JP3097529B2 - 電子部品の特性測定装置及びその測定方法 - Google Patents
電子部品の特性測定装置及びその測定方法Info
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- JP3097529B2 JP3097529B2 JP07318986A JP31898695A JP3097529B2 JP 3097529 B2 JP3097529 B2 JP 3097529B2 JP 07318986 A JP07318986 A JP 07318986A JP 31898695 A JP31898695 A JP 31898695A JP 3097529 B2 JP3097529 B2 JP 3097529B2
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Description
置,コンデンサなどの電子部品の特性測定を高速化でき
る電子部品の特性測定装置及びその測定方法に関する。
は、例えば図12に示すように構成されている。同図に
おいて、Hはタ−ンテ−ブルの周辺にほぼ等ピッチにて
配置された複数の吸着ヘッドであって、図示しないセン
タ−バルブを介して真空系に接続されている。そして、
所定の停止ポジションには、吸着ヘッドHに吸着された
電子部品Wのリ−ドWaに対応する上下部分に複数のプ
ロ−ブPBがリ−ドWaに対して接離自在なるように配
置されている。これらのプロ−ブPBは適宜のリ−ド線
を介して測定装置MDに接続されている。
図13に示すように行なわれる。まず、適宜の停止ポジ
ションにて電子部品Wを吸着ヘッドHの下端に真空吸着
させる。そして、測定ポジションにて吸着ヘッドHが同
図aに示すように停止すると、電子部品Wのリ−ドWa
に対向する部分に複数のプロ−ブPBが離隔状態で位置
している。次に、複数のプロ−ブPBがリ−ドWaに向
けて移動し、それぞれのリ−ドWaは同図bに示すよう
に挟持される。この状態において、電子部品Wのリ−ド
Waは測定装置MDに接続され、各種の特性測定が行な
われる。測定が終了すると、複数のプロ−ブPBは同図
cに示すようにリ−ドWaから離隔される。然る後、こ
の電子部品Wは次サイクルにおけるタ−ンテ−ブルの間
欠回転に伴って次の作業ポジションに搬送される。
定装置によれば、各ヘッドが停止する毎に、電子部品W
のリ−ドWaにプロ−ブPBを接触させることによって
各種の特性を確実に検査・測定でき、測定結果に基づく
特性ランク別のマ−キング,分類などを的確に実施する
ことができるものである。
短縮による設備の高速稼働が要求されているものの、上
述の一連の測定動作は、吸着ヘッドHが測定ポジション
に移動して停止した後に、プロ−ブPBによる電子部品
Wのリ−ドWaの挟持,特性測定,プロ−ブPBのリ−
ドWaからの開放,の動作から構成されている関係で、
吸着ヘッドHの停止期間における作業時間が長くなる。
に行なわれるために、1サイクルに要する作業時間(サ
イクルタイム)はタ−ンテ−ブルの間欠回転時間,プロ
−ブPBによるリ−ドWaの挟持時間,特性測定時間,
プロ−ブPBの開放時間,ロス時間の合計となり、いず
れかの作業時間を短縮しない限り作業インデックスの短
縮は達成し得ないものである。現実的には、そのいずれ
をも短縮することは設備的にも困難を伴うことが予想さ
れる。
ば、見掛け上の作業時間を短縮でき、設備の高速化が可
能となるものの、装置全体の設備費が高騰するという新
たな問題が生ずる。
系にバッファ機能を有する第1,第2の測定系を別設す
るという比較的に簡単な構成によって作業系の高速化が
可能となる電子部品の特性測定装置及びその測定方法を
提供することにある。
目的を達成するために、等ピッチに配置した複数のヘッ
ドを有し、かつヘッドに電子部品を支持して一定方向に
間欠的に搬送するメインの搬送系と、複数のヘッドを有
しメインの搬送系に同期すると共にそれの2サイクルに
対して1回の割合で間欠回転し、かつそれぞれが交互に
間欠回転する第1,第2の測定系と、第1,第2の測定
系の所定の停止ポジションに、電子部品のリ−ドに対し
て接離可能に配置した測定用のプロ−ブと、第1,第2
の測定系のそれぞれのプロ−ブに切替手段を介して接続
