセンタ−バルブ１４はロ−
タとステ−タとから構成されており、ロ−タ側はシャフ
ト３の上端に固定されており、ステ−タ側は第１のブラ
ケット１５を介して第２のブラケット１６に固定されて
いる。尚、第１のブラケット１５は例えばＬ形に形成さ
れており、下端は取付板１に固定されている。上述の吸
着ノズル７の上端はフレキシブル性を有するホ−ス１
７，フィルタ−１８を介してセンタ−バルブ１４のロ−
タ側に接続されており、ステ−タ側を通して真空系に接
続されている。
【００１７】上述の第２のブラケット１６には第３のブ
ラケット１９が固定されており、これにはヘッド６のロ
ック機構２０が配置されている。特に、ロック機構２０
は例えば＃Ａ，＃Ｂ，＃Ｃ，＃Ｄポジションにロック機
構２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ（図示せず）として
配置されている。尚、これらのロック機構２０は、ロッ
ク機構２０Ａと２０Ｄを、ロック機構２０Ｂと２０Ｃを
それぞれ統合して２つのロック機構とすることもでき
る。これらのロック機構２０（２０Ａ〜２０Ｄ）は、例
えば図５に示すように、回転軸２１ａを有し、第３のブ
ラケット１９に固定された電磁式のロ−タリソレノイド
２１と、第１の腕部２２ａ，第２の腕部２２ｂ，Ｌ形の
ロック部２２ｃをほぼコ字形に形成し、回転軸２１ａに
固定されたレバ−２２と、第１の腕部２２ａに一定以上
回転しないように配置されたストッパ−部２３と、レバ
−２２が図示点線以上に回転しないように配置されたス
トッパ−部２４とから構成されている。
ラケット１９が固定されており、これにはヘッド６のロ
ック機構２０が配置されている。特に、ロック機構２０
は例えば＃Ａ，＃Ｂ，＃Ｃ，＃Ｄポジションにロック機
構２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ（図示せず）として
配置されている。尚、これらのロック機構２０は、ロッ
ク機構２０Ａと２０Ｄを、ロック機構２０Ｂと２０Ｃを
それぞれ統合して２つのロック機構とすることもでき
る。これらのロック機構２０（２０Ａ〜２０Ｄ）は、例
えば図５に示すように、回転軸２１ａを有し、第３のブ
ラケット１９に固定された電磁式のロ−タリソレノイド
２１と、第１の腕部２２ａ，第２の腕部２２ｂ，Ｌ形の
ロック部２２ｃをほぼコ字形に形成し、回転軸２１ａに
固定されたレバ−２２と、第１の腕部２２ａに一定以上
回転しないように配置されたストッパ−部２３と、レバ
−２２が図示点線以上に回転しないように配置されたス
トッパ−部２４とから構成されている。
【００１８】これらのロック機構２０は、メインの搬送
系Ａと第１の測定系Ｂ１又は第２の測定系Ｂ２との間で
電子部品Ｗの受け渡しが実行される場合にはロ−タリソ
レノイド２１を駆動してレバ−２２を図示点線位置に保
持し、受け渡しが実行されない場合にはロ−タリソレノ
イド２１を駆動して図示実線位置に保持される。尚、ロ
ック機構の動作は図示しないコンピュ−タによって制御
されるが、機械的に制御する構成にすることもできる。
特に、ロック機構２０が図示実線位置に保持されると、
円形レ−ル１０が一定のストロ−クで上下動しても、ヘ
ッド６はそれのガイドロ−ラ９がロック部２２ｃに支持
されるために図示実線位置に保持されて下降しない。
系Ａと第１の測定系Ｂ１又は第２の測定系Ｂ２との間で
電子部品Ｗの受け渡しが実行される場合にはロ−タリソ
レノイド２１を駆動してレバ−２２を図示点線位置に保
持し、受け渡しが実行されない場合にはロ−タリソレノ
イド２１を駆動して図示実線位置に保持される。尚、ロ
ック機構の動作は図示しないコンピュ−タによって制御
されるが、機械的に制御する構成にすることもできる。
特に、ロック機構２０が図示実線位置に保持されると、
円形レ−ル１０が一定のストロ−クで上下動しても、ヘ
ッド６はそれのガイドロ−ラ９がロック部２２ｃに支持
されるために図示実線位置に保持されて下降しない。
【００１９】一方、メインの搬送系Ａにおけるヘッド６
の所定の停止ポジション（例えば＃Ａ，＃Ｂ，＃Ｃ，＃
Ｄポジション）の下方には第１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ
２が配置されており、＃Ａ，＃Ｂポジションには第１の
測定系Ｂ１の＃１，＃４ポジションが、＃Ｃ，＃Ｄポジ
ションには第２の測定系Ｂ２の＃１，＃４ポジションが
それぞれ合致するように配慮されている。これらの測定
系Ｂ１，Ｂ２は、例えば次のように構成されている。取
付板１に垂直に固定されたシャフトハウジング２５と、
このシャフトハウジング２５に貫通するように配置され
たシャフトの上端に固定された回転テ−ブル２６と、シ
ャフトの下端に固定されたプ−リ２７とから構成されて
おり、プ−リ２７は図１０ａに示すタイミングで間欠回
転する。特に、回転テ−ブル２６の間欠回転は、例えば
別設のパルスモ−タなどを利用して回転制御することが
できる。尚、回転テ−ブル２６の周辺には例えば４個の
電子部品Ｗを等ピッチで真空吸着できる突起状の載置部
２６ａと吸着孔２６ｂが形成されており、センタ−バル
