JP2002107410A - Ｔａｂ用オートハンドラ - Google Patents
Ｔａｂ用オートハンドラInfo
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- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定部に接触させてＴＡＢの電気的特性を測
定する際に、ＴＡＢのたわみを無くして正確に測定部に
接触させる。 【解決手段】 電気的特性が測定されるべき帯状のＴＡ
Ｂ２をプローブ７１の上方に搬送し、プローブ７１に押
圧して電気的に接触させるＴＡＢ用オートハンドラ１に
おいて、ＴＡＢ２の上方に上下動自在に設けられ、ＴＡ
Ｂ２を上方から押圧してプローブ７１に接触させるプッ
シャ３と、プッシャ３とともに上下動自在に構成され、
ＴＡＢ２がプッシャ３の押圧によりプローブ７１に接触
される前にＴＡＢ２を挟持してＴＡＢ２を幅方向に引き
伸ばすクランプ部４とを備える。
定する際に、ＴＡＢのたわみを無くして正確に測定部に
接触させる。 【解決手段】 電気的特性が測定されるべき帯状のＴＡ
Ｂ２をプローブ７１の上方に搬送し、プローブ７１に押
圧して電気的に接触させるＴＡＢ用オートハンドラ１に
おいて、ＴＡＢ２の上方に上下動自在に設けられ、ＴＡ
Ｂ２を上方から押圧してプローブ７１に接触させるプッ
シャ３と、プッシャ３とともに上下動自在に構成され、
ＴＡＢ２がプッシャ３の押圧によりプローブ７１に接触
される前にＴＡＢ２を挟持してＴＡＢ２を幅方向に引き
伸ばすクランプ部４とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には帯状の
フィルムキャリアに実装されたＩＣチップをＩＣテスタ
と接続させてＩＣチップの電気的特性を測定し分類する
ＴＡＢ（ＴａｐｅＡｕｔｏｍａｔｅｄＢｏｎｄｉｎｇ：
テープ自動ボンディング）用オートハンドラに関するも
のである。
フィルムキャリアに実装されたＩＣチップをＩＣテスタ
と接続させてＩＣチップの電気的特性を測定し分類する
ＴＡＢ（ＴａｐｅＡｕｔｏｍａｔｅｄＢｏｎｄｉｎｇ：
テープ自動ボンディング）用オートハンドラに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ＴＡＢ用オートハンドラは、特開平７−
２３９３３６号に開示されているように、リールに巻か
れたＴＡＢ（ＩＣチップが実装されたフィルムキャリ
ア）を自動的に測定部まで逐次搬送し、測定部上に配置
され昇降するプッシャによりＴＡＢを下方に押圧するこ
とによってＴＡＢをプローブに接触させてテストし、測
定結果にもとづいて選別する。なお、ＴＡＢテープのＩ
Ｃチップには、例えばＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の駆
動用ＩＣがある。
２３９３３６号に開示されているように、リールに巻か
れたＴＡＢ（ＩＣチップが実装されたフィルムキャリ
ア）を自動的に測定部まで逐次搬送し、測定部上に配置
され昇降するプッシャによりＴＡＢを下方に押圧するこ
とによってＴＡＢをプローブに接触させてテストし、測
定結果にもとづいて選別する。なお、ＴＡＢテープのＩ
Ｃチップには、例えばＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の駆
動用ＩＣがある。
【０００３】まず、全体構成を説明する。図４に示すよ
うに、従来のＴＡＢ用オートハンドラはＴＡＢ２が巻か
れ測定部にＴＡＢ２を供給する供給リール１１、測定部
からのＴＡＢ２を巻き取り収容する収容リール１２、同
期して回転しＴＡＢ２を測定位置に送り出すスプロケッ
ト１３・１４、スプロケット１３・１４間に配置されＴ
ＡＢ２をプローブ７１に接触させるプッシャ１０２、ア
イドルプーリ１５〜１８、スプロケット１９・２０等に
より構成される。なお、ＴＡＢ２は、ＩＣチップ２ａ、
ＩＣチップ２ａを搭載するフィルムキャリア２ｂ、ＩＣ
チップ２ａと導通するテストパッド２ｃ等を備える（図
５参照）。
うに、従来のＴＡＢ用オートハンドラはＴＡＢ２が巻か
れ測定部にＴＡＢ２を供給する供給リール１１、測定部
からのＴＡＢ２を巻き取り収容する収容リール１２、同
期して回転しＴＡＢ２を測定位置に送り出すスプロケッ
ト１３・１４、スプロケット１３・１４間に配置されＴ
ＡＢ２をプローブ７１に接触させるプッシャ１０２、ア
イドルプーリ１５〜１８、スプロケット１９・２０等に
より構成される。なお、ＴＡＢ２は、ＩＣチップ２ａ、
ＩＣチップ２ａを搭載するフィルムキャリア２ｂ、ＩＣ
チップ２ａと導通するテストパッド２ｃ等を備える（図
５参照）。
【０００４】供給リール１１のＴＡＢ２はアイドルプー
リ１５を介してスプロケット１９に案内される。スプロ
ケット１９は、供給リール１１が送り出すＴＡＢ２をプ
ッシャ１０２側に走行させる。アイドルプーリ１６は回
転中心を固定し、スプロケット１９とスプロケット１３
間に介在して配置され、スプロケット１９により送り出
されたＴＡＢ２を測定部に案内する。プローブカード７
はプッシャ１０２と対向する形で装置に保持される。プ
ローブカード７は図示しないＩＣテスタのテストヘッド
にアタッチメントユニット７２を介して機械的または電
気的に分離可能に接続され、ＩＣテスタでＴＡＢ２は測
定される。プッシャ１０２はプッシャ装置により上下駆
動するように構成されている。ＴＡＢ２は、プッシャ１
０２の下方でかつプローブ７１の上方に設けられたクラ
ンプ部との間を走行し、プッシャ装置によりプローブ７
１に接触される前に、プッシャ１０２の下面とクランプ
部４とでＴＡＢ２を幅方向の両縁部で挟持される。
リ１５を介してスプロケット１９に案内される。スプロ
ケット１９は、供給リール１１が送り出すＴＡＢ２をプ
ッシャ１０２側に走行させる。アイドルプーリ１６は回
転中心を固定し、スプロケット１９とスプロケット１３
間に介在して配置され、スプロケット１９により送り出
されたＴＡＢ２を測定部に案内する。プローブカード７
はプッシャ１０２と対向する形で装置に保持される。プ
ローブカード７は図示しないＩＣテスタのテストヘッド
にアタッチメントユニット７２を介して機械的または電
気的に分離可能に接続され、ＩＣテスタでＴＡＢ２は測
定される。プッシャ１０２はプッシャ装置により上下駆
動するように構成されている。ＴＡＢ２は、プッシャ１
０２の下方でかつプローブ７１の上方に設けられたクラ
ンプ部との間を走行し、プッシャ装置によりプローブ７
１に接触される前に、プッシャ１０２の下面とクランプ
部４とでＴＡＢ２を幅方向の両縁部で挟持される。
【０００５】スプロケット１３・１４は、測定位置にお
けるプッシャ１０２の両翼に配置され、同期回転してＴ
ＡＢ２を１ピッチ分走行させる。また、スプロケット１
３・１４をそれぞれ回転制御させることで、スプロケッ
ト１３・１４により走行するＴＡＢ２を長手方向に移動
