JP2000012568A - ダイボンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ボンディング動作の速度との兼ね合いをはか
りながらリングホルダ１６の動作範囲を小さくして装置
の小型化をする。 【解決手段】 整列状態で供給された半導体ペレット３
が載置されるリングホルダ１６はＸＹ方向に移動自在と
し、ピックアップポジションはＸ方向にピックアップラ
インＬにそって往復移動自在であり、リングホルダ１６
の中心Ｃを座標原点としてピックアップしようとする半
導体ペレット３のリングホルダ１６に対するＸ方向の想
定位置座標をｘとし、リングホルダ１６のＸ方向動作範
囲の略中心に設定される基準位置Ｓを座標原点としてピ
ックアップポジションのＸ方向座標ＰＸが下記（１）式
で示される位置となり、リングホルダ１６の中心位置Ｃ
のＸ方向座標ＣＸが略（２）式で示される位置に移動す
るようにする。 ＰＸ＝ａｘ ………（１） ＣＸ＝−（１−ａ）ｘ ………（２） 但し、０＜ａ＜１

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は半導体装置の製造
に使用されるダイボンダに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置はダイボンダによりリードフ
レームとか、ＢＧＡ用の基板とかの基材のペレット組み
付け部（以下ランドと呼ぶ）に順次半導体ペレット（以
下ペレットと略す）を組みつけて製造される。

【０００３】従来多用されているダイボンダの方式を図
面を用いて説明する。図５は概念的に示す平面図、図６
はその側面図である。リードフレームのような基材（図
６参照）はレール２に載せられて図示しない送り機構に
より間欠的に図５において左から右に向かって（Ｘ方
向）に送られ、ペレットが組み付けられるランド（図示
せず）は前段階で半田とかＡｇペーストとかの接着剤が
載せられて所定のボンディングポジションＢＰに順次停
止しする。

【０００４】そして、このボンディングポジションＢＰ
になるべく近い位置（ボンディングポジションＢＰのＹ
方向で近い位置）にピックアップポジションＰＰが設け
られ、その点にペレットが次々に配置され、先端の真空
吸着ノズル４がＹ方向、Ｚ（上下）方向に移動自在なペ
レット搬送機構がコの字動作によってそのペレットをボ
ンディングポジションＢＰに運んでボンディングする。

【０００５】ペレット３はウェーハ上に完成しその後個
々のペレットに分割されるがウェーハ時の配列をシート
（図示せず）に貼り付けられて維持した状態で、そのシ
ートがウェーハリング５上に固定されて供給される。ウ
ェーハリング５はリング形状のリングホルダ６の中側に
嵌まり込むように保持され、リングホルダ６は図示しな
い支持機構に支持されて、ＸＹθ方向に移動自在であっ
て、載置されたペレットを順次ピックアップポジション
ＰＰに移送して位置合わせを行なう。

【０００６】ピックアップポジションＰＰの上方にはカ
メラ７が配置され、図示しない処理装置によりピックア
ップポジションＰＰに配置されたペレット３を撮影した
信号を画像処理してバッドマークの有無、割れ欠け等外
観的な異常の有無を確認し、位置の確認をする。そして
不良であればリングホルダ６を駆動してステップ送りさ
せ次のペレットをピックアップポジションＰＰに位置さ
せる。良品であれば位置確認の結果によりリングホルダ
６を微動させ正確な位置合わせを行なう。

【０００７】上述のように構成された従来のダイボンダ
はボンディングポジションＢＰとピックアップポジショ
ンＰＰとの間をなるべく近くしてペレット３の搬送時間
を短くしているので高速なボンディング動作が行なえる
と言う有利な特徴を有する反面リングホルダ６の動く範
囲が適用するウェーハの径の２倍の径の範囲となるので
装置が大型になると言う不利な特徴も有する。近年のよ
うにウェーハが８インチさらに１２インチ径と大きくな
るとこの欠点が目立ち始めている。

