JP6792631B2 - 基板作業装置 - Google Patents

Description

この発明は、基板作業装置に関し、特に、基板搬送部を備える基板作業装置に関する。

従来、基板搬送部を備える基板作業装置が知られている。このような基板作業装置は、特開２００７−３１７９１１号公報に開示されている。

特開２００７−３１７９１１号公報には、電子部品が実装される基板を搬送する基板搬送装置（基板搬送部）と、基板搬送装置により所定の位置に搬送された基板に電子部品を実装する移載ヘッドとを備える電子部品実装装置（基板作業装置）が開示されている。この電子部品実装装置では、基板搬送装置は、一対のコンベアベルトを有し、一対のコンベアベルト上に、水平面内で搬送方向と直交する方向の基板の両端部のそれぞれを配置した状態で、基板を搬送するように構成されている。

特開２００７−３１７９１１号公報

しかしながら、上記特開２００７−３１７９１１号公報に記載の電子部品実装装置では、基板が単にコンベアベルト上に配置されただけの状態で搬送されるので、加減速時に基板がコンベアベルトの動きに追従できずに、コンベアベルト上を滑る場合がある。このため、基板搬送部による基板の搬送速度を上げることができず、基板の搬送に要する時間を短縮することが困難であるという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、基板の搬送に要する時間を短縮することが可能な基板搬送部を備える基板作業装置を提供することである。

この発明の一の局面による基板作業装置は、部品が実装される基板を搬送する基板搬送部を備え、基板搬送部は、摩擦力により基板を搬送する下側搬送部材と、下側搬送部材と上下方向に対向するように配置され、摩擦力により基板を搬送する上側搬送部材と、を有し、下側搬送部材と上側搬送部材との間に、水平面内で搬送方向と直交する方向の基板の両端部を上下方向に挟み込んだ状態で、基板を搬送するように構成されており、基板搬送部は、下側搬送部材の下側に配置され、下側搬送部材の下側から、下側搬送部材を、上側搬送部材に向かって上方向に押し付けることにより、基板を基板作業位置で固定するための基板固定部をさらに有する。

この発明の一の局面による基板作業装置では、基板搬送部を、下側搬送部材と上側搬送部材との間に、水平面内で搬送方向と直交する方向の基板の両端部を上下方向に挟み込んだ状態で、基板を搬送するように構成する。これにより、基板が単に下側搬送部材上に載置されただけの状態で搬送される場合と異なり、基板が下側搬送部材と上側搬送部材との間に挟み込まれた状態で搬送されるので、加減速時に基板が下側搬送部材の動きに追従できずに、下側搬送部材上を滑ることを抑制することができる。その結果、基板搬送部による基板の搬送速度を上げることができるので、その分、基板の搬送に要する時間を短縮することができる。また、基板が下側搬送部材上を滑ることが抑制されるので、予め決められた基板作業位置に基板を正確かつ迅速に位置決めすることができる。その結果、基板の位置決め作業に要する時間を短縮することができる。また、基板が下側搬送部材と上側搬送部材との間に挟み込まれるので、反りを矯正した状態で基板を搬送することができる。その結果、基板の反りに起因して、搬送部材（下側搬送部材および上側搬送部材）の外側に基板が乗り上げてしまうことを抑制することができる。この効果は、薄型の基板や大型の基板などの比較的反りが大きい基板を搬送する場合に、特に有効である。また、基板が下側搬送部材と上側搬送部材との間に挟み込まれた状態で搬送されるので、搬送時に基板が振動することを抑制することができる。その結果、基板が振動することに起因して、基板上に配置されたはんだや部品などの部材が位置ずれすることを抑制することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、下側搬送部材は、下側搬送部材と上側搬送部材との間に基板が搬入されることにより、基板搬入前の状態から上下方向に移動する可動側搬送部材として構成されており、基板搬送部は、可動側搬送部材としての下側搬送部材を、上側搬送部材に向かって上方向に押し付ける押付け部をさらに有する。このように構成すれば、下側搬送部材と上側搬送部材との間において基板をより大きい力で挟み込むことができるので、基板が下側搬送部材上を滑ることをより抑制することができる。また、搬送時に基板が振動することをより抑制することができるとともに、反りをより矯正した状態で基板を搬送することができる。

この場合、好ましくは、下側搬送部材は、可動側搬送部材として構成されており、上側搬送部材は、基板の搬入の前後で、上下方向に移動しない固定側搬送部材として構成されており、押付け部は、可動側搬送部材を、固定側搬送部材に向かって上方向に押し付けるように構成されている。このように構成すれば、下側搬送部材および上側搬送部材の両方が可動側搬送部材として構成されている場合と異なり、上下方向に位置決めした状態で基板を搬送することができるので、安定して基板を搬送することができる。