した単一の測定装置とを具備し、前記メインの搬送系の
停止毎に、メインの搬送系から第1又は第2の測定系に
電子部品を移し替えると同時に第1又は第2の測定系か
らメインの搬送系に電子部品を移し替え、かつそれぞれ
の測定系が停止している期間に電子部品のリ−ドにプロ
−ブを接触させた上で、測定装置を切替手段によってそ
れぞれの測定系に切り替えて電子部品の特性を測定する
ものである。
ルの周辺に複数のヘッドをほぼ等ピッチに配置すると共
に、タ−ンテ−ブルの下側にほぼ円形状のレ−ルを上下
方向にのみスライド自在なるように配置し、かつヘッド
がレ−ルに支持された状態で回転すると共にレ−ルの上
下動に応じて上下に選択的にスライドするように構成し
たメインの搬送系と、複数のヘッドを有しメインの搬送
系に同期すると共にそれの2サイクルに対して1回の割
合で間欠回転し、かつそれぞれが交互に間欠回転する回
転テ−ブルを備えた第1,第2の測定系と、第1,第2
の測定系の所定の停止ポジションに、電子部品のリ−ド
に対して接離可能に配置した測定用のプロ−ブと、第
1,第2の測定系のそれぞれのプロ−ブに切替手段を介
して接続した単一の測定装置とを具備し、前記メインの
搬送系の停止に関連してレ−ルを下降・上昇させると共
に、この動作に基づいて第1,第2の測定系に対応する
特定のヘッドを選択的に下降・上昇させ、メインの搬送
系から第1又は第2の測定系に電子部品を移し替えると
同時に第1又は第2の測定系からメインの搬送系に電子
部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停止している
期間に電子部品のリ−ドにプロ−ブを接触させた上で、
測定装置を切替手段によってそれぞれの測定系に切り替
えて電子部品の特性を測定することを特徴とする。
ルの周辺に複数のヘッドをほぼ等ピッチに配置すると共
に、タ−ンテ−ブルの下側にほぼ円形状のレ−ルを上下
方向にのみスライド自在なるように配置し、かつヘッド
がレ−ルに支持された状態で回転すると共にレ−ルの上
下動に応じて上下にスライドするように構成したメイン
の搬送系と、少なくとも第1,第2の測定系に対応する
メインの搬送系のヘッドの周辺に配置し、レ−ルの下降
動作に伴うヘッドの下降を、特定のヘッドに対してのみ
選択的にロックするロック機構と、複数のヘッドを有し
メインの搬送系に同期すると共にそれの2サイクルに対
して1回の割合で間欠回転し、かつそれぞれが交互に間
欠回転する回転テ−ブルを備えた第1,第2の測定系
と、第1,第2の測定系の所定の停止ポジションに、電
子部品のリ−ドに対して接離可能に配置した測定用のプ
ロ−ブと、第1,第2の測定系のそれぞれのプロ−ブに
切替手段を介して接続した単一の測定装置とを具備し、
前記メインの搬送系の停止に関連してレ−ルを下降・上
昇させると共に、この動作に基づいて第1,第2の測定
系に対応するヘッドのうち、特定のヘッドのみは下降を
ロック機構によりロックし、他のヘッドはロック機構に
よりロックしないで適宜に下降・上昇させ、メインの搬
送系から第1又は第2の測定系に電子部品を移し替える
と同時に第1又は第2の測定系からメインの搬送系に電
子部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が停止してい
る期間に電子部品のリ−ドにプロ−ブを接触させた上
で、測定装置を切替手段によってそれぞれの測定系に切
り替えて電子部品の特性を測定することを特徴とする。
を一定方向に間欠的に搬送するメインの搬送系の停止毎
に、メインの搬送系の2サイクルに対して1回の割合で
間欠回転しそれぞれが交互に間欠回転する複数のヘッド
を有した第1又は第2の測定系にメインの搬送系から電
子部品を移し替えると同時に第1又は第2の測定系から
メインの搬送系に電子部品を移し替え、かつそれぞれの
測定系が停止している期間に電子部品のリ−ドにプロ−
ブを接触させた上で、測定装置をそれぞれの測定系に切
り替えて電子部品の特性を測定することを特徴とし、第
5の発明は、前記第1,第2の測定系に存在する電子部
品の特性測定に際し、いずれか一方の測定系に存在する
電子部品の特性を測定している時には他方の測定系に存