【０００８】そこで、特開平１−１５２６３４号公報に
はリングホルダをその中心で直交する２直線で４分割し
た１部分のペレットを固定されたピックアップポジショ
ンに位置させるとこが出来る程度にリングホルダのＸＹ
の可動範囲を制限し、第１部分のペレットのピックアッ
プが終わったらリングホルダを９０度回転させ第２部分
のピックアップを行ない、同様に第３、第４部分のピッ
クアップを行なうようにしたダイボンダが提案されてい
る。この装置によれば、リングホルダの動く範囲の径は
適用されるウェーハの径の１．５倍程度となってかなり
小さくなり、ボンディング動作もリングホルダを回転す
る時間が無駄な時間となるがその他の動作は高速に動作
する。しかしながら、ペレットの向きが変わるので対称
形に作られた特殊な品種でなければ搬送中に向きを補正
しなければならない。そこでペレット搬送機構の真空吸
着ノズルを回転自在に構成して搬送中に補正したり、搬
送機構が直接基材のランドに搬送するのでなく回転自在
な中継ステージ上に搬送し、中継ステージが回転して方
向を補正してそれを改めてランド上に別の真空吸着ノズ
ルが搬送するようにしたりする必要がある。

【０００９】また、特開平４−１１１３３０号公報には
固定されたピックアップポジションは設けない方式のダ
イボンダの記載がある。即ちリングホルダはその中心を
軸に回転(θ方向)は可能であるが中心は固定されてい
る。そして、回転動作はペレットの配列の向きを合わせ
るためで個々のペレットのピックアップに際しては動か
さない。カメラはＸＹ方向に移動自在でペレットの良否
や位置の確認を順次行なう。ペレット搬送機構の真空吸
着ノズルはＸＹＺ方向に移動自在であり、カメラの確認
した位置に移動してペレットをピックアップしてＸＹに
移動して一定の場所にリプレイスする。突き上げピンに
関する記載はないが設けるとすればカメラに追随してＸ
Ｙに移動する必要がある。この装置によれば、リングホ
ルダは固定していてペレット搬送機構の吸着ノズルの移
動範囲はペレットの配置の範囲程度であるから装置は小
さくなる。しかしながら、この装置はペレット搬送装置
は遠くまでペレットを拾いに行かねばならないのでボン
ディング動作が遅くなる。そこで、この装置はインライ
ン構成された製造ラインに用いられて前後の工程に時間
を要して高速にボンディング動作を行なっても意味の無
いような場合にのみ用いられると推測できる。たとえは
銀ペーストの硬化に時間を要するので高速に送ると炉が
長くなりすぎるとか、多ピンのためにワイヤボンディン
グに時間を要してダイボンダもそのスピードで処理でき
れば良い等の理由による。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】図５、図６に示す従来
の高速ダイボンダの上記の欠点を緩和する特開平１−１
５２６３４号公報に記載の装置ではピックアップ時点の
ペレットの向きが異なるので搬送中に向きを調整しなけ
ればならず動作が場合により異なり制御するソフトが複
雑化する。そして、特開平４−１１１３３０号公報に記
載の装置によれば図５、図６に示す高速ダイボンダの上
記欠点は解消するもののボンディング速度が大幅に低下
して一般向きでない。そこで、この発明はリングホルダ
の移動範囲をある程度少なくして装置を小型化して、し
かもペレットをピックアップする向きは一定であり従っ
て同じ動作の繰り返しでありソフトが簡単なダイボンダ
を提供する。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めにこの発明はペレットが整列状態で供給され、そのペ
レットを順次ピックアップ搬送してリードフレームのよ
うな基材のランドが待機しているボンディングポジショ
ンとか正確な位置出しのための中継点のような所定位置
に置くダイボンダにおいて、供給されたペレットが載置
されＸＹ方向に移動自在なペレット載置機構と、水平方
向の少なくとも１方向（Ｘ方向と仮称）に往復移動自在
なピックアップポジションと、ＸＹＺ方向に移動自在な
真空吸着ノズルを有するペレット搬送機構とを備え、ペ
レット載置機構のＸ方向の略中心位置を座標原点として
ピックアップしようとするペレットのペレット載置機構
に対するＸ方向の想定位置座標をｘとし、ペレット載置
機構のＸ方向動作範囲の略中心に設定される基準位置を
座標原点としてそのペレットに対するピックアップポジ
ションのＸ方向座標ＰＸが下記（１）式で示される位置
となり、ペレット載置機構中心位置のＸ方向座標ＣＸが
略（２）式で示される位置に移動することを特徴とする
ダイボンダを提供する。 ＰＸ＝ａｘ ………（１） ＣＸ＝−（１−ａ）ｘ ………（２） 但し、０＜ａ＜１ この装置によれば「ａ」を大きく設定すればペレット載
置機構の動く範囲を小さく出来るがピックアップポジシ
ョンの動く範囲は大きくなり従ってペレット搬送機構が
ペレットを搬送する距離の長い部分が多くなりボンディ
ング動作のスピードが低下する。そこで、両者のバラン
スで「ａ」を選定すれば良い。同様にＸＹ方向に適用し
て、ピックアップポジションを水平方向ＸＹに移動自在
とし、ペレット載置機構の略中心に設定されるペレット
載置機構中心位置を座標原点としてピックアップしよう
とするペレットのペレット載置機構に対する想定位置座
標をｘ，ｙとし、ペレット載置機構のＸ方向，Ｙ方向の
動作範囲の略中心に設定される基準位置を座標原点とし
てピックアップポジションの座標ＰＸ，ＰＹが下記
（１），（１’）式で示される位置となり、ペレット載
置機構中心位置の座標ＣＸ，ＣＹが略（２），（２’）
式で示される位置に移動する様に出来る。 ＰＸ＝ａｘ ………（１） ＰＹ＝ｂｙ ………（１’） ＣＸ＝−（１−ａ）ｘ ………（２） ＣＹ＝−（１−ｂ）ｙ ………（２’） 但し、０＜ａ＜１，０＜ｂ＜１ この装置によればＸＹ双方にペレット載置機構の動作範
囲を小さく出来る。