できる。スプロケット１３・１４によりＴＡＢ２を測定
位置に移動できるとともに、ＴＡＢ２に長手方向のテン
ションをかけてＴＡＢ２の屈曲や波打ち（特にＴＡＢ２
の長手方向の屈曲や波打ち）を防止する。アイドルプー
リ１７は回転中心を固定し、スプロケット２０とスプロ
ケット１４間に介在して配置され、スプロケット１４か
ら送り出されたＴＡＢ２をスプロケット２０側に案内す
る。スプロケット２０は収容リール１２側にＴＡＢ２を
走行させ、アイドルプーリ１８はスプロケット２０によ
り送られたＴＡＢ２を収容リール１２側に送り出して収
容リール１２に巻き上げさせる。上記構成によりＴＡＢ
２は、スプロケット１３・１４が同期して回転すること
でＴＡＢ２の１ピッチ分送られ、供給リール１１からス
プロケット１９、スプロケット１３、測定部、スプロケ
ット１４、スプロケット２０、収容リール１２の順に移
動する。
けるプッシャ１０２の両翼に配置され、同期回転してＴ
ＡＢ２を１ピッチ分走行させる。また、スプロケット１
３・１４をそれぞれ回転制御させることで、スプロケッ
ト１３・１４により走行するＴＡＢ２を長手方向に移動
できる。スプロケット１３・１４によりＴＡＢ２を測定
位置に移動できるとともに、ＴＡＢ２に長手方向のテン
ションをかけてＴＡＢ２の屈曲や波打ち（特にＴＡＢ２
の長手方向の屈曲や波打ち）を防止する。アイドルプー
リ１７は回転中心を固定し、スプロケット２０とスプロ
ケット１４間に介在して配置され、スプロケット１４か
ら送り出されたＴＡＢ２をスプロケット２０側に案内す
る。スプロケット２０は収容リール１２側にＴＡＢ２を
走行させ、アイドルプーリ１８はスプロケット２０によ
り送られたＴＡＢ２を収容リール１２側に送り出して収
容リール１２に巻き上げさせる。上記構成によりＴＡＢ
２は、スプロケット１３・１４が同期して回転すること
でＴＡＢ２の１ピッチ分送られ、供給リール１１からス
プロケット１９、スプロケット１３、測定部、スプロケ
ット１４、スプロケット２０、収容リール１２の順に移
動する。
【０００６】上記ＴＡＢ用オートハンドラは、図４の全
体構成図に示すように、ＴＡＢ２を供給リール１１から
収容リール１２に巻き取る。また、図５の部分断面図に
示すように、ＴＡＢ２は、プッシャ１０２とプッシャ１
０２の下方に設けられたクランプ部１０３との間を走行
する。図５における測定部１００のクランプ部１０３
は、ＴＡＢ２の幅方向の端部をプッシャ１０２とで挟ん
で保持する。プッシャ１０２が下降することで、クラン
プ１０３とともにＴＡＢ１１０を挟んで保持し、プッシ
ャ１０２とクランプ部１０３とでＴＡＢ２を保持した状
態で更に下降してプローブカード７のプローブ７１にＴ
ＡＢ２のテストパッド２ｃを接触させる。これによりＴ
ＡＢ２のＩＣチップ２ａの電気的特性が測定される。
体構成図に示すように、ＴＡＢ２を供給リール１１から
収容リール１２に巻き取る。また、図５の部分断面図に
示すように、ＴＡＢ２は、プッシャ１０２とプッシャ１
０２の下方に設けられたクランプ部１０３との間を走行
する。図５における測定部１００のクランプ部１０３
は、ＴＡＢ２の幅方向の端部をプッシャ１０２とで挟ん
で保持する。プッシャ１０２が下降することで、クラン
プ１０３とともにＴＡＢ１１０を挟んで保持し、プッシ
ャ１０２とクランプ部１０３とでＴＡＢ２を保持した状
態で更に下降してプローブカード７のプローブ７１にＴ
ＡＢ２のテストパッド２ｃを接触させる。これによりＴ
ＡＢ２のＩＣチップ２ａの電気的特性が測定される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のＴＡＢ用オートハンドラでは、クランプ部１
０３はプッシャ１０２とともにＴＡＢ１１０を保持する
だけの構成であるので、ＴＡＢ２は、フィルムキャリア
２ｂの中央に実装されているＩＣチップ２ａの重みによ
り中央がたわんだ状態でプッシャ１０２及びクランプ部
１０３に保持され、ＴＡＢ２が下降された際にプローブ
７１に正確に接触できない可能性があり、その際には再
度正確に接触させて測定する必要が生じ選別時間が多く
要する。また、近年、ＩＣの軽薄短小化が進んでいるた
め、ＴＡＢにおけるフィルムキャリアが薄くなり、プッ
シャ１０２を下降させてクランプ部１０３とで挟んで保
持する際に、フィルムキャリア１１３がたわむ可能性が
増えることになり上記問題が生じる可能性がある。
うな従来のＴＡＢ用オートハンドラでは、クランプ部１
０３はプッシャ１０２とともにＴＡＢ１１０を保持する
だけの構成であるので、ＴＡＢ２は、フィルムキャリア
２ｂの中央に実装されているＩＣチップ２ａの重みによ
り中央がたわんだ状態でプッシャ１０２及びクランプ部
１０３に保持され、ＴＡＢ２が下降された際にプローブ
７１に正確に接触できない可能性があり、その際には再
度正確に接触させて測定する必要が生じ選別時間が多く
要する。また、近年、ＩＣの軽薄短小化が進んでいるた
め、ＴＡＢにおけるフィルムキャリアが薄くなり、プッ
シャ１０２を下降させてクランプ部１０３とで挟んで保
持する際に、フィルムキャリア１１３がたわむ可能性が
増えることになり上記問題が生じる可能性がある。
【０００８】この発明の課題は、プローブに接触させて
ＴＡＢの電気的特性を測定する際に、ＴＡＢのたわみを
無くして正確に測定部に接触させる。
ＴＡＢの電気的特性を測定する際に、ＴＡＢのたわみを
無くして正確に測定部に接触させる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、例えば、図２に示すよう
に、ＴＡＢ２を測定部に搬送し、前記測定部においてＴ
ＡＢ２をプローブ７に接触させるＴＡＢ用オートハンド
ラ１であって、前記ＴＡＢ２の上方に上下動自在に設け
られ、前記ＴＡＢ２を上方から押圧してプローブに接触
させるプッシャ３と、前記プッシャとともに上下動し、
前記ＴＡＢが前記プッシャの押圧により前記測定部に接
触される前に前記ＴＡＢを挟持して該ＴＡＢを幅方向に
引き伸ばすクランプ部４とを備えることを特徴とする。
め、請求項１記載の発明は、例えば、図２に示すよう
に、ＴＡＢ２を測定部に搬送し、前記測定部においてＴ
ＡＢ２をプローブ７に接触させるＴＡＢ用オートハンド
ラ１であって、前記ＴＡＢ２の上方に上下動自在に設け
られ、前記ＴＡＢ２を上方から押圧してプローブに接触
させるプッシャ３と、前記プッシャとともに上下動し、
前記ＴＡＢが前記プッシャの押圧により前記測定部に接
触される前に前記ＴＡＢを挟持して該ＴＡＢを幅方向に
引き伸ばすクランプ部４とを備えることを特徴とする。
【００１０】請求項１記載の発明によれば、ＴＡＢはプ
ローブに接触される前に、前記クランプ部により測定部
に搬送されたＴＡＢの幅方向の両端部を挟持して、該Ｔ
ＡＢを幅方向に引き伸ばすことができるので、前記ＴＡ
Ｂは屈曲や弛み等が無い状態、つまり張った状態で前記
クランプ部に保持される。したがって、プッシャの下降