在する電子部品は特性測定の準備段階にあることを特徴
とする。
1〜図10を参照して説明する。同図において、Aは電
子部品Wが一定方向に間欠的に搬送されるメインの搬送
系であり、B1,B2はメインの搬送系Aに関連して配
置された第1,第2の測定系である。尚、メインの搬送
系Aは図10aの上段に示すように1サイクル毎に間欠
回転し、第1,第2の測定系B1,B2は図10aの中
段,下段に示すようにメインの搬送系Aの2サイクルに
対して1回の割合で間欠回転すると共に、それぞれが交
互に間欠回転するように構成されている。
ば次のように構成されている。1は取付板であって、こ
れの上面にはほぼ筒状のシャフトハウジング2が垂直に
固定されている。このシャフトハウジング2には図10
aの上段に示すように間欠回転するシャフト3が、それ
の上下端が突出するように貫通して配置されており、図
示しない軸受などによって支持されている。シャフト3
の上方部分にはタ−ンテ−ブル5が固定されており、そ
の周辺部分にはほぼ等ピッチ間隔で複数のヘッド6が上
下方向にのみスライド可能に配置されている。尚、この
ヘッド6はタ−ンテ−ブル5から等ピッチ間隔で放射状
に延在させた複数のア−ムの先端部分に配置することも
できる。特に、このヘッド6は、例えば下端面に吸着孔
を開口する吸着ノズル7と、吸着ノズル7の下方に固定
された第1のガイドロ−ラ8と、吸着ノズル7の上方に
固定された第2のガイドロ−ラ9とから構成されてい
る。尚、吸着ノズル7は後述するセンタ−バルブなどを
介して真空系に接続されている。
で、かつタ−ンテ−ブル5の下側部分には円形状のレ−
ル(円形レ−ル)10が上下方向にのみスライド可能に
配置されており、その周縁部分の上側には上述の第1の
ガイドロ−ラ8が当接されている。この円形レ−ル10
の下側にはスライダ−11が固定されており、このスラ
イダ−11はシャフトハウジング2の外面に垂直に固定
されたレ−ル12をガイドとして上下動自在なるように
構成されている。特に、スライダ−11の側部には、下
端が図示しないカムに係合されたタイロッド13が配置
されており、カムの回転に関連するタイロッド13の上
下動によってスライダ−11が各サイクル毎に上下動す
る。このスライダ−11の上下動に連動して円形レ−ル
10は各サイクル毎に一定のストロ−クで上下動すると
共に、この動作に応じてヘッド6も後述するロック機構
の動作状態に基づいて選択的に上下動する。
14が配置されている。このセンタ−バルブ14はロ−
タとステ−タとから構成されており、ロ−タ側はシャフ
ト3の上端に固定されており、ステ−タ側は第1のブラ
ケット15を介して第2のブラケット16に固定されて
いる。尚、第1のブラケット15は例えばL形に形成さ
れており、下端は取付板1に固定されている。上述の吸
着ノズル7の上端はフレキシブル性を有するホ−ス1
7,フィルタ−18を介してセンタ−バルブ14のロ−
タ側に接続されており、ステ−タ側を通して真空系に接
続されている。
ラケット19が固定されており、これにはヘッド6のロ
ック機構20が配置されている。特に、ロック機構20
は例えば#A,#B,#C,#Dポジションにロック機
構20A,20B,20C,20D(図示せず)として
配置されている。尚、これらのロック機構20は、ロッ
ク機構20Aと20Dを、ロック機構20Bと20Cを
それぞれ統合して2つのロック機構とすることもでき
る。これらのロック機構20(20A〜20D)は、例
えば図5に示すように、回転軸21aを有し、第3のブ
ラケット19に固定された電磁式のロ−タリソレノイド
21と、第1の腕部22a,第2の腕部22b,L形の
ロック部22cをほぼコ字形に形成し、回転軸21aに
固定されたレバ−22と、第1の腕部22aに一定以上
回転しないように配置されたストッパ−部23と、レバ
−22が図示点線以上に回転しないように配置されたス
トッパ−部24とから構成されている。
系Aと第1の測定系B1又は第2の測定系B2との間で
電子部品Wの受け渡しが実行される場合にはロ−タリソ
レノイド21を駆動してレバ−22を図示点線位置に保
持し、受け渡しが実行されない場合にはロ−タリソレノ
イド21を駆動して図示実線位置に保持される。尚、ロ
ック機構の動作は図示しないコンピュ−タによって制御