【００１２】

【発明の実施の形態】この発明はペレットが整列状態で
供給され、そのペレットを順次ピックアップ搬送するタ
イプのダイボンダに関する。そして搬送する先はリード
フレームのような基材のランドが待機しているボンディ
ングポジションに直接搬送してボンディングするもので
あって良く、正確な位置出しのための中継点に一旦置く
タイプでも良い。ペレットの供給はチップトレーに良品
ペレットのみ詰めて整列状態として供給するものでも良
いが、多くの場合ペレットがウェーハ上に整列状態で完
成し、それが個々のペレットに分割され、元の配列を略
保ってシートに保持されて供給される。その場合は非正
形なものやバッドマークの付された特性不良ペレットを
含んでいる。

【００１３】この装置は供給されたペレットが載置さ
れ、ＸＹ方向に自在に移動して順次ペレットを後述する
ピックアップポジションに位置合わせするペレット載置
機構を備える。ペレット載置機構はペレットがチップト
レーに詰められて供給される場合はテーブル状のもので
良い。ペレットがシートに保持され、そのシートがウェ
ーハリング上に固定されて供給される場合はそのれを内
側に受けるようにリング形状をしたリングホルダが用い
られる。これらペレット載置機構はペレットの配列の方
向を合わせるのに便利なように中心を軸に（θ方向）に
回転自在に構成するのが望ましい。

【００１４】この装置のピックアップポジションは水平
方向の少なくとも１方向（例えばＸ方向）に往復移動自
在とする。勿論ＸＹ双方に移動自在に構成できる。ピッ
クアップポジションはそこに停止したペレットがピック
アップされる位置であって、例えばペレットがチップト
レーで供給され、従って配列の位置精度がある程度確保
されており、しかもピックアップされたペレットは位置
出しのための中間場所に運ばれるタイプのようにペレッ
トの良否判定やペレットの位置確認の必要が無い場合は
特になにも備える必要はない。しかしながら、ペレット
を正確にピックアップポジションに位置合わせする必要
がある場合には位置確認の手段が必要であり、不良ペレ
ットも混在して供給され不良ペレットは残しながらピッ
クアップする場合は良否判別手段が必要である。そのた
めに画像処理のためのカメラを上方に配置する。また、
シートからペレットを剥がしてピックアップする際にそ
れを助ける突き上げピンを下方に備えることが出来る。
これらカメラや突き上げピンは移動できなければならな
い。

