JP2599034Y2 - 可変ピッチ機構を持った複数デバイス搬送装置 - Google Patents
可変ピッチ機構を持った複数デバイス搬送装置Info
- Publication number
- JP2599034Y2 JP2599034Y2 JP1993034099U JP3409993U JP2599034Y2 JP 2599034 Y2 JP2599034 Y2 JP 2599034Y2 JP 1993034099 U JP1993034099 U JP 1993034099U JP 3409993 U JP3409993 U JP 3409993U JP 2599034 Y2 JP2599034 Y2 JP 2599034Y2
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- Japan
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- devices
- pitch
- buffer
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、ＩＣハンドラ等の内部
へ複数の被測定デバイスを同時に搬入及び逆に外部へ同
時に搬出するためのＸ軸Ｙ軸の可変ピッチ機構を持った
複数デバイス搬送装置に関するものである。
へ複数の被測定デバイスを同時に搬入及び逆に外部へ同
時に搬出するためのＸ軸Ｙ軸の可変ピッチ機構を持った
複数デバイス搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のＩＣハンドラのデバイス搬送は、
図２に示すような手順でおこなわれる。つまり、トレイ
１に並んだ被測定デバイスをＸ軸Ｙ軸に自由に動作する
キャリア・アーム２が１個づつ吸着しトレイ１のピッチ
と違うコンタクトソケット５へ移している。トレイ１
は、多数個の被測定デバイスを小さい面積に収納するた
めにピッチが小さく、又、コンタクト・ソケット５は、
試験部の物理的な大きさの制限によりピッチを小さくで
きないため、双方のピッチに違いがある。複数個の被測
定デバイスを同時に試験する場合、試験の前にコンタク
トソケット５の数と同数回キャリア・アーム２が被測定
デバイスをトレイ１からコンタクトソケット５へ１個づ
つ運ぶ必要がある。
図２に示すような手順でおこなわれる。つまり、トレイ
１に並んだ被測定デバイスをＸ軸Ｙ軸に自由に動作する
キャリア・アーム２が１個づつ吸着しトレイ１のピッチ
と違うコンタクトソケット５へ移している。トレイ１
は、多数個の被測定デバイスを小さい面積に収納するた
めにピッチが小さく、又、コンタクト・ソケット５は、
試験部の物理的な大きさの制限によりピッチを小さくで
きないため、双方のピッチに違いがある。複数個の被測
定デバイスを同時に試験する場合、試験の前にコンタク
トソケット５の数と同数回キャリア・アーム２が被測定
デバイスをトレイ１からコンタクトソケット５へ１個づ
つ運ぶ必要がある。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】従来のＩＣハンドラ
で、複数個の被測定デバイスを同時に試験する場合、キ
ャリア・アーム２がトレイ１より１個づつ被測定デバイ
スを吸着してコンタクト・ソケット５にセットする。こ
の為、同時に試験する被測定デバイスが増えるに従い、
試験するまでのセット時間が長くなる。
で、複数個の被測定デバイスを同時に試験する場合、キ
ャリア・アーム２がトレイ１より１個づつ被測定デバイ
スを吸着してコンタクト・ソケット５にセットする。こ
の為、同時に試験する被測定デバイスが増えるに従い、
試験するまでのセット時間が長くなる。
【０００４】本考案が解決しようとする課題は、トレイ
１からコンタクト・ソケット５への搬入時間、又、逆に
コンタクト・ソケット５からトレイ１への搬出時間を短
縮することである。
１からコンタクト・ソケット５への搬入時間、又、逆に
コンタクト・ソケット５からトレイ１への搬出時間を短
縮することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案は、以上のような
課題を解決するものであって、次のようなものである。
すなわち、本考案は、図１のように複数個デバイスを同
時に移動できるキャリア・アーム２と、Ｘ軸ピッチを可
変できるバッファ・ステージ３と、Ｙ軸ピッチを可変で
きるバッファ・アーム４とからなる。
課題を解決するものであって、次のようなものである。
すなわち、本考案は、図１のように複数個デバイスを同
時に移動できるキャリア・アーム２と、Ｘ軸ピッチを可
変できるバッファ・ステージ３と、Ｙ軸ピッチを可変で
きるバッファ・アーム４とからなる。
【０００６】又、移動できる被測定デバイスを２個以内
