KR100487534B1 - 필름 평탄유지 클램프장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 TAB,COF와 같은 FILM,TAPE형태의 기판을 카메라를 이용한 광학적검사를 시행함에 있어 필름의 손상을 방지함과 동시에 제품의 평탄도를 유지하여 광학적 자동검사상에서 초점에 의한 검사오차를 최소화 할 수 있는 필름 평탄유지 클램프장치가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 필름 평탄유지 클램프장치는 제 1 플레이트와, 제 1 밀착대가 형성된 제 2 플레이트를 갖는 고정부; 모터와, 모터의 하부에서연장되고 끝단에는 제 1 베벨기어가 장착된 제 1 회전축을 갖는 이동모터부; 제 1 플레이트에서 연장되면서 제 1 회전축에 끼워지는 제 1 이동프레임 및 제 2 이동프레임과, 제 1 이동프레임과 제 2 이동프레임을 연결하면서 끝단에는 제 2 밀착대가 형성된 제 3 이동프레임을 갖는 이동부; 제 2 플레이트의 끝단 상부 및 제 3 이동프레임의 하부면 상에 선회가능하게 장착되는 제 1, 제 2 선회축과, 제 1, 제 2 선회축을 회전시키는 제 1, 제 2 실린더를 갖는 선회부; 제 1, 제 2 선회축에 장착되어 공급된 필름을 제 1, 제 2 밀착대에 밀착시키는 클램프블록을 갖는 클램프부; 및 로타리 액추에이터와, 로타리 액추에이터 하부에서부터 제 2 이동프레임을 관통하여 수직하게 연장되고 제 2 베벨기어가 장착된 제 2 회전축과, 일단 및 타단에는 상기 제 1, 제 2 베벨기어와 맞물려서 회전할 수 있도록 제 3, 제 4 베벨기어가 장착된 연결축을 갖는 장력조절부로 이루어진다.

Description

필름 평탄유지 클램프장치{Clamping device for maintaining evenness of film}
본 발명은 카메라를 이용하여 FILM,TAPE형태의 기판을 자동으로 검사하는 자동검사 장비내의 필름 평탄유지 클램프장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 필름의 손상없이 필름 편평도 및 광학적 초점을 일정하게 유지함으로써 자동검사 시 초점에의한 검사오차를 최소화할 수 있는 필름 평탄유지 클램프장치에 관한 것이다.
최근 들어 LCD 드라이버 IC 및 메모리등 각종 반도체 IC들의 제조에 사용되는 주요 재료의 하나로 Film, Tape등의 형태로 제조되는 기판이 급증하고 있다. 또한 이러한 기판내의 회로형성에 있어 점점 회로의 패턴폭 및 필름두께가 얇아지고 있는 추세여서 이러한 기판들이 점점 외관상의 굴곡이 심하여짐으로 기판의 평탄도가 검사 신뢰성에 크게 영향을 주는 이러한 종류의 장비에서는 큰 문제가 되고 있다.
또한 공급되는 필름은 하나의 제품으로 형성함에 있어 다양한 사이즈를 가지고 있기 때문에 공급되는 필름의 사이즈에 맞는 검사 영역을 확보하기 위해 클램프들의 위치를 자유롭게 변화시킴과 동시에 클램핑된 영역내의 필름의 편평도를 정확하게 유지, 보장해야만 한다.
그런데, 종래의 필름 검사장비에서는 공급되는 필름의 사이즈별로 클램핑 할 수는 있으나, 이때 클램핑된 필름의 편평도를 원활하게 유지시키지 못하여 필름이 굴곡진 상태로 클램핑되는 문제점이 있었다. 그 결과, 카메라로부터 얻은 검사 영상에 있어서 굴곡부위의 왜곡된 영상으로 인하여 과 검출 및 미 검출의 원인이 되는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 필름 외관의 손상 없이 클램핑된 필름영역 상의 편평도를 일정하게 유지시켜 필름 굴곡부위의 왜곡된 영상으로 얻어지는 카메라 초점의 틀어짐으로 인한 오차를 최소화할 수 있는 필름 평탄유지 클램프장치를 제공하는데 있다.
