KR100833248B1 - Ｔｃｐ 핸들링 장치 - Google Patents

Abstract

테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프(5)를, 푸셔 유니트(3)에 의해 지지하면서, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드(8)로 압압하여, TCP의 외부 단자를 프로브(81)에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들러(2)에 있어서, 푸셔 유니트(3)는, 토크 모터(41)와, 그 토크 모터(41)의 구동에 의해 캐리어 테이프(5)에 소정의 장력을 부여할 수 있는 텐션 스프로켓(35a)을 구비하고 있고, 토크 모터(41)의 구동축(411)과, 텐션 스프로켓(35a)의 회전축(351)의 사이에는, 진동을 흡수할 수 있는 접속 부재(플렉시블 커플링)(43)가 개재되어 있다.

TCP 핸들링 장치

Description

ＴＣＰ 핸들링 장치{TCP HANDLER}

본 발명은, IC 디바이스의 일종인 TCP(Tape Carrier Package)나 COF(Chip On Film)(이하, TCP, COF, 기타 TAB(Tape Automated Bonding) 실장 기술에 의해 제조된 디바이스를 종합하여「TCP」라 함.)를 시험하는데 사용되는 TCP 핸들링 장치에 관한 것이다.

IC 디바이스 등의 전자 부품의 제조 과정에 있어서는, 최종적으로 제조된 IC 디바이스나 그 중간 단계에 있는 디바이스 등의 성능이나 기능을 시험하는 전자 부품 시험 장치가 필요하고, TCP의 경우에는 TCP용 시험 장치가 사용된다.

TCP용 시험 장치는, 일반적으로 테스터 본체와, 테스트 헤드와, TCP 핸들링 장치(이하, 「TCP 핸들러」라고 하는 경우가 있음.)로 구성된다. 이 TCP 핸들러는, 테이프(필름의 개념도 포함하는 것으로 함. 이하 동일.) 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드의 프로브에 캐리어 테이프를 압압하여, TCP의 외부 단자를 프로브에 콘택트시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공하는 기능을 구비하고 있다.

이와 같은 TCP 핸들러는, 일반적으로 캐리어 테이프를 프로브에 밀어 붙이는 푸셔 본체와, 캐리어 테이프를 지지하여 상기 캐리어 테이프를 반송하는 스프로켓 을 구비하고 있다. 스프로켓에는, 푸셔 본체의 후단측에서 캐리어 테이프를 구동하는 메인 스프로켓과, 푸셔 본체의 전단측에서 캐리어 테이프의 반송을 보조하는 보조 스프로켓이 있고, 통상 메인 스프로켓은 스텝핑 모터에 접속되고, 보조 스프로켓은 메인 스프로켓과 동기 회전하도록 되어 있다.

그렇지만, 상기와 같은 구성에서는, 캐리어 테이프에 충분한 장력을 줄 수 없기 때문에, 캐리어 테이프 반송 중에 캐리어 테이프가 펄럭이고, 캐리어 테이프를 고속으로 반송할 수 없는 문제나, 캐리어 테이프를 정지시킨 때에도 캐리어 테이프가 느슨해져, 프로브에 대한 TCP의 위치 맞춤을 정확하게 수행할 수 없는 문제가 있었다.

또한, 캐리어 테이프에 장력을 주기 위하여, 보조 스프로켓을 강제적으로 약간량 역회전시키는 방법도 있지만, 그 경우에는 캐리어 테이프에 과도한 스트레스를 주는 난점이 있었다.

본 발명은, 이와 같은 실상에 비추어 이루어진 것으로, 캐리어 테이프에 적정한 장력을 부여하고, 캐리어 테이프(TCP)의 위치 결정을 정확하게 수행할 수 있는 동시에, 반송 중의 캐리어 테이프의 펄럭임을 억제할 수 있는 TCP 핸들링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 첫번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를, 반송 장치에 의해 반송하면서, 푸셔에 의해 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하여, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 상기 반송 장치는, 캐리어 테이프를 지지하여 상기 캐리어 테이프를 주행 및 정지시키기 위하여, 상기 푸셔의 전단측에 제 1스프로켓, 후단측에 2스프로켓을 구비하고 있고, 상기 제 1스프로켓에는, 상기 제 1스프로켓을 회전시킬 수 있는 구동원이 접속되어 있고, 상기 구동원은, 상기 제 1스프로켓 및 상기 제 2스프로켓에 지지된 캐리어 테이프에 대하여, 소정의 장력이 부여되도록 제어되는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(발명 1).