とともに前記クランプ部をＴＡＢを張った状態で下降さ
せて前記プッシャにより前記プローブに正確に接触させ
ることができる。
ローブに接触される前に、前記クランプ部により測定部
に搬送されたＴＡＢの幅方向の両端部を挟持して、該Ｔ
ＡＢを幅方向に引き伸ばすことができるので、前記ＴＡ
Ｂは屈曲や弛み等が無い状態、つまり張った状態で前記
クランプ部に保持される。したがって、プッシャの下降
とともに前記クランプ部をＴＡＢを張った状態で下降さ
せて前記プッシャにより前記プローブに正確に接触させ
ることができる。
【００１１】請求項２記載の発明は、請求項１記載のＴ
ＡＢ用オートハンドラにおいて、例えば、図２及び図３
に示すように、前記クランプ部４は、前記ＴＡＢ２の幅
方向の両端部をそれぞれ挟持する一対のクランパー（４
０Ａ・４０Ｂ）を持ち、前記クランパーは、前記プッシ
ャの下部に前記ＴＡＢの幅方向に移動自在に設けられた
上クランパー（５１・５２）と、前記プッシャの下方に
前記ＴＡＢの幅方向に移動自在に配置され、前記プッシ
ャが下降することにより前記上クランパーとでＴＡＢの
幅方向の端部を挟持する下クランパー（４１・４２）と
を有し、前記下クランパーを前記ＴＡＢの幅方向に移動
させるクランパー移動手段（例えば、下クランパー支持
部４４）を備えることを特徴とする。
ＡＢ用オートハンドラにおいて、例えば、図２及び図３
に示すように、前記クランプ部４は、前記ＴＡＢ２の幅
方向の両端部をそれぞれ挟持する一対のクランパー（４
０Ａ・４０Ｂ）を持ち、前記クランパーは、前記プッシ
ャの下部に前記ＴＡＢの幅方向に移動自在に設けられた
上クランパー（５１・５２）と、前記プッシャの下方に
前記ＴＡＢの幅方向に移動自在に配置され、前記プッシ
ャが下降することにより前記上クランパーとでＴＡＢの
幅方向の端部を挟持する下クランパー（４１・４２）と
を有し、前記下クランパーを前記ＴＡＢの幅方向に移動
させるクランパー移動手段（例えば、下クランパー支持
部４４）を備えることを特徴とする。
【００１２】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明と同様の効果を得ることができるとともに、前
記プッシャを下降させると前記上クランパーと下クラン
パーとで前記ＴＡＢの両端部は挟持され、前記クランパ
ー移動手段により下クランパーをＴＡＢの幅方向に離間
するように移動させることで、上クランパーは下クラン
パーに追従して移動し、前記ＴＡＢを幅方向に容易に引
き伸ばすことができる。したがって、下クランパーを移
動させるだけでＴＡＢを幅方向に引き伸ばすことがで
き、下クランパーとでＴＡＢの端部を挟持する上クラン
パーを独立して駆動させる駆動手段を設ける必要がなく
構造の簡易化を図れる。
載の発明と同様の効果を得ることができるとともに、前
記プッシャを下降させると前記上クランパーと下クラン
パーとで前記ＴＡＢの両端部は挟持され、前記クランパ
ー移動手段により下クランパーをＴＡＢの幅方向に離間
するように移動させることで、上クランパーは下クラン
パーに追従して移動し、前記ＴＡＢを幅方向に容易に引
き伸ばすことができる。したがって、下クランパーを移
動させるだけでＴＡＢを幅方向に引き伸ばすことがで
き、下クランパーとでＴＡＢの端部を挟持する上クラン
パーを独立して駆動させる駆動手段を設ける必要がなく
構造の簡易化を図れる。
【００１３】請求項３記載の発明は、請求項２記載のＴ
ＡＢ用オートハンドラ１において、例えば、図２に示す
ように、前記クランパー移動手段４４は、前記下クラン
パー同しを互いに同期して離間する方向に移動させるこ
とを特徴とする。
ＡＢ用オートハンドラ１において、例えば、図２に示す
ように、前記クランパー移動手段４４は、前記下クラン
パー同しを互いに同期して離間する方向に移動させるこ
とを特徴とする。
【００１４】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明と同様の効果を得ることができるとともに、前
記下クランパー同しは前記クランパー移動手段により互
いに同期して離間する方向に移動するので、前記下クラ
ンパー及び前記上クランパーにより引き伸ばされるＴＡ
Ｂの中心位置がずれにくい。
載の発明と同様の効果を得ることができるとともに、前
記下クランパー同しは前記クランパー移動手段により互
いに同期して離間する方向に移動するので、前記下クラ
ンパー及び前記上クランパーにより引き伸ばされるＴＡ
Ｂの中心位置がずれにくい。
【００１５】請求項４記載の発明は、請求項２または３
記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、例えば、図３
に示すように、前記上クランパー５１・５２は付勢部材
３８により、前記下クランパーとともにＴＡＢ２の端部
を挟持可能な位置に復帰するように付勢されていること
を特徴とする。
記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、例えば、図３
に示すように、前記上クランパー５１・５２は付勢部材
３８により、前記下クランパーとともにＴＡＢ２の端部
を挟持可能な位置に復帰するように付勢されていること
を特徴とする。
【００１６】請求項４記載の発明によれば、前記上クラ
ンパーは前記付勢部材により前記下クランパーとともに
ＴＡＢ２の両端部を挟持可能な位置に復帰するように構
成されているので、下クランパーとともにＴＡＢを挟持
して引き伸ばした状態から、ＴＡＢの挟持を解除した際
に、前記付勢部材により前記挟持可能な位置に復帰され
る。よって、直ぐに、次に測定されるべきＴＡＢの幅方
向の両端部を挟持できる。
ンパーは前記付勢部材により前記下クランパーとともに
ＴＡＢ２の両端部を挟持可能な位置に復帰するように構
成されているので、下クランパーとともにＴＡＢを挟持
して引き伸ばした状態から、ＴＡＢの挟持を解除した際
に、前記付勢部材により前記挟持可能な位置に復帰され
る。よって、直ぐに、次に測定されるべきＴＡＢの幅方
向の両端部を挟持できる。
【００１７】請求項５記載の発明は、請求項２〜４のい
ずれかに記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、例え
ば図２に示すように、前記下クランパー４１・４２は付
勢部材４７・４８により上方に付勢された状態で前記プ
ッシャの下方に配置されていることを特徴とする。
ずれかに記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、例え
ば図２に示すように、前記下クランパー４１・４２は付
勢部材４７・４８により上方に付勢された状態で前記プ
ッシャの下方に配置されていることを特徴とする。
【００１８】請求項５記載の発明によれば、請求項２〜
４のいずれかに記載の発明と同様の効果を得ることがで
きるとともに、前記プッシャの下方に配置されている前