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은,
수직한 판형상을 가지며 일측면 양측 인접위치에는 수직하게 가이드레일이 형성된 제 1 플레이트와, 제 1 플레이트의 일측면 상부에서 제 1 플레이트에 대하여 수직하게 연장되면서 끝단 인접위치에는 장공이 형성되고 끝단에는 제 1 밀착대가 하측으로 돌출되게 형성된 제 2 플레이트를 갖는 고정부;
내부에 제 1 클러치를 내장하면서 제 2 플레이트의 상부면 일측에 배치되는 모터와, 제 1 클러치의 하부에서부터 제 2 플레이트를 관통하여 수직하게 연장되고 원주면 상에는 제 1 수나사가 형성되며 끝단에는 제 1 베벨기어가 장착된 제 1 회전축을 갖는 이동모터부;
제 1 플레이트의 일측면 양단 인접위치에서 제 2 플레이트측으로 연장되면서 제 1 회전축에 끼워질 수 있도록 제 1 관통공이 형성된 제 1 이동프레임 및 제 2 관통공이 형성된 제 2 이동프레임과, 제 1 이동프레임과 제 2 이동프레임을 연결하면서 끝단에는 제 1 밀착대에 대응하는 제 2 밀착대가 상측으로 돌출되게 형성된 제 3 이동프레임을 갖는 이동부;
동일한 형상을 가지면서 다수의 지지블록에 의해서 제 2 플레이트의 끝단 상부 및 제 3 이동프레임의 하부면 상에 선회가능하게 장착되는 제 1 선회축 및 제 2 선회축과, 제 1 선회축 및 제 2 선회축의 일단에 장착되어 제 1 선회축 및 제 2 선회축을 회전시키는 제 1 실린더 및 제 2 실린더를 갖는 선회부;
동일한 형상을 가지면서 제 1 선회축 및 제 2 선회축에 장착되어 공급된 필름을 제 1 밀착대 및 제 2 밀착대에 밀착시키는 클램프블록을 갖는 클램프부; 및
내부에 제 2 클러치를 내장하면서 제 2 플레이트의 상부면 타측에 배치되는 로타리 액추에이터와, 제 2 클러치의 하부에서부터 제 2 플레이트, 제 2 관통공을 통하여 수직하게 연장되고 원주면 상에는 제 2 수나사가 형성되며 끝단에는 제 2 베벨기어가 장착된 제 2 회전축과, 일단 및 타단에는 상기 제 1 베벨기어 및 제 2 베벨기어와 맞물려서 회전할 수 있도록 제 3 베벨기어 및 제 4 베벨기어가 장착된 연결축을 갖는 장력조절부로 이루어진 필름 평탄유지 클램프장치를 제공한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 필름 외관의 손상 없이 클램핑된 필름영역 상의 편평도를 일정하게 유지시켜 필름 굴곡부위의 왜곡된 영상으로 얻어지는 카메라 초점의 틀어짐으로 인한 검사오차를 최소화 할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 필름 평탄유지 클램프장치에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 필름 평탄유지 클램프장치를 나타낸 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 필름 평탄유지 클램프장치의 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 필름 평탄유지 클램프장치의 정면도이며, 그리고 도 4는 도 1에 도시된 클램프부를 분해하여 나타낸 사시도이다.
도 1 또는 4를 참조하면, 본 발명에 따른 필름 평탄유지 클램프장치(100)는 고정부(110), 이동모터부(120), 이동부(130), 고정부(110)와 이동부(130)에 마주보도록 선회가능하게 장착되는 선회부(150), 선회부(150)에 장착되어 공급되는 필름(F)을 파지하는 클램프부(170) 및 이동부(130)에 장력을 전달하는 장력조절부(190)를 구비한다.
먼저, 고정부(110)는 수직한 판형상의 제 1 플레이트(112a) 및 제 1 플레이트(112a)의 일측면 상부에서 제 1 플레이트(112a)에 대하여 수직하게 연장되는 제 2 플레이트(112b)를 구비한다. 이때, 제 1 플레이트(112a)의 일측면 양측 인접위치에는 상측에서부터 하측으로 수직하게 연장되는 가이드레일(114)이 장착된다. 또한, 제 2 플레이트(112b)에는 장공(116) 및 제 1 밀착대(118)가 형성된다. 장공(116)은 제 2 플레이트(112b)의 끝단 인접위치에는 제 2 플레이트(112b)의 일측 인접위치에서부터 타측 인접위치까지 관통되게 형성되며, 제 1 밀착대(118)는 제 2 플레이트(112b)의 끝단면 상에서 장공(116)과 마찬가지로 일측에서부터 타측으로 연장됨과 아울러 제 2 플레이트(112b) 하측으로 소정의 길이만큼 돌출된다. 이와 같이 형성된 고정부(110)에는 이동모터부(120) 및 이동부(130)가 장착된다.