상기 발명(발명 1)에 있어서는, 제 1스프로켓의 구동원의 제어에 의하여, 캐리어 테이프에 과도한 스트레스를 주지 않고, 적당한 장력으로 캐리어 테이프를 지지할 수 있다. 그것에 의하여, 캐리어 테이프의 정지 시에는, 캐리어 테이프(TCP)의 위치 결정을 정확하게 수행할 수 있고, 캐리어 테이프의 반송 시에는, 캐리어 테이프의 펄럭임을 억제하여 캐리어 테이프를 고속 반송하는 것, 더 나아가서는 TCP 핸들링 장치의 처리 속도의 향상을 도모할 수 있다.

상기 발명(발명 1)에 있어서, 상기 구동원이 상기 제 1스프로켓에 부여하는 회전력은, 상기 제 2스프로켓의 회전 방향과는 역방향의 회전력인 것이 바람직하다(발명 2).

상기 발명(발명 1,2)에 있어서, 상기 제 1스프로켓과 상기 구동원의 사이에는, 진동을 흡수할 수 있는 접속 부재가 개재되어 있는 것이 바람직하다(발명 3).

상기 발명(발명 3)에 의하면, 제 1스프로켓의 구동원의 구동축에 진동이 발생하더라도, 접속 부재가 구동축의 진동을 흡수(반드시 진동을 100% 흡수하는 것을 의미하는 것은 아님. 본 명세서에서 동일)한 다음에 구동축의 회전력을 제 1스프로켓에 전달할 수 있다. 이것에 의해, 제 1스프로켓의 진동이 저감하고, 상기 진동에 기인하는 캐리어 테이프의 펄럭임이나 캐리어 테이프(TCP)의 위치 어긋남이 효과적으로 억제된다.

두번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를, 반송 장치에 의해 반송하면서, 푸셔에 의해 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하여, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 상기 반송 장치는, 상기 푸셔의 전단측에 설치된, 캐리어 테이프를 지지할 수 있는 스프로켓과, 상기 스프로켓에 대하여 캐리어 테이프의 주행 방향과는 역회전 방향의 회전력을 부여할 수 있는 구동원과, 상기 구동원의 구동축 및 상기 스프로켓의 회전축의 사이에 설치된, 진동을 흡수할 수 있는 접속 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(발명 4).

상기 발명(발명 4)에 의하면, 구동원의 구동축에 진동이 발생되더라도, 접속 부재가 구동축의 진동을 흡수한 다음에 구동축의 회전력을 스프로켓의 회전축에 전달할 수 있다. 이것에 의해, 스프로켓의 진동이 저감하고, 상기 진동에 기인하는 캐리어 테이프의 펄럭임이나 캐리어 테이프(TCP)의 위치 어긋남이 효과적으로 억제된다.

상기 발명(발명 4)에 있어서는, 상기 접속 부재가, 적어도 비틀림 방향으로 유연성을 갖는 부재인 것인 것이 바람직하다(발명 5). 이러한 부재에 의하면, 간단한 구조로 효과적으로 구동축의 진동을 흡수할 수 있다. 이러한 부재로서는, 예컨대 이른바 플렉시블 커플링이라고 불리우는 커플링을 사용할 수 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.

상기 발명(발명 4,5)에 있어서는, 상기 접속 부재가, 벨로우즈 구조를 갖는 부재인 것이 바람직하다(발명 6). 이러한 부재에 의하면, 벨로우즈 구조에 의해 효과적으로 구동축의 진동을 흡수할 수 있는 동시에, 구동축의 회전력을 효율적으로 스프로켓의 회전축으로 전달할 수 있다.

상기 발명(발명 4~6)에 있어서, 상기 구동원은 토크 모터인 것이 바람직하다(발명 7). 토크 모터에 의하면, 상기 스프로켓에 의한 장력 부여의 제어가 용이하다. 또한, 구동원이 토크 모터의 경우에 구동축에 진동이 발생되기 쉽지만, 그 진동을 접속 부재에 의해 흡수할 수 있다.

상기 발명(발명 4~7)에 있어서, 상기 스프로켓은, 캐리어 테이프를 상측으로부터 지지하도록 프레임에 설치되어 있고, 상기 프레임에는, 캐리어 테이프를 하측으로부터 지지하여 가이드하는 테이프 지지 부재가 설치되어 있는 것도 좋다(발명 8).

상기 발명(발명 8)에 의하면, 스프로켓 및 테이프 지지 부재에 의하여 캐리어 테이프를 상하 방향으로부터 지지할 수 있기 때문에, 캐리어 테이프의 필요없는 거동을 효과적으로 방지하여, 보다 고속의 반송이 가능하고, TCP 핸들링 장치의 처리 속도를 향상시킬 수 있는 동시에, 캐리어 테이프의 위치 어긋남을 효과적으로 억제할 수 있다.

