KR100813126B1 - Ｔｃｐ 핸들링 장치 - Google Patents

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KR100813126B1
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Abstract

복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들러(2)에 있어서, 푸셔 본체(33) 및 스프로켓(35a),(35b)은 연동 기구(38)를 통하여 연동 가능하게 되어 있고, 푸셔 본체(33) 및 스프로켓(35a),(35b)의 어느 한쪽이 구동된 때에, 푸셔 본체 (33) 및 스프로켓(35a),(35b)의 양쪽이 연동하여 이동할 수 있도록 되어 있다. 이러한 구성에 의해, 푸셔 본체(33) 및 스프로켓(35a),(35b)은 단일의 구동원(서보 모터(31))에 의해 별개로 이동시킬 수 있다.
TCP 핸들링 장치

Description

ＴＣＰ 핸들링 장치{TCP HANDLING DEVICE}
본 발명은, IC 디바이스의 일종인 TCP(Tape Carrier Package)나 COF(Chip On Film)(이하, TCP, COF, 기타 TAB(Tape Automated Bonding) 실장 기술에 의해 제조된 디바이스를 종합하여「TCP」라 함.)를 시험하는데 사용되는 TCP 핸들링 장치에 관한 것이다.
IC 디바이스 등의 전자 부품의 제조 과정에 있어서는, 최종적으로 제조된 IC 디바이스나 그 중간 단계에 있는 디바이스 등의 성능이나 기능을 시험하는 전자 부품 시험 장치가 필요하고, TCP의 경우에는 TCP용 시험 장치가 사용된다.
TCP용 시험 장치는, 일반적으로 테스터 본체와, 테스트 헤드와, TCP 핸들링 장치(이하, 「TCP 핸들러」라고 하는 경우가 있음.)로 구성된다. 이 TCP 핸들러는, 테이프(필름의 개념도 포함하는 것으로 함. 이하 동일.) 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드의 프로브에 캐리어 테이프를 압압하여, TCP의 외부 단자를 프로브에 콘택트시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공하는 기능을 구비하고 있다.
이와 같은 TCP 핸들러는, 일반적으로 캐리어 테이프를 프로브에 밀어 붙이는 푸셔 본체와, 푸셔 본체의 양쪽에서 캐리어 테이프를 지지하여 상기 캐리어 테이프 를 반송하는 풀리, 스프로켓 등의 테이프 지지체를 구비하고 있다. 이들 푸셔 본체와 테이프 지지체는, 테이프 지지체에 지지되어 이동하는 캐리어 테이프가 푸셔 본체와 접촉되지 않도록, 상하 이동을 각각 별개로 수행할 필요가 있다.
이러한 푸셔 본체 및 테이프 지지체의 상하 이동을 별개로 수행하거나, 실개소 64-34576호 공보에 기재된 TCP 시험 장치에서는, 이들 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 별개의 구동원(액츄에이터)으로 구동하였다.
그렇지만, 구동원을 복수 설치하는 것은 코스트가 높아지고 또한, 복수의 구동원의 구동 타이밍을 제어해야 하기 때문에 시험 장치로서 복잡하게 되어 있었다.
본 발명은, 이와 같은 실상에 비추어서 이루어진 것으로, 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 단일의 구동원에 의해 별개로 이동시킬 수 있는 TCP 핸들링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 첫번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를, 푸셔 유니트에 의해 지지하면서, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하여, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부의 접속 단자에 접촉시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 상기 푸셔 유니트는, 푸셔 본체와, 상기 푸셔 본체의 근방에 캐리어 테이프를 지지하는 테이프 지지체를 구비하고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 각각 상기 콘택트부측으로 이동함으로써 상기 캐리어 테이프를 상기 콘택트부로 압압하는 구성을 갖고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체는 연동 기구를 개재하여 연동 가능하게 되어 있고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체의 어느 한쪽이 구동된 때에, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체의 양쪽이 연동하여 이동하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(발명 1).
한편, 본 명세서에서의 「테이프 지지체」에는, 캐리어 테이프를 직접 지지하는 스프로켓 등 기타, 상기 스포로켓 등을 지지하는 프레임 등도 포함하는 것으로 한다.
상기 발명(발명 1)에 의하면, 연동 기구에 의해, 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 단일의 구동원에 의해 별개로 이동시킬 수 있다.
상기 발명(발명 1)에 있어서, 상기 연동 기구는, 레버 부재를 포함하여 구성되어 있고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체는, 상기 레버 부재의 다른 위치에 연결 또는 계합하여, 상기 레버 부재의 회전에 따라 서로 다른 이동량으로 연동하는 것이 바람직하다(발명 2).