이동 모터부(120)는 모터(122), 모터(122)에서 연장되는 제 1 회전축(124)을 구비한다. 모터(122)는 내부에 제 1 클러치(도시되지 않음)를 내장하면서 제 2 플레이트(112b)의 상부면 일측에 배치된다. 한편, 제 1 회전축(124)은 제 1 클러치의 하부에서부터 제 2 플레이트(112b)를 관통하여 제 1 플레이트(112a)를 따라서 수직하게 연장된다. 이때, 제 1 회전축(124)의 끝단에는 제 1 베벨기어(126)가 장착되며 원주면 상에는 제 1 수나사(128)가 형성된다.
그리고 이동부(130)는 제 1 플레이트(112a)의 일측면 양단에서부터 제 2 플레이트(112b)를 따라서 연장되는 제 1 이동프레임(132) 및 제 2 이동프레임(134)과 제 1 이동프레임(132) 및 제 2 이동프레임(134)을 연결하는 제 3 이동프레임(136)을 구비한다. 제 1 이동프레임(132) 및 제 2 이동프레임(134)의 자유단에는 각각의 가이드레일(114)을 따라서 안내될 수 있도록 가이드블록(138a, 138b)이 일체로 장착된다. 이때, 제 1 이동프레임(132)에 형성된 가이드블록(138a) 일측에는 제 1 관통공(140)이 형성되며, 마찬가지로 제 2 이동프레임(134)에 형성된 가이드블록(138b) 일측에는 제 2 관통공(142)이 형성된다. 이때, 제 1 관통공(140)에는 제1 회전축(124)이 관통되며 제 1 관통공(140)의 원주면 상에는 제 1 수나사(128)에 대응하는 제 1 암나사(144)가 형성되며, 제 2 관통공(142)의 원주면 상에는 제 2 암나사(146)가 형성된다. 한편, 제 3 이동프레임(136)의 끝단에는 제 1 밀착대(118)에 대응하는 제 2 밀착대(148)가 제 3 이동프레임(136)의 상측으로 돌출 연장된다. 이와 같이 형성된 고정부(110) 및 이동부(120)에는 선회부(150), 클램프부(170) 및 장력조절부(190)가 장착된다.
선회부(150)는 동일한 형상을 가지는 제 1 선회축(152a)과 제 2 선회축(152b) 및 제 1 선회축(152a)과 제 2 선회축(152b)을 선택적으로 회전시키는 제 1 실린더(154a) 및 제 2 실린더(154b)를 구비한다. 제 1 선회축(154a) 및 제 2 선회축(154b)은 다수의 지지블록(156a, 156b)에 의해서 제 2 플레이트(112b)의 끝단 상부면 및 제 3 이동프레임(136)의 하부면 상에 선회가능하게 장착된다. 이때, 제 1 선회축(152a)의 방사상 상부 및 제 2 선회축(152b)의 방사상 하부에는 수평하게 형성된 다수의 제 1 안치면(158a) 및 제 2 안치면(158b)이 형성된다. 이와 같이 형성된 제 1 안치면(158a) 및 제 2 안치면(158b) 상에는 일정한 간격으로 이격되게 제 1 위치 결정공(160a) 및 제 2 위치 결정공(도시되지 않음)이 형성된다.
제 1 실린더(154a) 및 제 2 실린더(154b)는 제 2 플레이트(112b)의 하부면 및 제 1 이동프레임(132)의 상부면 상에 배치된다. 이렇게 배치된 제 1 실린더(154a) 및 제 2 실린더(154b)에는 제 2 플레이트(112b) 및 제 1 이동프레임(132)을 수직 관통하는 제 1 링크(162a, 162b)가 각각 장착되고, 각각의 제 1 링크(162a, 162b)에는 힌지에 의해서 제 1 링크(162a, 162b)의 일단과 연결되고 타단은 제 1 선회축(152a) 및 제 2 선회축(152b)에 연결되는 제 2 링크(164a, 164b)가 배치된다.