記下クランパー４１・４２は付勢部材４７・４８によっ
て上方に付勢されているので、上方から前記プッシャが
下降して前記上クランパーとでＴＡＢの幅方向の端部を
挟持する際に下クランパーは、上クランパーにより押圧
されたＴＡＢの端部により下方に押圧されるとともに前
記付勢部材により上方に付勢される。よって、ＴＡＢは
前記上クランパーと下クランパーとから押圧される状態
となり、前記ＴＡＢを確実に挟持できる。
４のいずれかに記載の発明と同様の効果を得ることがで
きるとともに、前記プッシャの下方に配置されている前
記下クランパー４１・４２は付勢部材４７・４８によっ
て上方に付勢されているので、上方から前記プッシャが
下降して前記上クランパーとでＴＡＢの幅方向の端部を
挟持する際に下クランパーは、上クランパーにより押圧
されたＴＡＢの端部により下方に押圧されるとともに前
記付勢部材により上方に付勢される。よって、ＴＡＢは
前記上クランパーと下クランパーとから押圧される状態
となり、前記ＴＡＢを確実に挟持できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形態
による部分構成図であり、図５に対応する。なお、以下
の説明において、従来技術と重複する説明は割愛する。
の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形態
による部分構成図であり、図５に対応する。なお、以下
の説明において、従来技術と重複する説明は割愛する。
【００２０】まず、測定位置に送られたＴＡＢ２をプロ
ーブ７１に接触させるプッシャ装置３０について図１か
ら図３に基づいて説明する。図１に示すように、基台３
１、第１のモータ３２、移動体３３、第２のモータ３
４、プッシャ３、一対のクランパー４０Ａ・４０Ｂを備
えるクランプ部４、ボールねじ部４５、モータ４６、付
勢部材（圧縮コイルばね）４７・４８等によりプッシャ
装置３０は構成される。基台３１は、図示しないＸＹス
テージにより前後左右に移動可能に設けられているとと
もに、基台３１に取り付けられたモータ３２により移動
体３３を上下動可能に支持する。モータ３２は基台３１
の上面に取り付けられ、回転軸３２ａが垂直方向に延在
するように配置されたボールねじ部３２ｂに連結されて
いる。ボールねじ部３２ｂは移動体３３に設けられたボ
ールナット（図示省略）に結合しており、モータ３２の
回転によりボールねじ部３２ｂが回転し、ボールねじ部
３２ｂに結合するボールナットを介して移動体３３が上
下動する。なお、移動体３３はボールねじ部３２ｂに結
合するボールナットを中心に回転しないように図示しな
いガイド部により規制されている。ガイド部は、例え
ば、基台に形成された突部と、移動体３３に形成され、
前記突部と嵌合し上下に延在する溝部材等からなる。
ーブ７１に接触させるプッシャ装置３０について図１か
ら図３に基づいて説明する。図１に示すように、基台３
１、第１のモータ３２、移動体３３、第２のモータ３
４、プッシャ３、一対のクランパー４０Ａ・４０Ｂを備
えるクランプ部４、ボールねじ部４５、モータ４６、付
勢部材（圧縮コイルばね）４７・４８等によりプッシャ
装置３０は構成される。基台３１は、図示しないＸＹス
テージにより前後左右に移動可能に設けられているとと
もに、基台３１に取り付けられたモータ３２により移動
体３３を上下動可能に支持する。モータ３２は基台３１
の上面に取り付けられ、回転軸３２ａが垂直方向に延在
するように配置されたボールねじ部３２ｂに連結されて
いる。ボールねじ部３２ｂは移動体３３に設けられたボ
ールナット（図示省略）に結合しており、モータ３２の
回転によりボールねじ部３２ｂが回転し、ボールねじ部
３２ｂに結合するボールナットを介して移動体３３が上
下動する。なお、移動体３３はボールねじ部３２ｂに結
合するボールナットを中心に回転しないように図示しな
いガイド部により規制されている。ガイド部は、例え
ば、基台に形成された突部と、移動体３３に形成され、
前記突部と嵌合し上下に延在する溝部材等からなる。
【００２１】移動体３３には、上面にプッシャ３を昇降
させるモータ３４、下クランパー支持部４４等が設けら
れ、モータ３４により移動体３３が下降することによ
り、ＴＡＢ２をクランプ部４で挟持した状態でプローブ
７１に接触させる。モータ３４は移動体３３の上面に回
転軸３４ａが垂直方向に延在するように取り付けられ、
回転軸３４ａは垂直方向に延在して配置されたボールね
じ部３４ｂに連結されている。ボールねじ部３４ｂはプ
ッシャ３に設けられたボールナット（図示省略）に螺合
しており、モータ３４の回転によりボールねじ部３４ｂ
が回転し、ボールねじ部３４ｂに結合するボールナット
を介して移動体３３が上下動する。なお、プッシャ３は
ボールねじ部３２ｂに結合するボールナットを中心に回
転しないように図示しないガイド部により規制されてい
る。ガイド部は、例えば、移動体に形成された突部と、
プッシャ３に形成され、前記突部と嵌合し上下に延在す
る溝部材等からなる。
させるモータ３４、下クランパー支持部４４等が設けら
れ、モータ３４により移動体３３が下降することによ
り、ＴＡＢ２をクランプ部４で挟持した状態でプローブ
７１に接触させる。モータ３４は移動体３３の上面に回
転軸３４ａが垂直方向に延在するように取り付けられ、
回転軸３４ａは垂直方向に延在して配置されたボールね
じ部３４ｂに連結されている。ボールねじ部３４ｂはプ
ッシャ３に設けられたボールナット（図示省略）に螺合
しており、モータ３４の回転によりボールねじ部３４ｂ
が回転し、ボールねじ部３４ｂに結合するボールナット
を介して移動体３３が上下動する。なお、プッシャ３は
ボールねじ部３２ｂに結合するボールナットを中心に回
転しないように図示しないガイド部により規制されてい
る。ガイド部は、例えば、移動体に形成された突部と、
プッシャ３に形成され、前記突部と嵌合し上下に延在す
る溝部材等からなる。
【００２２】プッシャ３は、ＴＡＢ２を挟んでプローブ
７１と対向する位置に配置され、下面でＴＡＢ２を下方
に押圧することによってＴＡＢ２をプローブ７１に電気
的接続させる。プッシャ３の下部において、ＴＡＢ２が
走行する方向と直交する方向の両側の端部には、下クラ
ンパー４１と上クランパー５１、そして下クランパー４
２と上クランパー５２とでそれぞれクランパー４０Ａ・
４０Ｂを構成するクランプ部４が設けられている。な
お、ＴＡＢ２は上クランパー５１・５２と下クランパー
４１・４２との間を走行する。また、クランパー４０Ａ
・４０ＢはＴＡＢの幅方向の両端部をそれぞれ挟持し、
離間して線対称な形に配置される。これら一対のクラン
パー４０Ａ・４０Ｂによりクランプ部４は構成される。
７１と対向する位置に配置され、下面でＴＡＢ２を下方
に押圧することによってＴＡＢ２をプローブ７１に電気
的接続させる。プッシャ３の下部において、ＴＡＢ２が