されるが、機械的に制御する構成にすることもできる。
特に、ロック機構20が図示実線位置に保持されると、
円形レ−ル10が一定のストロ−クで上下動しても、ヘ
ッド6はそれのガイドロ−ラ9がロック部22cに支持
されるために図示実線位置に保持されて下降しない。
の所定の停止ポジション(例えば#A,#B,#C,#
Dポジション)の下方には第1,第2の測定系B1,B
2が配置されており、#A,#Bポジションには第1の
測定系B1の#1,#4ポジションが、#C,#Dポジ
ションには第2の測定系B2の#1,#4ポジションが
それぞれ合致するように配慮されている。これらの測定
系B1,B2は、例えば次のように構成されている。取
付板1に垂直に固定されたシャフトハウジング25と、
このシャフトハウジング25に貫通するように配置され
たシャフトの上端に固定された回転テ−ブル26と、シ
ャフトの下端に固定されたプ−リ27とから構成されて
おり、プ−リ27は図10aに示すタイミングで間欠回
転する。特に、回転テ−ブル26の間欠回転は、例えば
別設のパルスモ−タなどを利用して回転制御することが
できる。尚、回転テ−ブル26の周辺には例えば4個の
電子部品Wを等ピッチで真空吸着できる突起状の載置部
26aと吸着孔26bが形成されており、センタ−バル
ブなどを介して真空系に接続されている。
ブル26の、例えば#2ポジションには複数対のプロ−
ブPBが電子部品Wのリ−ドWaの上下面に対して接離
自在なるように配置されている。これらのプロ−ブPB
は切替手段SWを介して測定装置MDに接続されてい
る。尚、第1,第2の測定系B1,B2のプロ−ブPB
によるリ−ドWaの挟持は図10cに示すタイミングに
よって行なわれる。
定方法について図1〜図2を参照して説明する。メイン
の搬送系Aを含む作業系は例えば一定のタイミングにて
間欠回転する複数の作業テ−ブルから構成されており、
まず、ポジション#Iにてリ−ドフレ−ムから電子部品
Wを打ち抜き、第1の作業系に供給し、ポジション#I
Iにて第2の作業系(メインの搬送系A)に供給され
る。第2の作業系ではリ−ドの成形が行なわれた後、第
1,第2の測定系B1,B2にて特性測定などが行なわ
れる。そして、ポジション#IIIにて第3の作業系に
供給された後、適宜の停止ポジションにて特性測定結果
に基づく特性ランク,製造者名などの表示記号がレ−ザ
−マ−キングされる。その後、ポジション#IVにて第
4の作業系に供給され、特性ランクなどに基づいて分類
・仕分けされて一連の作業を終了する。
ける電子部品Wの特性測定は、概略的には図2に示すよ
うに行なわれる。まず、メインの搬送系Aによって搬送
される電子部品Wは所定の停止ポジションにて1サイク
ルずれた状態で第1,第2の測定系B1,B2に移し替
えられる。第1の測定系B1に移送された電子部品Wが
所定のポジションに停止すると、それのリ−ドWaには
特性測定用のプロ−ブPBが接触される。この状態で、
測定装置MDが切替手段SWによって第1の測定系B1
のプロ−ブPBに切り替え接続され、引き続いて測定装
置MDによって特性測定が実行される。測定が終了する
と、プロ−ブPBがリ−ドWaから開放されて再びメイ
ンの搬送系Aに移し替えられる。一方、第2の測定系B
2に移し替えられた電子部品Wは第1の測定系B1に1
サイクル遅れて同様の作業によって特性測定が実行され
る。
1,B2における特性測定はメインの搬送系Aの2サイ
クルに跨がって実行でき、測定期間に余裕が生ずる上
に、メインの搬送系Aの各サイクル毎に、特性測定する
電子部品Wがメインの搬送系Aから第1の測定系B1又
は第2の測定系B2に、特性測定済みの電子部品Wが第
1の測定系B1又は第2の測定系B2からメインの搬送
系Aに同時に移し替えられているために、メインの搬送
系Aの作業インデックスを短縮できる。
的な特性測定は次のように行なわれる。尚、図11にお
いて、○印は対応するポジションに電子部品Wが存在す
ることを、−印は対応するポジションに電子部品Wが存
在しないことを、◎印は第1又は第2の測定系から測定
済みの電子部品Wがメインの搬送系Aに移し替えられた
(返却された)ことを、△印は返却によって電子部品W
が存在しないことを、●印は電子部品Wがメインの搬送