【００１５】そしてピックアップポジションはペレット
の配列ピッチｌＸに対してａｌＸをピッチとして順次移
動して行くようにする。それと連動してペレット載置機
構の方を−（１−ａ）ｌＸのピッチで動かしてピックア
ップポジションに対応するペレットを持ってくるように
する。ここで、ａは１より小さい正の数で設定する。そ
うすればペレット載置機構の動作範囲は（１−ａ）倍に
小さくなるものである。勿論Ｙ方向も同様に構成するこ
とが出来る。

【００１６】

【実施例】この実施例はピックアップポジションＰＸが
基材の搬送方向（Ｘ方向）に移動自在としてペレット載
置機構であるリングホルダのＸ方向の動作範囲を小さく
して装置を小型かしたものである。図１は概念的に示す
平面図、図２はその側面図である。リードフレームのよ
うな基材１（図２参照）はレール２に載せられて図示し
ない送り機構により間欠的に図１において左から右に向
かって（Ｘ方向）に送られ、ペレットが組み付けられる
ランド（図示せず）は前段階で半田とかＡｇペーストと
かの接着剤が載せられて所定のボンディングポジション
ＢＰに順次停止しする点とペレット３はウェーハ上に完
成しその後個々のペレットに分割されるがウェーハ時の
配列をシート（図示せず）に貼り付けられて維持した状
態で、そのシートがウェーハリング５上に固定されて供
給され、ウェーハリング５はリング形状のリングホルダ
１６の中側に嵌まり込むように保持され、図示しない支
持機構に支持されて、ＸＹθ方向に移動自在であるる点
は図５、図６に示す従来装置に類似する。

【００１７】しかしながら、この装置のリングホルダ１
６のＸ方向の移動範囲は従来の装置に比較して小さくな
っている。その中心ＣはボンディングポジションＢＰを
通るＹ軸線を基準線Ｓとしてその両側に同程度の移動範
囲を有する。

【００１８】そして、ボンディングポジションＢＰにな
るべく近い位置（ピックアップするペレットのサイズや
搬送中にペレットが吸着されていることを確認するセン
サの配置スペース等を考慮して最低限の間隔は必要）に
ピックアップポジションＰＸの移動ラインＬが設定され
る。ピックアップポジションＰＸの上方にはカメラ１７
が配置され、図示しない処理装置によりピックアップポ
ジションＰＸに配置されたペレット３を撮影した信号を
画像処理してバッドマークの有無、割れ欠け等外観的な
異常の有無を確認し、位置の確認をする。そして下方に
は突き上げピン１８が配置されペレットのピックアップ
に際して上昇してピックアップポジションＰＸに位置合
わせされたペレット３を突き上げてシート（図示せず）
から剥がす。これらカメラ１７、突き上げピン１８はＸ
方向に移動自在であって、後述する設定ルールにより設
定したピックアップポジションＰＸを順次移動する。

【００１９】この装置のペレット搬送機構は先端の真空
吸着ノズル１４がＸＹＺ方向に移動自在で次々に移動す
るピックアップポジションＰＸでペレット３をピックア
ップしてボンディングポジションＢＰに運んでボンディ
ングする。