走行する方向と直交する方向の両側の端部には、下クラ
ンパー４１と上クランパー５１、そして下クランパー４
２と上クランパー５２とでそれぞれクランパー４０Ａ・
４０Ｂを構成するクランプ部４が設けられている。な
お、ＴＡＢ２は上クランパー５１・５２と下クランパー
４１・４２との間を走行する。また、クランパー４０Ａ
・４０ＢはＴＡＢの幅方向の両端部をそれぞれ挟持し、
離間して線対称な形に配置される。これら一対のクラン
パー４０Ａ・４０Ｂによりクランプ部４は構成される。
【００２３】上クランパー５１・５２はプッシャ３の下
部に、ＴＡＢ２の両端部を挟める程度に離間して配置さ
れ、それぞれＴＡＢ２の走行方向と直交する方向、つま
りＴＡＢ２の幅方向に開閉する。つまり、図２及び図３
に示すように、プッシャ３の下面部において、ＴＡＢ２
が走行する方向と直交する方向の両側の端部には、下方
に開口し内部が開口部より大きく断面凸状のガイド溝３
６が形成されている。このガイド溝３６はＴＡＢ２が走
行する方向と直行する方向に延在してなる。
部に、ＴＡＢ２の両端部を挟める程度に離間して配置さ
れ、それぞれＴＡＢ２の走行方向と直交する方向、つま
りＴＡＢ２の幅方向に開閉する。つまり、図２及び図３
に示すように、プッシャ３の下面部において、ＴＡＢ２
が走行する方向と直交する方向の両側の端部には、下方
に開口し内部が開口部より大きく断面凸状のガイド溝３
６が形成されている。このガイド溝３６はＴＡＢ２が走
行する方向と直行する方向に延在してなる。
【００２４】上クランパー５１・５２は、それぞれガイ
ド溝３６内に該ガイド溝３６の内側底面３６ａに係止
し、ガイド溝３６に沿って摺動する摺動部材５１０に結
合軸５１１を介して結合されている。摺動部材５１０は
ガイド溝３６内において該ガイド溝３６の外側端面と摺
動部材５１０との間に配設された付勢部材３８により内
側に移動するように付勢されている。つまり、上クラン
パー５１・５２は付勢部材３８により互いに接近する方
向に付勢されており、ＴＡＢ２に当接しない状態では平
面視してプッシャ３の中心側に復帰する。この位置はＴ
ＡＢ２の幅に対応した位置であり、ＴＡＢ２の幅方向の
縁部をそれぞれ挟持できる位置である。
ド溝３６内に該ガイド溝３６の内側底面３６ａに係止
し、ガイド溝３６に沿って摺動する摺動部材５１０に結
合軸５１１を介して結合されている。摺動部材５１０は
ガイド溝３６内において該ガイド溝３６の外側端面と摺
動部材５１０との間に配設された付勢部材３８により内
側に移動するように付勢されている。つまり、上クラン
パー５１・５２は付勢部材３８により互いに接近する方
向に付勢されており、ＴＡＢ２に当接しない状態では平
面視してプッシャ３の中心側に復帰する。この位置はＴ
ＡＢ２の幅に対応した位置であり、ＴＡＢ２の幅方向の
縁部をそれぞれ挟持できる位置である。
【００２５】下クランパー支持部４４は、ボールねじ部
４５、移動体本体に固定された軸受け５３・５４、下ク
ランパー本体部４Ａ・４Ｂ等から構成される。図１に示
すようにボールねじ部４５は、両端部で逆のねじ溝（ね
じ部４５ａ・４５ｂ）が形成された長尺の軸材であり、
移動体３３にＴＡＢ２と直交する方向に軸受け５３・５
４を介して取り付けられている。ボールねじ部４５は移
動体３３に固定されたモータ４６の回転軸に同一軸心と
なるように連結され、モータ４６の駆動により回転す
る。そしてねじ部４５ａ・４５ｂには、それぞれ、下ク
ランパー４１・４２の下クランパー本体部４Ａ・４Ｂに
固定されたナット部５７・５８が結合されている。
４５、移動体本体に固定された軸受け５３・５４、下ク
ランパー本体部４Ａ・４Ｂ等から構成される。図１に示
すようにボールねじ部４５は、両端部で逆のねじ溝（ね
じ部４５ａ・４５ｂ）が形成された長尺の軸材であり、
移動体３３にＴＡＢ２と直交する方向に軸受け５３・５
４を介して取り付けられている。ボールねじ部４５は移
動体３３に固定されたモータ４６の回転軸に同一軸心と
なるように連結され、モータ４６の駆動により回転す
る。そしてねじ部４５ａ・４５ｂには、それぞれ、下ク
ランパー４１・４２の下クランパー本体部４Ａ・４Ｂに
固定されたナット部５７・５８が結合されている。
【００２６】下クランパー本体部４Ａ・４Ｂはプッシャ
３を挟んで左右対称に配置され、それぞれ移動体３３に
ＴＡＢ２の長手方向と直交する方向、つまり送られるＴ
ＡＢ２の幅方向に移動可能に設けられている。また、下
クランパー本体部４Ａ・４Ｂはモータ４６を駆動させる
ことによりボールねじ部４５及びナット部５７・５８を
介して、互いに同期して移動して接近したり離間したり
する。このとき下クランパー本体部４Ａ・４Ｂ間の距離
の中心は、常にＴＡＢ２の幅方向の中心と同一平面上に
位置する。
３を挟んで左右対称に配置され、それぞれ移動体３３に
ＴＡＢ２の長手方向と直交する方向、つまり送られるＴ
ＡＢ２の幅方向に移動可能に設けられている。また、下
クランパー本体部４Ａ・４Ｂはモータ４６を駆動させる
ことによりボールねじ部４５及びナット部５７・５８を
介して、互いに同期して移動して接近したり離間したり
する。このとき下クランパー本体部４Ａ・４Ｂ間の距離
の中心は、常にＴＡＢ２の幅方向の中心と同一平面上に
位置する。
【００２７】下クランパー本体部４Ａ・４Ｂは、下端部
にそれぞれ下クランパー４１・４２を有するとともに鉛
直方向に延在しかつ鉛直方向に移動可能に設けられた軸
部４１１・４２１を備える。軸部４１１・４２１は上部
で下クランパー本体部４Ａ・４Ｂにそれぞれ設けられた
中空部４９を貫通しており、上部には中空部４９内を上
下動可能なフランジ部４１２・４２２が設けられてい
る。
にそれぞれ下クランパー４１・４２を有するとともに鉛
直方向に延在しかつ鉛直方向に移動可能に設けられた軸
部４１１・４２１を備える。軸部４１１・４２１は上部
で下クランパー本体部４Ａ・４Ｂにそれぞれ設けられた
中空部４９を貫通しており、上部には中空部４９内を上
下動可能なフランジ部４１２・４２２が設けられてい
る。
【００２８】フランジ部４１２・４２２はそれぞれ下面
と中空部の底面との間に配設された付勢部材４７・４８
により上方に付勢され、通常時、つまりＴＡＢ２を挟持
しない状態時において中空部４９の上面（内部の中空部
を上方で仕切る下クランパー本体部４Ａ・４Ｂの上側内
壁面）に係止される。通常時にフランジ部４１２・４２
２が中空部４９の上面に係止されているので、下クラン
パー４１・４２は上方への移動を抑制されている。上記
構成により下クランパー４１・４２は、それぞれ上下方
向と、ＴＡＢ２の幅方向に移動可能に支持され、互いに
近づいて上クランパー５１・５２と対向する位置に移動
するとともに、それぞれが離間する方向に移動する。な
お、下クランパー４１・４２の幅方向への移動はＴＡＢ
２の幅方向の中心を含む垂直な平面に対して対称に移動
する。また、下クランパー４１・４２が上クランパー５
１・５２とともにＴＡＢ２を挟持しない際には、付勢部