두번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를, 반송 장치에 의해 반송되면서, 푸셔에 의해 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하여, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 상기 반송 장치는, 상기 푸셔의 전단측 및/또는 후단측에서 캐리어 테이프를 상측으로부터 지지하여 반송하는 스프로켓과, 상기 스프로켓을 지지하는 프레임을 구비하고 있고, 상기 프레임에는 캐리어 테이프를 하측으로부터 지지하여 가이드하는 테이프 지지 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(발명 9).

상기 발명(발명 9)에 의하면, 스프로켓 및 테이프 지지 부재에 의해 캐리어 테이프를 상하 방향으로부터 지지할 수 있기 때문에, 캐리어 테이프의 필요없는 거동을 효과적으로 방지하여, 보다 고속의 반송이 가능하고, TCP 핸들링 장치의 처리 속도를 향상시킬 수 있는 동시에, 스프로켓의 진동 등에 기인하는 캐리어 테이프의 위치 어긋남을 효과적으로 억제할 수 있다.

상기 발명(발명 9)에 있어서는, 캐리어 테이프를 흡착 홀드 할 수 있는 흡착 장치를 더 구비하여도 좋다(발명 10). 이 흡착 장치는, 가이드에 의해 위치 어긋남이 억제된 캐리어 테이프를 흡착 고정할 수 있고, 따라서 피시험 TCP의 위치 결정을 용이하게 수행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험 장치를 도시한 정면도.

도 2는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유니트의 정면도.

도 3은 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 텐션 스프로켓의 구동 장치의 단면도.

도 4는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 접속 부재의 사시도.

도 5는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 테이프 지지 부재의 측면도.

도 6은 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 테이프 지지 부재의 사시도.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.

본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험 장치를 도 1에 도시한다.

TCP 시험 장치(1)는, 도시하지 않은 테스터 본체와, 테스터 본체에 전기적으로 접속된 테스트 헤드(10)와, 테스트 헤드(10)의 상측에 설치된 TCP 핸들러(2)로 구성된다.

TCP 핸들러(2)는, 캐리어 테이프(5) 상에 복수 형성된 각 TCP를 순차 시험에 제공하는 것으로, 본 실시 형태에서는 설명의 간략화를 위하여 TCP를 한개씩 시험에 제공하는 것으로 한다. 단, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 캐리어 테이프(5) 상에 있어서 직렬 방향 및/또는 병렬 방향으로 늘어선 복수의 TCP를 동시에 시험에 제공하여도 좋다.

TCP 핸들러(2)는, 권출 릴(21)과 권취 릴(22)을 구비하고 있고, 권출 릴(21)에는 시험 전의 캐리어 테이프(5)가 감겨져 있다. 캐리어 테이프(5)는, 권출 릴(21)로부터 풀려지고, 시험에 제공된 후에 권취 릴(22)에 감겨진다.

권출 릴(21)과 권취 릴(22)의 사이에는, 캐리어 테이프(5)로부터 박리된 보호 테이프(51)를 권출 릴(21)로부터 권취 릴(22)로 건네주는 3개의 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)이 설치되어 있다. 각 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)은, 보호 테이프(51)의 장력을 조정할 수 있도록, 각각 상하로 움직일 수 있게 되어 있다.

권출 릴(21)의 하측에는, 테이프 가이드(24a), 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로켓(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)가 설치되어 있고, 권출 릴(21)로부터 풀려진 캐리어 테이프(5)는, 테이프 가이드(24a)에 의해 가이드되면서, 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로켓(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)를 통과하여 푸셔 유니트(3)로 반송된다.

또한, 권취 릴(22)의 하측에는, 테이프 가이드(24b), 권취 리미트 롤러(25f), 외측 서브 스프로켓(25e) 및 외측 가이드 롤러(25d)가 설치되어 있고, 시험에 제공된 후의 캐리어 테이프(5)는, 외측 가이드 롤러(25d), 외측 서브 스프로켓(25e) 및 권취 리미트 롤러(25f)를 통과하여, 테이프 가이드(24b)에 의해 가이드되면서, 권취 릴(21)에 감겨진다.