클램프부(170)는 동일한 형상을 가지는 서로 마주보면서 배치되는 제 1 고정블록(172a, 172b)과, 제 1 고정블록(172a, 172b)에 나사결합되는 제 2 고정블록(174a, 174b) 및 제 2 고정블록(174a, 174b)에 장착되는 클램프블록(176a, 176b)을 구비한다. 제 1 고정블록(172a, 172b)은 제 1 안치면(158a) 및 제 2 안치면(158b)에 대응하는 제 1 선회축(152a) 및 제 2 선회축(152b)의 원주면 상에 결합될 수 있도록 내주에 반원형의 안치홈(178a, 178b)이 형성된다. 제 2 고정블록(174a, 174b)은 제 1 안치면(158a) 및 제 2 안치면(158b)에 일측면이 밀착되면서 다수의 나사에 의해 제 1 고정블록(172a, 172b)에 결합된다. 이때, 제 2 고정블록(174a, 174b)이 일단에는 내측으로 연장되는 결합홈(180a, 180b)이 형성되며, 결합홈(180a, 180b)에는 제 2 고정블록(174a, 174b)의 외부로 연장되어 결합핀(182a, 182b)이 끼워질 수 있도록 각각 제 1 결합핀공(184a)이 형성된다. 바람직하게는 제 1 안치면(158a) 및 제 2 안치면(158b) 상에 밀착되는 일측면 상에는 제 1 고정블록(172a, 172b) 및 제 2 고정블록(174a, 174b)이 결합된 상태에서 어느하나의 제 1 위치결정공(160a) 및 제 2 위치결정공에 고정될 수 있도록 볼플랜저(184)가 장착된다. 즉, 제 1 고정블록(172a 172b,) 및 제 2 고정블록(174a, 174b)은 제 1 안치면(158a) 및 제 2 안치면(158b)을 따라서 이동가능하다. 한편, 클램프블록(176)은 각각의 결합홈(180a, 180b)에 끼워지는 결합판(186a, 186b) 및 결합판(186a, 186b)의 연장부에서 장공(116) 및 제 3 이동프레임(136)의 내측으로 연장되는 제 1 밀착판(187a, 187b) 및 제 1 밀착판(187a, 187b)의 연장부에서 제 1 밀착대(118) 및 제 2 밀착대(148) 측으로 연장되는 제 2 밀착판(188a, 188b)을 구비한다. 이때, 결합홈(180a, 180b)에 끼워지는 결합판(186a, 186b)에는 제 1 결합핀공(184a)과 연통하는 제 2 결합핀공(185a, 185b)이 형성되어 결합핀(182a, 182b)이 끼워지며, 각각의 제 2 밀착판(188a, 188b)의 끝단면 상에는 고무로 제조된 밀착봉(189a, 189b)이 장착된다. 이러한 밀착봉(189a, 189b)은 각각의 제 2 밀착판(188a, 188b)의 일측에서부터 타측까지 연장된다.
한편, 장력조절부(190)는 로타리 액추에이터(192), 제 2 회전축(193) 및 연결축(194)을 구비한다. 로타리 액추에이터(192)는 내부에 제 2 클러치(도시되지 않음)를 내장하면서 제 2 플레이트(112b)의 상부면 타측에 배치된다. 제 2 회전축(193)은 제 2 클러치의 하부에서부터 제 2 플레이트(112b)를 관통하여 제 2 관통공(142)을 지나 제 1 플레이트(112a)를 따라서 수직하게 연장된다. 이때, 제 2 회전축(193)의 원주면 상에는 제 2 암나사(146)에 대응하는 제 2 수나사(195)가 형성되며, 제 2 회전축(193)의 끝단에는 제 2 베벨기어(196)가 장착된다. 그리고 연결축(194)은 제 1 회전축(124)과 제 2 회전축(193)을 서로 연결할 수 있도록 제 1 회전축(124) 및 제 2 회전축(193)의 하부에 수평하게 배치된다. 이러한 연결축(194)의 일단에는 제 1 베벨기어(126)와 맞물려서 회전하는 제 3 베벨기어(197)가 장착되며, 연결축(194)의 타단에는 제 2 베벨기어(196)와 맞물려서 회전하는 제 4 베벨기어(198)가 장착된다.
하기에는 전술한 바와 같이 형성된 필름 평탄유지 클램프장치(100)의 사용상태를 간략하게 설명한다.