上記押付け部が可動側搬送部材を固定側搬送部材に向かって押し付ける構成において、好ましくは、可動側搬送部材は、コンベアベルトであり、基板搬送部は、コンベアベルトと押付け部との間に配置され、コンベアベルトが延びる方向に沿って延びる板状のベルト押付用部材をさらに有し、押付け部は、ベルト押付用部材を介して、可動側搬送部材としてのコンベアベルトを、固定側搬送部材に向かって上方向に押し付けるように構成されている。このように構成すれば、ベルト押付用部材により可動側搬送部材としてのコンベアベルトを一様に押すことができるので、可動側搬送部材としてのコンベアベルトに押付け部による押し付け力を均一に加えることができる。その結果、可動側搬送部材と固定側搬送部材との間に挟まれる基板に押付け部による押し付け力を均一に加えることができるので、基板搬送部における基板の搬送位置によらず安定して基板を挟み込むことができる。

上記基板搬送部が押付け部をさらに有する構成において、好ましくは、基板固定部は、押付け部よりも大きい押し付け力を有する。このように構成すれば、押付け部による押し付け力が基板を固定する程には大きくない場合にも、基板作業位置では、押付け部よりも大きい押し付け力を有する基板固定部により基板を確実に固定することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、下側搬送部材および上側搬送部材は、コンベアベルトである。このように構成すれば、搬送方向に沿って延びるコンベアベルトとしての下側搬送部材と上側搬送部材とにより、基板の両端部の全体を一様に挟み込むことができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、下側搬送部材は、コンベアベルトであり、上側搬送部材は、コンベアローラである。このように構成すれば、コンベアベルトとしての下側搬送部材とコンベアローラとしての上側搬送部材とにより、基板を容易に挟み込むことができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、基板搬送部は、基板を待機させるためのバッファ用搬送部と、基板作業が行われる基板作業用搬送部と、を含み、バッファ用搬送部と基板作業用搬送部とは、それぞれ、下側搬送部材と上側搬送部材とを有し、バッファ用搬送部と基板作業用搬送部とは、それぞれ、下側搬送部材と上側搬送部材との間に、水平面内で搬送方向と直交する方向の基板の両端部を上下方向に挟み込んだ状態で、基板を搬送するように構成されている。このように構成すれば、基板搬送部が複数の搬送部（バッファ用搬送部および基板作業用搬送部）に分割されている場合にも、搬送部の各々において、下側搬送部材と上側搬送部材との間に挟み込まれた状態で基板を搬送することができる。

本発明によれば、上記のように、基板の搬送に要する時間を短縮することが可能な基板搬送部を備える基板作業装置を提供することができる。

本発明の第１および第２実施形態による基板作業装置の全体構成を示す図である。 第１実施形態の基板作業装置の基板搬送部を示す斜視図である。 第１実施形態の基板作業装置の基板搬送部をＹ１方向から見た模式的な図である。 第１実施形態の基板作業装置の基板搬送部をＸ２方向から見た図である。 第１実施形態の基板作業装置の基板搬送部をＺ２方向から見た図である。 図７の６００−６００線に沿った断面を示す模式的な図である。 第１実施形態の基板作業装置において基板が搬入される前の状態を示す模式的な図である。 第１実施形態の基板作業装置において基板が搬入された直後の状態を示す模式的な図である。 第１実施形態の基板作業装置において基板が固定された状態を示す模式的な図である。 第１実施形態の基板作業装置において基板が搬出される直前の状態を示す模式的な図である。 第２実施形態の基板作業装置の基板搬送部を示す斜視図である。 第２実施形態の基板作業装置の基板搬送部をＹ１方向から見た模式的な図である。 第１実施形態の変形例による基板作業装置の基板搬送部を示す模式的な図である。

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。以下の説明では、基板Ｐの搬送方向をＸ方向とし、水平面内でＸ方向と直交する方向をＹ方向とし、水平面と直交する上下方向をＺ方向とする。また、搬送方向の上流側をＸ２方向側とし、搬送方向の下流側をＸ１方向側とする。

［第１実施形態］
（基板作業装置の構成）
まず、図１を参照して、本発明の第１実施形態による基板作業装置１００の構成について説明する。

基板作業装置１００は、図１に示すように、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの部品Ｅ（電子部品）を、プリント基板などの基板Ｐに実装する基板作業を行う部品実装装置である。

また、基板作業装置１００は、基台１と、基板搬送部２と、基板作業部３と、支持部４と、レール部５と、部品撮像部６と、マーク撮像部７と、制御部８とを備えている。

基台１は、基板作業装置１００において各構成要素を配置する基礎となる台である。基台１上には、基板搬送部２、レール部５および部品撮像部６が設けられている。また、基台１内には、制御部８が設けられている。また、基台１には、Ｙ方向の両側（Ｙ１側およびＹ２側）に、複数のテープフィーダ１０を配置可能なフィーダ配置部１ａがそれぞれ設けられている。

テープフィーダ１０は、基板Ｐに実装される部品Ｅを供給する装置である。テープフィーダ１０は、複数の部品Ｅを保持した部品供給テープが巻き回されたリール（図示せず）を保持している。また、テープフィーダ１０は、基板作業部３による部品Ｅの取出しのための吸着動作に応じて、保持されたリールを回転させて部品供給テープを送出することにより、部品Ｅを供給するように構成されている。