내측 가이드 롤러(25c)와, 외측 가이드 롤러(25d)의 사이에는, 푸셔 유니트(3)가 설치되어 있고, 푸셔 유니트(3)의 전단측(도 1 중 좌측)에는 제 1카메라(6a)가, 푸셔 유니트(3)의 하측(후술하는 프로브 카드 스테이지(7)의 내측)에는 제 2카메라(6b)가, 푸셔 유니트(3)의 후단측(도 1 중 우측)에는 제 3카메라(6c)가 설치되어 있다. 또한, 푸셔 유니트(3)와 제 3카메라(6c)의 사이에는, 마크 펀 치(26a) 및 리젝트 펀치(26b)가 설치되어 있다.

마크 펀치(26a)는 시험 결과에 기초하여, 해당하는 TCP에 대하여 소정의 위치에 한개 또는 복수개의 구멍을 뚫는 것이고, 리젝트 펀치(26b)는 시험 결과 불량품이면 판단된 TCP를 구멍을 뚫는 것이다.

각 카메라(6a),(6b),(6c)는, 도시하지 않은 화상 처리 장치에 접속되어 있고, 제 1카메라(6a) 및 제 3카메라(6c)는, 캐리어 테이프(5) 상에서의 TCP의 유무나 마크 펀치(26a)에 의한 구멍 위치나 수를 판단하기 위한 것으로, 제 2카메라(6b)는 캐리어 테이프(5) 상의 TCP와 프로브의 위치 어긋남 정보를 취득하기 위한 것이다. 본 실시 형태에 있어서 제 2카메라(6b)는, 시야 내의 복수의 대상에 대하여 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있도록 되어 있다.

제 2카메라(6b)는 카메라 스테이지(61) 상에 탑재되어 있고, 카메라 스테이지(61)가 갖는 액츄에이터에 의해 평면에서 볼 때 종횡 방향(X축-Y축 방향) 및 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.

TCP 핸들러(2)의 본체부에는, 볼 나사(32)를 회전시킬 수 있는 서보 모터(31)가 브래킷(361)을 개재하여 설치되어 있는 동시에, 볼 나사(32)가 나사 결합되어 있는 푸셔 본체부(33)가 2개 Z축 방향의 리니어 모션 가이드(37)를 개재하여 설치되어 있다. 이 푸셔 본체부(33)는 서보 모터(31)를 구동시킴으로써, 리니어 모션 가이드(37)에 가이드되면서 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 푸셔 본체부(33)와 푸셔 유니트(3)의 프레임(푸셔 프레임)(36)은, 도시하지 않은 연동 기구에 의해 접속되어 있고, 상기와 같이 푸셔 본체부(33)가 상하로 움 직이면, 그것에 따라 푸셔 프레임(36)도 상하로 움직이도록 되어 있다.

상기 푸셔 본체부(33)의 하단부에는, 에어를 흡인함으로써 캐리어 테이프(5)를 흡착 홀드할 수 있는 흡착 플레이트(34)가 설치되어 있다.

푸셔 프레임(36)에서의 푸셔 본체부(33)의 전단측(도 1 중 좌측)에는, 텐션 스프로켓(35a)이 설치되어 있고, 푸셔 본체부(33)의 후단측(도 1 중 우측)에는, 메인 스프로켓(35b)이 설치되어 있다. 이하, 텐션 스프로켓(35a)및 메인 스프로켓(35b)을 종합하여 푸셔 스프로켓(35a),(35b)이라 하는 경우가 있다.

푸셔 유니트(3)는, 도시하지 않은 푸셔 스테이지에 접속되어 있다. 푸셔 스테이지는, 복수의 볼 나사를 개재하여 서보 모터에 접속되어 있고(도시 생략), 서보 모터의 구동에 의해, 푸셔 유니트(3)를 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동시킬 수 있는 동시에, 푸셔 유니트(3)를 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전시킬 수 있다.

푸셔 유니트(3)의 하측으로서, 테스트 헤드(10)의 상부에는, 프로브 카드(8)를 탑재한 프로브 카드 스테이지(7)가 설치되어 있다. 프로브 카드 스테이지(7)는, 복수의 볼 나사를 개재하여 서보 모터에 접속되어 있고(도시 생략), 서보 모터의 구동에 의해 프로브 카드(8)를 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동시킬 수 있는 동시에, 프로브 카드(8)를 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전시킬 수 있다.

복수의 프로브(81)를 구비한 프로브 카드(8)는, 핀에 의해 프로브 카드 스테이지(7)의 카드 링에 착탈이 자유롭게 설치되어 있다(도시 생략). 한편, 프로브 카드(8)의 각 프로브(81)는, 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체에 전기적으로 접속되어 있고, 프로브 카드(8)의 하측으로서, 프로브 카드 스테이지(7)의 내측에는 제 2카메라(6b)가 위치하고 있다.

