JPH0687884U - 可変ピッチ機構を持った複数デバイス搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、トレイ１からコンタクト・ソケッ
ト５への搬入、又、逆にコンタクト・ソケット５からト
レイ１への搬出を、同時に複数個のデバイスを搬送する
ことで時間短縮させる。 【構成】 複数個デバイスを同時に移動できるキャリア
・アーム２、Ｘ軸ピッチを可変できるバッファ・ステー
ジ３、Ｙ軸ピッチを可変できるバッファ・アーム４から
なり、トレイ１上の被測定デバイスを複数個同時にコン
タクト・ソケット５に搬送する。又、逆にコンタクト・
ソケット５上の被測定デバイスを複数個同時にトレイ１
に搬送する。Ｘ軸Ｙ軸の位置合わせには、左右ねじを使
用することができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ＩＣハンドラ等の内部へ複数の被測定デバイスを同時に搬入及び逆 に外部へ同時に搬出するためのＸ軸Ｙ軸の可変ピッチ機構を持った複数デバイス 搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来のＩＣハンドラのデバイス搬送は、図２に示すような手順でおこなわれる 。つまり、トレイ１に並んだ被測定デバイスをＸ軸Ｙ軸に自由に動作するキャリ ア・アーム２が１個づつ吸着しトレイ１のピッチと違うコンタクトソケット５へ 移している。トレイ１は、多数個の被測定デバイスを小さい面積に収納するため にピッチが小さく、又、コンタクト・ソケット５は、試験部の物理的な大きさの 制限によりピッチを小さくできないため、双方のピッチに違いがある。複数個の 被測定デバイスを同時に試験する場合、試験の前にコンタクトソケット５の数と 同数回キャリア・アーム２が被測定デバイスをトレイ１からコンタクトソケット ５へ１個づつ運ぶ必要がある。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

従来のＩＣハンドラで、複数個の被測定デバイスを同時に試験する場合、キャ リア・アーム２がトレイ１より１個づつ被測定デバイスを吸着してコンタクト・ ソケット５にセットする。この為、同時に試験する被測定デバイスが増えるに従 い、試験するまでのセット時間が長くなる。

【０００４】 本考案が解決しようとする課題は、トレイ１からコンタクト・ソケット５への 搬入時間、又、逆にコンタクト・ソケット５からトレイ１への搬出時間を短縮す ることである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】 本考案は、以上のような課題を解決するものであって、次のようなものである 。すなわち、本考案は、図１のように複数個デバイスを同時に移動できるキャリ ア・アーム２と、Ｘ軸ピッチを可変できるバッファ・ステージ３と、Ｙ軸ピッチ を可変できるバッファ・アーム４とからなる。

【０００６】 又、移動できる被測定デバイスを２個以内に限定する場合には、バッファ・ス テージ３あるいはバッファ・アーム４のどちらか一方のピッチのみを可変する構 成としてもよい。

【０００７】

【作用】

上記のように構成された機構を使用する事で、ピッチの違うトレイ１とコンタ クト・ソケット５の間で複数個の被測定デバイスを同時に搬送することができる 。

【０００８】

【実施例】

（実施例１） 実施例１を図１の時間の経過に伴う被測定デバイスの移動を示す説明図に基づ いて説明する。まず（ａ）に示すように、トレイ１のピッチに寸法が合う吸着機 構を持ったキャリア・アーム２により、４個の被測定デバイスを同時に吸着し、 バッファ・ステージ３に被測定デバイスを運び同時に開放する。

【０００９】 そして（ｂ）に示すように、バッファ・ステージ３は、バッファ・アーム４の 下方に位置を移動しながら、同時にコンタクト・ソケット５のＸ軸のピッチに合 うよう被測定デバイスを中央からＸ軸の両側に２個づつ移動する。

【００１０】 そして（ｃ）に示すように、バッファ・アーム４は、Ｘ軸に移動したバッファ ・ステージ３より被測定デバイスを同時に吸着し、コンタクト・ソケット５の上 方に移動する。又、同時にバッファ・アーム４は、コンタクト・ソケット５のＹ 軸のピッチに合うよう、中央からＹ軸の両側に被測定デバイスを２個づつ移動す る。

【００１１】 バッファ・ステージ３とバッファ・アーム４の移動方向は、ちょうど９０度違 っており、可変ピッチ機構になっているこの機構により移動後のバッファ・アー ム４の４個の被測定デバイスの位置を、コンタクト・ソケット５のソケット位置 に一致させている。

【００１２】 そして（ｄ）に示すように、バッファ・ア−ム４は、コンタクト・ソケット５ に被測定デバイス４個を同時に開放する。４個の被測定デバイスを同時に搬送す ることで、従来の１個搬送に比較して高速化した動作を可能にできる。

【００１３】 （実施例２） 実施例１は、トレイ１からコンタクト・ソケット５へ４個の被測定デバイスを 同時に移動するものであるが、実施例２では実施例１と逆の順序により、コンタ クト・ソケット５からトレイ１へ４個の被測定デバイスを同時に移動させる。

【００１４】 （実施例３） 実施例３を図３に基づいて説明する。実施例３は、２個の被測定デバイスを移 動させる。これは、バッファ・アームによるＹ軸の移動をなくしたもので、バッ ファ・ステージ３でコンタクト・ソケット５のピッチに合うよう中央からＸ軸の 両側に被測定デバイスを２個同時に移動させる。