먼저, 본 발명에 따른 필름 클램프장치(100)의 전면에 공급되는 필름(F)을 볼 수 있도록 다수의 카메라(도시되지 않음)를 배치시킨 상태에서 필름(F)을 수직하게 공급시킨다. 이때, 작업자는 공급되는 필름(F)의 폭을 계산하여 이동부(130)를 고정부(110)에서 적절하게 이격시킨다. 이와 같이 이동부(130)를 이동시키기 위해서는 이동모터부(120)의 모터(122)에 내장된 제 1 클러치를 서로 연결하고, 로타리 액추에이터(192)에 내장된 제 2 클러치를 푼 상태 하에서 모터(122)를 회전시킨다. 그 결과 모터(122)는 제 1 회전축(124)을 회전시키고, 제 1 회전축(124)에 장착된 제 1 베벨기어(126)는 제 3 베벨기어(197)와 맞물려 회전하면서 연결축(194) 및 제 4 베벨기어(198)를 회전시켜 제 2 회전축(193)을 회전시킨다. 이렇게 회전하는 제 1 회전축(124) 및 제 2 회전축(193)은 이동부(130)를 하측으로 이동시킨다.
전술한 바와 같이 이동부(130)가 이동되면, 필름(F)을 고정부(110)와 이동부(130) 사이에 공급시킨다. 이때, 공급되는 필름(F)의 일단 및 타단은 제 1 밀착대(118) 및 제 2 밀착대(148)의 내측과 각각의 제 2 밀착판(188a, 188b) 사이에 배치된다. 이와 같이 필름(F)이 배치되면, 제 1 실린더(154a) 및 제 2 실린더(154b)는 작동하여 각각의 제 1 링크(162a, 162b)를 하측 및 상측으로 잡아당기고, 다시 제 1 링크(162a, 162b)는 각각의 제 2 링크(164a, 164b)를 당기게 된다. 이때, 제 2 링크(164a, 164b)는 제 1 선회축(152a) 및 제 2 선회축(152b)을 회전시키고, 회전되는 제 1 선회축(152a) 및 제 2 선회축(152b)에 의해서 밀착봉(189a, 189b)이 장착된 제 2 밀착판(188a, 188b)은 제 1 밀착대(118) 및 제 2 밀착대(148) 측으로 선회하면서 필름(F)의 일단 및 타단을 클램핑하게 된다. 바람직하게는, 제 1 실린더(154a)는 제 2 실린더(154b)보다 큰 압력을 가진다.
전술한 바와 같이 필름(F)이 클램핑되면, 클램핑된 필름(F)에 편평도를 유지시키기 위해서 모터(122) 내의 제 1 클러치를 푼 상태에서 로터리 액추에이터(192) 내의 제 2 클러치를 연결한다. 이렇게 로터리 액추에이터(192)의 제 2 클러치가 연결되면, 로타리 액추에이터(192)는 제 2 회전축(193)을 회전시키고, 제 2 회전축(193)은 제 1 회전축(124)과 마찬가지로 연결축(194)을 회전시키며, 연결축(194)은 제 1 회전축(124)을 회전시킨다. 그 결과, 필름(F)의 타단을 클램핑하고 있는 이동부(130)는 다시 하측으로 이동되면서 고정부(110) 및 이동부(130)에 클램핑된 필름(F)에 장력을 전달한다. 이와 같은 상태 하에서 카메라를 작동시켜 공급되는 필름(F)을 검사한다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 필름 평탄유지 클램프장치(100)는 고정부(110), 이동모터부(120), 이동부(130), 고정부(110)와 이동부(130)에 마주보도록 선회가능하게 장착되는 선회부(150), 선회부(150)에 장착되어 공급되는 필름(F)을 파지하는 클램프부(170) 및 이동부(130)에 장력을 전달하는 장력조절부(190)를 구비함으로써, 공급되는 필름 외관의 손상 없이 클램핑된 필름영역 상의 편평도를 일정하게 유지시켜 필름 굴곡부위의 왜곡된 영상으로 얻어지는 카메라 초점의 틀어짐으로 인한 검사오차를 최소화할 수 있는 잇점이 있다.
또한, 제 1 실린더(154a) 및 제 2 실린더(154b)의 압력을 서로 다르게하여 클램핑되는 필름(F)에 장력이 원활하게 전달되게 하는 잇점이 있다.