系Aから第1又は第2の測定系に移し替えられた(抜き
取られた)ことを、×印は抜き取りによって電子部品W
が存在しないことをそれぞれ表示しており、さらに、斜
めの矢印はメインの搬送系A,第1又は第2の測定系の
回転テ−ブル26が間欠回転したことを表示している。
において、メインの搬送系A及び第1の測定系B1の回
転テ−ブル26が間欠回転して停止すると、#A及び#
Dポジションに位置するヘッド6が下降する。尚、#D
ポジションに位置するヘッド6には電子部品Wは吸着さ
れていない(この状態は、図11の2サイクルにおける
上段に示す)。かかるヘッド6の選択的下降は次のよう
に行なわれる。即ち、ロック装置20A〜20Dの内、
ロック装置20A,20Dは、ロ−タリソレノイド21
の駆動によりレバ−22のロック部22cが図5におい
て点線で示す位置(第2の腕部22bがストッパ−部2
4に当たる位置)にあり、第2のガイドロ−ラ9から外
れている。又、ロック装置20B,20Cは、ロ−タリ
ソレノイド21の駆動によりレバ−22のロック部22
cを図5に示す実線位置(第1の腕部22aがストッパ
−部23に当たるまで)まで回転させてあり、第2のガ
イドロ−ラ9に係合されている。従って、メインの搬送
系Aの停止に関連して、タイロッド13の下降に伴って
スライダ−11が下降すると、同時に円形レ−ル10も
一定のストロ−クだけ下降する。これに関連して円形レ
−ル10の周縁部分に第1のガイドロ−ラ8を介して支
持されているヘッド6も図10b(上段のタイミング)
に示すように同ストロ−クだけ下降するのであるが、上
述のようにロック状態にあるロック機構20B,20C
に対応するヘッド6は下降しない。
6の吸着ノズル7に吸着されている電子部品Wは第1の
測定系B1の回転テ−ブル26の#1ポジションに位置
する載置部26aに載置され、吸着される。これと同時
に、吸着ノズル7による吸着が停止され、電子部品Wは
完全にメインの搬送系Aから第1の測定系B1に移し替
えられる。これと同時に、#Dポジションに位置するヘ
ッドの吸着ノズル7は第2の測定系B2の回転テ−ブル
26の#4ポジションに位置する特性測定済みの電子部
品Wを吸着する。これと同時に、第2の測定系B2の吸
着が停止され、特性測定済みの電子部品Wは完全に第2
の測定系B2からメインの搬送系Aに移し替えられる。
この状態は、図11の2サイクルにおける下段に示す。
尚、#B,#Cポジションに位置するヘッド6における
電子部品Wは、第1又は第2の測定系との間での移し替
えは行なわれない。第1の測定系B1の回転テ−ブル2
6の載置部26aに#1ポジションにて電子部品Wが供
給されると、それのリ−ドWaは、図10c(上段)に
示すタイミングによって、図9に示すようにプロ−ブP
Bによって接触・挟持される。引き続いて、切替手段S
Wによって第1の測定系B1に測定装置MDが接続(切
替)され、図10d(上段)に示すタイミングによって
特性測定が実行される。尚、この期間中、第1の測定系
B1は回転が停止されており、測定終了後、3サイクル
の後半からプロ−ブPBが開放され始める(図10cの
上段参照)。
に入ると、メインの搬送系A及び第2の測定系B2の回
転テ−ブル26が間欠回転して停止すると、#B及び#
Cポジションに位置するヘッド6が下降する。尚、#B
ポジションに位置するヘッド6には電子部品Wは吸着さ
れていない(この状態は、図11の3サイクルにおける
上段に示す)。かかるヘッド6の選択的下降は次のよう
に行なわれる。即ち、ロック装置20A〜20Dの内、
ロック装置20B,20Cは、ロ−タリソレノイド21
の駆動によりレバ−22のロック部22cが図5におい
て点線で示す位置(第2の腕部22bがストッパ−部2
4に当たる位置)にあり、第2のガイドロ−ラ9から外
れている。又、ロック装置20A,20Dは、ロ−タリ
ソレノイド21の駆動によりレバ−22のロック部22
cを図5に示す実線位置(第1の腕部22aがストッパ
−部23に当たるまで)まで回転させてあり、第2のガ
イドロ−ラ9に係合されている。従って、メインの搬送
系Aの停止に関連して、タイロッド13の下降に伴って
スライダ−11が下降すると、同時に円形レ−ル10も
一定のストロ−クだけ下降する。これに関連して円形レ
