KR20060135915A

KR20060135915A - Ｔｃｐ 핸들링 장치

Info

Publication number: KR20060135915A
Application number: KR1020067022124A
Authority: KR
Inventors: 히사시 무라노; 키요시 시미즈; 슈이치 가네코
Original assignee: 가부시키가이샤 아드반테스트
Priority date: 2006-10-25
Filing date: 2004-04-20
Publication date: 2006-12-29
Also published as: KR100815492B1

Abstract

테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프(5)를, 푸셔 유니트(3)에 의해 프로브 카드(8)로 압압하여, TCP의 외부 단자를 프로브(81)에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 있는 TCP 핸들러(2)에 있어서, 캐리어 테이프(3)의 반송 경로 상, 푸셔 유니트(3)의 전단측 및/또는 후단측에, 캐리어 테이프(5)를 가이드하는 높이 규제 가이드(4)가 설치되어 있고, 그 높이 규제 가이드(4)는, 캐리어 테이프(5)의 평면 방향에서 변위 가능하게 되도록 플로팅 상태로 TCP 핸들러(2) 본체에 지지되어 있다.

TCP 핸들링 장치

Description

ＴＣＰ 핸들링 장치{TCP HANDLING DEVICE}

본 발명은, IC 디바이스의 일종인 TCP(Tape Carrier Package)나 COF(Chip On Film)(이하, TCP, COF, 기타 TAB(Tape Automated Bonding) 실장 기술에 의해 제조된 디바이스를 종합하여「TCP」라 함.)를 시험하는데 사용되는 TCP 핸들링 장치에 관한 것이다.

IC 디바이스 등의 전자 부품의 제조 과정에 있어서는, 최종적으로 제조된 IC 디바이스나 그 중간 단계에 있는 디바이스 등의 성능이나 기능을 시험하는 전자 부품 시험 장치가 필요하고, TCP의 경우에는 TCP용 시험 장치가 사용된다.

TCP용 시험 장치는, 일반적으로 테스터 본체와, 테스트 헤드와, TCP 핸들링 장치(이하, 「TCP 핸들러」라고 하는 경우가 있음.)로 구성된다. 이 TCP 핸들러는, 테이프(필름의 개념도 포함하는 것으로 함. 이하 동일.) 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드의 프로브에 캐리어 테이프를 압압하여, TCP의 외부 단자를 프로브에 콘택트시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공하는 기능을 구비하고 있다.

이와 같은 TCP 핸들러는, 캐리어 테이프를 지지하는 동시에 프로브에 밀어 붙일 수 있는 푸셔(유니트)를 구비하고 있다. TCP의 시험 시에, 이 푸셔는 캐리어 테이프를 지지하면서 아래 방향(Z축 방향)으로 이동하여, 캐리어 테이프 상의 TCP를 프로브 카드의 프로브에 접촉시킨다.

TCP 핸들러에서의 상기 푸셔의 전단측 및 후단측에는, 통상 캐리어 테이프의 높이를 규제하는 가이드가 설치되어 있다. 그렇지만, 종래의 TCP 핸들러에서는, 이들 가이드가 TCP 핸들러에 고정적으로 설치되어 있기 때문에, 푸셔의 이동에 따라 캐리어 테이프가 그 평면 방향, 특히 캐리어 테이프의 반송 방향(X축 방향)과 직교하는 방향(Y축 방향)이나 수직축 주위의 회전 방향(θ 방향)으로 어긋나면, 가이드에 지지되어 있는 캐리어 테이프에 응력이 가해져서, 캐리어 테이프 상의 TCP(특히 리드 또는 테스트 패드)나 캐리어 테이프 자체(특히 스프로켓의 클로(claw)가 삽입되는 구멍부 또는 그 주변부)가 손상되는 경우가 있다. 이러한 문제는, 피시험 TCP의 위치 어긋남 보정을 위하여 푸셔를 평면 방향으로 이동시킨 때에 특히 발생되기 쉽다.

본 발명은, 이와 같은 실상에 비추어서 이루어진 것으로서, 푸셔의 이동 등에 따라 캐리어 테이프가 어긋난 경우더라도, 캐리어 테이프에 가해지는 응력을 완화 할 수 있는 TCP 핸들링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를, 푸셔에 의해 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하여, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 캐리어 테이프의 반송 경로 상, 상기 푸셔의 전단측 및/또는 후단측에, 캐리어 테이프를 가이드하는 가이드가 설치되어 있고, 상기 가이드는 적어도 캐리어 테이프의 평면 방향에서 변위 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(발명 1).