材４７・４８によりＴＡＢ２の下方において、下クラン
パー本体部４Ａ・４Ｂに対して最も高い位置に位置した
状態となる。
と中空部の底面との間に配設された付勢部材４７・４８
により上方に付勢され、通常時、つまりＴＡＢ２を挟持
しない状態時において中空部４９の上面（内部の中空部
を上方で仕切る下クランパー本体部４Ａ・４Ｂの上側内
壁面）に係止される。通常時にフランジ部４１２・４２
２が中空部４９の上面に係止されているので、下クラン
パー４１・４２は上方への移動を抑制されている。上記
構成により下クランパー４１・４２は、それぞれ上下方
向と、ＴＡＢ２の幅方向に移動可能に支持され、互いに
近づいて上クランパー５１・５２と対向する位置に移動
するとともに、それぞれが離間する方向に移動する。な
お、下クランパー４１・４２の幅方向への移動はＴＡＢ
２の幅方向の中心を含む垂直な平面に対して対称に移動
する。また、下クランパー４１・４２が上クランパー５
１・５２とともにＴＡＢ２を挟持しない際には、付勢部
材４７・４８によりＴＡＢ２の下方において、下クラン
パー本体部４Ａ・４Ｂに対して最も高い位置に位置した
状態となる。
【００２９】次に、これら下クランパー４１・４２、上
クランパー５１・５２を備えたクランプ部４でＴＡＢ２
を挟持する方法について説明する。モータ３４を回転さ
せることによりプッシャ３を下降させる。プッシャ３の
下降により上クランパー５１・５２はＴＡＢ２に当接さ
れ、さらにＴＡＢ２が下クランパー４１・４２に当接さ
れる。その際、上クランパー５１・５２がＴＡＢ２を下
方に押圧する状態となるとともに、その押圧に対して下
クランパー４１・４２が付勢部材４７・４８により上方
に付勢されて下方からＴＡＢ２を押圧する。よって、Ｔ
ＡＢ２の両縁部は上下クランパー４１・４２・５１・５
２により確実に挟持される。
クランパー５１・５２を備えたクランプ部４でＴＡＢ２
を挟持する方法について説明する。モータ３４を回転さ
せることによりプッシャ３を下降させる。プッシャ３の
下降により上クランパー５１・５２はＴＡＢ２に当接さ
れ、さらにＴＡＢ２が下クランパー４１・４２に当接さ
れる。その際、上クランパー５１・５２がＴＡＢ２を下
方に押圧する状態となるとともに、その押圧に対して下
クランパー４１・４２が付勢部材４７・４８により上方
に付勢されて下方からＴＡＢ２を押圧する。よって、Ｔ
ＡＢ２の両縁部は上下クランパー４１・４２・５１・５
２により確実に挟持される。
【００３０】そして、モータ４６を駆動させて、下クラ
ンパー本体部４Ａ・４Ｂを互いに離間する方向に移動さ
せる。すると、下クランパー本体部４Ａ・４Ｂのそれぞ
れの下クランパー４１・４２は互に離間する方向に移動
する。このとき、下クランパー４１・４２とともにＴＡ
Ｂ２を挟持している上クランパー５１・５２は、下クラ
ンパー４１・４２の移動に伴ってそれぞれ移動する。こ
れにより、ＴＡＢ２は上下クランパーによりなるクラン
パー４０Ａ・４０Ｂにより外側に、つまり幅方向に引っ
張られる。このとき下クランパー４１・４２は互いに同
期して離間しており、引き伸ばされるＴＡＢ２の中心位
置はずれにくくなっている。そして、モータ３２を駆動
させて移動体３３を下方に降ろす。するとＴＡＢ２は幅
方向に引き伸ばされた状態で下降する。これにより、Ｔ
ＡＢ２のテストパッド２ｃはプローブカード７のプロー
ブ７１に確実に接触され、ＴＡＢの１ピッチ分に搭載さ
れたＩＣチップ２ａは電気的特性を測定される。測定
後、モータ３２を駆動させて移動体３３を上昇させるこ
とで、プッシャ３及びクランプ部４に保持されたＴＡＢ
２を上昇させて測定されたＴＡＢ２をプローブ７１から
離間させる。そして第２モータ３４を駆動させてプッシ
ャ３を上昇させることによりクランパー４０Ａ・４０Ｂ
によるＴＡＢ２の挟持状態を解除する。そしてＴＡＢ２
を収容リール１２側に移動するようにスプロケット１３
・１４を回転駆動して、プッシャ３とプローブ７１との
間である測定位置に、ＴＡＢの次のピッチ分が送られ
る。
ンパー本体部４Ａ・４Ｂを互いに離間する方向に移動さ
せる。すると、下クランパー本体部４Ａ・４Ｂのそれぞ
れの下クランパー４１・４２は互に離間する方向に移動
する。このとき、下クランパー４１・４２とともにＴＡ
Ｂ２を挟持している上クランパー５１・５２は、下クラ
ンパー４１・４２の移動に伴ってそれぞれ移動する。こ
れにより、ＴＡＢ２は上下クランパーによりなるクラン
パー４０Ａ・４０Ｂにより外側に、つまり幅方向に引っ
張られる。このとき下クランパー４１・４２は互いに同
期して離間しており、引き伸ばされるＴＡＢ２の中心位
置はずれにくくなっている。そして、モータ３２を駆動
させて移動体３３を下方に降ろす。するとＴＡＢ２は幅
方向に引き伸ばされた状態で下降する。これにより、Ｔ
ＡＢ２のテストパッド２ｃはプローブカード７のプロー
ブ７１に確実に接触され、ＴＡＢの１ピッチ分に搭載さ
れたＩＣチップ２ａは電気的特性を測定される。測定
後、モータ３２を駆動させて移動体３３を上昇させるこ
とで、プッシャ３及びクランプ部４に保持されたＴＡＢ
２を上昇させて測定されたＴＡＢ２をプローブ７１から
離間させる。そして第２モータ３４を駆動させてプッシ
ャ３を上昇させることによりクランパー４０Ａ・４０Ｂ
によるＴＡＢ２の挟持状態を解除する。そしてＴＡＢ２
を収容リール１２側に移動するようにスプロケット１３
・１４を回転駆動して、プッシャ３とプローブ７１との
間である測定位置に、ＴＡＢの次のピッチ分が送られ
る。
【００３１】上記ＴＡＢ用オートハンドラ１によれば、
供給リール１１から送り出されたＴＡＢ２は、スプロケ
ット１３を時計周り回転駆動、スプロケット１４を反時
計周り回転駆動させることによりＴＡＢ２を長手方向に
引っ張ることで長手方向の屈曲や波打ちを防止できると
ともに、クランプ部４を構成する一対のクランパー４０
Ａ・４０Ｂにおける上下クランパー４１・５１，４２・
５２をそれぞれ幅方向の端部を挟持した状態で離間する
方向に移動させることができるので、ＴＡＢ２は幅方向
外側に引っ張られて、幅方向の屈曲やたわみを防止する
ことができる。よってＴＡＢ２は屈曲やたわみが消され
た状態でプッシャ３や移動体３３の下降によりプローブ
７１に押しつけられ正確な接触状態が保証される。
供給リール１１から送り出されたＴＡＢ２は、スプロケ
ット１３を時計周り回転駆動、スプロケット１４を反時
計周り回転駆動させることによりＴＡＢ２を長手方向に
引っ張ることで長手方向の屈曲や波打ちを防止できると
ともに、クランプ部４を構成する一対のクランパー４０
Ａ・４０Ｂにおける上下クランパー４１・５１，４２・
５２をそれぞれ幅方向の端部を挟持した状態で離間する
方向に移動させることができるので、ＴＡＢ２は幅方向
外側に引っ張られて、幅方向の屈曲やたわみを防止する
ことができる。よってＴＡＢ２は屈曲やたわみが消され
た状態でプッシャ３や移動体３３の下降によりプローブ