상기 발명(발명 2)에 의하면, 연동 기구를 간소한 구조로 구성할 수 있고, 또한 레버비를 변경함으로써, 푸셔 본체 및 테이프 지지체의 이동량을 각각 임의로 변경할 수 있다.
상기 발명(발명 2)에 있어서, 상기 레버 부재의 일단부는, TCP 핸들링 장치의 본체에 회전 가능 또는 회전 ·슬라이드 가능하게 설치되어 있고, 상기 레버 부재의 타단부는, 상기 푸셔 본체에 회전·슬라이드 가능 또는 회전 가능하게 설치되어 있고, 상기 레버 부재의 중간부는, 상기 테이프 지지체에 당접 가능하게 되어 있고, 상기 푸셔 본체에 구동 장치가 접속되어 있는 것이 바람직하다(발명 3).
상기 발명(발명 1~3)에 있어서, 상기 연동 기구는, 상기 푸셔 본체에 설치된 제 1계합부와, 상기 테이프 지지체에 설치된 제 2계합부를 포함하여 구성되고, 상기 제 1계합부와 상기 제 2계합부가 계합함으로써, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 일체적으로 이동하도록 하여도 좋다(발명 4).
상기 발명(발명 4)에 의하면, 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 다른 이동량으로 별개로 이동시킬 수 있을 뿐만 아니고, 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 일체적으로 이동시킬 수도 있다. 이와 같이 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 일체적으로 이동시키는 사이에, TCP의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 그 TCP의 위치 어긋남량에 따라 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 동시에 변위시켜서 TCP의 위치 어긋남 보정을 할 수 있다.
상기 발명(발명 1)에 있어서, 상기 연동 기구는, 레버 부재와, 상기 푸셔 본체에 설치된 제 1계합부와, 상기 테이프 지지체에 설치된 제 2계합부를 포함하여 구성되고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체는, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 상기 콘택트부와 이격된 위치에 있는 때에는, 상기 레버 부재의 다른 위치에 연결 또는 계합하여, 상기 레버 부재의 회전에 따라 서로 다른 이동량으로 연동하고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 상기 콘택트부에 근접하면, 상기 제 1계합부와 상기 제 2계합부가 계합하여, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 일체적으로 이동하는 것이 바람직하다(발명 5).
상기 발명(발명 5)에 의하면, 콘택트부의 근방에서 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 일체적으로 이동시키는 사이에, TCP의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 그 위치 어긋남량에 따라 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 동시에 변위시켜서 TCP의 위치 어긋남 보정을 할 수 있다.
상기 발명(발명 5)에 있어서는, 상기 푸셔 본체는 캐리어 테이프를 흡착하는 것이 가능하게 되어 있고, 상기 제 1계합부와 상기 제 2계합부가 계합되어 있는 사이에, 캐리어 테이프를 흡착하는 것이 바람직하다(발명 6).
상기 발명(발명 6)에 의하면, 콘택트부의 근방에서는, 푸셔 본체와 캐리어 테이프를 밀착시켜, 콘택트부에 대하여 TCP를 정확하게 콘택트시킬 수 있다. 또한, TCP의 콘택트부에 대한 위치 어긋남을 보정할 때에, 푸셔 본체와 캐리어 테이프의 위치가 어긋나는 것을 방지할 수 있다.
두번째로 본 발명은, 캐리어 테이프의 TCP를, 전기적으로 시험을 수행하기 위한 콘택트부로 반송하여, 상기 TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부의 접속 단자에 접촉시킴으로써, 상기 TCP를 전기적 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 캐리어 테이프를 상기 콘택트부로 압압할 수 있는 푸셔 본체와, 캐리어 테이프를 계지하여 지지할 수 있는 테이프 지지체와, 상기 푸셔 본체 또는 상기 테이프 지지체가 상기 콘택트부에 대하여 진퇴할 수 있도록 상기 푸셔 본체 또는 상기 테이프 지지체를 구동하는 구동 장치를 구비한 푸셔 유니트가, 상기 콘택트부에 대향하는 위치에 설치되어 있고, 상기 구동 장치는, TCP 핸들링 장치의 본체에 고정되어 있어, 상기 푸셔 유니트는 상기 구동 장치에 의해 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체를 콘택트부 방향으로 연동하여 이동시킬 수 있는 연동 기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(발명 7).
상기 발명(발명 7)에 의하면, 연동 기구에 의해 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 단일의 구동 장치에 의해 연동하여 이동시킬 수 있다.
상기 발명(발명 7)에 있어서, 상기 연동 기구는, 상기 푸셔 유니트를 콘택트부 방향으로 이동시키는 초기 단계에서는, 상기 푸셔 본체의 이동량이 상기 테이프 지지체의 이동량보다도 크게 되도록 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체를 이동시키고, 상기 푸셔 유니트를 콘택트부 방향으로 이동시키는 후기 단계에 있어서는, 상기 푸셔 본체의 이동량과 상기 테이프 지지체의 이동량이 동일하게 되도록 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체를 이동시키는 것이 바람직하다(발명 8).