基板搬送部２は、基板作業装置１００の外部から実装前の基板Ｐを搬入し、基板Ｐを搬送方向（Ｘ方向）に搬送し、基板作業装置１００の外部に実装後の基板Ｐを搬出するように構成されている。また、基板搬送部２は、搬入された基板Ｐを基板作業位置Ａまで搬送するとともに、基板作業位置Ａにおいて固定するように構成されている。なお、基板搬送部２の詳細な構成は、後述する。

基板作業部３は、部品実装用のヘッドユニットであり、基板搬送部２により搬送された基板Ｐに基板作業として部品実装作業を行うように構成されている。基板作業部３は、複数（５つ）のヘッド（実装ヘッド）３ａを含んでいる。複数のヘッド３ａの各々は、真空発生装置（図示せず）に接続されており、真空発生装置から供給される負圧によって、先端に装着されたノズル（図示せず）に部品Ｅを吸着可能に構成されている。

支持部４は、基板作業部３を搬送方向（Ｘ方向）に移動可能に支持するように構成されている。具体的には、支持部４は、搬送方向に延びるボールねじ軸４１と、ボールねじ軸４１を回転させるＸ軸モータ４２とを含んでいる。基板作業部３には、支持部４のボールねじ軸４１と係合するボールナット３ｂが設けられている。基板作業部３は、Ｘ軸モータ４２によりボールねじ軸４１が回転されることにより、ボールねじ軸４１と係合するボールナット３ｂとともに、支持部４に沿って搬送方向に移動可能に構成されている。

一対のレール部５は、支持部４をＹ方向に移動可能に支持するように構成されている。具体的には、レール部５は、支持部４のＸ方向の両端部をＹ方向に移動可能に支持する一対のガイドレール５１と、Ｙ方向に延びるボールねじ軸５２と、ボールねじ軸５２を回転させるＹ軸モータ５３とを含んでいる。支持部４には、レール部５のボールねじ軸５２と係合するボールナット４３が設けられている。支持部４は、Ｙ軸モータ５３によりボールねじ軸５２が回転されることにより、ボールねじ軸５２と係合するボールナット４３とともに、一対のレール部５に沿ってＹ方向に移動可能に構成されている。

このような構成により、基板作業部３は、基台１上を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動可能に構成されている。これにより、基板作業部３は、テープフィーダ１０の上方に移動して、テープフィーダ１０から供給される部品Ｅを取得（吸着）することが可能である。また、基板作業部３は、基板作業位置Ａにおいて固定された基板Ｐの上方に移動して、取得（吸着）された部品Ｅを基板Ｐに実装することが可能である。

部品撮像部６は、基板Ｐに対する部品Ｅの実装作業に先立ってヘッド３ａに吸着された部品Ｅを撮像する部品認識用のカメラである。部品撮像部６は、基台１の上面上に固定されており、部品Ｅの下方（Ｚ２方向）から、ヘッド３ａに吸着された部品Ｅを撮像するように構成されている。部品撮像部６による部品Ｅの撮像画像に基づいて、制御部８は、部品Ｅの吸着状態（回転姿勢およびヘッド３ａに対する吸着位置）を取得（認識）するように構成されている。

マーク撮像部７は、基板Ｐに対する部品Ｅの実装作業に先立って基板Ｐの上面に付された位置認識マーク（フィデューシャルマーク）Ｆを撮像するマーク認識用のカメラである。位置認識マークＦは、基板Ｐの位置を認識するためのマークである。位置認識マークＦによる位置認識マークＦの撮像結果に基づいて、制御部８は、基板作業位置Ａにおいて固定された基板Ｐの正確な位置および姿勢を取得（認識）するように構成されている。

制御部８は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、およびＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）などを含み、基板作業装置１００の動作を制御する制御回路である。制御部８は、基板搬送部２、テープフィーダ１０、Ｘ軸モータ４２およびＹ軸モータ５３などを生産プログラムに従って制御することにより、基板作業部３により基板実装作業を行わせるように構成されている。

（基板搬送部の構成）
次に、図２〜図６を参照して、第１実施形態による基板搬送部２の詳細な構成について説明する。

基板搬送部２は、図２に示すように、一対のコンベア部２０ａおよび２０ｂを含んでいる。Ｙ１方向側のコンベア部２０ａは、基板ＰのＹ１方向側の端部Ｐａを保持するとともに、基板Ｐを搬送方向（Ｘ方向）に搬送する機能を有している。また、Ｙ２方向側のコンベア部２０ｂは、基板ＰのＹ２方向側の端部Ｐｂを保持するとともに、基板Ｐを搬送方向に搬送する機能を有している。基板搬送部２は、一対のコンベア部２０ａおよび２０ｂにより、水平面内で搬送方向と直交するＹ方向の基板Ｐの両端部（ＰａおよびＰｂ）をそれぞれ保持した状態で、基板Ｐを搬送するように構成されている。基板搬送部２では、基板Ｐの実装面にはんだなどの接合材や既に実装済みの部品Ｅが配置されているため、接合材と干渉しないように、Ｙ方向の基板Ｐの両端部（ＰａおよびＰｂ）のみが保持され、両端部（ＰａおよびＰｂ）の間の部分は保持されない。なお、コンベア部２０ａおよび２０ｂは、実質的に同様の構成を有している。