ブなどを介して真空系に接続されている。
の所定の停止ポジション（例えば＃Ａ，＃Ｂ，＃Ｃ，＃
Ｄポジション）の下方には第１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ
２が配置されており、＃Ａ，＃Ｂポジションには第１の
測定系Ｂ１の＃１，＃４ポジションが、＃Ｃ，＃Ｄポジ
ションには第２の測定系Ｂ２の＃１，＃４ポジションが
それぞれ合致するように配慮されている。これらの測定
系Ｂ１，Ｂ２は、例えば次のように構成されている。取
付板１に垂直に固定されたシャフトハウジング２５と、
このシャフトハウジング２５に貫通するように配置され
たシャフトの上端に固定された回転テ−ブル２６と、シ
ャフトの下端に固定されたプ−リ２７とから構成されて
おり、プ−リ２７は図１０ａに示すタイミングで間欠回
転する。特に、回転テ−ブル２６の間欠回転は、例えば
別設のパルスモ−タなどを利用して回転制御することが
できる。尚、回転テ−ブル２６の周辺には例えば４個の
電子部品Ｗを等ピッチで真空吸着できる突起状の載置部
２６ａと吸着孔２６ｂが形成されており、センタ−バル
ブなどを介して真空系に接続されている。
【００２０】又、これらの測定系Ｂ１，Ｂ２の回転テ−
ブル２６の、例えば＃２ポジションには複数対のプロ−
ブＰＢが電子部品Ｗのリ−ドＷａの上下面に対して接離
自在なるように配置されている。これらのプロ−ブＰＢ
は切替手段ＳＷを介して測定装置ＭＤに接続されてい
る。尚、第１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ２のプロ−ブＰＢ
によるリ−ドＷａの挟持は図１０ｃに示すタイミングに
よって行なわれる。
ブル２６の、例えば＃２ポジションには複数対のプロ−
ブＰＢが電子部品Ｗのリ−ドＷａの上下面に対して接離
自在なるように配置されている。これらのプロ−ブＰＢ
は切替手段ＳＷを介して測定装置ＭＤに接続されてい
る。尚、第１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ２のプロ−ブＰＢ
によるリ−ドＷａの挟持は図１０ｃに示すタイミングに
よって行なわれる。
【００２１】この装置による電子部品の概略的な特性測
定方法について図１〜図２を参照して説明する。メイン
の搬送系Ａを含む作業系は例えば一定のタイミングにて
間欠回転する複数の作業テ−ブルから構成されており、
まず、ポジション＃Ｉにてリ−ドフレ−ムから電子部品
Ｗを打ち抜き、第１の作業系に供給し、ポジション＃Ｉ
Ｉにて第２の作業系（メインの搬送系Ａ）に供給され
る。第２の作業系ではリ−ドの成形が行なわれた後、第
１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ２にて特性測定などが行なわ
れる。そして、ポジション＃ＩＩＩにて第３の作業系に
供給された後、適宜の停止ポジションにて特性測定結果
に基づく特性ランク，製造者名などの表示記号がレ−ザ
−マ−キングされる。その後、ポジション＃ＩＶにて第
４の作業系に供給され、特性ランクなどに基づいて分類
・仕分けされて一連の作業を終了する。
定方法について図１〜図２を参照して説明する。メイン
の搬送系Ａを含む作業系は例えば一定のタイミングにて
間欠回転する複数の作業テ−ブルから構成されており、
まず、ポジション＃Ｉにてリ−ドフレ−ムから電子部品
Ｗを打ち抜き、第１の作業系に供給し、ポジション＃Ｉ
Ｉにて第２の作業系（メインの搬送系Ａ）に供給され
る。第２の作業系ではリ−ドの成形が行なわれた後、第
１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ２にて特性測定などが行なわ
れる。そして、ポジション＃ＩＩＩにて第３の作業系に
供給された後、適宜の停止ポジションにて特性測定結果
に基づく特性ランク，製造者名などの表示記号がレ−ザ
−マ−キングされる。その後、ポジション＃ＩＶにて第
４の作業系に供給され、特性ランクなどに基づいて分類
・仕分けされて一連の作業を終了する。
【００２２】この作業において、メインの搬送系Ａにお
ける電子部品Ｗの特性測定は、概略的には図２に示すよ
うに行なわれる。まず、メインの搬送系Ａによって搬送
される電子部品Ｗは所定の停止ポジションにて１サイク
ルずれた状態で第１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ２に移し替
えられる。第１の測定系Ｂ１に移送された電子部品Ｗが
所定のポジションに停止すると、それのリ−ドＷａには
特性測定用のプロ−ブＰＢが接触される。この状態で、
測定装置ＭＤが切替手段ＳＷによって第１の測定系Ｂ１
のプロ−ブＰＢに切り替え接続され、引き続いて測定装
置ＭＤによって特性測定が実行される。測定が終了する
と、プロ−ブＰＢがリ−ドＷａから開放されて再びメイ
ンの搬送系Ａに移し替えられる。一方、第２の測定系Ｂ
２に移し替えられた電子部品Ｗは第１の測定系Ｂ１に１
サイクル遅れて同様の作業によって特性測定が実行され
る。
ける電子部品Ｗの特性測定は、概略的には図２に示すよ