한편, 본 명세서에서의 「푸셔」라 함은, 캐리어 테이프를 콘택트부에 밀어 붙이는 푸셔 본체나, 그 푸셔 본체의 근방에서 캐리어 테이프를 지지·반송하는 스프로켓, 또는 그들 푸셔 본체 및 스프로켓을 포함하여 구성되는 푸셔 유니트의 모든 개념을 포함하는 것으로 한다.

상기 발명(발명 1)에 의하면, 푸셔의 이동 등에 따라 캐리어 테이프가 어긋난 경우더라도, 캐리어 테이프를 가이드하고 있는 가이드가 캐리어 테이프의 평면 방향에서 변위됨으로써, 캐리어 테이프에 가해지는 응력을 완화할 수 있다.

상기 발명(발명 1)에 있어서, 상기 가이드는, 캐리어 테이프의 평면 방향에서 슬라이드 변위 및 회전 변위될 수 있도록 설치되어 있는 것이 바람직하다(발명 2).

가이드가 이와 같이 변위됨으로써, 푸셔의 이동 등에 따라 캐리어 테이프가 캐리어 테이프의 반송 방향(X축 방향)과 직교하는 방향(Y축 방향)이나 수직축 주위의 회전 방향(θ 방향)으로 어긋난 경우더라도, 캐리어 테이프에 가해지는 응력을 완화할 수 있다.

상기 발명(발명 1,2)에 있어서, 상기 가이드는, 탄성체를 개재하여 플로팅 상태로 설치되어 있는 것이 바람직하다(발명 3).

가이드는, 이와 같은 구성으로 설치됨으로써, 적어도 캐리어 테이프의 평면 방향으로 자유 자재로 변위될 수 있다.

상기 발명(발명 1~3)에 있어서, 상기 가이드는, 소정의 높이 위치에 설치되고, 캐리어 테이프의 높이 위치를 규제하더라도 좋다(발명 4).

상기 발명(발명 4)에 의하면, 캐리어 테이프에 있어서 푸셔에 의해 상하 이동되는 부분 이외의 높이를 규제하고, 캐리어 테이프와 다른 부재(예컨대, 카메라, 펀치 등)의 위치 관계를 정상으로 유지할 수 있다.

상기 발명(발명 4)에 있어서, 상기 가이드는, 회전 지지 부재 상에 재치되어 있는 것이 바람직하다(발명 5).

이것에 의해, 가이드는, 캐리어 테이프의 평면 방향에서 자유 자재로 변위, 게다가 부드럽게 변위될 수 있다.

상기 발명(발명 1~5)에 있어서, 상기 푸셔는, 캐리어 테이프를 홀드하여 상기 캐리어 테이프를 그 평면 방향으로 이동시키는 것 및/또는 그 수직축 주위로 회전 이동시킬 수 있도록 구성되어 있고, 상기 가이드는, 상기 푸셔의 이동에 따라 움직이는 캐리어 테이프를 따라, 상기 캐리어 테이프에 가해지는 응력을 완화하도록 변위되는 것이 바람직하다(발명 6).

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험 장치를 도시한 정면도.

도 2는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 높이 규제 가이드의 정면 단면도.

도 3은 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 높이 규제 가이드의 측면 단면도.

도 4는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 높이 규제 가이드의 저부 평면도.

도 5는 동 실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 높이 규제 가이드의 평면도.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.

본 발명의 일 실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험 장치를 도 1에 도시한다.

TCP 시험 장치(1)는, 도시하지 않은 테스터 본체와, 테스터 본체에 전기적으로 접속된 테스트 헤드(10)와, 테스트 헤드(10)의 상측에 설치된 TCP 핸들러(2)로 구성된다.

TCP 핸들러(2)는, 캐리어 테이프(5) 상에 복수 형성된 각 TCP를 순차 시험에 제공하는 것으로, 본 실시 형태에서는 설명의 간략화를 위하여 TCP를 한개씩 시험에 제공하는 것으로 한다. 단, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 캐리어 테이프(5) 상에 있어서 직렬 방향 및/또는 병렬 방향으로 늘어선 복수의 TCP를 동시에 시험에 제공하는 것이 좋다.