に限定する場合には、バッファ・ステージ３あるいはバ
ッファ・アーム４のどちらか一方のピッチのみを可変す
る構成としてもよい。
に限定する場合には、バッファ・ステージ３あるいはバ
ッファ・アーム４のどちらか一方のピッチのみを可変す
る構成としてもよい。
【０００７】
【作用】上記のように構成された機構を使用する事で、
ピッチの違うトレイ１とコンタクト・ソケット５の間で
複数個の被測定デバイスを同時に搬送することができ
る。
ピッチの違うトレイ１とコンタクト・ソケット５の間で
複数個の被測定デバイスを同時に搬送することができ
る。
【０００８】
【実施例】（実施例１） 実施例１を図１の時間の経過に伴う被測定デバイスの移
動を示す説明図に基づいて説明する。まず（ａ）に示す
ように、トレイ１のピッチに寸法が合う吸着機構を持っ
たキャリア・アーム２により、４個の被測定デバイスを
同時に吸着し、バッファ・ステージ３に被測定デバイス
を運び同時に開放する。
動を示す説明図に基づいて説明する。まず（ａ）に示す
ように、トレイ１のピッチに寸法が合う吸着機構を持っ
たキャリア・アーム２により、４個の被測定デバイスを
同時に吸着し、バッファ・ステージ３に被測定デバイス
を運び同時に開放する。
【０００９】そして（ｂ）に示すように、バッファ・ス
テージ３は、バッファ・アーム４の下方に位置を移動し
ながら、同時にコンタクト・ソケット５のＸ軸のピッチ
に合うよう被測定デバイスを中央からＸ軸の両側に２個
づつ移動する。
テージ３は、バッファ・アーム４の下方に位置を移動し
ながら、同時にコンタクト・ソケット５のＸ軸のピッチ
に合うよう被測定デバイスを中央からＸ軸の両側に２個
づつ移動する。
【００１０】そして（ｃ）に示すように、バッファ・ア
ーム４は、Ｘ軸に移動したバッファ・ステージ３より被
測定デバイスを同時に吸着し、コンタクト・ソケット５
の上方に移動する。又、同時にバッファ・アーム４は、
コンタクト・ソケット５のＹ軸のピッチに合うよう、中
央からＹ軸の両側に被測定デバイスを２個づつ移動す
る。
ーム４は、Ｘ軸に移動したバッファ・ステージ３より被
測定デバイスを同時に吸着し、コンタクト・ソケット５
の上方に移動する。又、同時にバッファ・アーム４は、
コンタクト・ソケット５のＹ軸のピッチに合うよう、中
央からＹ軸の両側に被測定デバイスを２個づつ移動す
る。
【００１１】バッファ・ステージ３とバッファ・アーム
４の移動方向は、ちょうど９０度違っており、可変ピッ
チ機構になっているこの機構により移動後のバッファ・
アーム４の４個の被測定デバイスの位置を、コンタクト
・ソケット５のソケット位置に一致させている。
４の移動方向は、ちょうど９０度違っており、可変ピッ
チ機構になっているこの機構により移動後のバッファ・
アーム４の４個の被測定デバイスの位置を、コンタクト
・ソケット５のソケット位置に一致させている。
【００１２】そして（ｄ）に示すように、バッファ・ア
−ム４は、コンタクト・ソケット５に被測定デバイス４
個を同時に開放する。４個の被測定デバイスを同時に搬
送することで、従来の１個搬送に比較して高速化した動
作を可能にできる。
−ム４は、コンタクト・ソケット５に被測定デバイス４
個を同時に開放する。４個の被測定デバイスを同時に搬
送することで、従来の１個搬送に比較して高速化した動
作を可能にできる。
【００１３】（実施例２） 実施例１は、トレイ１からコンタクト・ソケット５へ４
個の被測定デバイスを同時に移動するものであるが、実
施例２では実施例１と逆の順序により、コンタクト・ソ
ケット５からトレイ１へ４個の被測定デバイスを同時に
移動させる。
個の被測定デバイスを同時に移動するものであるが、実
施例２では実施例１と逆の順序により、コンタクト・ソ
ケット５からトレイ１へ４個の被測定デバイスを同時に
移動させる。
【００１４】（実施例３） 実施例３を図３に基づいて説明する。実施例３は、２個
の被測定デバイスを移動させる。これは、バッファ・ア
ームによるＹ軸の移動をなくしたもので、バッファ・ス
テージ３でコンタクト・ソケット５のピッチに合うよう
中央からＸ軸の両側に被測定デバイスを２個同時に移動
させる。
の被測定デバイスを移動させる。これは、バッファ・ア
ームによるＹ軸の移動をなくしたもので、バッファ・ス
テージ３でコンタクト・ソケット５のピッチに合うよう
中央からＸ軸の両側に被測定デバイスを２個同時に移動
させる。
【００１５】又、上記の方法とは逆の順序により、コン
タクト・ソケット５からトレイ１へ被測定デバイス２個
を移動させることができる。
タクト・ソケット５からトレイ１へ被測定デバイス２個
を移動させることができる。
【００１６】（実施例４） 実施例４を図４に基づいて説明する。実施例４は、２個
の被測定デバイスを移動させる。これは、バッファ・ス
テージによるＸ軸の移動をなくしたもので、バッファ・