−ル10の周縁部分に第1のガイドロ−ラ8を介して支
持されているヘッド6も図10b(下段)に示すように
同ストロ−クだけ下降するのであるが、上述のようにロ
ック状態にあるロック機構20A,20Dに対応するヘ
ッド6は下降しない。
6の吸着ノズル7に吸着されている電子部品Wは第2の
測定系B2の回転テ−ブル26の#1ポジションに位置
する載置部26aに載置され、吸着される。これと同時
に、吸着ノズル7による吸着が停止され、電子部品Wは
完全にメインの搬送系Aから第2の測定系B2に移し替
えられる。これと同時に、#Bポジションに位置するヘ
ッドの吸着ノズル7は第1の測定系B1の回転テ−ブル
26の#4ポジションに位置する特性測定済みの電子部
品Wを吸着する。これと同時に、第1の測定系B1の吸
着が停止され、特性測定済みの電子部品Wは完全に第1
の測定系B1からメインの搬送系Aに移し替えられる。
この状態は、図11の3サイクルにおける下段に示す。
尚、#A,#Dポジションに位置するヘッド6における
電子部品Wは、第1又は第2の測定系との間での移し替
えは行なわれない。第2の測定系B2の回転テ−ブル2
6の載置部26aに#1ポジションにて電子部品Wが供
給されると、それのリ−ドWaは、図10c(下段)に
示すタイミングによって、図9に示すようにプロ−ブP
Bによって接触・挟持される。引き続いて、切替手段S
Wによって第2の測定系B2に測定装置MDが接続(切
替)され、図10d(下段)に示すタイミングによって
特性測定が実行される。尚、この期間中、第2の測定系
B2は回転が停止されており、測定終了後、4サイクル
の後半からプロ−ブPBが開放され始める(図10cの
下段参照)。
以降は、2サイクル目と3サイクル目の動作が繰り返し
展開される。第1,第2の測定系B1,B2では交互に
2サイクルに1回の割合で間欠回転し、停止期間中にプ
ロ−ブPBによる電子部品Wのリ−ドWaの接触・挟持
(測定の準備段階),測定装置MDの切り替え,特性測
定がほぼ1サイクルずれた状態で実行される。尚、間欠
回転の際には、#1ポジションに位置する電子部品Wは
#2ポジションに、#2ポジションに位置する電子部品
Wは#3ポジションに、#3ポジションに位置する電子
部品Wは#4ポジションにそれぞれ移送される。
ることなく、例えばメインの搬送系は間欠回転系の他、
間欠移動するチェ−ンコンベアなどの直線系を適用する
こともできる。又、ヘッドは電子部品を真空吸着によっ
て支持する構成の他、チャックなどによる支持構造を採
用することも可能である。測定系は3つ以上に増加させ
ることもできるし、回転テ−ブルのヘッド数は適宜に増
減できる。さらにヘッドのロック機構はロ−タリソレノ
イドを使用しないで、例えばチャックなどによって選択
的に支持(ロック)するように構成することもできる。
が間欠的に搬送されるメインの搬送系にはバッファ的機
能を有し、かつメインの搬送系の2サイクルに対して1
回の割合で交互に間欠回転する第1,第2の測定系が配
置されているために、それぞれの測定系における停止期
間をほぼ1サイクル以上に設定できる。従って、電子部
品の特性測定は上述の停止期間内で余裕をもって行なう
ことができる。
クル毎に第1又は第2の測定系からメインの搬送系に移
し替えられるために、メインの搬送系からは見掛け上、
1サイクル毎に特性測定が行なわれていることになる。
従って、上述の停止期間に占めるリ−ドに対するプロ−
ブの接離,測定装置の切り替え,測定以外の時間を短縮
することにより、メインの搬送系の見掛け上の作業イン
デックスを短縮でき、設備の高速化が可能となる。
の特性測定は単一の測定装置にて、切替手段による切り
替えによって行なわれるために、設備費の高騰を抑制す
ることができる。
間欠的な移動に関連して上下動させると共に、特定のヘ
ッドのみを選択的に上下動させるロック機構を付与すれ
ば、単純な動作によって電子部品をメインの搬送系と第
1,第2の測定系との間で同時に移し替えすることがで
きる。従って、作業性の一層の改善が可能となる。
面図。
図。
え状態を説明するための図。
明するための概略図。
Claims (5)
- 【請求項1】等ピッチに配置した複数のヘッドを有し、