상기 발명(발명 8)에 의하면, 푸셔 본체를, 테이프 지지체에 지지되어 반송되는 캐리어 테이프가 푸셔 본체와 접촉되지 않는 위치까지 이동시킬 수 있는 동시에, 푸셔 본체와 테이프 지지체를 일체적으로 이동시켜서, 양자를 동시에 변위시켜 TCP 위치 어긋남 보정을 할 수 있다.
상기 발명(발명 7,8)에 있어서, 상기 연동 기구는, 리니어 모션 가이드와, 레버 부재와, 계합 부재를 구비하고 있고, 상기 리니어 모션 가이드는, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 콘택트부 방향으로 서로 슬라이드 될 수 있도록, 상기 푸셔 본체와 상기 테이프 지지체의 사이에 설치되어 있고, 상기 레버 부재의 일단부는, TCP 핸들링 장치의 본체에 설치되어 지점이 되고, 상기 레버 부재의 타단부는, 상기 푸셔 본체에 설치되어 역점이 되고, 상기 레버 부재의 중간부는, 상기 테이프 지지체에 맞닿아서 작용점이 될 수 있고, 상기 계합 부재는, 상기 푸셔 본체에 설치된 제 1계합부와, 상기 테이프 지지체에 설치된 제 2계합부를 갖고 있고, 상기 제 1계합부 및 상기 제 2계합부는, 상기 푸셔 유니트가 콘택트부 방향으로 이동하는 초기 단계에 있어서는 서로 이격되어 있고, 상기 푸셔 유니트가 콘택트부 방향으로 이동하는 후기 단계에 있어서는 서로 계합하여, 상기 푸셔 본체와 상기 테이프 지지체가 일체적으로 이동할 수 있는 위치에 설치되어 있는 것이 바람직하다(발명 9).
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험 장치를 도시한 정면도.
도 2는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유니트의 정면도.
도 3은 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유니트의 측면도.
도 4는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유니트의 동작을 도시한 설명도(정면).
도 5는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유니트의 동작을 도시한 설명도(측면).
도 6은 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유니트의 동작을 도시한 그래프.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 기초로 상세하게 설명한다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험 장치를 도 1에 도시한다.
[TCP 시험 장치]
TCP 시험 장치(1)는, 도시하지 않은 테스터 본체와, 테스터 본체에 전기적으로 접속된 테스트 헤드(10)와, 테스트 헤드(10)의 상측에 설치된 TCP 핸들러(2)로 구성된다.
TCP 핸들러(2)는, 캐리어 테이프(5) 상에 복수 형성된 각 TCP를 순차 시험에 제공하는 것으로, 권출 릴(21)과 권취 릴(22)을 구비하고 있고, 권출 릴(21)에는 시험 전의 캐리어 테이프(5)가 감겨져 있다. 캐리어 테이프(5)는, 권출 릴(21)로부터 풀어지고, 시험에 제공된 후에 권취 릴(22)에 감겨진다.
권출 릴(21)과 권취 릴(22)의 사이에는, 캐리어 테이프(5)로부터 박리된 보호 테이프(51)를 권출 릴(21)로부터 권취 릴(22)로 건네주는 3개의 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)이 설치되어 있다. 각 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)은, 보호 테이프(51)의 장력을 조정할 수 있도록, 각각 상하 움직일 수 있게 되어 있다.
권출 릴(21)의 하측에는, 테이프 가이드(24a), 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로켓(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)가 설치되어 있고, 권출 릴(21)로부터 풀려진 캐리어 테이프(5)는, 테이프 가이드(24a)에 의해 가이드되면서, 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로켓(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)를 통과하여 푸셔 유니트(3)로 반송된다.
또한, 권취 릴(22)의 하측에는, 테이프 가이드(24b), 권취 리미트 롤러(25f), 외측 서브 스프로켓(25e) 및 외측 가이드 롤러(25d)가 설치되어 있고, 시험에 제공된 후의 캐리어 테이프(5)는, 외측 가이드 롤러(25d), 외측 서브 스프로 켓(25e) 및 권취 리미트 롤러(25f)를 통과하여, 테이프 가이드(24b)에 의해 가이드되면서, 권취 릴(21)에 감겨진다.
내측 가이드 롤러(25c)와, 외측 가이드 롤러(25d)의 사이에는, 푸셔 유니트(3)가 설치되어 있다. 이 푸셔 유니트(3)에 대하여는 후술한다.