７１に押しつけられ正確な接触状態が保証される。
【００３２】また、上クランパー５１・５２は付勢部材
３８により下クランパー４１・４２とともにＴＡＢ２の
両端部を挟持可能な位置に復帰するように付勢されてい
るので、ＴＡＢ２の電気的特性を測定した後、プッシャ
３を上昇させてクランパー４０Ａ・４０ＢによるＴＡＢ
２の挟持を解除した際に、直ぐに次のＴＡＢ２の両端部
を挟持できる位置に移動し、次のＴＡＢ２を挟持でき
る。なお、下クランパーは下クランパー支持部４４によ
り互いに接近するように移動され、次のＴＡＢ２を挟持
可能な位置に移動される。次のＴＡＢ２を挟持可能な位
置では上クランパー５１・５２と対向配置された状態と
なることが好ましい。
３８により下クランパー４１・４２とともにＴＡＢ２の
両端部を挟持可能な位置に復帰するように付勢されてい
るので、ＴＡＢ２の電気的特性を測定した後、プッシャ
３を上昇させてクランパー４０Ａ・４０ＢによるＴＡＢ
２の挟持を解除した際に、直ぐに次のＴＡＢ２の両端部
を挟持できる位置に移動し、次のＴＡＢ２を挟持でき
る。なお、下クランパーは下クランパー支持部４４によ
り互いに接近するように移動され、次のＴＡＢ２を挟持
可能な位置に移動される。次のＴＡＢ２を挟持可能な位
置では上クランパー５１・５２と対向配置された状態と
なることが好ましい。
【００３３】なお、付勢部材４７・４８を圧縮コイルば
ねとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく下
クランパー４１・４２を上方に付勢するものであればど
のようなものでもよい。また、以上の実施の形態におい
ては、下クランパー４１・４２を上下動させる構成とし
て付勢部材４７・４８により上方に付勢されている構成
としたが、これに限らず、プッシャ３の下降によりＴＡ
Ｂ２の幅方向の両縁部を確実に挟持できる構成であれ
ば、どのように構成されていてもよい。例えば、下クラ
ンパー４１・４２をモータにより上下動させる構成とし
てもよい。この場合、下クランパーを支持する鉛直方向
の軸部にラックを形成し、このラックに移動体に固定さ
れたモータにより回転するピニオンギアをかみ合わせる
もの等が挙げられる。また、ＴＡＢ２がクランプ部４に
より挟持される面積は大きい方がより確実に挟持される
ので好ましい。少なくとも測定されるＴＡＢの長手方向
の長さがあれば好適である。その他、具体的な構成要素
等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
ねとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく下
クランパー４１・４２を上方に付勢するものであればど
のようなものでもよい。また、以上の実施の形態におい
ては、下クランパー４１・４２を上下動させる構成とし
て付勢部材４７・４８により上方に付勢されている構成
としたが、これに限らず、プッシャ３の下降によりＴＡ
Ｂ２の幅方向の両縁部を確実に挟持できる構成であれ
ば、どのように構成されていてもよい。例えば、下クラ
ンパー４１・４２をモータにより上下動させる構成とし
てもよい。この場合、下クランパーを支持する鉛直方向
の軸部にラックを形成し、このラックに移動体に固定さ
れたモータにより回転するピニオンギアをかみ合わせる
もの等が挙げられる。また、ＴＡＢ２がクランプ部４に
より挟持される面積は大きい方がより確実に挟持される
ので好ましい。少なくとも測定されるＴＡＢの長手方向
の長さがあれば好適である。その他、具体的な構成要素
等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
【００３４】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、前記ＴＡ
Ｂは屈曲や弛み等が無い状態、つまりピンと張った状態
で前記クランプ部に保持され、プッシャの下降とともに
前記クランプ部をＴＡＢを張った状態で下降させて前記
プッシャによりプローブに正確に接触させることができ
る。
Ｂは屈曲や弛み等が無い状態、つまりピンと張った状態
で前記クランプ部に保持され、プッシャの下降とともに
前記クランプ部をＴＡＢを張った状態で下降させて前記
プッシャによりプローブに正確に接触させることができ
る。
【００３５】請求項２記載の発明によれば、下クランパ
ーを移動させるだけでＴＡＢを幅方向に引き伸ばすこと
ができ、下クランパーとでＴＡＢの端部を挟持する上ク
ランパーを駆動させる駆動手段を設ける必要がない。
ーを移動させるだけでＴＡＢを幅方向に引き伸ばすこと
ができ、下クランパーとでＴＡＢの端部を挟持する上ク
ランパーを駆動させる駆動手段を設ける必要がない。
【００３６】請求項３記載の発明によれば、下クランパ
ー同しは前記クランパー移動手段によりに互いに同期し
て移動されるので、引き伸ばされるＴＡＢの中心位置が
ずれにくい。
ー同しは前記クランパー移動手段によりに互いに同期し
て移動されるので、引き伸ばされるＴＡＢの中心位置が
ずれにくい。
【００３７】請求項４記載の発明によれば、前記上クラ
ンパーは前記付勢部材により前記下クランパーとともに
ＴＡＢ２の両端部を挟持可能な位置に復帰するように構
成されているので、下クランパーとともにＴＡＢを挟持
して引き伸ばした状態から、ＴＡＢの挟持を解除した際
に、前記付勢部材により前記挟持可能な位置に復帰さ
れ、次のＴＡＢの幅方向の両端部を挟持可能な状態とな
りＴＡＢの測定作業の迅速化が図れる。
ンパーは前記付勢部材により前記下クランパーとともに
ＴＡＢ２の両端部を挟持可能な位置に復帰するように構
成されているので、下クランパーとともにＴＡＢを挟持
して引き伸ばした状態から、ＴＡＢの挟持を解除した際
に、前記付勢部材により前記挟持可能な位置に復帰さ
れ、次のＴＡＢの幅方向の両端部を挟持可能な状態とな
りＴＡＢの測定作業の迅速化が図れる。
【００３８】請求項５記載の発明によれば、請求項２〜
４のいずれかに記載の発明と同様の効果を得ることがで
きるとともに、前記プッシャの下方に配置されている前
記下クランパーは付勢部材によって上方に付勢されてい
るので、上方から前記プッシャが下降して前記上クラン
パーとでＴＡＢの幅方向の端部を挟持する際に下クラン
パーは、上クランパーにより押圧されたＴＡＢの端部に
より下方に押圧されるとともに付勢部材により上方に付
勢され、ＴＡＢを確実に挟持することができる。
４のいずれかに記載の発明と同様の効果を得ることがで
きるとともに、前記プッシャの下方に配置されている前
記下クランパーは付勢部材によって上方に付勢されてい
るので、上方から前記プッシャが下降して前記上クラン
パーとでＴＡＢの幅方向の端部を挟持する際に下クラン
パーは、上クランパーにより押圧されたＴＡＢの端部に
より下方に押圧されるとともに付勢部材により上方に付
勢され、ＴＡＢを確実に挟持することができる。