ここで、第１実施形態では、基板搬送部２のコンベア部２０ａ（２０ｂ）は、摩擦力により基板Ｐを搬送する下側搬送部材２１と、下側搬送部材２１と上下方向（Ｚ方向）に対向するように、下側搬送部材２１の上方に配置され、摩擦力により基板Ｐを搬送する上側搬送部材２２とを有している。基板搬送部２は、コンベア部２０ａおよび２０ｂの下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に、Ｙ方向の基板Ｐの両端部（ＰａおよびＰｂ）を上下方向に挟み込んだ状態で、基板Ｐを搬送するように構成されている。

図２〜図６に示すように、下側搬送部材２１および上側搬送部材２２は、共に、輪状のコンベアベルトである。輪状のコンベアベルトである下側搬送部材２１は、複数（４つ）のプーリ２１ａに掛け回されている。また、輪状のコンベアベルトである上側搬送部材２２は、複数（２つ）のプーリ２２ａに掛け回されている。

輪状のコンベアベルトである下側搬送部材２１は、基板Ｐと接触して摩擦力により基板Ｐを搬送する接触部分２１ｂと、基板Ｐと接触せず基板Ｐを搬送しない非接触部分２１ｃとを含んでいる。接触部分２１ｂは、輪状のコンベアベルトのうちの上側の部分であって、基板搬送部２のコンベア部２０ａ（２０ｂ）における基板Ｐの搬入側端部（Ｘ２方向側の端部）から搬出側端部（Ｘ１方向側の端部）まで、搬送方向に沿って延びている。

また、輪状のコンベアベルトである上側搬送部材２２は、基板Ｐと接触して摩擦力により基板Ｐを搬送する接触部分２２ｂと、基板Ｐと接触せず基板Ｐを搬送しない非接触部分２２ｃとを含んでいる。接触部分２２ｂは、輪状のコンベアベルトのうちの下側の部分であって、基板搬送部２のコンベア部２０ａ（２０ｂ）における基板Ｐの搬入側端部（Ｘ２方向側の端部）の近傍から搬出側端部（Ｘ１方向側の端部）の近傍まで、搬送方向に沿って延びている。

下側搬送部材２１および上側搬送部材２２は、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂにおける基板Ｐとの接触面と、上側搬送部材２２の接触部分２２ｂにおける基板Ｐとの接触面とが、上下方向に互いに対向するように配置されている。つまり、基板搬送部２では、下側搬送部材２１の接触面と上側搬送部材２２の接触面との間に、Ｙ方向の基板Ｐの両端部（ＰａおよびＰｂ）を上下方向に挟み込んだ状態で、基板Ｐが搬送される。また、下側搬送部材２１および上側搬送部材２２は、基板Ｐの搬入前の状態で、下側搬送部材２１の接触面と上側搬送部材の接触面との間に隙間Ｓ（図４参照）を有するように上下方向に離間して配置されている。これにより、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に基板Ｐを容易に搬入することが可能である。

下側搬送部材２１は、基板Ｐの搬入により、接触部分２１ｂが上下方向（Ｚ方向）に撓み変形可能に構成されている。第１実施形態では、下側搬送部材２１は、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に基板Ｐが搬入されることにより、基板Ｐの搬入前の状態から接触部分２１ｂが下方向（Ｚ２方向）に移動する可動側搬送部材２３として構成されている。

一方、上側搬送部材２２は、基板Ｐの搬入により、接触部分２２ｂが上下方向に撓み変形しないように構成されている。第１実施形態では、上側搬送部材２２は、基板Ｐの搬入の前後で、上下方向（Ｚ方向）に移動しない固定側搬送部材２４として構成されている。基板搬送部２では、上側搬送部材２２の接触部分２２ｂと非接触部分２２ｃとの間に、上側搬送部材２２の接触部分２２ｂの上方向（Ｚ１方向）への移動を規制する板状の規制部材２５が設けられている。規制部材２５は、接触部分２２ｂの搬入側端部（Ｘ２方向側の端部）の近傍から搬出側端部（Ｘ１方向側の端部）の近傍まで、上側搬送部材２２の接触部分２２ｂに沿って延びており、上側搬送部材２２の接触部分２２ｂの接触面とは反対側の裏面と接触するように配置されている。また、規制部材２５は、上下方向の位置が移動しないように固定されており、上側搬送部材２２の接触部分２２ｂの裏面と接触することによって、上側搬送部材２２の上方向への移動を規制するように構成されている。

また、第１実施形態では、図２および図３に示すように、基板搬送部２は、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１を、固定側搬送部材２４としての上側搬送部材２２に向かって上方（Ｚ１方向）に押し付ける複数（６つ）の第１押付け部２６を有している。複数の第１押付け部２６は、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に基板Ｐを挟んだ状態で、基板Ｐを搬送可能な押し付け力で、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１を、固定側搬送部材２４としての上側搬送部材２２に押し付けるように構成されている。また、複数の第１押付け部２６は、実質的に同様の構成を有している。