うに行なわれる。まず、メインの搬送系Ａによって搬送
される電子部品Ｗは所定の停止ポジションにて１サイク
ルずれた状態で第１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ２に移し替
えられる。第１の測定系Ｂ１に移送された電子部品Ｗが
所定のポジションに停止すると、それのリ−ドＷａには
特性測定用のプロ−ブＰＢが接触される。この状態で、
測定装置ＭＤが切替手段ＳＷによって第１の測定系Ｂ１
のプロ−ブＰＢに切り替え接続され、引き続いて測定装
置ＭＤによって特性測定が実行される。測定が終了する
と、プロ−ブＰＢがリ−ドＷａから開放されて再びメイ
ンの搬送系Ａに移し替えられる。一方、第２の測定系Ｂ
２に移し替えられた電子部品Ｗは第１の測定系Ｂ１に１
サイクル遅れて同様の作業によって特性測定が実行され
る。
【００２３】この方法によれば、第１，第２の測定系Ｂ
１，Ｂ２における特性測定はメインの搬送系Ａの２サイ
クルに跨がって実行でき、測定期間に余裕が生ずる上
に、メインの搬送系Ａの各サイクル毎に、特性測定する
電子部品Ｗがメインの搬送系Ａから第１の測定系Ｂ１又
は第２の測定系Ｂ２に、特性測定済みの電子部品Ｗが第
１の測定系Ｂ１又は第２の測定系Ｂ２からメインの搬送
系Ａに同時に移し替えられているために、メインの搬送
系Ａの作業インデックスを短縮できる。
１，Ｂ２における特性測定はメインの搬送系Ａの２サイ
クルに跨がって実行でき、測定期間に余裕が生ずる上
に、メインの搬送系Ａの各サイクル毎に、特性測定する
電子部品Ｗがメインの搬送系Ａから第１の測定系Ｂ１又
は第２の測定系Ｂ２に、特性測定済みの電子部品Ｗが第
１の測定系Ｂ１又は第２の測定系Ｂ２からメインの搬送
系Ａに同時に移し替えられているために、メインの搬送
系Ａの作業インデックスを短縮できる。
【００２４】特に、上述の装置による電子部品Ｗの具体
的な特性測定は次のように行なわれる。尚、図１１にお
いて、○印は対応するポジションに電子部品Ｗが存在す
ることを、−印は対応するポジションに電子部品Ｗが存
在しないことを、◎印は第１又は第２の測定系から測定
済みの電子部品Ｗがメインの搬送系Ａに移し替えられた
（返却された）ことを、△印は返却によって電子部品Ｗ
が存在しないことを、●印は電子部品Ｗがメインの搬送
系Ａから第１又は第２の測定系に移し替えられた（抜き
取られた）ことを、×印は抜き取りによって電子部品Ｗ
が存在しないことをそれぞれ表示しており、さらに、斜
めの矢印はメインの搬送系Ａ，第１又は第２の測定系の
回転テ−ブル２６が間欠回転したことを表示している。
的な特性測定は次のように行なわれる。尚、図１１にお
いて、○印は対応するポジションに電子部品Ｗが存在す
ることを、−印は対応するポジションに電子部品Ｗが存
在しないことを、◎印は第１又は第２の測定系から測定
済みの電子部品Ｗがメインの搬送系Ａに移し替えられた
（返却された）ことを、△印は返却によって電子部品Ｗ
が存在しないことを、●印は電子部品Ｗがメインの搬送
系Ａから第１又は第２の測定系に移し替えられた（抜き
取られた）ことを、×印は抜き取りによって電子部品Ｗ
が存在しないことをそれぞれ表示しており、さらに、斜
めの矢印はメインの搬送系Ａ，第１又は第２の測定系の
回転テ−ブル２６が間欠回転したことを表示している。
【００２５】まず、図１０〜図１１に示す２サイクル目
において、メインの搬送系Ａ及び第１の測定系Ｂ１の回
転テ−ブル２６が間欠回転して停止すると、＃Ａ及び＃
Ｄポジションに位置するヘッド６が下降する。尚、＃Ｄ
ポジションに位置するヘッド６には電子部品Ｗは吸着さ
れていない（この状態は、図１１の２サイクルにおける
上段に示す）。かかるヘッド６の選択的下降は次のよう
に行なわれる。即ち、ロック装置２０Ａ〜２０Ｄの内、
ロック装置２０Ａ，２０Ｄは、ロ−タリソレノイド２１
の駆動によりレバ−２２のロック部２２ｃが図５におい
て点線で示す位置（第２の腕部２２ｂがストッパ−部２
４に当たる位置）にあり、第２のガイドロ−ラ９から外
れている。又、ロック装置２０Ｂ，２０Ｃは、ロ−タリ
ソレノイド２１の駆動によりレバ−２２のロック部２２
ｃを図５に示す実線位置（第１の腕部２２ａがストッパ
−部２３に当たるまで）まで回転させてあり、第２のガ
イドロ−ラ９に係合されている。従って、メインの搬送
系Ａの停止に関連して、タイロッド１３の下降に伴って
スライダ−１１が下降すると、同時に円形レ−ル１０も
一定のストロ−クだけ下降する。これに関連して円形レ
−ル１０の周縁部分に第１のガイドロ−ラ８を介して支
持されているヘッド６も図１０ｂ（上段のタイミング）
に示すように同ストロ−クだけ下降するのであるが、上
述のようにロック状態にあるロック機構２０Ｂ，２０Ｃ
に対応するヘッド６は下降しない。
において、メインの搬送系Ａ及び第１の測定系Ｂ１の回
転テ−ブル２６が間欠回転して停止すると、＃Ａ及び＃
Ｄポジションに位置するヘッド６が下降する。尚、＃Ｄ
ポジションに位置するヘッド６には電子部品Ｗは吸着さ
れていない（この状態は、図１１の２サイクルにおける
上段に示す）。かかるヘッド６の選択的下降は次のよう