푸셔 유니트(3)는, 도시하지 않은 푸셔 스테이지에 접속되어 있다. 푸셔 스테이지는, 복수의 볼 나사를 개재하여 서보 모터에 접속되어 있고(도시 생략), 서보 모터의 구동에 의해, 푸셔 유니트(3)를 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동시킬 수 있는 동시에, 푸셔 유니트(3)를 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전시킬 수 있다.
푸셔 유니트(3)의 전단측(도 1 중 좌측)에는 제 1카메라(6a)가, 푸셔 유니트(3)의 하측(후술하는 프로브 카드 스테이지(7)의 내측)에는 제 2카메라(6b)가, 푸셔 유니트(3)의 후단측(도 1 중 우측)에는 제 3카메라(6c)가 설치되어 있다. 또한, 푸셔 유니트(3)와 제 3카메라(6c)의 사이에는, 마크 펀치(26a) 및 리젝트 펀치(26b)가 설치되어 있다.
마크 펀치(26a)는 시험 결과에 기초하여, 해당하는 TCP에 대하여 소정의 위치에 1개 또는 복수개의 구멍을 뚫는 것이고, 리젝트 펀치(26b)는 시험 결과 불량품이면 판단된 TCP를 구멍을 뚫는 것이다.
각 카메라(6a),(6b),(6c)는, 도시하지 않은 화상 처리 장치에 접속되어 있고, 제 1카메라(6a) 및 제 3카메라(6c)는, 캐리어 테이프(5) 상에서의 TCP의 유무나 마크 펀치(26a)에 의한 구멍 위치나 수를 판단하기 위한 것으로, 제 2카메라(6b)는 캐리어 테이프(5) 상의 TCP와 프로브의 위치 어긋남 정보를 취득하기 위 한 것이다. 또한, 제 2카메라(6b)는 시야 내의 복수의 대상에 대하여 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있도록 되어 있다.
제 2카메라(6b)는 카메라 스테이지(61) 상에 탑재되어 있고, 카메라 스테이지(61)가 갖는 액츄에이터에 의해 평면에서 볼 때 종횡 방향(X축-Y축 방향) 및 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.
푸셔 유니트(3)의 하측으로서, 테스트 헤드(10)의 상부에는, 프로브 카드(8)를 탑재한 프로브 카드 스테이지(7)가 설치되어 있다. 프로브 카드 스테이지(7)는, 복수의 볼 나사를 끼워 서보 모터에 접속되어 있고(도시 생략), 서보 모터의 구동에 의해, 프로브 카드(8)를 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동시킬 수 있는 동시에, 프로브 카드(8)를 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전시킬 수 있다.
복수의 프로브(81)를 구비한 프로브 카드(8)는, 핀에 의해 프로브 카드 스테이지(7)의 카드 링에 착탈이 자유롭게 설치되어 있다(도시 생략). 한편, 프로브 카드(8)의 각 프로브(81)는, 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체에 전기적으로 접속되어 있고, 프로브 카드(8)의 하측으로서, 프로브 카드 스테이지(7)의 내측에는 제 2카메라(6b)가 위치하고 있다.
이 TCP 시험 장치(1)에서는, 캐리어 테이프(5)는 푸셔 유니트(3)의 하측을 통과하도록 반송되고, 이 캐리어 테이프(5)를 푸셔 유니트(3)가 흡착·지지하면서 테스트 헤드(10) 상의 프로브 카드(8)에 압압한다. 그러면, 캐리어 테이프(5) 상의 TCP가 프로브 카드(8)의 프로브(81)에 콘택트되어 테스트 신호가 TCP로 인가되어, TCP로부터 판독된 응답 신호는, 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체로 보내진 다. 이것에 의해 TCP의 성능이나 기능 등이 시험된다.
이러한 시험은, 캐리어 테이프(5)가 반송됨으로써, 캐리어 테이프(5) 상의 모든 TCP에 대하여 순차 수행된다. 그리고, 시험 결과에 기초하여 마크 펀치(26a) 또는 리젝트 펀치(26b)가 구동된다.
[푸셔 유니트]
도 2 및 도 3은, 도 1에 기재된 TCP 시험 장치의 푸셔 유니트를 도시한 정면도(도 2) 및 측면도(도 3)이다.
이 푸셔 유니트(3)는, 푸셔 본체(33)와, 푸셔 프레임(에이프런 플레이트)(36)과, 푸셔 프레임(36)에 회전 가능하게 설치된 스프로켓(35)(텐션 스프로켓(35a) 및 메인 스프로켓(35b))과, 연동 기구(38)를 포함하여 구성되어 있고, 지지 부재(27)를 개재하여 TCP 핸들러(2)의 본체에 지지되어 있다(도 1~도 3 참조).