かつヘッドに電子部品を支持して一定方向に間欠的に搬
送するメインの搬送系と、複数のヘッドを有しメインの
搬送系に同期すると共にそれの2サイクルに対して1回
の割合で間欠回転し、かつそれぞれが交互に間欠回転す
る第1,第2の測定系と、第1,第2の測定系の所定の
停止ポジションに、電子部品のリ−ドに対して接離可能
に配置した測定用のプロ−ブと、第1,第2の測定系の
それぞれのプロ−ブに切替手段を介して接続した単一の
測定装置とを具備し、前記メインの搬送系の停止毎に、
メインの搬送系から第1又は第2の測定系に電子部品を
移し替えると同時に第1又は第2の測定系からメインの
搬送系に電子部品を移し替え、かつそれぞれの測定系が
停止している期間に電子部品のリ−ドにプロ−ブを接触
させた上で、測定装置を切替手段によってそれぞれの測
定系に切り替えて電子部品の特性を測定することを特徴
とする電子部品の特性測定装置。 - 【請求項2】タ−ンテ−ブルの周辺に複数のヘッドをほ
ぼ等ピッチに配置すると共に、タ−ンテ−ブルの下側に
ほぼ円形状のレ−ルを上下方向にのみスライド自在なる
ように配置し、かつヘッドがレ−ルに支持された状態で
回転すると共にレ−ルの上下動に応じて上下に選択的に
スライドするように構成したメインの搬送系と、複数の
ヘッドを有しメインの搬送系に同期すると共にそれの2
サイクルに対して1回の割合で間欠回転し、かつそれぞ
れが交互に間欠回転する回転テ−ブルを備えた第1,第
2の測定系と、第1,第2の測定系の所定の停止ポジシ
ョンに、電子部品のリ−ドに対して接離可能に配置した
測定用のプロ−ブと、第1,第2の測定系のそれぞれの
プロ−ブに切替手段を介して接続した単一の測定装置と
を具備し、前記メインの搬送系の停止に関連してレ−ル
を下降・上昇させると共に、この動作に基づいて第1,
第2の測定系に対応する特定のヘッドを選択的に下降・
上昇させ、メインの搬送系から第1又は第2の測定系に
電子部品を移し替えると同時に第1又は第2の測定系か
らメインの搬送系に電子部品を移し替え、かつそれぞれ
の測定系が停止している期間に電子部品のリ−ドにプロ
−ブを接触させた上で、測定装置を切替手段によってそ
れぞれの測定系に切り替えて電子部品の特性を測定する
ことを特徴とする電子部品の特性測定装置。 - 【請求項3】タ−ンテ−ブルの周辺に複数のヘッドをほ
ぼ等ピッチに配置すると共に、タ−ンテ−ブルの下側に
ほぼ円形状のレ−ルを上下方向にのみスライド自在なる
ように配置し、かつヘッドがレ−ルに支持された状態で
回転すると共にレ−ルの上下動に応じて上下にスライド
するように構成したメインの搬送系と、少なくとも第
1,第2の測定系に対応するメインの搬送系のヘッドの
周辺に配置し、レ−ルの下降動作に伴うヘッドの下降
を、特定のヘッドに対してのみ選択的にロックするロッ
ク機構と、複数のヘッドを有しメインの搬送系に同期す
ると共にそれの2サイクルに対して1回の割合で間欠回
転し、かつそれぞれが交互に間欠回転する回転テ−ブル
を備えた第1,第2の測定系と、第1,第2の測定系の
所定の停止ポジションに、電子部品のリ−ドに対して接
離可能に配置した測定用のプロ−ブと、第1,第2の測
定系のそれぞれのプロ−ブに切替手段を介して接続した
単一の測定装置とを具備し、前記メインの搬送系の停止
に関連してレ−ルを下降・上昇させると共に、この動作
に基づいて第1,第2の測定系に対応するヘッドのう
ち、特定のヘッドのみは下降をロック機構によりロック
し、他のヘッドはロック機構によりロックしないで適宜
に下降・上昇させ、メインの搬送系から第1又は第2の
測定系に電子部品を移し替えると同時に第1又は第2の
測定系からメインの搬送系に電子部品を移し替え、かつ
それぞれの測定系が停止している期間に電子部品のリ−
ドにプロ−ブを接触させた上で、測定装置を切替手段に
よってそれぞれの測定系に切り替えて電子部品の特性を
測定することを特徴とする電子部品の特性測定装置。 - 【請求項4】電子部品を一定方向に間欠的に搬送するメ
インの搬送系の停止毎に、メインの搬送系の2サイクル
に対して1回の割合で間欠回転しそれぞれが交互に間欠
回転する複数のヘッドを有した第1又は第2の測定系に
メインの搬送系から電子部品を移し替えると同時に第1
又は第2の測定系からメインの搬送系に電子部品を移し