그리고, 각각의 결합판(186a, 186b)을 각각의 제 2 고정블록(174a, 174b)에 결합핀(182a, 182b)을 이용하여 결합함과 동시에 제 2 밀착판(188a, 188b)의 끝단에 고무로 제조되는 밀착봉(189a, 189b)을 장착함으로써, 제 1 밀착대(118) 및 제 2 밀착대(148)에 밀착봉(189a, 189b) 전체면이 밀착될 수 있게 하는 잇점이 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 필름 평탄유지 클램프장치를 나타낸 사시도이고,
도 2는 도 1에 도시된 필름 평탄유지 클램프장치의 측면도이며,
도 3은 도 1에 도시된 필름 평탄유지 클램프장치의 정면도이고,
도 4는 도 1에 도시된 클램프부를 분해하여 나타낸 사시도이며, 그리고
도 5a 및 5b는 본 발명에 따른 필름 평탄유지 클램프장치의 사용상태를 나타낸 도면이다.
<도면의주요부분에대한부호의설명>
100 : 필름 평탄유지 클램프장치 110 : 고정부
112a : 제 1 플레이트 112b : 제 2 플레이트
114 : 가이드레일 118 : 제 1 밀착대
120 : 이동모터부 122 : 모터
124 : 제 1 회전축 126 : 제 1 베벨기어
130 : 이동부 132 : 제 1 이동프레임
134 : 제 2 이동프레임 136 : 제 3 이동프레임
138a, 138b : 가이드블록 148 : 제 2 밀착대
150 : 선회부 152a : 제 1 선회축
152b : 제 2 선회축 154a : 제 1 실린더
154b : 제 2 실린더 170 : 클램프부
172a, 172b : 제 1 고정블록 174a, 174b : 제 2 고정블록
176 : 클램프블록 189a, 189b : 밀착봉
190 : 장력조절부 192 : 로타리 액추에이터
193 : 제 2 회전축 194 : 연결축
196 : 제 2 베벨기어 197 : 제 3 베벨기어
198 : 제 4 베벨기어 F : 필름

Claims (7)

  1. 수직한 판형상을 가지며 일측면 양측 인접위치에는 수직하게 가이드레일이 형성된 제 1 플레이트와, 상기 제 1 플레이트의 일측면 상부에서 상기 제 1 플레이트에 대하여 수직하게 연장되면서 끝단 인접위치에는 장공이 형성되고 끝단에는 제 1 밀착대가 하측으로 돌출되게 형성된 제 2 플레이트를 갖는 고정부;
    내부에 제 1 클러치를 내장하면서 상기 제 2 플레이트의 상부면 일측에 배치되는 모터와, 상기 제 1 클러치의 하부에서부터 상기 제 2 플레이트를 관통하여 수직하게 연장되고 원주면 상에는 제 1 수나사가 형성되며 끝단에는 제 1 베벨기어가 장착된 제 1 회전축을 갖는 이동모터부;
    상기 제 1 플레이트의 상기 일측면 양단 인접위치에서 상기 제 2 플레이트측으로 연장되면서 상기 제 1 회전축에 끼워질 수 있도록 제 1 관통공이 형성된 제 1 이동프레임 및 제 2 관통공이 형성된 제 2 이동프레임과, 상기 제 1 이동프레임과 상기 제 2 이동프레임을 연결하면서 끝단에는 상기 제 1 밀착대에 대응하는 제 2 밀착대가 상측으로 돌출되게 형성된 제 3 이동프레임을 갖는 이동부;
    동일한 형상을 가지면서 다수의 지지블록에 의해서 상기 제 2 플레이트의 끝단 상부 및 상기 제 3 이동프레임의 하부면 상에 선회가능하게 장착되는 제 1 선회축 및 제 2 선회축과, 상기 제 1 선회축 및 상기 제 2 선회축의 일단에 장착되어 상기 제 1 선회축 및 상기 제 2 선회축을 회전시키는 제 1 실린더 및 제 2 실린더를 갖는 선회부;
    동일한 형상을 가지면서 상기 제 1 선회축 및 상기 제 2 선회축에 장착되어 공급된 필름을 상기 제 1 밀착대 및 상기 제 2 밀착대에 밀착시키는 클램프블록을 갖는 클램프부; 및