に行なわれる。即ち、ロック装置２０Ａ〜２０Ｄの内、
ロック装置２０Ａ，２０Ｄは、ロ−タリソレノイド２１
の駆動によりレバ−２２のロック部２２ｃが図５におい
て点線で示す位置（第２の腕部２２ｂがストッパ−部２
４に当たる位置）にあり、第２のガイドロ−ラ９から外
れている。又、ロック装置２０Ｂ，２０Ｃは、ロ−タリ
ソレノイド２１の駆動によりレバ−２２のロック部２２
ｃを図５に示す実線位置（第１の腕部２２ａがストッパ
−部２３に当たるまで）まで回転させてあり、第２のガ
イドロ−ラ９に係合されている。従って、メインの搬送
系Ａの停止に関連して、タイロッド１３の下降に伴って
スライダ−１１が下降すると、同時に円形レ−ル１０も
一定のストロ−クだけ下降する。これに関連して円形レ
−ル１０の周縁部分に第１のガイドロ−ラ８を介して支
持されているヘッド６も図１０ｂ（上段のタイミング）
に示すように同ストロ−クだけ下降するのであるが、上
述のようにロック状態にあるロック機構２０Ｂ，２０Ｃ
に対応するヘッド６は下降しない。
【００２６】そして、＃Ａポジションに位置するヘッド
６の吸着ノズル７に吸着されている電子部品Ｗは第１の
測定系Ｂ１の回転テ−ブル２６の＃１ポジションに位置
する載置部２６ａに載置され、吸着される。これと同時
に、吸着ノズル７による吸着が停止され、電子部品Ｗは
完全にメインの搬送系Ａから第１の測定系Ｂ１に移し替
えられる。これと同時に、＃Ｄポジションに位置するヘ
ッドの吸着ノズル７は第２の測定系Ｂ２の回転テ−ブル
２６の＃４ポジションに位置する特性測定済みの電子部
品Ｗを吸着する。これと同時に、第２の測定系Ｂ２の吸
着が停止され、特性測定済みの電子部品Ｗは完全に第２
の測定系Ｂ２からメインの搬送系Ａに移し替えられる。
この状態は、図１１の２サイクルにおける下段に示す。
尚、＃Ｂ，＃Ｃポジションに位置するヘッド６における
電子部品Ｗは、第１又は第２の測定系との間での移し替
えは行なわれない。第１の測定系Ｂ１の回転テ−ブル２
６の載置部２６ａに＃１ポジションにて電子部品Ｗが供
給されると、それのリ−ドＷａは、図１０ｃ（上段）に
示すタイミングによって、図９に示すようにプロ−ブＰ
Ｂによって接触・挟持される。引き続いて、切替手段Ｓ
Ｗによって第１の測定系Ｂ１に測定装置ＭＤが接続（切
替）され、図１０ｄ（上段）に示すタイミングによって
特性測定が実行される。尚、この期間中、第１の測定系
Ｂ１は回転が停止されており、測定終了後、３サイクル
の後半からプロ−ブＰＢが開放され始める（図１０ｃの
上段参照）。
６の吸着ノズル７に吸着されている電子部品Ｗは第１の
測定系Ｂ１の回転テ−ブル２６の＃１ポジションに位置
する載置部２６ａに載置され、吸着される。これと同時
に、吸着ノズル７による吸着が停止され、電子部品Ｗは
完全にメインの搬送系Ａから第１の測定系Ｂ１に移し替
えられる。これと同時に、＃Ｄポジションに位置するヘ
ッドの吸着ノズル７は第２の測定系Ｂ２の回転テ−ブル
２６の＃４ポジションに位置する特性測定済みの電子部
品Ｗを吸着する。これと同時に、第２の測定系Ｂ２の吸
着が停止され、特性測定済みの電子部品Ｗは完全に第２
の測定系Ｂ２からメインの搬送系Ａに移し替えられる。
この状態は、図１１の２サイクルにおける下段に示す。
尚、＃Ｂ，＃Ｃポジションに位置するヘッド６における
電子部品Ｗは、第１又は第２の測定系との間での移し替
えは行なわれない。第１の測定系Ｂ１の回転テ−ブル２
６の載置部２６ａに＃１ポジションにて電子部品Ｗが供
給されると、それのリ−ドＷａは、図１０ｃ（上段）に
示すタイミングによって、図９に示すようにプロ−ブＰ
Ｂによって接触・挟持される。引き続いて、切替手段Ｓ
Ｗによって第１の測定系Ｂ１に測定装置ＭＤが接続（切
替）され、図１０ｄ（上段）に示すタイミングによって
特性測定が実行される。尚、この期間中、第１の測定系
Ｂ１は回転が停止されており、測定終了後、３サイクル
の後半からプロ−ブＰＢが開放され始める（図１０ｃの
上段参照）。
【００２７】次に、図１０〜図１１に示す３サイクル目
に入ると、メインの搬送系Ａ及び第２の測定系Ｂ２の回
転テ−ブル２６が間欠回転して停止すると、＃Ｂ及び＃
Ｃポジションに位置するヘッド６が下降する。尚、＃Ｂ
ポジションに位置するヘッド６には電子部品Ｗは吸着さ
れていない（この状態は、図１１の３サイクルにおける
上段に示す）。かかるヘッド６の選択的下降は次のよう
に行なわれる。即ち、ロック装置２０Ａ〜２０Ｄの内、
ロック装置２０Ｂ，２０Ｃは、ロ−タリソレノイド２１
の駆動によりレバ−２２のロック部２２ｃが図５におい
て点線で示す位置（第２の腕部２２ｂがストッパ−部２
４に当たる位置）にあり、第２のガイドロ−ラ９から外
れている。又、ロック装置２０Ａ，２０Ｄは、ロ−タリ
ソレノイド２１の駆動によりレバ−２２のロック部２２
ｃを図５に示す実線位置（第１の腕部２２ａがストッパ
−部２３に当たるまで）まで回転させてあり、第２のガ
イドロ−ラ９に係合されている。従って、メインの搬送
系Ａの停止に関連して、タイロッド１３の下降に伴って
スライダ−１１が下降すると、同時に円形レ−ル１０も
一定のストロ−クだけ下降する。これに関連して円形レ