푸셔 본체(33)는, 2개의 리니어 모션 가이드(37),(37)를 개재하여 푸셔 프레임(36) 상에 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 이 푸셔 본체(33)의 상부에는, 볼 나사(32)를 개재하여 서보 모터(31)가 연결되어 있다. 푸셔 본체(33)는, 이 서보 모터(31)의 구동에 의해, 리니어 모션 가이드(37),(37)에 가이드되면서 푸셔 프레임(36)의 평면 위를 상하 방향(Z축 방향)으로 슬라이딩되어 이동할 수 있다(도 2 및 도 3 참조).
또한, 푸셔 본체(33)는, 그 하단부에 흡착부(34)를 갖는다. 푸셔 본체(33)는, 이 흡착부(34)가 에어를 흡인하여 캐리어 테이프(5)를 흡착함으로써, 그 하단부에서 캐리어 테이프(5)를 홀드할 수 있다.
스프로켓(35a),(35b)은, 정면에서 볼 때 푸셔 본체(33)의 양쪽에 배치되어 있고, 그 하단부에서 캐리어 테이프(5)를 각각 지지하면서 회전할 수 있도록 되어 있다. 이것에 의해, 캐리어 테이프(5)는, 푸셔 본체(33)의 아래 방향을 통과하여 좌측으로부터 우측으로 보내진다(도 1 및 도 2 참조).
한편, 메인 스프로켓(35b)은, 스텝핑 모터 등에 의해 구동되어 캐리어 테이프(5)를 반송하고, 텐션 스프로켓(35a)은, 캐리어 테이프(5)의 주행 방향과 역방향으로 회전함으로써 캐리어 테이프(5)에 소정의 텐션을 걸어, 캐리어 테이프(5)의 위치 정밀도를 향상시킨다.
또한, 스프로켓(35a),(35b)은, 그 하단부에서 캐리어 테이프(5)를 각각 지지하면서, 푸셔 프레임(36)을 따라 상하 이동함으로써, 캐리어 테이프(5)의 테이프면의 높이 위치(Z축 상의 위치)를 조정할 수 있다.
푸셔 프레임(36)은, 푸셔 본체(33)의 배면측에 배치되어 있고, 후술하는 연동 기구(38)에 의해 구동되어, 상하 방향(Z축 방향)으로 슬라이딩되어 이동한다(도 1~도 3 참조). 이러한 푸셔 프레임(36)의 이동에 의해, 스프로켓(35a),(35b)이 상하 방향으로 이동할 수 있다.
이 푸셔 프레임(36)은, TCP 핸들러(2)의 본체에 대하여, 걸어 메다는 부재(39),(39)에 의해 걸어 매달려 설치되어 있다(도 2 참조). 이 걸어 메다는 부재(39),(39)는, 예컨대 스프링으로 구성되어, 푸셔 프레임(36)(스프로켓(35a),(35b))을 상측으로 힘이 가해지도록 하여 걸어 매달려 있다.
연동 기구(38)는 레버 부재(381)와, 제 1계합부(382a)와, 제 2계합부(382b) 를 포함하여 구성되어(도 3 참조), 푸셔 본체(33)(흡착부(34)) 및 푸셔 프레임(36)(스프로켓(35a),(35b))을 연동시키는 기능을 갖는다. 한편, 본 실시 형태에서의 연동 기구(38)는, 푸셔 본체(33)의 좌우 양단부에서 2개 설치되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.
레버 부재(381)는, 그 일단(단부 A)에서 베이스(271)에 회전 가능하게 설치되어 있고, 그 타단(단부 B)에서 긴 구멍을 개재하여 푸셔 본체(33)의 상부에 회전 및 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 또한, 레버 부재(381)는, 그 중간부에 롤러(380)를 갖고 있고, 이 롤러(380)에서 푸셔 프레임(36)의 상부와 맞닿는다. 한편, 베이스(271)는 지지 부재(27)에 고정된 판상 부재이다. 이와 같은 레버 부재(381)에 있어서는, 단부 A가 지점(支点)이 되고, 단부 B가 역점(力点)이 되고, 중간부의 롤러(380)가 작용점이 된다.
제 1계합부(382a)는, 푸셔 본체(33)의 양측부에 고정 설치되어 있고, 그 접점(接点)이 푸셔 본체(33)의 슬라이드 방향(Z축 방향)에 대하여 아래 방향을 향해 있다. 한편, 제 2계합부(382b)는, 푸셔 프레임(36)에 고정 설치되어 있고, 그 접점이 푸셔 프레임(36)의 슬라이드 방향(Z축 방향)에 대하여 위 방향을 향해 있다. 또한, 제 2계합부(382b)는, 제 1계합부(382a)의 아래 방향에 위치하고 있고, 그 접접이 제 1계합부(382a)의 접점에 대향되어 있다. 따라서, 제 1계합부(382a)와 제 2계합부(382b)는, 푸셔 본체(33)가 푸셔 프레임(36)에 대하여 아래 방향으로 슬라이드된 때에, 그 접점에서 서로 맞닿는 위치 관계에 있다.