    내부에 제 2 클러치를 내장하면서 상기 제 2 플레이트의 상부면 타측에 배치되는 로타리 액추에이터와, 상기 제 2 클러치의 하부에서부터 상기 제 2 플레이트, 상기 제 2 관통공을 관통하여 수직하게 연장되고 원주면 상에는 제 2 수나사가 형성되며 끝단에는 제 2 베벨기어가 장착된 제 2 회전축과, 일단 및 타단에는 상기 제 1 베벨기어 및 상기 제 2 베벨기어와 맞물려서 회전할 수 있도록 제 3 베벨기어 및 제 4 베벨기어가 장착된 연결축을 갖는 장력조절부로 이루어진 것을 특징으로 하는 필름 평탄유지 클램프장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 장공은 상기 제 2 플레이트의 일측 인접위치에서 타측 인접위치까지 관통되게 연장되며, 마찬가지로 상기 제 1 밀착대는 제 2 플레이트의 끝단 일측에서부터 타측으로 연장되는 것을 특징으로 하는 필름 평탄유지 클램프장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 이동프레임 및 상기 제 2 이동프레임의 자유단에는 각각의 상기 가이드레일을 따라서 안내될 수 있도록 가이드블록이 각각 형성되며, 상기 제 1 관통공 및 상기 제 2 관통공의 내주면 상에는 상기 제 1 수나사 및 상기 제 2 수나사에 대응하는 제 1 암나사 및 제 2 암나사가 형성되는 것을 특징으로 하는 필름 평탄유지 클램프장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 선회축의 방사상 상부 및 상기 제 2 선회축의 방사상 하부에는 수평하게 형성된 다수의 제 1 안치면 및 제 2 안치면이 형성되며, 상기 제 1 안치면 및 상기 제 2 안치면에는 일정한 간격으로 이격되게 제 1 위치결정공 및 제 2 위치결정공이 형성되고, 상기 제 1 실린더 및 상기 제 2 실린더는 상기 제 2 플레이트의 하부면 및 상기 제 1 이동프레임의 상부면 상에 배치되며 상기 제 1 실린더 및 상기 제 2 실린더에는 상기 제 2 플레이트 및 상기 제 1 이동프레임을 수직 관통하는 제 1 링크가 각각 장착되며 각각의 상기 제 1 링크에는 힌지에 의해서 상기 제 1 링크에 일단이 연결되고 타단은 상기 제 1 선회축 및 상기 제 2 선회축에 연결되는 제 2 링크를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 평탄유지 클램프장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 클램프블록이 상기 제 1 선회축 및 상기 제 2 선회축에 장착될 수 있도록 상기 제 1 안치면 및 상기 제 2 안치면에 대응하는 상기 제 1 선회축 및 상기 제 2 선회축의 원주면 상에 결합될 수 있도록 내주면에 반원형의 안치홈이 형성된 제 1 고정블록을 구비하고, 상기 제 1 안치면 및 상기 제 2 안치면에 일측면이 밀착되면서 다수의 나사에 의해 각각의 상기 제 1 고정블록에 결합되고 일단에는 상기 클램프블록이 끼워지는 결합홈이 형성된 제 2 고정블록을 구비하며, 상기 클램프블록은 상기 결합홈에 끼워지는 결합판, 상기 결합판의 연장부에서 상기 장공 및 상기 제 3 이동프레임의 내측으로 연장되는 제 1 밀착판, 상기 제 1 밀착판의 연장부에서 상기 제 1 밀착대 및 상기 제 2 밀착대 측으로 연장되어 상기 제 1 밀착대와 상기 제 2 밀착대와 함께 상기 필름을 클램핑하는 제 2 밀착판을 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 평탄유지 클램프장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 제 2 고정블록의 하부면 상에는 어느하나의 상기 제 1 위치결정공 및 상기 제 2 위치결정공에 끼워지는 볼플랜저가 장착된 것을 특징으로 하는 필름 평탄유지 클램프장치.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 결합홈에는 제 1 결합핀공이 형성되고, 상기 결합홈에 끼워지는 상기 결합판에는 상기 제 1 결합핀공과 연통하는 제 2 결합핀공이 형성되어 결합핀이 끼워지며, 상기 제 2 밀착판의 끝단면 상에는 고무로 제조된 밀착봉이 제 2 밀착판의 일측에서부터 타측까지 연장되게 장착된 것을 특징으로 하는 필름 평탄유지 클램프장치.
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