【００１５】 又、上記の方法とは逆の順序により、コンタクト・ソケット５からトレイ１へ 被測定デバイス２個を移動させることができる。

【００１６】 （実施例４） 実施例４を図４に基づいて説明する。実施例４は、２個の被測定デバイスを移 動させる。これは、バッファ・ステージによるＸ軸の移動をなくしたもので、バ ッファ・アーム４でコンタクト・ソケット５のピッチに合うよう中央からＹ軸の 両側に被測定デバイスを２個同時に移動させる。

【００１７】 又、上記の方法とは逆の順序により、コンタクト・ソケット５からトレイ１へ 被測定デバイス２個を移動させることができる。

【００１８】 （実施例５） 実施例を図１及び図５より図７に基づいて説明する。これは、図１のピッチの 違うトレイ１よりコンタクト・ソケット５へ、Ｘ軸またはＹ軸に中心から対象的 に被搬送物を動かせることができる２本の左右ねじを使ってピッチを合わせ、４ 個の搬送物を同時に搬送するものである。

【００１９】 まず、図１のトレイ１と同じピッチの吸着機構を持ったキャリア・アーム２に より、トレイ１上の４個の被試験デバイスを同時に吸着し、バッファ・ステージ ３上に運ぶ。

【００２０】 バッファ・ステージのＹ軸のピッチはキャリア・アーム２と同じになっており 、Ｘ軸のピッチはキャリア・アーム２と同じピッチに図５のモータ１３により合 わせる。キャリア・アーム２は、ピッチが同じになったバッファ・ステージ３上 に被試験デバイスを同時に開放する。

【００２１】 次にバッファ・ステージ３のＸ軸は、コンタクト・ソケット５と同じピッチに なっているバッファ・アーム４のＸ軸のピッチと同じになるように、図５のモー タ１３によりサブ・ステージ１９のピッチを合わせる。

【００２２】 次に、バッファ・アーム４のＹ軸はバッファ・ステージ３のＹ軸ピッチに図６ のモータ１７により合わせる。

【００２３】 つづいてバッファ・アーム４はモータ１５によりバッファ・ステージ上に移動 し、バッファ・ステージ上の被試験デバイス４個を同時に吸着する。

【００２４】 バッファ・アーム４のＸ軸は、コンタクト・ソケット５のピッチと同じになっ ており、Ｙ軸のピッチをコンタクト・ソケット５のＹ軸ピッチに図６のモータ１ ７により合わせる。

【００２５】 バッファ・アーム４は、Ｘ軸Ｙ軸ともにピッチが同じになったコンタクト・ソ ケット５上に図６のモータ１５により移動し、被試験デバイス４個を同時に開放 する。

【００２６】 以上のようなＸ軸Ｙ軸の位置合わせは、左右ねじ１２及び１６の一点を中心に 両方向へ移動する構造により達成している。

【００２７】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような 効果を奏する。

【００２８】 バッファ・ステージ３とバッファ・アーム４をトレイ１とコンタトソケット５ の間に介在させることで、ピッチの違うトレイ１とコンタクト・ソケット５間の 複数の被測定デバイスの移動を高速にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の複数デバイス搬送装置の時間の経過に
伴う被測定デバイスの移動を示す説明図である。

【図２】従来のデバイス搬送装置の動作説明図である。

【図３】バッファ・ステージ３を利用したデバイス２個
搬送装置の時間の経過に伴う被測定デバイスの移動を示
す説明図である。

【図４】バッファ・アーム４を利用したデバイス２個搬
送装置の時間の経過に伴う被測定デバイスの移動を示す
説明図である。

【図５】実施例５のバッファ・ステージの上面図であ
る。

【図６】実施例５のバッファ・アームの上面図及び下面
図である。

【図７】キャリア・アームの下面図である。

【符号の説明】

１ トレイ ２ キャリア・アーム ３ バッファ・ステージ ４ バッファ・アーム ５ コンタクト・ソケット １１ 被搬送物 １２、１６ 左右ねじ １３、１５、１７、１８ モータ １４ 右ねじ １９ サブ・ステージ ２０ 吸着アーム

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【手続補正書】

【提出日】平成５年７月２９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【図３】

【図４】

【図５】

【図１】

【図６】

【図７】

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 トレイ（１）から複数個のデバイスを同
   時に吸着しバッファ・ステージ（３）に移動させるキャ
   リア・アーム（２）と、複数個のデバイスをＸ軸の方向
   に移動するバッファ・ステージ（３）と、バッファ・ス
   テージ（３）上の複数個のデバイスを同時に吸着しＹ軸
   の方向に移動しコンタクト・ソケット（５）にデバイス
   を開放するバッファ・アーム（４）とで構成される、Ｘ
   軸Ｙ軸の可変ピッチ機構を持った複数デバイス搬送装
   置。
2. 【請求項２】 Ｘ軸、又は、Ｙ軸の、どちらか一方向に
   のみ移動する請求項１記載の可変ピッチ機構を持った複
   数デバイス搬送装置。
3. 【請求項３】 Ｘ軸Ｙ軸の位置合わせに、左右ねじ（１
   ２、１６）を使用する請求項１又は請求項２記載の可変
   ピッチ機構を持った複数デバイス搬送装置。