アーム４でコンタクト・ソケット５のピッチに合うよう
中央からＹ軸の両側に被測定デバイスを２個同時に移動
させる。
の被測定デバイスを移動させる。これは、バッファ・ス
テージによるＸ軸の移動をなくしたもので、バッファ・
アーム４でコンタクト・ソケット５のピッチに合うよう
中央からＹ軸の両側に被測定デバイスを２個同時に移動
させる。
【００１７】又、上記の方法とは逆の順序により、コン
タクト・ソケット５からトレイ１へ被測定デバイス２個
を移動させることができる。
タクト・ソケット５からトレイ１へ被測定デバイス２個
を移動させることができる。
【００１８】（実施例５） 実施例を図１及び図５より図７に基づいて説明する。こ
れは、図１のピッチの違うトレイ１よりコンタクト・ソ
ケット５へ、Ｘ軸またはＹ軸に中心から対象的に被搬送
物を動かせることができる２本の左右ねじを使ってピッ
チを合わせ、４個の搬送物を同時に搬送するものであ
る。
れは、図１のピッチの違うトレイ１よりコンタクト・ソ
ケット５へ、Ｘ軸またはＹ軸に中心から対象的に被搬送
物を動かせることができる２本の左右ねじを使ってピッ
チを合わせ、４個の搬送物を同時に搬送するものであ
る。
【００１９】まず、図１のトレイ１と同じピッチの吸着
機構を持ったキャリア・アーム２により、トレイ１上の
４個の被試験デバイスを同時に吸着し、バッファ・ステ
ージ３上に運ぶ。
機構を持ったキャリア・アーム２により、トレイ１上の
４個の被試験デバイスを同時に吸着し、バッファ・ステ
ージ３上に運ぶ。
【００２０】バッファ・ステージのＹ軸のピッチはキャ
リア・アーム２と同じになっており、Ｘ軸のピッチはキ
ャリア・アーム２と同じピッチに図５のモータ１３によ
り合わせる。キャリア・アーム２は、ピッチが同じにな
ったバッファ・ステージ３上に被試験デバイスを同時に
開放する。
リア・アーム２と同じになっており、Ｘ軸のピッチはキ
ャリア・アーム２と同じピッチに図５のモータ１３によ
り合わせる。キャリア・アーム２は、ピッチが同じにな
ったバッファ・ステージ３上に被試験デバイスを同時に
開放する。
【００２１】次にバッファ・ステージ３のＸ軸は、コン
タクト・ソケット５と同じピッチになっているバッファ
・アーム４のＸ軸のピッチと同じになるように、図５の
モータ１３によりサブ・ステージ１９のピッチを合わせ
る。
タクト・ソケット５と同じピッチになっているバッファ
・アーム４のＸ軸のピッチと同じになるように、図５の
モータ１３によりサブ・ステージ１９のピッチを合わせ
る。
【００２２】次に、バッファ・アーム４のＹ軸はバッフ
ァ・ステージ３のＹ軸ピッチに図６のモータ１７により
合わせる。
ァ・ステージ３のＹ軸ピッチに図６のモータ１７により
合わせる。
【００２３】つづいてバッファ・アーム４はモータ１５
によりバッファ・ステージ上に移動し、バッファ・ステ
ージ上の被試験デバイス４個を同時に吸着する。
によりバッファ・ステージ上に移動し、バッファ・ステ
ージ上の被試験デバイス４個を同時に吸着する。
【００２４】バッファ・アーム４のＸ軸は、コンタクト
・ソケット５のピッチと同じになっており、Ｙ軸のピッ
チをコンタクト・ソケット５のＹ軸ピッチに図６のモー
タ１７により合わせる。
・ソケット５のピッチと同じになっており、Ｙ軸のピッ
チをコンタクト・ソケット５のＹ軸ピッチに図６のモー
タ１７により合わせる。
【００２５】バッファ・アーム４は、Ｘ軸Ｙ軸ともにピ
ッチが同じになったコンタクト・ソケット５上に図６の
モータ１５により移動し、被試験デバイス４個を同時に
開放する。
ッチが同じになったコンタクト・ソケット５上に図６の
モータ１５により移動し、被試験デバイス４個を同時に
開放する。
【００２６】以上のようなＸ軸Ｙ軸の位置合わせは、左
右ねじ１２及び１６の一点を中心に両方向へ移動する構
造により達成している。
右ねじ１２及び１６の一点を中心に両方向へ移動する構
造により達成している。
【００２７】
【考案の効果】本考案は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００２８】バッファ・ステージ３とバッファ・アーム
４をトレイ１とコンタトソケット５の間に介在させるこ
とで、ピッチの違うトレイ１とコンタクト・ソケット５
間の複数の被測定デバイスの移動を高速にできる。
４をトレイ１とコンタトソケット５の間に介在させるこ
とで、ピッチの違うトレイ１とコンタクト・ソケット５
間の複数の被測定デバイスの移動を高速にできる。
【図１】本考案の複数デバイス搬送装置の時間の経過に
伴う被測定デバイスの移動を示す説明図である。
伴う被測定デバイスの移動を示す説明図である。
【図２】従来のデバイス搬送装置の動作説明図である。
【図３】バッファ・ステージ３を利用したデバイス２個
搬送装置の時間の経過に伴う被測定デバイスの移動を示
す説明図である。