【００２０】次に動作の説明を伴って細かい構成やピッ
クアップポジションＰＸの設定法について説明する。説
明の都合上必ずしも設定動作の順番に説明していない。 （１）ウェーハリング５上にペレットが配列されてリン
グホルダ１６にセットされるとリングホルダ１６を回転
させてペレット３の配列をなるべくＸ，Ｙ軸に平行に合
わせる。（ピックアップポジションＰＸは平行に配置さ
れていると仮定して決定する。） （２）ペレット配列のＸ方向、Ｙ方向のピッチｌＸ、ｌ
Ｙを与える。 （３）次にどこかのペレット例えば最初にピックアップ
するペレットをカメラ１７の視野内の基準位置に合わせ
るべくリングホルダ１６をＸ，Ｙ方向に移動させる。こ
の際リングホルダ１６のＹ方向の移動に対してはカメラ
１７は動かないが、Ｘ方向の動きに対してはカメラ１７
が−Ｘ方向に動いて位置合わせしたいペレットに近づい
て行く。カメラの位置座標ＰＸとリングホルダ１６の中
心Ｃの位置座標ＣＸとの関係は ＰＸ＝−ａＣＸ／（１−ａ）………(３) の関係で動く ここでＰＸ，ＣＸは基準線Ｓを原点とした座標であり、
ａは装置により設定した１未満の正の値であり説明を簡
単にするためにこの実施例はａ＝１／２とすると ＰＸ＝−ＣＸ………(４) の関係で動くこととなる。な
お、カメラ１７の動きに追随して突き上げピン１８も同
じ位置に移動するものである。このようにして最初のペ
レットを正確に位置合わせするとリングホルダ１６とカ
メラ１７の動きからそのペレット３のリングホルダ１６
に対する位置がわかる。ピッチｌＸ，ｌＹよりペレット
の行列の配置が想定できる。 （４）図３に示すようなペレットの配列において、説明
を簡単にするためにたまたまペレットの配列の中心のペ
レットの中心がリングホルダ１６の中心Ｃに一致し、最
初にピックアップされるペレットａは中心列のものであ
り、その中心はリングホルダ１６の中心Ｃを通るＹ軸上
にあるとすれば、ペレットａがカメラ１７の視野内の基
準点に位置合わせされているとき、ペレットａはピック
アップラインＬ上にありＸ座標は０（基準線Ｓ上）にあ
り、この点が最初のピックアップポジションとなる。こ
の状態で装置に自動動作のスタートをかければ画像処理
の結果ペレットａが良品であれば真空吸着ノズル１４が
ＸＹＺに動いてペレットａをピックアップしてボンディ
ングポジションＢＰに搬送して待機している基材（図示
せず）にボンディングする。ペレットａのピックアップ
に際しては突き上げピン１８が下から突き上げてペレッ
トａのシート（図示せず）からの剥離を助ける。 （５）ペレットａがピックアップされるとピックアップ
ポジション（カメラ１７と突き上げピン１８の位置）Ｐ
ＸはｌＸ／２移動する。それに連動してリングホルダ１
６が−ｌＸ／２移動する。そうすると図３におけるペレ
ットｂがカメラ１７の視野内に配置される。ところがペ
レットｂは非正形であるのでピックアップすること無く
残してピックアップポジションＰＸはさらにｌＸ／２移
動する。それに連動してリングホルダ１６が−ｌＸ／２
移動する。ところがそこのペレットも非正形であるので
ピックアップすること無く残して同様にピックアップポ
ジションＰＸが移動する。 （６）所定数非正形なペレットやペレット無しが連続す
ると行替えが行われる。即ちピックアップポジションＰ
Ｘはそのままでリングホルダ１６がｌＹ移動する。そし
てピックアップポジションＰＸにペレットがなければピ
ックアップポジションＰＸは−ｌＸ／２移動する。それ
に連動してリングホルダ１６がｌＸ／２移動する。そこ
が非正形であればピックアップすること無く残してピッ
クアップポジションＰＸはさらに−ｌＸ／２移動する。
それに連動してリングホルダ１６がｌＸ／２移動してペ
レットｃがカメラ１７の視野内に位置する。 （７）そこで画像処理によりペレットｃの良否と位置確
認を行ない、良品であればピックアップポジションＰＸ
は動かすことなく位置確認データに基づきリングホルダ
１６のみＸＹθ方向に微動させペレットｃを位置合わせ
し、再度位置確認を行ない（要すれば再度の微動と確認
を繰り返して）正確に位置合わせが出来ていれば真空吸
着ノズル１４がピックアップする。 （８）ペレットａがピックアップされるとピックアップ
ポジションＰＸは−ｌＸ／２移動し、それに連動してリ
ングホルダ１６がｌＸ／２移動する。 （９）以下同様に良否判定、位置確認、位置合わせ、等
を行ないながらｌＸ／２のピッチで往復移動するピック
アップポジションＰＸに順次ペレットを位置合わせしつ
つ、不良のペレットは残し、良品ペレットをピックアッ
プして一定のボンディングポジションＢＰに待機する基
材上にボンディングする。