第１押付け部２６は、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂの裏面側（Ｚ２方向側）において、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂと非接触部分２１ｃとの間に配置されている。つまり、第１押付け部２６は、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂの裏面側から、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１に押し付け力を加えるように構成されている。また、第１押付け部２６は、バネ部材を含み、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に基板Ｐが搬入された場合に、バネ部材が圧縮されるように構成されている。これにより、第１押付け部２６は、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に基板Ｐが搬入された場合に、圧縮されたバネ部材により可動側搬送部材２３を固定側搬送部材２４に向かって押し付けるように構成されている。

また、第１実施形態では、図２、図３および図６に示すように、基板搬送部２は、下側搬送部材２１と第１押付け部２６との間に配置され、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂが延びる方向に沿って延びる板状のベルト押付用部材２７を有している。ベルト押付用部材２７は、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂの搬入側端部（Ｘ２方向側の端部）の近傍から搬出側端部（Ｘ１方向側の端部）の近傍まで、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂに沿って延びており、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂの接触面とは反対側の裏面と接触するように配置されている。また、ベルト押付用部材２７は、上下可動部材２８に取り付けられており、上下方向に移動可能に構成されている。これにより、ベルト押付用部材２７は、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に基板Ｐが搬入された場合に、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂとともに、下方向（Ｚ２方向）に移動するように構成されている。上下可動部材２８は、平行リンク機構により構成されている。なお、上下可動部材２８には、リニアガイド機構などの平行リンク機構以外の上下可動部材が用いられてもよい。第１実施形態では、第１押付け部２６は、ベルト押付用部材２７を介して、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１を、固定側搬送部材２４としての上側搬送部材２２に向かって上方（Ｚ１方向）に押し付けるように構成されている。

また、第１実施形態では、基板搬送部２は、第１押付け部２６よりも大きい押し付け力を有し、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１を、固定側搬送部材２４としての上側搬送部材２２に向かって上方（Ｚ１方向）に押し付けることにより、基板Ｐを基板作業位置Ａにおいて固定するための複数（２つ）の第２押付け部２９を有している。複数の第２押付け部２９は、基板搬送部２において、基板作業位置Ａに対応する位置に配置されている。複数の第２押付け部２９は、実質的に同様の構成を有している。

第２押付け部２９は、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂの裏面側（Ｚ２方向側）において、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂと非接触部分２１ｃとの間に配置されている。つまり、第２押付け部２９は、下側搬送部材２１の接触部分２１ｂの裏面側から、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１に押し付け力を加えるように構成されている。また、第２押付け部２９は、エアシリンダを含んでいる。第２押付け部２９は、基板Ｐの搬送中には、エアシリンダのピストンロッドをエアシリンダ本体の内部に引き込んだ状態にすることにより、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１に押し付け力を加えないように構成されている。また、第２押付け部２９は、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２とにより基板Ｐが基板作業位置Ａまで搬送され、基板作業位置Ａにおいて停止された場合に、エアシリンダのピストンロッドをエアシリンダ本体の内部から突き出すことにより、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１に押し付け力を加えるように構成されている。これにより、基板作業位置Ａにおいて基板Ｐを固定する場合にのみ、第２押付け部２９による押し付け力が、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１に加えられる。また、第１実施形態では、第２押付け部２９は、ベルト押付用部材２７を介して、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１を、固定側搬送部材２４としての上側搬送部材２２に向かって上方（Ｚ１方向）に押し付けるように構成されている。

また、図２、図４および図５に示すように、基板搬送部２は、下側搬送部材２１および上側搬送部材２２を駆動する駆動モータ３０を有している。基板搬送部２では、下側搬送部材２１および上側搬送部材２２は、単一の駆動モータ３０により駆動される。

具体的には、図２および図３に示すように、基板搬送部２は、駆動モータ３０による駆動力を下側搬送部材２１に伝達する第１動力伝達部３１と、駆動モータ３０による駆動力を上側搬送部材２２に伝達する第２動力伝達部３２とを有している。

第１動力伝達部３１は、コンベアベルトである下側搬送部材２１が掛け回された複数のプーリ２１ａのうち、駆動モータ３０に接続された軸部３０ａを介して、駆動モータ３０に接続されたプーリ２１ａを有している。下側搬送部材２１は、第１動力伝達部３１としてのプーリ２１ａを介して駆動モータ３０の駆動力が伝達されることにより、駆動されるように構成されている。