도 4 ~도 6은, 푸셔 유니트(3)의 동작을 도시한 설명도이다. 이들 도면에서 는, 도 4는 푸셔 본체(흡착부(34))와 스프로켓(35a),(35b)의 위치 관계를 도시하고 있고, 도 5는 연동 기구(38)의 동작을 도시하고 있다. 또한, 도 6은 흡착부(34) 및 스프로켓(35a),(35b)의 이동량과, 볼 나사(32)의 회전량의 관계를 도시하고 있다.
이 푸셔 유니트(3)에서는, 초기 상태(원점)에서, 푸셔 본체(33) 및 스프로켓(35a),(35b)은 프로브 카드(8)의 위 방향에 위치하고 있다. 이 상태에서는, 푸셔 본체(33)(흡착부(34))는 캐리어 테이프(5)에 접촉되어 있지 않고, 스프로켓(35a),(35b)은 그 하단에서 캐리어 테이프(5)를 계지하여 지지하고 있다(도 4 참조). 또한, 푸셔 프레임(36)에는, 걸어 메다는 부재(39)에 의한 위 방향으로의 가압력(스프링에 의한 탄성력)이 작용하고 있고, 이것에 의해 푸셔 프레임(36)의 상부는 레버 부재(381)의 롤러(380)에 힘이 가해지면서 맞닿아 있다(도 3 및 도 5(a) 참조). 한편, 제 1계합부(382a) 및 제 2계합부(382b)는, 서로 떨어진 위치에 있어, 계합하고 있지는 않다.
이 상태(원점)에 있을 때는, 캐리어 테이프(5)를 푸셔 본체(33)(흡착부(34))에 접촉시키지 않고 반송할 수 있다.
TCP 시험에서는, 우선 TCP 핸들러(2)(메인 스프로켓(35b))의 구동에 의해 캐리어 테이프(5) 상의 TCP가 반송되어 푸셔 본체(33)의 아래 방향에 배치된다. 그리고, 서보 모터(31)가 구동되어 볼 나사(32)가 회전하고, 푸셔 본체(33)(흡착부(34))가 캐리어 테이프(5)를 향하여 하강한다(도 4(b) 참조).
또한, 푸셔 본체(33)의 하강에 의해 레버 부재(381)가 그 베이스(271)측의 단부(단부 A)를 축으로 하여 회전하고, 회전된 레버 부재(381)의 롤러(380)에 밀려 서 푸셔 프레임(36)이 하강한다(도 5(b) 참조). 그리고, 레버 부재(381)의 레버비에 의한 푸셔 본체(33) 및 푸셔 프레임(36)의 이동량의 차이에 의해, 푸셔 본체(33)가 리니어 모션 가이드(37),(37)로 가이드되어 푸셔 프레임(36) 상을 슬라이드하고, 푸셔 본체(33)의 흡착부(34)가 캐리어 테이프(5)에 접촉되어, 캐리어 테이프(5)를 흡착한다(도 4(b) 참조). 또한, 이와 동시에, 제 1계합부(382a)와 제 2계합부(382b)가 서로 맞닿는다(도 5(c) 참조).
한편, 초기 상태로부터 흡착부(34)가 캐리어 테이프(5)에 접촉될 때까지는, 흡착부(34)의 하강 이동량이 스프로켓(35a),(35b)의 하강 이동량보다도 크게 되도록 구성되어 있다(도 6 참조). 따라서, 초기 상태에서는 흡착부(34)는 캐리어 테이프(5)에 접촉되어 있지 않지만, 흡착부(34)가 하강함에 따라, 흡착부(34)와, 스프로켓(35a),(35b)에 지지되어 하강하고 있는 캐리어 테이프(5)와의 거리가 작아지고, 흡착부(34)와 캐리어 테이프(5)가 접촉하게 된다. 이 때, 흡착부(34)의 흡착면과 스프로켓(35a),(35b)의 하단부는 동일한 높이에 위치한다(도 4(b) 참조).
다음에, 푸셔 본체(33)가 더 하강하면, 흡착부(34)에 의해 캐리어 테이프(5)가 아래 방향으로 밀려 내려가 TCP의 외부 단자가 프로브 카드(8)의 프로브(81)에 접촉된다(도 4(c) 참조). 또한, 푸셔 본체(33)의 하강에 의해, 제 2계합부(382b)가 제 1계합부(382a)에 의해 밀려 내려가, 푸셔 프레임(36)이 하강한다(도 5(d) 참조). 이 때, 푸셔 프레임(36)은, 레버 부재(381)와의 계합이 벗어나 있고, 계합부(382a),(382b)의 계합에 의해 푸셔 본체(33)와 동일한 속도로 하강한다. 이것에 의해, 흡착부(34)와 스프로켓(35a),(35b)은 일체적으로 연동되어 하강한다(도 6 참 조).