이 TCP 시험 장치(1)에서는, 캐리어 테이프(5)는 푸셔 유니트(3)의 하측을 통과하도록 반송되어, 이 캐리어 테이프(5)를 푸셔 유니트(3)가 흡착·지지하면서 테스트 헤드(10) 상의 프로브 카드(8)에 압압한다. 그러면, 캐리어 테이프(5) 상의 TCP가 프로브 카드(8)의 프로브(81)에 콘택트되어 테스트 신호가 TCP로 인가되고, TCP로부터 판독된 응답 신호는, 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체로 보내진다. 이것에 의해 TCP의 성능이나 기능 등이 시험된다.

이러한 시험은, 캐리어 테이프(5)가 반송됨으로써, 캐리어 테이프(5) 상의 모든 TCP에 대하여 순차적으로 수행된다. 그리고, 시험 결과에 기초하여 마크 펀치(26a) 또는 리젝트 펀치(26b)가 구동된다.

[푸셔 유니트]

도 2는 도 1에 도시한 TCP 핸들러에서의 푸셔 유니트의 정면도이다.

상술한 바와 같이, 푸셔 유니트(3)의 푸셔 프레임(36)에서의 푸셔 본체부(33)의 전단측에는 텐션 스프로켓(35a)이, 후단측에는 메인 스프로켓(35b)이 설치되어 있다.

메인 스프로켓(35b)은, 정회전 및 역회전 가능한 주 구동원, 일반적으로 스 텝핑 모터로 구동되어, 캐리어 테이프(5)를 소정 간격으로 반송한다. 한편, 텐션 스프로켓(35a)은, 후술하는 구동 장치(4)에 의해 케리어 테이프(5)의 주행 방향으로 부하를 걸음으로써, 캐리어 테이프(5)에 소정의 장력을 부여한다. 이들 스프로켓(35a),(35b)의 구동은, TCP 핸들러(2)의 제어부(도시 생략)에 의해 제어된다.

이와 같이 하여, 텐션 스프로켓(35a) 및 메인 스프로켓(35b)은, 푸셔 본체(33)의 양측에서 캐리어 테이프를 똑바로 펴서, 캐리어 테이프(5)의 위치 정밀도를 향상시킨다.

TCP의 시험 시에는, 푸셔 본체(33) 하단부의 흡착 플레이트(34)에 의해 캐리어 테이프(5)를 흡착 홀드하고, 텐션 스프로켓(35a) 및 메인 스프로켓(35b)에 의해 캐리어 테이프(5)를 지지하면서, 푸셔 유니트(3)가 아래 방향으로 이동하여, 캐리어 테이프(5)를 프로브 카드(8)에 압압하여, 캐리어 테이프(5) 상의 TCP를 프로브 카드(8)의 프로브(81)에 콘택트시킨다.

[텐션 스프로켓의 구동 장치]

도 3은 도 2에 도시한 푸셔 유니트에서의 텐션 스프로켓의 구동 장치의 측면도이다. 도 4는 도 3에 도시한 구동 장치에서의 접속 부재의 사시도이다.

텐션 스프로켓(35a)의 구동 장치(4)는, 구동원(41)과, 브레이크 부재(42)와, 접속 부재(43)와, 함체(44)와, 회전축(45)을 포함하여 구성된다.

구동원(41)은, 구동축(411)에 캐리어 테이프(5)의 반송 방향과는 역방향의 회전력(토크)를 주는 토크 모터이다. 구동축(411)에 주어지는 토크의 크기는, 구동원(41)에 공급되는 전압 등에 의해 제어할 수 있다. 이 구동원(41)은, 구동축(411)이 푸셔 프레임(36)의 배면측으로부터 함체(44) 내로 삽입되게 하여 배치되어 있고, 구동축(411)은 중간 기어(46),(47)를 개재하여 회전축(45)에 연결되어 있다.

본 실시 형태에서의 브레이크 부재(42)는, 푸셔 프레임(36)의 배면측에서 회전축(45)에 설치되어 있고, 비통전 시에 회전축(45)을 파지하여 회전축(45)의 정지 위치를 홀드하고, 통전 시에 그 파지를 해제할 수 있는 것이다.

이들 구동원(41) 및 브레이크 부재(42)는, TCP 핸들러(2)의 제어부(도시 생략)에 접속되어 있고, 이 제어부에 의해 구동이 제어된다.

한편, 텐션 스프로켓(35a)은, 그 회전축(351)이 푸셔 프레임(36)의 전단측으로부터 함체(44) 내의 축받이(352)에 삽입됨으로써, 상기 축받이(352)에 의해 회전이 자유롭게 지지되어 있다.