また、第２動力伝達部３２は、コンベアベルトである下側搬送部材２１が掛け回された複数のプーリ２１ａのうちの１つと接続されるとともに、接続されたプーリ２１ａの回転により回転する第１ギヤ３２ａと、第１ギヤ３２ａと係合するとともに、係合された第１ギヤ３２ａの回転により回転する第２ギヤ３２ｂと、第２ギヤ３２ｂと接続されるとともに、第２ギヤ３２ｂの回転により回転するプーリ２２ａとを有している。第２動力伝達部３２を構成するプーリ２２ａは、コンベアベルトである下側搬送部材２１が掛け回された複数のプーリ２２ａのうちの１つである。上側搬送部材２２は、プーリ２１ａと、第１ギヤ３２ａと、第２ギヤ３２ｂと、プーリ２２ａとを介して、駆動モータ３０の駆動力が伝達されることにより、駆動されるように構成されている。

また、基板搬送部２は、輪状のコンベアベルトである上側搬送部材２２の上側を構成する非接触部分２２ｃの上下方向の高さ位置を規制する複数（２つ）の位置規制プーリ２２ｄを有している。複数の位置規制プーリ２２ｄは、上側搬送部材２２の上側を構成する非接触部分２２ｃの上下方向の高さ位置が低くなるように、非接触部分２２ｃを下方（Ｚ２方向）に押さえ付けるように構成されている。これにより、上側搬送部材２２の非接触部分２２ｃが、基板搬送部２の上方を移動する可動部（基板作業部３）の移動を妨げることを抑制することが可能である。２つの位置規制プーリ２２ｄは、それぞれ、上側搬送部材２２の搬入側端部（Ｘ２方向側の端部）の近傍および搬出側端部（Ｘ１方向側の端部）の近傍に配置されている。

（基板搬送動作）
次に、図７〜図１０を参照して、第１実施形態の基板作業装置１００による基板搬送動作について説明する。なお、図７〜図１０では、理解を容易にするために、基板搬送部２の要部のみを概略的に図示するとともに、各構成をやや誇張して図示している。

図７に示すように、基板Ｐの搬入前には、下側搬送部材２１および上側搬送部材２２が、下側搬送部材２１の接触面と上側搬送部材２２の接触面との間に隙間Ｓ（図４参照）を有するように上下方向に離間して配置されている。

次に、図８に示すように、上流側（Ｘ２方向側）から基板Ｐが搬入されると、搬入された基板ＰのＹ方向の両端部（ＰａおよびＰｂ）が、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に挟み込まれる。固定側搬送部材２４としての上側搬送部材２２は、規制部材２５により上方向への移動を規制されているので、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１の接触部分２１ｂは、基板Ｐの厚み分だけ撓むことにより、下方（Ｚ２方向）に移動される。この際、接触部分２１ｂとともに、接触部分２１ｂと接触するベルト押付用部材２７も下方に移動される。この結果、第１押付け部２６のバネ部材が圧縮されるとともに、圧縮されたバネ部材の押し付け力により、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１が、固定側搬送部材２４としての上側搬送部材２２に向かって押し付けられる。

次に、図９に示すように、搬入された基板Ｐが下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に挟み込まれた状態で、基板作業位置Ａまで搬送されると、基板作業位置Ａにおいて停止される。そして、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１が、第２押付け部２９により、固定側搬送部材２４としての上側搬送部材２２に向かって上方（Ｚ１方向）に押し付けられる。この結果、基板作業位置Ａにおいて停止された基板Ｐが、基板Ｐの上方に配置された上側搬送部材２２および規制部材２５と、基板Ｐの下方に配置された下側搬送部材２１およびベルト押付用部材２７とにより挟まれることにより、固定される。そして、基板作業位置Ａにおいて固定された状態で、基板作業部３により部品実装作業が行われる。基板作業部３による部品実装作業が完了すると、第２押付け部２９による基板Ｐの固定が解除される。

次に、図１０に示すように、第２押付け部２９による基板Ｐの固定が解除されると、基板作業位置Ａから下流側（Ｘ１方向側）に基板Ｐが搬送される。そして、部品実装作業が完了した基板Ｐが下流側から搬出される。以上のように、基板作業装置１００の基板搬送部２では、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に基板Ｐの両端部（ＰａおよびＰｂ）が挟み込まれた状態で、搬入位置から搬出位置まで基板Ｐが搬送される。