한편, TCP의 위치 어긋남 보정은, 캐리어 테이프(5)가 흡착부(34)에 흡착되고 나서부터 프로브 카드(8)에 접촉할 때까지의 사이에 수행된다. TCP의 위치 결정에서는, 우선 제 2카메라(6b)가 소정 거리에서 TCP의 얼라이먼트 마크 등을 촬상하여, 그 화상 정보가 화상 처리 장치(도시 생략함)로 송신된다. 그리고, 화상 처리 장치가 화상 처리를 수행하여 TCP의 위치 어긋남량을 연산하고, 이 연산 결과에 기초하여 푸셔 유니트(3) 또는 프로브 카드 스테이지(7)가 구동되어 변위하여, TCP의 위치 어긋남이 보정된다.
다음에, 캐리어 테이프(5) 상의 TCP의 외부 단자가 프로브 카드(8)의 프로브(81)에 접촉된 상태에서 TCP의 시험을 수행한다. 그 후, 서보 모터(31)가 구동되어, 푸셔 본체(33) 및 푸셔 프레임(36)이 상기와는 역공정으로 상승한다(도시 생략). 그리고, 도중에서 캐리어 테이프(5)가 흡착부(34)로부터 분리되어, 푸셔 본체(33) 및 푸셔 프레임(36)이 원점으로 되돌아간다. 그 후에, 캐리어 테이프(5)가 반송되어 다음의 TCP가 푸셔 본체(33)의 아래 방향에 배치되어, 상기 시험 공정이 되풀이된다.
이 TCP 핸들러(2)에 의하면, 하나의 서보 모터(31)에 의해, 푸셔 본체(33) 및 스프로켓((35a),(35b)을 별개로 상하 이동시킬 수 있기 때문에, TCP 핸들러(2)를 간이한 구조로 하여, TCP 핸들러(2)의 제조 코스트의 저감을 도모할 수 있다.
또한, 연동 기구(38)로서 레버 부재(381)를 이용함으로써, 연동 기구(38)를 간소한 구조로 구성할 수 있고, 또한 레버 부재(381)의 레버비(레버 부재(381)의 길이·각도, 롤러(380)의 위치 등)를 변경함으로써, 푸셔 본체(33) 및 스프로켓(35a),(35b)의 상하 이동량을 각각 임의로 변경할 수 있다.
또한, 연동 기구(38)로서 제 1계합부(382a) 및 제 2계합부(382b)를 설치함으로써, 프로브 카드(8)의 근방에서 제 1계합부(382a) 및 제 2계합부(382b)를 계합시켜 푸셔 본체(33) 및 스프로켓(35a),(35b)을 일체적으로 이동시키고, 그 사이에 TCP의 위치 어긋남 정보를 취득하여, 그 위치 어긋남량에 따라 푸셔 유니트(3) 또는 프로브 카드 스테이지(7)를 변위시켜 TCP의 위치 어긋남 보정을 할 수 있다.
이상 설명한 실시 형태는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태에 개시된 각 요소는 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물을 포함하는 취지이다.
예컨대, 연동 기구(38)는, 1개만 설치되어 있어도 좋다. 또한, 연동 기구(38)의 푸셔 본체(33)측의 단부에 회전 가능한 롤러가 설치되어, 그 롤러가 푸셔 본체(33)에 대하여 슬라이드 가능하게 설치되어 있어도 좋다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 TCP 핸들링 장치에 의하면, 단일의 구동원에 의해 푸셔 본체 및 테이프 지지체를 상하 이동시킬 수 있기 때문에, TCP 핸들링 장치를 간이한 구성으로 하여, TCP 핸들링 장치의 제조 코스트의 저감을 도모할 수 있다.