여기서, 구동원(41)측의 회전축(45)과, 텐션 스프로켓(35a)의 회전축(351)은, 접속 부재(43)를 개재하여 접속되어 있다. 이 접속 부재(43)는, 진동을 흡수하는 기능을 갖는 것으로, 예컨대 비틀림 방향으로 유연성을 갖는 부재(이른바 플렉시브 커플링)가 사용된다. 본 실시 형태에서는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같은 벨로우즈 커플링이 채용되어 있다. 단 접속 부재(43)는 이것에 한정되는 것은 아니고, 예컨대 탄성 부재, 점성 부재 기타 진동 흡수 부재를 사용할 수도 있다.

캐리어 테이프(5)의 정지 시에 있어서, 메인 스프로켓(35b)은, 메인 스프로켓(35b)이 지지하고 있는 캐리어 테이프(5)를 정지 상태로 유지한다. 한편, 구동원(41)은, 구동축(411)에 캐리어 테이프(5)의 반송 방향과는 역방향의 토크를 주고 있기 때문에, 중간 기어(46),(47), 접속 부재(43) 및 회전축(351)을 개재하여, 텐션 스프로켓(35a)은 캐리어 테이프(5)를 그 반송 방향과는 역방향으로 잡아 당긴다(외견상은 정지 상태이다). 여기서, 구동축(411)에 주어지는 토크는, 구동원(41)으로 공급되는 전압 등을 제어하는 것으로써, 소망의 크기로 제어할 수 있다. 이것에 의해, 캐리어 테이프(5)에는 소정의 장력이 부여되고, 캐리어 테이프(5)의 위치 어긋남을 방지하여 TCP의 위치 결정을 용이하게 수행할 수 있게 된다.

캐리어 테이프(5)의 반송 시에는, 메인 스프로켓(35b)은, 주 구동원에 의해 메인 스프로켓(35b)이 지지되어 있는 캐리어 테이프(5)를 반송 방향(도 1 및 도 중 우방향)으로 이동시킨다. 캐리어 테이프(5)의 반송에 의해, 메인 스프로켓(35b)과 함께 캐리어 테이프(5)를 지지하고 있는 텐션 스프로켓(35a)에는, 정회전 방향의 힘이 작용한다. 한편, 구동원(41)은, 구동축(411)에 캐리어 테이프(5)의 반송 방향과는 역방향의 토크를 주고 있다. 단, 그 역방향의 토크 크기는, 메인 스프로켓(35b)의 주 구동원이 메인 스프로켓(35b)을 구동하는 토크의 크기보다도 작기 때문에, 캐리어 테이프(5)의 반송에 의해, 텐션 스프로켓(35a)의 회전축(351), 접속 부재(43), 중간 기어(46),(47) 및 구동원(41)의 구동축(411)은, 구동원(41)에 의한 토크가 걸린 상태에서 정회전 방향으로 회전한다. 그 결과, 캐리어 테이프(5)에는 소정의 장력이 부여되어, 캐리어 테이프(5)의 펄럭임을 억제하여 캐리어 테이프(5)를 고속 반송하는 것, 또는 TCP 핸들러(2)에 의한 처리 속도의 향상이 가능하게 된다.

상기와 같이, 텐션 스프로켓(35a) 및 메인 스프로켓(35b)에 의하면, 캐리어 테이프(5)의 반송 중 및 정지 중 어느 하나에 있어서도, 캐리어 테이프(5)에 대하여 소정의 장력을 부여할 수 있다. 캐리어 테이프(5)의 장력의 최적 크기는, 캐리어 테이프(5)의 두께, 폭, 강도 등; TCP의 무게, 크기 등; 반송 속도 등에 의해 달라지고, 텐션 스프로켓(35a)의 구동원(41)에 공급되는 전압 등을 소정의 크기로 제어함으로써 캐리어 테이프(5)의 장력을 조정할 수 있다. 이것에 의해, 캐리어 테이 프(5)의 스프로켓 구멍에 과도한 스트레스를 주지 않고, 적당한 장력에서 캐리어 테이프(5)를 지지할 수 있다. 한편, 구동원(41)에 공급되는 전압 등은, 캐리어 테이프(5)나 구동계의 관성 모멘트를 고려하여, 반송 속도, 반송 개시, 반송 정지 등의 반송 조건의 변경에 따라 적절하게 변경하도록 제어하여도 좋다.