TCP 핸들러(2)는, 권출 릴(21)과 권취 릴(22)을 구비하고 있고, 권출 릴(21)에는 시험 전의 캐리어 테이프(5)가 감겨져 있다. 캐리어 테이프(5)는, 권출 릴(21)로부터 풀어지고, 시험에 제공된 후에 권취 릴(22)에 감겨진다.

권출 릴(21)과 권취 릴(22)의 사이에는, 캐리어 테이프(5)로부터 박리된 보호 테이프(51)를 권출 릴(21)로부터 권취 릴(22)로 건네주는 3개의 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)이 설치되어 있다. 각 스페이서 롤(23a),(23b),(23c)은, 보호 테이프(51)의 장력을 조정할 수 있도록, 각각 상하로 움직일 수 있게 되어 있다.

권출 릴(21)의 하측에는, 테이프 가이드(24a), 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로켓(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)가 설치되어 있고, 권출 릴(21)로부터 풀려진 캐리어 테이프(5)는, 테이프 가이드(24a)에 의해 가이드되면서, 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로켓(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)를 통과하여 푸셔 유니트(3)로 반송된다.

또한, 권취 릴(22)의 하측에는, 테이프 가이드(24b), 권취 리미트 롤러(25f), 외측 서브 스프로켓(25e) 및 외측 가이드 롤러(25d)가 설치되어 있고, 시험에 제공된 후의 캐리어 테이프(5)는, 외측 가이드 롤러(25d), 외측 서브 스프로켓(25e) 및 권취 리미트 롤러(25f)를 통과하여, 테이프 가이드(24b)에 의해 가이드되면서, 권취 릴(22)에 감겨진다.

내측 가이드 롤러(25c)와, 외측 가이드 롤러(25d)의 사이에는, 푸셔 유니트(3)가 설치되어 있고, 푸셔 유니트(3)의 전단측(도 1 중 좌측)에는 제 1카메라(6a)가, 푸셔 유니트(3)의 하측(후술하는 프로브 카드 스테이지(7)의 내측)에는 제 2카메라(6b)가, 푸셔 유니트(3)의 후단측(도 1 중 우측)에는 제 3카메라(6c)가 설치되어 있다. 또한, 푸셔 유니트(3)와 제 3카메라(6c)의 사이에는, 마크 펀치(26a) 및 리젝트 펀치(26b)가 설치되어 있다.

마크 펀치(26a)는 시험 결과에 따라서, 해당하는 TCP에 대하여 소정의 위치에 1개 또는 복수개의 구멍을 뚫는 것이고, 리젝트 펀치(26b)는 시험 결과 불량품으로 판단된 TCP를 구멍을 뚫는 것이다.

각 카메라(6a),(6b),(6c)는, 도시하지 않은 화상 처리 장치에 접속되어 있고, 제 1카메라(6a) 및 제 3카메라(6c)는, 캐리어 테이프(5) 상에서의 TCP의 유무나 마크 펀치(26a)에 의한 구멍 위치나 수를 판단하기 위한 것으로, 제 2카메라(6b)는 캐리어 테이프(5) 상의 TCP와 프로브의 위치 어긋남 정보를 취득하기 위한 것이다. 본 실시 형태에서의 제 2카메라(6b)는 시야 내의 복수의 대상에 대하여 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있도록 되어 있다.

제 2카메라(6b)는 카메라 스테이지(61) 상에 탑재되어 있고, 카메라 스테이지(61)가 갖는 액츄에이터에 의해 평면에서 볼 때 종횡 방향(X축-Y축 방향) 및 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.

TCP 핸들러(2)의 본체부에는, 볼 나사(32)를 회전시킬 수 있는 서보 모터(31)가 브래킷(361)을 개재하여 설치되어 있는 동시에, 볼 나사(32)가 나사 결합되어 있는 푸셔 본체부(33)가 2개 Z축 방향의 리니어 모션 가이드(37)를 개재하여 설치되어 있다. 이 푸셔 본체부(33)는 서보 모터(31)를 구동시킴으로써, 리니어 모션 가이드(37)에 가이드되면서 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 푸셔 본체부(33)와 푸셔 유니트(3)의 프레임(푸셔 프레임)(36)은, 도시하지 않은 연동 기구에 의해 접속되어 있고, 상기와 같이 푸셔 본체부(33)가 상하로 움직이면, 그것에 따라 푸셔 프레임(36)도 상하로 움직이도록 되어 있다.