−ル１０の周縁部分に第１のガイドロ−ラ８を介して支
持されているヘッド６も図１０ｂ（下段）に示すように
同ストロ−クだけ下降するのであるが、上述のようにロ
ック状態にあるロック機構２０Ａ，２０Ｄに対応するヘ
ッド６は下降しない。
に入ると、メインの搬送系Ａ及び第２の測定系Ｂ２の回
転テ−ブル２６が間欠回転して停止すると、＃Ｂ及び＃
Ｃポジションに位置するヘッド６が下降する。尚、＃Ｂ
ポジションに位置するヘッド６には電子部品Ｗは吸着さ
れていない（この状態は、図１１の３サイクルにおける
上段に示す）。かかるヘッド６の選択的下降は次のよう
に行なわれる。即ち、ロック装置２０Ａ〜２０Ｄの内、
ロック装置２０Ｂ，２０Ｃは、ロ−タリソレノイド２１
の駆動によりレバ−２２のロック部２２ｃが図５におい
て点線で示す位置（第２の腕部２２ｂがストッパ−部２
４に当たる位置）にあり、第２のガイドロ−ラ９から外
れている。又、ロック装置２０Ａ，２０Ｄは、ロ−タリ
ソレノイド２１の駆動によりレバ−２２のロック部２２
ｃを図５に示す実線位置（第１の腕部２２ａがストッパ
−部２３に当たるまで）まで回転させてあり、第２のガ
イドロ−ラ９に係合されている。従って、メインの搬送
系Ａの停止に関連して、タイロッド１３の下降に伴って
スライダ−１１が下降すると、同時に円形レ−ル１０も
一定のストロ−クだけ下降する。これに関連して円形レ
−ル１０の周縁部分に第１のガイドロ−ラ８を介して支
持されているヘッド６も図１０ｂ（下段）に示すように
同ストロ−クだけ下降するのであるが、上述のようにロ
ック状態にあるロック機構２０Ａ，２０Ｄに対応するヘ
ッド６は下降しない。
【００２８】そして、＃Ｃポジションに位置するヘッド
６の吸着ノズル７に吸着されている電子部品Ｗは第２の
測定系Ｂ２の回転テ−ブル２６の＃１ポジションに位置
する載置部２６ａに載置され、吸着される。これと同時
に、吸着ノズル７による吸着が停止され、電子部品Ｗは
完全にメインの搬送系Ａから第２の測定系Ｂ２に移し替
えられる。これと同時に、＃Ｂポジションに位置するヘ
ッドの吸着ノズル７は第１の測定系Ｂ１の回転テ−ブル
２６の＃４ポジションに位置する特性測定済みの電子部
品Ｗを吸着する。これと同時に、第１の測定系Ｂ１の吸
着が停止され、特性測定済みの電子部品Ｗは完全に第１
の測定系Ｂ１からメインの搬送系Ａに移し替えられる。
この状態は、図１１の３サイクルにおける下段に示す。
尚、＃Ａ，＃Ｄポジションに位置するヘッド６における
電子部品Ｗは、第１又は第２の測定系との間での移し替
えは行なわれない。第２の測定系Ｂ２の回転テ−ブル２
６の載置部２６ａに＃１ポジションにて電子部品Ｗが供
給されると、それのリ−ドＷａは、図１０ｃ（下段）に
示すタイミングによって、図９に示すようにプロ−ブＰ
Ｂによって接触・挟持される。引き続いて、切替手段Ｓ
Ｗによって第２の測定系Ｂ２に測定装置ＭＤが接続（切
替）され、図１０ｄ（下段）に示すタイミングによって
特性測定が実行される。尚、この期間中、第２の測定系
Ｂ２は回転が停止されており、測定終了後、４サイクル
の後半からプロ−ブＰＢが開放され始める（図１０ｃの
下段参照）。
６の吸着ノズル７に吸着されている電子部品Ｗは第２の
測定系Ｂ２の回転テ−ブル２６の＃１ポジションに位置
する載置部２６ａに載置され、吸着される。これと同時
に、吸着ノズル７による吸着が停止され、電子部品Ｗは
完全にメインの搬送系Ａから第２の測定系Ｂ２に移し替
えられる。これと同時に、＃Ｂポジションに位置するヘ
ッドの吸着ノズル７は第１の測定系Ｂ１の回転テ−ブル
２６の＃４ポジションに位置する特性測定済みの電子部
品Ｗを吸着する。これと同時に、第１の測定系Ｂ１の吸
着が停止され、特性測定済みの電子部品Ｗは完全に第１
の測定系Ｂ１からメインの搬送系Ａに移し替えられる。
この状態は、図１１の３サイクルにおける下段に示す。
尚、＃Ａ，＃Ｄポジションに位置するヘッド６における
電子部品Ｗは、第１又は第２の測定系との間での移し替
えは行なわれない。第２の測定系Ｂ２の回転テ−ブル２
６の載置部２６ａに＃１ポジションにて電子部品Ｗが供
給されると、それのリ−ドＷａは、図１０ｃ（下段）に
示すタイミングによって、図９に示すようにプロ−ブＰ
Ｂによって接触・挟持される。引き続いて、切替手段Ｓ
Ｗによって第２の測定系Ｂ２に測定装置ＭＤが接続（切
替）され、図１０ｄ（下段）に示すタイミングによって
特性測定が実行される。尚、この期間中、第２の測定系
Ｂ２は回転が停止されており、測定終了後、４サイクル
の後半からプロ−ブＰＢが開放され始める（図１０ｃの
下段参照）。
【００２９】次に、図１０〜図１１に示す４サイクル目
以降は、２サイクル目と３サイクル目の動作が繰り返し
展開される。第１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ２では交互に
２サイクルに１回の割合で間欠回転し、停止期間中にプ
ロ−ブＰＢによる電子部品Ｗのリ−ドＷａの接触・挟持
（測定の準備段階），測定装置ＭＤの切り替え，特性測
定がほぼ１サイクルずれた状態で実行される。尚、間欠