【図１】本発明を適用した一実施の形態のＴＡＢ用オー
トハンドラにおけるプッシャ装置の要部構成を示す概略
側面図である。
トハンドラにおけるプッシャ装置の要部構成を示す概略
側面図である。
【図２】図１においてクランプ部の要部構成を説明する
プッシャ下部の部分拡大図である。
プッシャ下部の部分拡大図である。
【図３】図２のプッシャ下部に設けられた上クランパー
を示す概略正面断面図である。
を示す概略正面断面図である。
【図４】ＴＡＢ用オートハンドラの全体構成を示す概略
平面図である。
平面図である。
【図５】従来のＴＡＢ用オートハンドラのプッシャ部分
の概略構成を示す図である。
の概略構成を示す図である。
１ ＴＡＢ用オートハンドラ ２ ＴＡＢ ３ プッシャ ４ クランプ部 ７ プローブカード（測定部） ３０ プッシャ装置 ３８ 付勢部材 ４０Ａ，４０Ｂ クランパー ４１，４２ 下クランパー ５１，５２ 上クランパー ４４ 下クランパー支持部（クランパー移動手段） ４７，４８付勢部材 ７１ プローブ
Claims (5)
- 【請求項１】ＴＡＢを測定部に搬送し、前記測定部にお
いてＴＡＢをプローブに接触させるＴＡＢ用オートハン
ドラであって、 前記ＴＡＢの上方に上下動自在に設けられ、前記ＴＡＢ
を上方から押圧して前記プローブに接触させるプッシャ
と、 前記プッシャとともに上下動し、前記プッシャの押圧に
より前記ＴＡＢが前記測定部に接触される前に前記ＴＡ
Ｂを挟持して該ＴＡＢを幅方向に引き伸ばすクランプ部
とを備えることを特徴とするＴＡＢ用オートハンドラ。 - 【請求項２】請求項１記載のＴＡＢ用オートハンドラに
おいて、 前記クランプ部は、前記ＴＡＢの幅方向の両端部をそれ
ぞれ挟持する一対のクランパーを持ち、 前記クランパーは、前記プッシャの下部に前記ＴＡＢの
幅方向に移動自在に設けられた上クランパーと、前記プ
ッシャの下方に前記ＴＡＢの幅方向に移動自在に配置さ
れ、前記プッシャが下降することにより前記上クランパ
ーとで前記ＴＡＢの幅方向の端部を挟持する下クランパ
ーとを有し、 前記下クランパーを前記ＴＡＢの幅方向に移動させるク
ランパー移動手段を備えることを特徴とするＴＡＢ用オ
ートハンドラ。 - 【請求項３】請求項２記載のＴＡＢ用オートハンドラに
おいて、 前記クランパー移動手段は、前記下クランパー同しを互
いに同期して離間する方向に移動させることを特徴とす
るＴＡＢ用オートハンドラ。 - 【請求項４】請求項２または３記載のＴＡＢ用オートハ
ンドラにおいて、 前記上クランパーは付勢部材により、前記下クランパー
とともにＴＡＢの幅方向の端部を挟持可能な位置に復帰
するように付勢されていることを特徴とするＴＡＢ用オ
ートハンドラ。 - 【請求項５】請求項２〜４のいずれかに記載のＴＡＢ用
オートハンドラにおいて、 前記下クランパーは付勢部材により上方に付勢された状
態で前記プッシャの下方に配置されていることを特徴と
するＴＡＢ用オートハンドラ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000299786A JP2002107410A (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | Ｔａｂ用オートハンドラ |
| TW090123291A TW544522B (en) | 2000-09-29 | 2001-09-21 | TAB autohandler |
| US09/963,310 US20020040464A1 (en) | 2000-09-29 | 2001-09-26 | TAB autohandler |
| KR1020010060452A KR100551866B1 (ko) | 2000-09-29 | 2001-09-28 | Ｔａｂ용 오토 핸들러 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000299786A JP2002107410A (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | Ｔａｂ用オートハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002107410A true JP2002107410A (ja) | 2002-04-10 |
Family
ID=18781548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000299786A Withdrawn JP2002107410A (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | Ｔａｂ用オートハンドラ |
Country Status (4)
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|---|---|
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| JP (1) | JP2002107410A (ja) |
| KR (1) | KR100551866B1 (ja) |
| TW (1) | TW544522B (ja) |
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-
2000
- 2000-09-29 JP JP2000299786A patent/JP2002107410A/ja not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-09-21 TW TW090123291A patent/TW544522B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-09-26 US US09/963,310 patent/US20020040464A1/en not_active Abandoned
- 2001-09-28 KR KR1020010060452A patent/KR100551866B1/ko not_active IP Right Cessation
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|---|---|
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| US20020040464A1 (en) | 2002-04-04 |
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| TW544522B (en) | 2003-08-01 |
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