상기 푸셔 본체부(33)의 하단부에는, 에어를 흡인함으로써 캐리어 테이프(5)를 흡착 홀드할 수 있는 흡착 플레이트(34)가 설치되어 있다.

푸셔 프레임(36)에서의 푸셔 본체부(33)의 전단측(도 1 중 좌측)에는, 텐션 스프로켓(35a)이 설치되어 있고, 푸셔 본체부(33)의 후단측(도 1 중 우측)에는, 메인 스프로켓(35b)이 설치되어 있다.

메인 스프로켓(35b)은, 스텝핑 모터 등에 의해 구동되어 캐리어 테이프(5)를 반송하고, 텐션 스프로켓(35a)은, 캐리어 테이프(5)의 주행 방향과 역방향으로 회전함으로써 캐리어 테이프(5)에 소정의 텐션을 걸어, 캐리어 테이프(5)의 위치 정밀도를 향상시킨다.

푸셔 유니트(3)는, 도시하지 않은 푸셔 스테이지에 접속되어 있다. 푸셔 스테이지는, 복수의 볼 나사를 개재하여 서보 모터에 접속되어 있고(도시 생략), 서보 모터의 구동에 의해, 푸셔 유니트(3)를 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동시킬 수 있는 동시에, 푸셔 유니트(3)를 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전시킬 수 있다.

푸셔 유니트(3)의 하측으로서, 테스트 헤드(10)의 상부에는, 프로브 카드(8)를 탑재한 프로브 카드 스테이지(7)가 설치되어 있다. 프로브 카드 스테이지(7)는, 복수의 볼 나사를 개재하여 서보 모터에 접속되어 있고(도시 생략), 서보 모터의 구동에 의해 프로브 카드(8)를 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동시킬 수 있는 동시에, 프로브 카드(8)를 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전시킬 수 있다.

복수의 프로브(81)를 구비한 프로브 카드(8)는, 핀에 의해 프로브 카드 스테이지(7)의 카드 링에 착탈이 자유롭게 설치되어 있다(도시 생략). 한편, 프로브 카 드(8)의 각 프로브(81)는, 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체에 전기적으로 접속되어 있고, 프로브 카드(8)의 하측으로서, 프로브 카드 스테이지(7)의 내측에는 제 2카메라(6b)가 위치하고 있다.

이 TCP 시험 장치(1)에서는, 캐리어 테이프(5)는 푸셔 유니트(3)의 하측을 통과하도록 반송되어, 이 캐리어 테이프(5)를 푸셔 유니트(3)가 흡착·지지하면서 테스트 헤드(10) 상의 프로브 카드(8)로 압압한다. 그러면, 캐리어 테이프(5) 상의 TCP가 프로브 카드(8)의 프로브(81)에 콘택트되어 테스트 신호가 TCP로 인가되고, TCP로부터 판독된 응답 신호는, 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체로 보내진다. 이것에 의해 TCP의 성능이나 기능 등이 시험된다.

이러한 시험은, 캐리어 테이프(5)가 반송됨으로써, 캐리어 테이프(5) 상의 모든 TCP에 대하여 순차적으로 수행된다. 그리고, 시험 결과에 따라 마크 펀치(26a) 또는 리젝트 펀치(26b)가 구동된다.

[높이 규제 가이드]

도 2 ~ 도 5는, 도 1에 도시한 TCP 핸들러의 높이 규제 가이드를 도시한 정면도(도 2), 측면도(도 3) 및 평면도(도 4, 도 5)이다. 또한, 도 5는 높이 규제 가이드의 동작을 도시한 설명도이다.

이 TCP 핸들러(2)는, 푸셔 유니트(3)의 전후(도 1 중의 좌우)에 높이 규제 가이드(4)(4a,4b)를 갖는다. 높이 규제 가이드(4)는, 캐리어 테이프(5)의 반송 방향에 대하여 푸셔 유니트(3)의 전단측 및 후단측(캐리어 테이프(5)의 입구측 및 출구측)에 배치되어 있고, 캐리어 테이프(5)를 지지하여 캐리어 테이프(5)의 높이를 규제한다. 구체적으로는, 푸셔 유니트(3)로 들어갈 때의 캐리어 테이프(5)의 높이를 전단측의 높이 규제 가이드(4a)가 규제하고, 푸셔 유니트(3)로부터 나올 때의 캐리어 테이프(5)의 높이를 후단측의 높이 규제 가이드(4b)가 규제한다.