回転の際には、＃１ポジションに位置する電子部品Ｗは
＃２ポジションに、＃２ポジションに位置する電子部品
Ｗは＃３ポジションに、＃３ポジションに位置する電子
部品Ｗは＃４ポジションにそれぞれ移送される。
以降は、２サイクル目と３サイクル目の動作が繰り返し
展開される。第１，第２の測定系Ｂ１，Ｂ２では交互に
２サイクルに１回の割合で間欠回転し、停止期間中にプ
ロ−ブＰＢによる電子部品Ｗのリ−ドＷａの接触・挟持
（測定の準備段階），測定装置ＭＤの切り替え，特性測
定がほぼ１サイクルずれた状態で実行される。尚、間欠
回転の際には、＃１ポジションに位置する電子部品Ｗは
＃２ポジションに、＃２ポジションに位置する電子部品
Ｗは＃３ポジションに、＃３ポジションに位置する電子
部品Ｗは＃４ポジションにそれぞれ移送される。
【００３０】尚、本発明は、何ら上記実施例に制約され
ることなく、例えばメインの搬送系は間欠回転系の他、
間欠移動するチェ−ンコンベアなどの直線系を適用する
こともできる。又、ヘッドは電子部品を真空吸着によっ
て支持する構成の他、チャックなどによる支持構造を採
用することも可能である。測定系は３つ以上に増加させ
ることもできるし、回転テ−ブルのヘッド数は適宜に増
減できる。さらにヘッドのロック機構はロ−タリソレノ
イドを使用しないで、例えばチャックなどによって選択
的に支持（ロック）するように構成することもできる。
ることなく、例えばメインの搬送系は間欠回転系の他、
間欠移動するチェ−ンコンベアなどの直線系を適用する
こともできる。又、ヘッドは電子部品を真空吸着によっ
て支持する構成の他、チャックなどによる支持構造を採
用することも可能である。測定系は３つ以上に増加させ
ることもできるし、回転テ−ブルのヘッド数は適宜に増
減できる。さらにヘッドのロック機構はロ−タリソレノ
イドを使用しないで、例えばチャックなどによって選択
的に支持（ロック）するように構成することもできる。
【００３１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、電子部品
が間欠的に搬送されるメインの搬送系にはバッファ的機
能を有し、かつメインの搬送系の２サイクルに対して１
回の割合で交互に間欠回転する第１，第２の測定系が配
置されているために、それぞれの測定系における停止期
間をほぼ１サイクル以上に設定できる。従って、電子部
品の特性測定は上述の停止期間内で余裕をもって行なう
ことができる。
が間欠的に搬送されるメインの搬送系にはバッファ的機
能を有し、かつメインの搬送系の２サイクルに対して１
回の割合で交互に間欠回転する第１，第２の測定系が配
置されているために、それぞれの測定系における停止期
間をほぼ１サイクル以上に設定できる。従って、電子部
品の特性測定は上述の停止期間内で余裕をもって行なう
ことができる。
【００３２】しかも、特性測定された電子部品は各サイ
クル毎に第１又は第２の測定系からメインの搬送系に移
し替えられるために、メインの搬送系からは見掛け上、
１サイクル毎に特性測定が行なわれていることになる。
従って、上述の停止期間に占めるリ−ドに対するプロ−
ブの接離，測定装置の切り替え，測定以外の時間を短縮
することにより、メインの搬送系の見掛け上の作業イン
デックスを短縮でき、設備の高速化が可能となる。
クル毎に第１又は第２の測定系からメインの搬送系に移
し替えられるために、メインの搬送系からは見掛け上、
１サイクル毎に特性測定が行なわれていることになる。
従って、上述の停止期間に占めるリ−ドに対するプロ−
ブの接離，測定装置の切り替え，測定以外の時間を短縮
することにより、メインの搬送系の見掛け上の作業イン
デックスを短縮でき、設備の高速化が可能となる。
【００３３】特に、第１，第２の測定系による電子部品
の特性測定は単一の測定装置にて、切替手段による切り
替えによって行なわれるために、設備費の高騰を抑制す
ることができる。
の特性測定は単一の測定装置にて、切替手段による切り
替えによって行なわれるために、設備費の高騰を抑制す
ることができる。
【００３４】特に、メインの搬送系に、それのヘッドを
間欠的な移動に関連して上下動させると共に、特定のヘ
ッドのみを選択的に上下動させるロック機構を付与すれ
ば、単純な動作によって電子部品をメインの搬送系と第
１，第２の測定系との間で同時に移し替えすることがで
きる。従って、作業性の一層の改善が可能となる。
間欠的な移動に関連して上下動させると共に、特定のヘ
ッドのみを選択的に上下動させるロック機構を付与すれ
ば、単純な動作によって電子部品をメインの搬送系と第
１，第２の測定系との間で同時に移し替えすることがで
きる。従って、作業性の一層の改善が可能となる。
【図１】本発明の概略構成を示す平面図。
【図２】本発明方法を説明するための概略図。
【図３】本発明装置の１実施例を示す要部正面図。
【図４】図３の側断面図。
【図５】本発明にかかるロック機構部分の正面図。
【図６】本発明にかかる円形レ−ルの昇降機構部分の側
面図。
面図。
【図７】図６の要部断面図。
【図８】図１の要部の概略的な拡大平面図。
【図９】プロ−ブによるリ−ドの挟持状態を示す側面
図。