替え、かつそれぞれの測定系が停止している期間に電子
部品のリ−ドにプロ−ブを接触させた上で、測定装置を
それぞれの測定系に切り替えて電子部品の特性を測定す
ることを特徴とする電子部品の特性測定方法。 - 【請求項5】 前記第1,第2の測定系に存在する電子
部品の特性測定に際し、いずれか一方の測定系に存在す
る電子部品の特性を測定している時には他方の測定系に
存在する電子部品は特性測定の準備段階にあることを特
徴とする請求項4記載の電子部品の特性測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07318986A JP3097529B2 (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 電子部品の特性測定装置及びその測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP07318986A JP3097529B2 (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 電子部品の特性測定装置及びその測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09159724A JPH09159724A (ja) | 1997-06-20 |
JP3097529B2 true JP3097529B2 (ja) | 2000-10-10 |
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ID=18105221
Family Applications (1)
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JP07318986A Expired - Fee Related JP3097529B2 (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 電子部品の特性測定装置及びその測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3097529B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021122937A1 (de) | 2019-12-17 | 2021-06-24 | Basf Se | VERFAHREN ZUM VERSCHWEIßEN VON PARTIKELSCHÄUMEN MITTELS PORÖSER HÜLLEN |
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---|---|---|---|---|
JP4554852B2 (ja) * | 2001-09-05 | 2010-09-29 | Necエンジニアリング株式会社 | 電子部品測定装置 |
US9594111B2 (en) * | 2013-02-27 | 2017-03-14 | Infineon Technologies Ag | Turret handlers and methods of operations thereof |
-
1995
- 1995-12-07 JP JP07318986A patent/JP3097529B2/ja not_active Expired - Fee Related
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WO2021122937A1 (de) | 2019-12-17 | 2021-06-24 | Basf Se | VERFAHREN ZUM VERSCHWEIßEN VON PARTIKELSCHÄUMEN MITTELS PORÖSER HÜLLEN |
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JPH09159724A (ja) | 1997-06-20 |
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