搬送装置の時間の経過に伴う被測定デバイスの移動を示
す説明図である。
【図４】バッファ・アーム４を利用したデバイス２個搬
送装置の時間の経過に伴う被測定デバイスの移動を示す
説明図である。
送装置の時間の経過に伴う被測定デバイスの移動を示す
説明図である。
【図５】実施例５のバッファ・ステージの上面図であ
る。
る。
【図６】実施例５のバッファ・アームの上面図及び下面
図である。
図である。
【図７】キャリア・アームの下面図である。
１ トレイ ２ キャリア・アーム ３ バッファ・ステージ ４ バッファ・アーム ５ コンタクト・ソケット １１ 被搬送物 １２、１６ 左右ねじ １３、１５、１７、１８ モータ １４ 右ねじ １９ サブ・ステージ ２０ 吸着アーム
Claims (3)
- 【請求項１】 トレイ（１）から複数個のデバイスを同
時に吸着しバッファ・ステージ（３）に移動させるキャ
リア・アーム（２）と、複数個のデバイスをＸ軸の方向
に移動するバッファ・ステージ（３）と、バッファ・ス
テージ（３）上の複数個のデバイスを同時に吸着しＹ軸
の方向に移動しコンタクト・ソケット（５）にデバイス
を開放するバッファ・アーム（４）とで構成される、Ｘ
軸Ｙ軸の可変ピッチ機構を持った複数デバイス搬送装
置。 - 【請求項２】 Ｘ軸、又は、Ｙ軸の、どちらか一方向に
のみ移動する請求項１記載の可変ピッチ機構を持った複
数デバイス搬送装置。 - 【請求項３】 Ｘ軸Ｙ軸の位置合わせに、左右ねじ（１
２、１６）を使用する請求項１又は請求項２記載の可変
ピッチ機構を持った複数デバイス搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993034099U JP2599034Y2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 可変ピッチ機構を持った複数デバイス搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993034099U JP2599034Y2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 可変ピッチ機構を持った複数デバイス搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0687884U JPH0687884U (ja) | 1994-12-22 |
| JP2599034Y2 true JP2599034Y2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=12404836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993034099U Expired - Lifetime JP2599034Y2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 可変ピッチ機構を持った複数デバイス搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2599034Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100800312B1 (ko) * | 2006-01-25 | 2008-02-04 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 로딩방법 |
| KR100923252B1 (ko) * | 2007-08-22 | 2009-10-27 | 세크론 주식회사 | 테스트 핸들러에서 반도체 장치들을 이송하는 방법 및 장치 |
| TWI660898B (zh) * | 2018-12-11 | 2019-06-01 | 鴻勁精密股份有限公司 | 電子元件移料裝置及其應用之作業分類設備 |
| TWI669260B (zh) * | 2019-01-18 | 2019-08-21 | 鴻勁精密股份有限公司 | Electronic component variable distance device and operation classification device thereof |
-
1993
- 1993-05-31 JP JP1993034099U patent/JP2599034Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0687884U (ja) | 1994-12-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990615 |
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