【００２１】上述のように構成されたダイボンダはボン
ディングポジションＢＰとピックアップラインＬとの間
をなるべく近くしてペレット３のＹ方向搬送時間を短く
しているが、Ｘ方向にはペレットの配置の径（ウェーハ
の径）の１／４程度を最大とする搬送距離が生じて図
５、図６に示す従来装置に比較してボンディング動作が
若干低下する。しかしながら、リングホルダ１６の動く
範囲はＹ方向に付いては図５、図６に示す従来装置と同
様に適用するウェーハの径の２倍の径の範囲となるが、
Ｘ方向に付いてはウェーハ径の１．５倍程度に収まり装
置がその分小さくなる。

【００２２】

【実施例２】この実施例はピックアップポジションＰＸ
ＹをＸＹ方向に移動させてリングホルダ２６の動く範囲
をＸ方向のみならず、Ｙ方向も小さくしたものである。
図４は概念的に示す平面図である。この装置のリングホ
ルダ２６の中心ＣはボンディングポジションＢＰを通る
Ｙ軸線を基準線Ｓとしてその両側に同程度の移動範囲を
有する点は図１に示す第１の実施例ににている。しかし
ながら、この装置はＸ方向に伸びる基準線Ｒの両側に同
程度の移動範囲を有する。基準線Ｒは基準線Ｓとの交点
にリングホルダ２６の中心を置いた時、その上に載置さ
れたペレットの配列（ウェーハ）の１／２半径位置が基
準線Ｓ上のボンディングポジションＢＰになるべく近い
位置でピックアップポジションとなりうる点ＰＹＭより
若干だけ基準線Ｒ，Ｓの交点側になるように設定され
る。

【００２３】このピックアップポジションＰＸＹはＸＹ
方向に移動自在である。即ちカメラ（図示せず）や突き
上げピン（図示せず）はＸＹ方向に移動自在であって、
後述する設定ルールにより設定したピックアップポジシ
ョンＰＸＹを順次移動する。

【００２４】この装置のペレット搬送機構は先端の真空
吸着ノズル１４がＸＹＺ方向に移動自在で次々に移動す
るなピックアップポジションＰＸＹでペレットをピック
アップしてボンディングポジションＢＰに運んでボンデ
ィングする。