図。
【図１０】搬送系，測定系のタイミングチャ−ト。
【図１１】搬送系と測定系との間での電子部品の移し替
え状態を説明するための図。
え状態を説明するための図。
【図１２】従来装置の要部正面図。
【図１３】従来装置による電子部品の特性測定方法を説
明するための概略図。
明するための概略図。
Ａ メインの搬送系 Ｂ１ 第１の測定系 Ｂ２ 第２の測定系 Ｗ 物品（電子部品） Ｗａ リ−ド ＰＢ プロ−ブ ＳＷ 切替手段 ＭＤ 測定装置 ３ シャフト ５ タ−ンテ−ブル ６ ヘッド ７ 吸着ノズル ８ 第１のガイドロ−ラ ９ 第２のガイドロ−ラ １０ 円形レ−ル １１ スライダ− １２ ガイドレ−ル １３ タイロッド ２０（２０Ａ〜２０Ｄ） ロック機構 ２１ ロ−タリソレノイド ２２ レバ− ２２ｃ ロック部 ２６ 回転テ−ブル ２６ａ 載置部
Claims (5)
- 【請求項１】 等ピッチに配置した複数のヘッドを有
し、かつヘッドに電子部品を支持して一定方向に間欠的
に搬送するメインの搬送系と、メインの搬送系に同期す
ると共にそれの２サイクルに対して１回の割合で間欠回
転し、かつそれぞれが交互に間欠回転する第１，第２の
測定系と、第１，第２の測定系の所定の停止ポジション
に、電子部品のリ−ドに対して接離可能に配置した測定
用のプロ−ブと、第１，第２の測定系のそれぞれのプロ
−ブに切替手段を介して接続した単一の測定装置とを具
備し、前記メインの搬送系の停止毎に、メインの搬送系
から第１又は第２の測定系に電子部品を移し替えると同
時に第１又は第２の測定系からメインの搬送系に電子部
品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停止している期
間に電子部品のリ−ドにプロ−ブを接触させた上で、測
定装置を切替手段によってそれぞれの測定系に切り替え
て電子部品の特性を測定することを特徴とする電子部品
の特性測定装置。 - 【請求項２】 タ−ンテ−ブルの周辺に複数のヘッドを
ほぼ等ピッチに配置すると共に、タ−ンテ−ブルの下側
にほぼ円形状のレ−ルを上下方向にのみスライド自在な
るように配置し、かつヘッドがレ−ルに支持された状態
で回転すると共にレ−ルの上下動に応じて上下に選択的
にスライドするように構成したメインの搬送系と、メイ
ンの搬送系に同期すると共にそれの２サイクルに対して
１回の割合で間欠回転し、かつそれぞれが交互に間欠回
転する回転テ−ブルを備えた第１，第２の測定系と、第
１，第２の測定系の所定の停止ポジションに、電子部品
のリ−ドに対して接離可能に配置した測定用のプロ−ブ
と、第１，第２の測定系のそれぞれのプロ−ブに切替手
段を介して接続した単一の測定装置とを具備し、前記メ
インの搬送系の停止に関連してレ−ルを下降・上昇させ
ると共に、この動作に基づいて第１，第２の測定系に対
応する特定のヘッドを選択的に下降・上昇させ、メイン
の搬送系から第１又は第２の測定系に電子部品を移し替
えると同時に第１又は第２の測定系からメインの搬送系
に電子部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停止し
ている期間に電子部品のリ−ドにプロ−ブを接触させた
上で、測定装置を切替手段によってそれぞれの測定系に
切り替えて電子部品の特性を測定することを特徴とする
電子部品の特性測定装置。 - 【請求項３】 タ−ンテ−ブルの周辺に複数のヘッドを
ほぼ等ピッチに配置すると共に、タ−ンテ−ブルの下側
にほぼ円形状のレ−ルを上下方向にのみスライド自在な
るように配置し、かつヘッドがレ−ルに支持された状態
で回転すると共にレ−ルの上下動に応じて上下にスライ
ドするように構成したメインの搬送系と、少なくとも第
１，第２の測定系に対応するメインの搬送系のヘッドの
周辺に配置し、レ−ルの下降動作に伴うヘッドの下降
を、特定のヘッドに対してのみ選択的にロックするロッ
ク機構と、メインの搬送系に同期すると共にそれの２サ
イクルに対して１回の割合で間欠回転し、かつそれぞれ
が交互に間欠回転する回転テ−ブルを備えた第１，第２
の測定系と、第１，第２の測定系の所定の停止ポジショ
ンに、電子部品のリ−ドに対して接離可能に配置した測
定用のプロ−ブと、第１，第２の測定系のそれぞれのプ
ロ−ブに切替手段を介して接続した単一の測定装置とを
具備し、前記メインの搬送系の停止に関連してレ−ルを
下降・上昇させると共に、この動作に基づいて第１，第
２の測定系に対応するヘッドのうち、特定のヘッドのみ
は下降をロック機構によりロックし、他のヘッドはロッ
ク機構によりロックしないで適宜に下降・上昇させ、メ
インの搬送系から第１又は第２の測定系に電子部品を移
し替えると同時に第１又は第２の測定系からメインの搬
送系に電子部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停
止している期間に電子部品のリ−ドにプロ−ブを接触さ
せた上で、測定装置を切替手段によってそれぞれの測定
系に切り替えて電子部品の特性を測定することを特徴と
する電子部品の特性測定装置。 - 【請求項４】 電子部品を一定方向に間欠的に搬送する