이 높이 규제 가이드(4a)는, 함체(41)와, 상하 한쌍의 가이드 스프로켓(42a),(42b)을 포함하여 구성되고, TCP 핸들러(2)의 본체 벽면으로부터 정면측으로 내밀어진 설치대(29)상에 설치되어 있다(도 2 ~ 도 4 참조). 함체(41)는, 측면에서 볼 때 4각형의 상자 형상을 갖고 있다. 상하 한쌍의 가이드 스프로켓(42a),(42b)은, 함체(41)의 정면측 및 배면측의 벽부를 축받이로 하여 함체(41) 내에 회전 가능하게 수용되어 있다. 또한, 이들 가이드 스프로켓(42a),(42b)은, 함체(41) 내에 서 상하 나란하게 배치되어 있어, 그 중간에 캐리어 테이프(5)를 사이에 끼워넣어 지지하는 동시에, 캐리어 테이프(5)의 반송 방향으로 맞물려 회전할 수 있다(도 2 및 도 3 참조).

이 높이 규제 가이드(4)는, 가이드 스프로켓(42a),(42b)이 회전축을 Y축 방향을 향하게 하면서 캐리어 테이프(5)를 상하 방향(Z축 방향)으로부터 사이에 끼워 넣고, 캐리어 테이프(5)의 반송 방향을 따라 회전할 수 있도록, X축 방향으로 개구되도록 하여 설치대(29) 상에 설치되어 있다(도 1 참조).

또한, 높이 규제 가이드(4)는, 설치대(29) 상, 함체(41)의 저면에 회전 지지 부재(43)에 의해 4포인트 지지되어 있다(도 2 ~ 도 4 참조). 이 회전 지지 부재(43)는, 예컨대 4개의 볼 캐스터(431)로 이루어지고, 설치대(29) 상에 고정되어 있다. 이 회전 지지 부재(43)는, 높이 규제 가이드(4)가 수평 방향에서 부드럽게 슬라이드 변위(XY 평면 방향으로 변위) 및 회전 변위(Z축 둘레의 θ 방향으로 변위)될 수 있도록, 그 함체(41)를 수평으로 지지하고 있다.

또한, 높이 규제 가이드(4)는, 함체(41)의 저부에서 계류 기구(44)에 의해 설치대(29) 상에 고정되어 있다(도 3 및 도 4 참조). 계류 기구(44)는, 계류 핀(441)과 탄성 부재(442)를 포함하여 구성된다.

이 계류 기구(44)는, 계류 핀(441)이 함체(41)의 저부에 설치된 구멍(443)으로 삽통되어 설치대(29)에 고정됨으로써, 높이 규제 가이드(4)를 설치대(29)에 계류(係留)하고 있다. 여기서, 함체(41)의 구멍(443)은, 계류 핀(441)의 지름보다도 크게 형성되어 있어, 어느 정도의 범위를 가지고 높이 규제 가이드(4)가 설치대(29)상을 슬라이드 변위 및 회전 변위할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 이 계류 핀(441)은, 함체(41)를 설치대(29) 상에 계류함으로써, 높이 규제 가이드(4) 상하 방향의 변위를 구속한다. 이것에 의해, 높이 규제 가이드(4)가 변위된 때에도, 캐리어 테이프(5)의 반송 높이가 일정하게 유지된다.

이 계류 기구(44)에서는, 예컨대 고무제의 환상 부재로 이루어지는 탄성 부재(442)가, 계류 핀(441)에 끼워 삽입되는 동시에 계류 핀(441)과 함체(41)의 구멍 사이에 끼워 넣어져서 설치되어 있다. 이 탄성 부재(442)는, 높이 규제 가이드(4)가 설치대(29) 상에서 변위된 때에, 함체(41)와 계류 핀(441)의 접촉에 의한 충격을 완화하는 완충재로서 기능한다.