【００２５】次に動作の説明を伴って細かい構成やピッ
クアップポジションＰＸＹの設定法について説明する。
説明の都合上必ずしも設定動作の順番に説明していな
い。 （１）ウェーハリング５上にペレットが配列されてリン
グホルダ２６にセットされるとリングホルダ２６を回転
させてペレットの配列をなるべくＸ，Ｙ軸に平行に合わ
せる。そしてペレット配列のＸ方向、Ｙ方向のピッチｌ
Ｘ、ｌＹを与える。そして例えば最初にピックアップす
るペレットをカメラ（図示せず）の視野内の基準位置に
合わせるべくマニュアル動作でリングホルダ２６をＸ，
Ｙ方向に移動させる点は第１の実施例と似ている。 （２）この装置の場合その際リングホルダ２６のＸ，Ｙ
方向の移動に対してはカメラ(図示せず)が−Ｘ，−Ｙ方
向に動いて位置合わせしたいペレットに近づいて行く。
カメラの位置ＰＸＹとリングホルダ２６の中心Ｃの位置
ＣＸＹとの関係は ＰＸ＝−ａＣＸ／（１−ａ）………(３) ＰＹ＝−ｂＣＹ／（１−ｂ）………(３’) の関係で動
く ここでＰＸ，ＰＹは基準線Ｒと基準線Ｓとの交点を原点
としたカメラの位置座標であり、ＣＸ，ＣＹはリングホ
ルダ２６の中心の位置ＣＸＹの位置座標である。また、
ａ，ｂはそれぞれ装置により設定した１未満の正の値で
あり説明を簡単にするためにこの実施例はａ＝ｂ＝１／
２とすると ＰＸ＝−ＣＸ………(４)，ＰＹ＝−ＣＹ………(４’)
の関係で動くこととなる。なお、カメラの動きに追随し
て突き上げピン（図示せず）も同じ位置に移動するもの
である。このようにして最初のペレットを正確に位置合
わせするとリングホルダ２６とカメラの動きからそのペ
レットのリングホルダ２６に対する位置がわかる。そし
てピッチｌＸ，ｌＹよりペレットの行列の配置が想定で
きる。 （３）図３に示すようなペレットの配列において、説明
を簡単にするためにたまたまペレットの配列の中心のペ
レットの中心がリングホルダ２６の中心Ｃに一致し、最
初にピックアップされるペレットａは中心列のものであ
り、その中心はリングホルダ２６の中心Ｃを通るＹ軸上
にあるとすれば、ペレットａがカメラ（図示せず）の視
野内の基準点に位置合わせされているとき、ペレットａ
は基準線Ｓ上にあり、この点が最初のピックアップポジ
ションとなる。この状態で装置に自動動作のスタートを
かければ画像処理の結果ペレットａが良品であれば真空
吸着ノズル(図示せず)がＸＹＺに動いてペレットａをピ
ックアップしてボンディングポジションＢＰに搬送して
待機している基材（図示せず）にボンディングする。ペ
レットａのピックアップに際しては突き上げピン（図示
せず）が下から突き上げてペレットａのシート（図示せ
ず）からの剥離を助ける。 （４）ペレットａがピックアップされるとピックアップ
ポジション（カメラと突き上げピンの位置）のＹ座標Ｐ
Ｙは変わらずＰＸはｌＸ／２移動する。それに連動して
リングホルダ２６がＣＹは変わらずＣＸが−ｌＸ／２移
動する。そうすると図３におけるペレットｂがカメラの
視野内に配置される。ところがペレットｂは非正形であ
るのでピックアップすること無く残してピックアップポ
ジションＰＸＹはさらにｌＸ／２移動する。それに連動
してリングホルダ１６が−ｌＸ／２移動する。ところが
そこのペレットも非正形であるのでピックアップするこ
と無く残して同様にピックアップポジションＰＸＹが移
動する。 （５）所定数非正形なペレットやペレット無しが連続す
ると行替えが行われる。即ちピックアップポジションＰ
ＸＹはＰＸは変わらずＰＹが−ｌＹ／２移動し、それに
連動してリングホルダ２６がＣＸは変わらずＣＹがｌＹ
／２移動する。そしてピックアップポジションＰＸＹに
ペレットがなければＰＸは−ｌＸ／２移動する。それに
連動してリングホルダ２６がｌＸ／２移動する。そこが
非正形であればピックアップすること無く残してピック
アップポジションＰＸＹはさらに−ｌＸ／２移動する。
それに連動してリングホルダ２６がｌＸ／２移動してペ
レットｃがカメラの視野ないに位置する。 （６）そこで画像処理によりペレットｃの良否と位置確
認を行ない、良品であればピックアップポジションＰＸ
Ｙは動かすことなく位置確認データに基づきリングホル
ダ２６のみＸＹθ方向に微動させペレットｃを位置合わ
せし、再度位置確認を行ない（要すれば再度の微動と確
認を繰り返して）正確に位置合わせが出来ていれば真空
吸着ノズルがピックアップする。 （７）ペレットｃがピックアップされるとピックアップ
ポジションの座標ＰＸは−ｌＸ／２移動し、それに連動
してリングホルダ１６がｌＸ／２移動する。 （８）以下同様に良否判定、位置確認、位置合わせ、等
を行ないながらｌＸ／２のピッチで移動して端までくる
とｌＹ／２ピッチで行替えするピックアップポジション
ＰＸＹに順次ペレットを位置合わせしつつ、不良のペレ
ットは残し、良品ペレットをピックアップして一定のボ
ンディングポジションＢＰに待機する基材上にボンディ
ングする。

【００２６】上述のように構成されたダイボンダはボン
ディングポジションＢＰとピックアップポジションＰＸ
Ｙとの間が長くなるのでペレットの搬送時間がやや長く
なるがリングホルダ２６の動く範囲はＸＹ方向に付いて
ウェーハ径の１．５倍程度に収まり装置が小さくなる。