여기서, 구동원(41)의 구동축(411)에 주어지는 토크의 크기 등에 따라서는, 구동축(411)에 진동이 발생하는 경우가 있고, 그 진동은 중간 기어(46),(47)를 개재하여 회전축(45)으로 전달된다. 이러한 진동이 텐션 스프로켓(35a)을 개재하여 반송 중의 캐리어 테이프(5)로 전달되면, 캐리어 테이프(5)의 펄럭임이나 위치 어긋남의 원인이 된다.

그러나, 본 실시 형태에 있어서는, 회전축(45)과 텐션 스프로켓(35a)의 회전축(351)의 사이에는, 진동을 흡수할 수 있는 접속 부재(43)가 개재되어 있기 때문에, 그 진동은 접속 부재(43)에 의해 흡수된 다음에, 회전축(45)의 회전력이 텐션 스프로켓(35a)의 회전축(351)으로 전달된다.

본 실시 형태에서는, 접속 부재(43)로서 벨로우즈 커플링을 사용하고 있기 때문에, 상기 회전축(45)의 진동은 효과적으로 흡수되는 동시에, 회전축(45)의 회전력은 텐션 스프로켓(35a)의 회전축(351)으로 효율적으로 전달된다.

이와 같이 하여, 구동원(41)의 구동축(411)에 진동이 발생된 경우더라도, 그 진동이 텐션 스프로켓(35a)으로 전달되는 것이 억제되고, 따라서 텐션 스프로켓(35a)의 진동에 기인하는 캐리어 테이프(5)의 펄럭임이나 위치 어긋남이 효과적으로 제어된다.

한편, 본 실시 형태의 TCP 핸들러(2)에서는, 구동 장치(4)의 접속 부재(43)는 벨로우즈 커플링이고, 이러한 구성은 회전력이 회전축(45)으로부터 텐션 스프로켓(35a)으로 전달되는 때에, 회전축(45)의 진동이 효과적으로 흡수되는 점에서 바람직하다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, 접속 부재(43)의 재질 및 형상·구조는, 당업자 자명의 범위내에서 임의로 선택할 수 있다. 구체적으로는, 접속 부재(43)는, 비틀림 부하 등에 의해 변형되어 회전축(45)의 진동을 흡수할 수 있는 것이라면 충분하다. 예컨대, 접속 부재(43)는, 고무 재료로 이루어지는 단순한 기둥 형상 부재더라도 좋고, 수지계 재료로 이루어지는 스네이크 형상 부재더라도 좋고, 금속 재료로 이루어지는 코일 형상 부재더라도 좋다(도시 생략).

[푸셔 유니트의 테이프 지지 부재]

도 5 및 도 6은, 도 2에 도시한 푸셔 유니트의 테이프 지지 부재의 측면도(도 5) 및 사시도(도 6)이다.

본 실시 형태의 TCP 핸들러(2)에서는, 도 2에 도시한 바와 같이, 푸셔 유니트(3)의 푸셔 프레임(36)에서의 푸셔 본체(33)와 텐션 스프로켓(35a)의 사이, 및 푸셔 본체(33)와 메인 스프로켓(35b)의 사이에는, 한쌍의 테이프 지지 부재(39a),(39b)가 설치되어 있고, 이들 테이프 지지 부재(39a),(39b)에 의해 캐리어 테이프(5)가 아래 방향으로부터 지지된다.

이들 테이프 지지 부재(39a),(39b)는, 측면에서 볼 때 대략 L자형 형상을 갖고, 그 수직부에서 푸셔 프레임(36)의 벽면에 고정되어 있는 동시에, 그 수평부를 푸셔 프레임(36)의 전단측(Y축 방향)으로 돌출시켜 설치되어 있다(도 5, 도 6 참 조).

또한, 테이프 지지 부재(39a),(39b)의 수평부의 상면측에는, 캐리어 테이프(5)에 형성된 TCP의 외부 단자가 테이프 지지 부재(39a),(39b)에 접촉되지 않도록 홈(391)이 형성되어 있다. 이 테이프 지지 부재(39a),(39b)는, 반송되는 캐리어 테이프(5)를 하측으로부터 지지하여, 가이드하는 기능을 갖는다.