Claims (10)

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  2. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 푸셔 유니트에 의해 지지하면서 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하고, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부의 접속 단자에 접촉시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,
    상기 푸셔 유니트는 푸셔 본체와 상기 푸셔 본체의 근방에 캐리어 테이프를 지지하는 테이프 지지체를 구비하고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 각각 상기 콘택트부측으로 이동함으로써 상기 캐리어 테이프를 상기 콘택트부로 압압하는 구성을 갖고,
    상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체는 연동 기구를 개재하여 연동 가능하게 되어 있고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체의 어느 한쪽이 구동된 때에 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체의 양쪽이 연동하여 이동하고,
    상기 연동 기구는 레버 부재를 포함하여 구성되어 있고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체는 상기 레버 부재의 다른 위치에 연결 또는 계합하여 상기 레버 부재의 회전에 따라 서로 다른 이동량으로 연동하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 연동 기구는 상기 푸셔 본체에 설치된 제 1계합부와 상기 테이프 지지체에 설치된 제 2계합부를 포함하여 구성하고, 상기 제 1계합부와 상기 제 2계합부가 계합함으로써 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 일체적으로 이동하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 연동 기구는 상기 푸셔 본체에 설치된 제 1계합부와 상기 테이프 지지체에 설치된 제 2계합부를 포함하여 구성하고, 상기 제 1계합부와 상기 제 2계합부가 계합함으로써 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 일체적으로 이동하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  5. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 푸셔 유니트에 의해 지지하면서 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하고, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부의 접속 단자에 접촉시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,
    상기 푸셔 유니트는 푸셔 본체와 상기 푸셔 본체의 근방에 캐리어 테이프를 지지하는 테이프 지지체를 구비하고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 각각 상기 콘택트부측으로 이동함으로써 상기 캐리어 테이프를 상기 콘택트부로 압압하는 구성을 갖고,
    상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체는 연동 기구를 개재하여 연동 가능하게 되어 있고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체의 어느 한쪽이 구동된 때에, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체의 양쪽이 연동하여 이동하고,
    상기 연동 기구는 레버 부재와 상기 푸셔 본체에 설치된 제 1계합부와 상기 테이프 지지체에 설치된 제 2계합부를 포함하여 구성되고,
    상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체는 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 상기 콘택트부와 이격된 위치에 있는 때에는 상기 레버 부재의 다른 위치에 연결 또는 계합하여 상기 레버 부재의 회전에 따라 서로 다른 이동량으로 연동하고, 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 상기 콘택트 부에 근접하면, 상기 제 1계합부와 상기 제 2계합부가 계합하여 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 일체적으로 이동하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 푸셔 본체는 캐리어 테이프를 흡착하는 것이 가능하게 되어 있고, 상기 제 1계합부와 상기 제 2계합부가 계합되어 있는 사이에, 캐리어 테이프를 흡착하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 캐리어 테이프의 TCP를 전기적으로 시험을 수행하기 위한 콘택트부로 반송하여 상기 TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부의 접속 단자에 접촉시킴으로써 상기 TCP를 전기적 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,
    캐리어 테이프를 상기 콘택트부로 압압할 수 있는 푸셔 본체와, 캐리어 테이프를 계지하여 지지할 수 있는 테이프 지지체와, 상기 푸셔 본체 또는 상기 테이프 지지체가 상기 콘택트부에 대하여 진퇴할 수 있도록 상기 푸셔 본체 또는 상기 테이프 지지체를 구동하는 구동장치를 구비한 푸셔 유니트가 상기 콘택트부에 대향하는 위치에 설치되어 있고,
    상기 구동 장치는 TCP 핸들링 장치의 본체에 고정되어 있고, 상기 푸셔 유니트는 상기 구동 장치에 의해 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체를 콘택트부 방향으로 연동하여 이동시킬 수 있는 연동 기구를 구비하고 있으며,
    상기 연동 기구는 리니어 모션 가이드와 레버 부재와 계합부재를 구비하고 있고,
    상기 리니어 모션 가이드는 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체가 콘택트부 방향으로 서로 슬라이드 될 수 있도록 상기 푸셔 본체와 상기 테이프 지지체의 사이에 설치되어 있고,
    상기 레버 부재의 일단부는 TCP 핸들링 장치의 본체에 설치되어 지점이 되고, 상기 레버 부재의 타단부는 상기 푸셔 본체에 설치되어 역점이 되고, 상기 레버 부재의 중간부는 상기 테이프 지지체에 맞닿아서 작용점이 될 수 있고,
    상기 계합부재는 상기 푸셔 본체에 설치된 제 1계합부와 상기 테이프 지지체에 설치된 제 2계합부를 갖고 있고, 상기 제 1계합부 및 상기 제 2계합부는 상기 푸셔 유니트가 콘택트부 방향으로 이동하는 초기 단계에 있어서는 서로 이격되어 있고, 상기 푸셔 유니트가 콘택트부 방향으로 이동하는 후기 단계에 있어서는 서로 계합하여, 상기 푸셔 본체와 상기 테이프 지지체가 일체적으로 이동할 수 있는 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 연동기구는 상기 푸셔 유니트를 콘택트부 방향으로 이동시키는 초기 단계에 있어서는 상기 푸셔 본체의 이동량이 상기 테이프 지지체의 이동량보다도 크게 되도록 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체를 이동시키고, 상기 푸셔 유니트를 콘택트부 방향으로 이동시키는 후기 단계에 있어서는 상기 푸셔 본체의 이동량과 상기 테이프 지지체의 이동량이 동일하게 되도록 상기 푸셔 본체 및 상기 테이프 지지체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
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