（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第１実施形態では、上記のように、基板搬送部２を、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に、水平面内で搬送方向と直交する方向の基板Ｐの両端部（ＰａおよびＰｂ）を上下方向に挟み込んだ状態で、基板Ｐを搬送するように構成する。これにより、基板Ｐが単に下側搬送部材２１上に載置されただけの状態で搬送される場合と異なり、基板Ｐが下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に挟み込まれた状態で搬送されるので、加減速時に基板Ｐが下側搬送部材２１の動きに追従できずに、下側搬送部材２１上を滑ることを抑制することができる。その結果、基板搬送部２による基板Ｐの搬送速度を上げることができるので、その分、基板Ｐの搬送に要する時間を短縮することができる。また、基板Ｐが下側搬送部材２１上を滑ることが抑制されるので、予め決められた基板作業位置Ａに基板Ｐを容易に位置決めすることができる。その結果、基板Ｐの位置決め作業に要する時間を短縮することができる。また、基板Ｐが下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に挟み込まれるので、反りを矯正した状態で基板Ｐを搬送することができる。その結果、基板Ｐの反りに起因して、搬送部材（下側搬送部材２１および上側搬送部材２２）の外側に基板Ｐが乗り上げてしまうことを抑制することができる。この効果は、薄型の基板Ｐや大型の基板Ｐなどの比較的反りが大きい基板Ｐを搬送する場合に、特に有効である。また、基板Ｐが下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に挟み込まれた状態で搬送されるので、搬送時に基板Ｐが振動することを抑制することができる。その結果、基板Ｐが振動することに起因して、基板Ｐ上に配置されたはんだや部品Ｅなどの部材が位置ずれすることを抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、下側搬送部材２１を、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に基板Ｐが搬入されることにより、基板搬入前の状態から上下方向に移動する可動側搬送部材２３として構成する。そして、基板搬送部２は、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１を、上側搬送部材２２に向かって上下方向に押し付ける第１押付け部２６を有する。これにより、下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間において基板Ｐをより大きい力で挟み込むことができるので、基板Ｐが下側搬送部材２１上を滑ることをより抑制することができる。また、搬送時に基板Ｐが振動することをより抑制することができるとともに、反りをより矯正した状態で基板Ｐを搬送することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、上側搬送部材２２を、基板Ｐの搬入の前後で、上下方向に移動しない固定側搬送部材２４として構成する。そして、第１押付け部２６を、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１を、固定側搬送部材２４としての上側搬送部材２２に向かって上下方向に押し付けるように構成する。これにより、下側搬送部材２１および上側搬送部材２２の両方が可動側搬送部材２３として構成されている場合と異なり、上下方向に位置決めした状態で基板Ｐを搬送することができるので、安定して基板Ｐを搬送することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１は、コンベアベルトである。そして、基板搬送部２は、コンベアベルトである下側搬送部材２１と第１押付け部２６との間に配置され、コンベアベルトである下側搬送部材２１が延びる方向に沿って延びる板状のベルト押付用部材２７を有する。そして、第１押付け部２６を、ベルト押付用部材２７を介して、可動側搬送部材２３としてのコンベアベルト（下側搬送部材２１）を、固定側搬送部材２４に向かって上下方向に押し付けるように構成する。これにより、ベルト押付用部材２７により可動側搬送部材２３としてのコンベアベルト（下側搬送部材２１）を一様に押すことができるので、可動側搬送部材２３としてのコンベアベルト（下側搬送部材２１）に第１押付け部２６による押し付け力を均一に加えることができる。その結果、可動側搬送部材２３と固定側搬送部材２４との間に挟まれる基板Ｐに第１押付け部２６による押し付け力を均一に加えることができるので、基板搬送部２における基板Ｐの搬送位置によらず安定して基板Ｐを挟み込むことができる。

また、第１実施形態では、上記のように、基板搬送部２は、第１押付け部２６よりも大きい押し付け力を有し、可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１を、上側搬送部材２２に向かって上下方向に押し付けることにより、基板Ｐを基板作業位置Ａで固定するための第２押付け部２９を有する。これにより、第１押付け部２６による押し付け力が基板Ｐを固定する程には大きくない場合にも、基板作業位置Ａでは、第１押付け部２６よりも大きい押し付け力を有する第２押付け部２９により基板Ｐを確実に固定することができる。また、第１実施形態では、基板Ｐが下側搬送部材２１と上側搬送部材２２との間に挟み込まれた状態で搬送されるので、基板作業位置Ａにおいて第２押付け部２９による押し付け力が基板Ｐに加えられた場合に、基板Ｐが振動することを抑制することができる。その結果、押し付け力を加えた際に基板Ｐが振動することに起因して、基板Ｐ上に配置されたはんだや部品Ｅなどの部材が位置ずれすることを抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、下側搬送部材２１および上側搬送部材２２は、コンベアベルトである。これにより、搬送方向に沿って延びるコンベアベルトとしての下側搬送部材２１と上側搬送部材２２とにより、基板Ｐの両端部（ＰａおよびＰｂ）の全体を一様に挟み込むことができる。

［第２実施形態］
次に、図１、図１１および図１２を参照して、第２実施形態について説明する。この第２実施形態では、上記第１実施形態と異なり、基板搬送部が複数の搬送部に分割されている例について説明する。なお、上記第１実施形態と同一の構成については、図中において同じ符号を付して図示し、その説明を省略する。

（基板作業装置の構成）
本発明の第２実施形態による基板作業装置２００は、図１に示すように、基板搬送部１０２を備える点で、上記第１実施形態の基板作業装置１００と相違する。

第２実施形態では、図１１および図１２に示すように、基板搬送部１０２は、第１搬送部２０２と、第２搬送部３０２と、第３搬送部４０２とを含み、複数（３つ）の搬送部に分割されている。第１搬送部２０２と、第２搬送部３０２と、第３搬送部４０２とは、互いに独立して基板Ｐを搬送可能に構成されている。なお、第１搬送部２０２および第３搬送部４０２は、共に、特許請求の範囲の「バッファ用搬送部」の一例である。また、第２搬送部３０２は、特許請求の範囲の「基板作業用搬送部」の一例である。