メインの搬送系の停止毎に、メインの搬送系の２サイク
ルに対して１回の割合で間欠回転しそれぞれが交互に間
欠回転する第１又は第２の測定系にメインの搬送系から
電子部品を移し替えると同時に第１又は第２の測定系か
らメインの搬送系に電子部品を移し替え、かつそれぞれ
の測定系が停止している期間に電子部品のリ−ドにプロ
−ブを接触させた上で、測定装置をそれぞれの測定系に
切り替えて電子部品の特性を測定することを特徴とする
電子部品の特性測定方法。 - 【請求項５】 前記第１，第２の測定系に存在する電子
部品の特性測定に際し、いずれか一方の測定系に存在す
る電子部品の特性を測定している時には他方の測定系に
存在する電子部品は特性測定の準備段階にあることを特
徴とする請求項４記載の電子部品の特性測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07318986A JP3097529B2 (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 電子部品の特性測定装置及びその測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07318986A JP3097529B2 (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 電子部品の特性測定装置及びその測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09159724A true JPH09159724A (ja) | 1997-06-20 |
| JP3097529B2 JP3097529B2 (ja) | 2000-10-10 |
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ID=18105221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07318986A Expired - Fee Related JP3097529B2 (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 電子部品の特性測定装置及びその測定方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3097529B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003075504A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Nec Eng Ltd | 電子部品測定方法および装置 |
| CN104007379A (zh) * | 2013-02-27 | 2014-08-27 | 英飞凌科技股份有限公司 | 转台处理器及其操作方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BR112022011876A2 (pt) | 2019-12-17 | 2022-09-06 | Basf Se | Processo para produzir um artigo moldado, artigo moldado e uso de um artigo moldado |
-
1995
- 1995-12-07 JP JP07318986A patent/JP3097529B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003075504A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Nec Eng Ltd | 電子部品測定方法および装置 |
| JP4554852B2 (ja) * | 2001-09-05 | 2010-09-29 | Ｎｅｃエンジニアリング株式会社 | 電子部品測定装置 |
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| US20140239998A1 (en) * | 2013-02-27 | 2014-08-28 | Infineon Technologies Ag | Turret Handlers and Methods of Operations Thereof |
| JP2014163943A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Infineon Technologies Ag | タレットハンドラおよびその動作方法 |
| US9594111B2 (en) | 2013-02-27 | 2017-03-14 | Infineon Technologies Ag | Turret handlers and methods of operations thereof |
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