또한, 높이 규제 가이드(4)는, 설치대(29) 상에서 홀드 부재(45)에 의해 탄성 변위 가능하게 홀드되어 있다(도 2 ~ 도 4 참조). 홀드 부재(45)는, 6개의 코일 스프링(451)을 포함하여 구성된다. 코일 스프링(451)은, 함체(41)의 저부에 설치된 고정 핀(452a)과, 설치대(29) 상에 설치된 고정 핀(452b) 사이에 걸쳐서 설치되어 있다. 또한, 이들 코일 스프링(451)은 설치대(29)의 평면상에서, 2개가 Y축 방향으로 설치되어 있고, 4개가 Z축 방향으로 설치되어 있다(도 4 참조). 이 상태에서, 각 코일 스프링(451)에는, 수축 방향의 힘이 작용하고 있다. 이들 홀드 부재(45)는 높이 규제 가이드(4)를 사방으로부터 탄성적으로 홀드하고, 이것에 의해 높이 규제 가이드(4)는 플로팅 상태로 되어 있다.

[작용]

상기 TCP 핸들러(2)에서는, 캐리어 테이프(5)는 푸셔 유니트(3)의 하측을 통하도록 하여 반송된다. 이 때, 높이 규제 가이드(4a),(4b)는, 푸셔 유니트(3)의 입구측 및 출구측에 각각 위치하여 캐리어 테이프(5)를 소정의 높이로 지지하여, 푸셔 유니트(3)의 다른, 제 1카메라(6a), 제 3카메라(6c), 마크 펀치(26a) 및 리젝트 펀치(26b)에 대한 캐리어 테이프(5)의 높이 규제 가이드(4a) 위치가 정상적으로 유지되도록, 캐리어 테이프(5)의 반송 높이를 규제한다.

TCP의 시험 시에 푸셔 유니트(3)가 상하 방향(Z축 방향)으로 이동하면, 또는 피시험 TCP의 위치 어긋남 보정을 위하여 푸셔 유니트(3)가 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동 또는 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전하면, 그 푸셔 유니트(3)(푸셔 본체부(33)의 흡착 플레이트(34) 및 텐션 스프로켓(35a)·메인 스프로켓(35b))에 지지된 캐리어 테이프(5)는, 높이 규제 가이드(4a),(4b)에서, X축 방향, Y축 방향 또는 θ 방향으로 어긋나게 된다.

이 때, 플로팅 상태에 있는 높이 규제 가이드(4a),(4b)는, 회전 지지 부재(43) 상을 스무스하게 슬라이드 변위 및/또는 회전 변위함으로써, 캐리어 테이프(5)에 가해지는 응력을 완화한다. 구체적으로는, 높이 규제 가이드(4a),(4b)가 회전 지지 부재(43) 상을 X축 방향, Y축 방향 또는 θ방향으로 변위함으로써, 높이 규제 가이드(4a),(4b)에 의한 캐리어 테이프(5)의 지지 방향이 변화되어, 캐리어 테이프(5)에 가해지는 응력이 완화된다.

여기서, 높이 규제 가이드(4a),(4b)는, 회전 지지 부재(43)상에 수평으로 재치되어 있는 동시에, 계류 기구(44)에 의해 계류되어 있기 때문에, 수평 방향(XY 평면 방향)으로만 변위된다. 이것에 의해, 캐리어 테이프(5)의 반송 높이가 소정의 높이로 일정하게 유지된다.

또한, 높이 규제 가이드(4a),(4b)는, 코일 스프링(451)에 의해 플로팅 상태로 되어 있기 때문에, 높이 규제 가이드(4a),(4b)의 변위 시에 발생하는 충격이 코일 스프링(451)의 탄성력에 의해 완화되는 동시에, 변위 종료 후에는 코일 스프링(451)의 탄성력에 의해 원점 위치(변위 전의 위치)로 되돌아간다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 따른 TCP 핸들러(2)에 의하면, 플로팅 상태에 있는 높이 규제 가이드(4)가, 캐리어 테이프(5)에 가해지는 응력을 완화하도록 변위하기 때문에, 푸셔 유니트(3)의 이동에 따라 캐리어 테이프(5)가 어긋난 경우더라도, 캐리어 테이프(5)에 가해지는 응력을 효과적으로 저감할 수 있다. 특히, 푸셔 유니트(3)가 캐리어 테이프(5)를 흡착·지지한 상태에서 수평 방향(XY 평면 방향)으로 이동 및/또는 수직축 둘레(Z축 둘레)로 회전 이동한 경우더라도, 그것에 의해 캐리어 테이프(5)에 가해지는 응력을, 플로팅 상태에 있는 높이 규제 가이드(4)에 의해 효과적으로 저감할 수 있다.