이 TCP 핸들러(2)에서는, 캐리어 테이프(5)는 테이프 지지 부재(39a),(39b)상에 놓여져서 하측으로부터 지지되는 동시에(도 2 참조), 이들 테이프 지지 부재(39a),(39b)의 전단측 및 후단측에서 상측으로부터 푸셔 스프로켓(35a),(35b)에 의해 지지된다. 이와 같이, 캐리어 테이프(5)는, 푸셔 유니트(3)의 근방에서 상하 방향으로부터 지지되기 때문에, 캐리어 테이프(5)의 불필요한 거동을 방지하여, 보다 고속의 반송이 가능하게 되고, TCP 핸들러(2)의 처리 속도를 향상시킬 수 있다. 또한, 반면에 상술한 바와 같은 텐션 스프로켓(35a)의 구동원(41)으로부터의 진동이 텐션 스프로켓(35a)으로 전달되더라도, 캐리어 테이프(5)의 펄럭임이나 위치 어긋남은 효과적으로 억제된다.

또한, 푸셔 본체(33)의 흡착 플레이트(34)는, TCP의 시험 시에 캐리어 테이프(5)를 흡착 홀드함으로써 캐리어 테이프(5)를 고정하고, 피시험 TCP의 위치 결정을 용이하게 하나, 캐리어 테이프(5)에 펄럭임이 발생하고 있는 상태에서는, 안정되게 흡착할 수 없는 경우가 있다.

그러나, 캐리어 테이프(5)는, 푸셔 스프로켓(35a),(35b) 및 테이프 지지 부재(39a),(39b)에 의해 상하 방향으로부터 지지되어, 그 펄럭임이 억제되어 있기 때 문에, 흡착 플레이트(34)에 의한 캐리어 테이프(5)의 흡착은 안정되게 되고, 캐리어 테이프(5)의 위치 어긋남은 효과적으로 억제된다. 이것에 의해, 피시험 TCP의 위치 결정을 정확하게 수행할 수 있다.

한편, 본 실시 형태의 TCP 핸들러(2)에서는, 한쌍의 테이프 지지 부재(39a),(39b)가 설치되어 있고, 이들 테이프 지지 부재(39a),(39b)에 의해 캐리어 테이프(5)가 지지되기 때문에, 단일의 테이프 지지 부재(39)만이 설치되는 구성과 비교하여, 캐리어 테이프(5)가 안정적으로 지지된다. 이것에 의해, 캐리어 테이프(5)의 펄럭임이나 위치 어긋남이 보다 효과적으로 억제된다.

단, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 단일의 테이프 지지 부재(39)만이 설치되어도 좋고, 보다 많은 테이프 지지 부재(39)가 설치되어도 좋다. 또한, 테이프 지지 부재(39)의 형상은, 측면에서 볼 때 L자형 형상에 한정되는 것은 아니다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 TCP 핸들링 장치에 의하면, 캐리어 테이프 테이프에 적정한 장력을 부여하고, 캐리어 테이프 테이프(TCP)의 위치 결정을 정확하게 수행할 수 있는 동시에, 반송 중의 캐리어 테이프의 펄럭임을 억제할 수 있기 때문에, TCP의 시험을 정확하게, 또한 빠른 처리 속도로 수행할 수 있다.

Claims (10)

1. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송 장치에 의해 반송하면서, 푸셔에 의해 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하여, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP핸들링 장치로서,

   상기 반송장치는 캐리어 테이프를 지지하여 상기 캐리어 테이프를 주행 및 정지시키기 위하여, 상기 푸셔의 전단측에 제 1스프로켓, 후단측에 제 2스프로켓을 구비하고 있고,

   상기 제 1스프로켓에는 상기 제 1스프로켓을 회전시킬 수 있는 구동원이 접속되어 있고,

   상기 구동원은 제어부에 의해 제어되며,

   상기 구동원은 토크 모터이고, 상기 토크 모터는 상기 제 1스프로켓 및 상기 제 2스프로켓에 지지된 상기 캐리어 테이프에 대하여 소정의 장력이 부여되도록 하는 동시에, 상기 캐리어 테이프의 반송시에 상기 제 1스프로켓이 상기 제 2스프로켓에 대하여 역회전하지 않도록 상기 제어부에 의해 토크 제어되는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,

   상기 제 1스트로켓과 상기 구동원의 사이에는 진동을 흡수할 수 있는 접속부재가 게재되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
4. 삭제
5. 제 3항에 있어서,

   상기 접속부재가 적어도 비틀림 방향으로 유연성을 갖는 부재인 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
6. 제 3항에 있어서,

   상기 접속부재가 벨로우즈 구조를 갖는 부재인 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
7. 삭제
8. 제 1항에 있어서,

   상기 제 1스프로켓은 상기 캐리어 테이프상 상측으로부터 지지하도록 프레임에 설치되어 있고, 상기 프레임에는 상기 캐리어테이프를 하측으로부터 지지하여 가이드 하는 테이프 지지부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
9. 삭제
10. 삭제

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