JPH10284557A - 半導体装置外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ハンドリング時間が短く、高精度でかつ半
導体装置へのダメージも小さい外観検査装置用ハンドリ
ング機構を提供する。 【構成】 上下および前後に移動可能な吸着アームを
有する搬送ユニットを２ユニット対向配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、樹脂封止された半導体
装置を個別に搬送する機構に関するもので特に、半導体
装置を一定の場所に配置して画像処理装置を用いて外観
形状を検査する設備等に利用される高速半導体装置ハン
ドリング機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４は代表的な半導体装置外観検査設備
におけるハンドリング機構の斜視図を示している。検査
前ステージ１に準備された半導体装置２は吸着アームａ
３で吸着搬送され検査ステージ４に置かれる。検査ステ
ージ４上の半導体装置２はテレビカメラ５で撮像され、
図にはない画像処理装置で外観形状の良否が判定され
る。その後、吸着アームｂ６が検査ステージ４上の半導
体装置２を検査後ステージ７に搬送する。図５は図４に
おける吸着アームａ，ｂの動きを中心に示した図であ
る。吸着アームａ３は検査前ステージ１と検査ステージ
４間の搬送、吸着アームｂ６は検査ステージ４と検査後
ステージ７間の搬送を行なっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のハンドリング機
構には、以下の課題があった。 （１） 吸着アームａ３によって運ばれた半導体装置２
は検査ステージ４で一度吸着アームａ３から離れ、検査
後再度吸着アームｂ６によって吸着搬送されるため検査
設備としての処理速度を低下させていた。 （２） 半導体装置２は検査ステージ４上で一度離され
るため検査前ステージ１、検査ステージ４、検査後ステ
ージ７における位置関係が微妙にずれる。そのため、検
査後の半導体装置２を正確な位置に搬送するためには、
別途位置決め手段を設ける必要があった。 （３） 半導体装置の厚みは近年ますます薄くなってお
り、その品質を確保するためにはできるだけ衝撃荷重の
印加を避けなければならない。一般に吸着時にはある程
度の圧力を半導体装置に加える必要があるが、高速にハ
ンドリングしようとすると半導体装置に衝撃荷重が加わ
り、逆に衝撃荷重を抑えようとするとハンドリング速度
を低くする必要があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】図１は、本発明の実施例
を示した斜視図である。搬送ユニットａ８および搬送ユ
ニットｂ９にはそれぞれ図には示されていない駆動装置
により前後に移動する移動ブロックａ１０および移動ブ
ロックｂ１１が設けられており、さらにそれぞれの移動
ブロックには図には示されていない駆動装置により上下
に移動する吸着アームａ３および吸着アームｂ６が設け
られている。これらの搬送ユニットは、吸着アームａ３
および吸着アームｂ６のどちらでも半導体装置２を検査
前ステージ１から検査ステージ４、検査後ステージ７に
搬送できるように対向して配置されている。

【０００５】

【実施例】以下、図１を用いて本発明の詳細について説
明する。検査前ステージ１上の半導体装置２は吸着アー
ムａ３により検査ステージ４に吸着搬送され、吸着保持
されたまま、図にはない画像処理装置により外観形状が
検査される。一方吸着アームｂ６は検査中の吸着アーム
ａ３を飛び越えて検査前ステージ１に移動し、次の被検
査対象である半導体装置２を吸着し、検査ステージ４が
空くのを待機する。検査終了後吸着アームａ３が半導体
装置２を検査後ステージ７に移送を開始すると同時に、
待機していた吸着アームｂ６が次の被検査半導体装置を
検査ステージにセットする。

【０００６】図１では、２つの吸着アームの干渉を上下
方向に逃げることによって回避する方法を示したが、図
２、図３には２つの吸着アームの干渉を避ける他の方法
を示している。図２は、吸着アームを回転アクチュエー
タで９０゜回転させることにより検査中の吸着アームに
干渉することなく、他の吸着アームの移動ができる移動
ブロックの構成を示している。図３は移動ブロックの一
部を回転させ吸着アームを傾斜させて干渉を回避する方
法を示している。

【０００７】

【発明の効果】以上、説明してきたように本発明の実施
により以下の効果が期待できる。 （１） 検査ステージで半導体装置を離す動作を行なわ
ないため受け渡しのための時間ロスのない高速ハンドリ
ングができる。 （２） ハンドリング装置は、検査前ステージから検査
後ステージまで吸着アームに吸着固定されているため、
検査前ステージでの半導体装置の位置と検査後ステージ
に移された半導体装置の位置との相関関係のばらつきが
小さい。そのため、検査前ステージで正確に位置決めが
なされていれば検査後ステージでの位置決めを用いなく
ても正確な位置に検査後の半導体装置を収納できる。 （３） 検査ステージでの半導体装置の受け渡しがない
ため、半導体装置への衝撃荷重印加がなく被検査物の信
頼性の向上につながる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示した斜視図である。

【図２】本発明の他の実施例を示すための概念図であ
る。

【図３】本発明の他の実施例を示すための概念図であ
る。

【図４】従来の方法を示した斜視図である。

【図５】従来の方法の動作概念図である。

【符号の説明】

１ 検査前ステージ ２ 半導体装置 ３ 吸着アームａ ４ 検査ステージ ５ テレビカメラ ６ 吸着アームｂ ７ 検査後ステージ ８ 搬送ユニットａ ９ 搬送ユニットｂ １０ 移動ブロックａ １１ 移動ブロックｂ １２ 回転アクチュエー
タ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体装置を所定の場所に配置し、テレ
   ビカメラ等の撮像手段と画像信号処理装置によって、当
   該半導体装置の外観形状を検査する半導体装置外観検査
   設備において、 （イ） 半導体装置を吸着する吸着アームと該当吸着ア
   ームを上下に駆動する手段を設けた移動ブロックを設け
   る。 （ロ） 当該移動ブロックを水平面上で直進運動させる
   搬送ユニットを設ける。 （ハ） 前記搬送ユニットを２ユニット対向させ、それ
   ぞれの吸着アームの先端が同一線上を通過するように配
   置する。 以上のごとく構成された半導体装置外観検査装置。
2. 【請求項２】 吸着アームを９０゜回転できるように移
   動ブロックに回転アクチュエータを設けた請求項１の半
   導体装置外観検査装置。
3. 【請求項３】 吸着アームを傾斜するように移動ブロッ
   クにアクチュエータを設けた請求項１の半導体装置外観
   検査装置。