이와 같이 하여, 캐리어 테이프(5)에 가해지는 응력에 기인하는 캐리어 테이프(5) 상의 TCP(특히 리드 또는 테스트 패드)나 캐리어 테이프(5) 자체(특히 텐션 스프로켓(35a), 메인 스프로켓(35b) 및 가이드 스프로켓(42a),(42b)의 클로가 삽입되는 구멍부 또는 그 주변부)의 손상을 방지할 수 있다.

[변형예]

이상 설명한 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태에 개시된 각 요소는 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물을 포함하는 취지이다.

예컨대, 상기 TCP 핸들러(2)에서는 높이 규제 가이드(4)의 회전 지지 부재(43)가 4개의 볼 캐스터(431)로 이루어지고, 함체(41)가 이들 볼 캐스터(431)에 의해 4포인트 지지되어 있고, 이러한 구성은 함체(41)가 설치대(29)상에서 안정적으로 지지되고, 또한 설치대(29) 상을 원활하게 슬라이드 변위 및 회전 변위할 수 있는 점에서 바람직하다. 그러나, 이것에 한정되지 않고 회전 지지 부재(43)의 종류나 회전 지지 부재(43)에 의한 함체(41)의 지지 구조는, 당업자 자명의 범위에서 임의로 선택할 수 있다.

또한, 상기 TCP 핸들러(2)에서는, 높이 규제 가이드(4)의 계류 기구(44)가 계합 핀(441)에 의해 구성되어 있지만, 이러한 구성은 함체(41)를 간이한 구성으로 설치대에 계류할 수 있는 점에서 바람직하다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, 계류 기구(44)는, 이러한 계류 핀(441) 이외의 부재로 구성되어도 좋고, 생략되어도 좋다.

또한, 상기 TCP 핸들러(2)에서는, 높이 규제 가이드(4)의 홀드 부재(45)가 코일 스프링(451)으로 구성되어 있지만, 이것에 한정되지 않고 홀드 부재(45)가 고무제 부재 기타 탄성 부재로 구성되어도 좋다. 또한, 높이 규제 가이드(4)(함체(41))에 대한 홀드 부재(45)의 설치 구조는, 도 2 ~ 도 4 에 도시한 구조에 한정되지 않고, 예컨대 복수의 코일 스프링(451)에 의해 함체(41)가 TCP 핸들러(2)의 벽부에 결합되어 있는 구성이어도 좋다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 TCP 핸들링 장치에 의하면, 푸셔의 이동 등에 따라 캐리어 테이프가 어긋난 경우더라도, 캐리어 테이프에 가해지는 응력을 완화 할 수 있기 때문에, 캐리어 테이프 상의 TCP를 파손하지 않고 시험에 제공할 수 있다.

Claims

테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를, 푸셔에 의해 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 압압하여, TCP의 외부 단자를 상기 콘택트부에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,

캐리어 테이프의 반송 경로 상, 상기 푸셔의 전단측 및/또는 후단측에, 캐리어 테이프를 가이드하는 가이드가 설치되어 있고, 상기 가이드는 적어도 캐리어 테이프의 평면 방향에서 변위 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
제 1항에 있어서,

상기 가이드는, 캐리어 테이프의 평면 방향에서 슬라이드 변위 및 회전 변위될 수 있도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 가이드는, 탄성체를 개재하여 플로팅 상태로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 가이드는, 소정의 높이 위치에 설치되고, 캐리어 테이프의 높이 위치를 규제하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
제 4항에 있어서,

상기 가이드는, 회전 지지 부재 상에 재치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 푸셔는, 캐리어 테이프를 홀드하여 상기 캐리어 테이프를 그 평면 방향으로 이동시키는 것 및/또는 그 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있도록 구성되어 있고,

상기 가이드는, 상기 푸셔의 이동에 따라 움직이는 캐리어 테이프를 따라서, 상기 캐리어 테이프에 가해지는 응력을 완화하도록 변위되는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.