【００２７】上記各実施例においてａ＝ｂ＝１／２とし
たがこれらの値は必要に応じて選定することが出来るも
のである。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の装置に
よればペレット載置機構の動く範囲をボンディング動作
のスピードとのかねあいであるがなるべく小さくして装
置を小型化することが容易であり、しかもその動作は同
じ動作の繰り返しなので制御ソフトは簡単である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例を概念的に示す平面図。

【図２】 その側面図

【図３】 供給されたペレットの配置を示す。

【図４】 この発明の他の実施例を概念的に示す平面
図。

【図５】 従来の装置を概念的に示す平面図。

【図６】 その側面図。

【符号の説明】

３ 半導体ペレット １４ 真空吸着ノズル １６，２６ リングホルダ（ペレット載置機構） １７ カメラ（位置確認手段） １８ 突き上げピン Ｃ リングホルダの中心（ペレット載置機構の中心） Ｌ ピックアップライン Ｒ，Ｓ 基準線（基準位置）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体ペレットが整列状態で供給され、そ
   の半導体ペレットを順次ピックアップ搬送して所定位置
   に置くダイボンダにおいて、 前記供給された半導体ペレットが載置されＸＹ方向に移
   動自在なペレット載置機構と、 水平方向の少なくとも１方向（Ｘ方向と仮称）に往復移
   動自在なピックアップポジションと、 ＸＹＺ方向に移動自在な真空吸着ノズルを有するペレッ
   ト搬送機構とを備え、 前記ペレット載置機構のＸ方向の略中心を座標原点とし
   てピックアップしようとする半導体ペレットの前記ペレ
   ット載置機構に対するＸ方向の想定位置座標をｘとし、
   前記ペレット載置機構のＸ方向動作範囲の略中心に設定
   される基準位置を座標原点としてその半導体ペレットに
   対するピックアップポジションのＸ方向座標ＰＸが下記
   （１）式で示される位置となり、ペレット載置機構の中
   心位置のＸ方向座標ＣＸが略（２）式で示される位置に
   移動することを特徴とするダイボンダ。 ＰＸ＝ａｘ ………（１） ＣＸ＝−（１−ａ）ｘ ………（２） 但し、０＜ａ＜１
2. 【請求項２】半導体ペレットが整列状態で供給され、そ
   の半導体ペレットを順次ピックアップ搬送して所定位置
   に置くダイボンダにおいて、 前記供給された半導体ペレットが載置されＸＹ方向に移
   動自在なペレット載置機構と、 水平方向ＸＹに移動自在なピックアップポジションと、 ＸＹＺ方向に移動自在な真空吸着ノズルを有するペレッ
   ト搬送機構とを備え、 前記ペレット載置機構の略中心を座標原点としてピック
   アップしようとする半導体ペレットの前記ペレット載置
   機構に対する想定位置座標をｘ，ｙとし、前記ペレット
   載置機構のＸ方向，Ｙ方向の動作範囲の略中心に設定さ
   れる基準位置を座標原点としてその半導体ペレットに対
   するピックアップポジションの座標ＰＸ，ＰＹが下記
   （１），（１’）式で示される位置となり、 ペレット載置機構中心位置の座標ＣＸ，ＣＹが略
   （２），（２’）式で示される位置に移動することを特
   徴とするダイボンダ。 ＰＸ＝ａｘ ………（１） ＰＹ＝ｂｙ ………（１’） ＣＸ＝−（１−ａ）ｘ ………（２） ＣＹ＝−（１−ｂ）ｙ ………（２’） 但し、０＜ａ＜１，０＜ｂ＜１
3. 【請求項３】前記移動自在なピックアップポジションに
   は上方に位置確認手段を備えていることを特徴とする請
   求項１または２に記載のダイボンダ。
4. 【請求項４】前記移動自在なピックアップポジションに
   は下方に突き上げピンを備えていることを特徴とする請
   求項１または２に記載のダイボンダ。
5. 【請求項５】前記ａ又は(および)ｂが１／２に設定され
   ていることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイボ
   ンダ。