第１搬送部２０２は、基板搬送部１０２において上流側（Ｘ２方向側）に配置されており、基板作業装置２００の外部から実装前の基板Ｐを搬入するように構成されている。また、第１搬送部２０２は、実装前の基板Ｐを基板作業装置２００の内部において待機させるためのバッファ用搬送部としての機能を有している。

第２搬送部３０２は、第１搬送部２０２と第３搬送部４０２との間に配置されており、第１搬送部２０２から実装前の基板Ｐを受け取るとともに、受け取った実装前の基板Ｐを基板作業位置Ａまで搬送するように構成されている。また、第２搬送部３０２は、基板作業位置Ａにおいて、実装前の基板Ｐを固定するように構成されている。第２搬送部３０２では、基板作業位置Ａにおいて基板Ｐが固定された状態で、基板作業部３（図１参照）による基板作業としての部品実装作業が行われる。つまり、第２搬送部３０２は、基板作業が行われる基板作業用搬送部としての機能を有している。

第３搬送部４０２は、基板搬送部１０２において下流側（Ｘ１方向側）に配置されており、第２搬送部３０２から実装後の基板Ｐを受け取り、基板作業装置２００の外部に実装後の基板Ｐを搬出するように構成されている。また、第３搬送部４０２は、実装後の基板Ｐを基板作業装置２００の内部において待機させるためのバッファ用搬送部としての機能を有している。

ここで、第２実施形態では、第１搬送部２０２と、第２搬送部３０２と、第３搬送部４０２とは、それぞれ、下側搬送部材２２１（３２１、４２１）と、上側搬送部材２２２（３２２、４２２）とを有している。第１搬送部２０２と、第２搬送部３０２と、第３搬送部４０２とは、それぞれ、下側搬送部材２２１（３２１、４２１）と上側搬送部材２２２（３２２、４２２）との間に、Ｙ方向の基板Ｐの両端部（ＰａおよびＰｂ）を上下方向に挟み込んだ状態で、基板Ｐを搬送するように構成されている。なお、第１搬送部２０２と、第２搬送部３０２と、第３搬送部４０２とは、実質的に同様の構成を有している。

輪状のコンベアベルトである下側搬送部材２２１（３２１、４２１）は、複数（４つ）のプーリ２２１ａ（３２１ａ、４２１ａ）に掛け回されている。また、輪状のコンベアベルトである上側搬送部材２２２（３２２、４２２）は、複数（２つ）のプーリ２２２ａ（３２２ａ、４２２ａ）に掛け回されている。

輪状のコンベアベルトである下側搬送部材２２１（３２１、４２１）は、基板Ｐと接触して摩擦力により基板Ｐを搬送する接触部分２２１ｂ（３２１ｂ、４２１ｂ）と、基板Ｐと接触せず基板Ｐを搬送しない非接触部分２２１ｃ（３２１ｃ、４２１ｃ）とを含んでいる。また、下側搬送部材２２１（３２１、４２１）は、可動側搬送部材２２３（３２３、３２４）として構成されている。なお、可動側搬送部材２２３（３２３、４２３）としての下側搬送部材２２１（３２１、４２１）は、第１実施形態の可動側搬送部材２３としての下側搬送部材２１と対応しており、同様の構成を有する。このため、詳細な説明を省略する。以下においても、第１実施形態と同様の構成については、その旨を記載し、詳細な説明を省略する。

輪状のコンベアベルトである上側搬送部材２２２（３２２、４２２）は、基板Ｐと接触して摩擦力により基板Ｐを搬送する接触部分２２２ｂ（３２２ｂ、４２２ｂ）と、基板Ｐと接触せず基板Ｐを搬送しない非接触部分２２２ｃ（３２２ｃ、４２２ｃ）とを含んでいる。また、上側搬送部材２２２（３２２、４２２）は、固定側搬送部材２２４（３２４、４２４）として構成されている。なお、固定側搬送部材２２４（３２４、４２４）としての上側搬送部材２２２（３２２、４２２）は、第１実施形態の固定側搬送部材２４としての上側搬送部材２２と対応しており、同様の構成を有する。

また、第１搬送部２０２（第２搬送部３０２、第３搬送部４０２）には、規制部材２２５（３２５、４２５）と、第１押付け部２２６（３２６、４２６）と、ベルト押付用部材２２７（３２７、４２７）と、上下可動部材２２８（３２８、４２８）とが設けられている。なお、規制部材２２５（３２５、４２５）と、第１押付け部２２６（３２６、４２６）と、ベルト押付用部材２２７（３２７、４２７）と、上下可動部材２２８（３２８、４２８）とは、それぞれ、第１実施形態の規制部材２５と、第１押付け部２６と、ベルト押付用部材２７と、上下可動部材２８とに対応しており、同様の構成を有する。

また、第２実施形態では、第２搬送部３０２にのみ、第２押付け部３２９が設けられている。第２実施形態では、第１搬送部２０２と第３搬送部４０２とには、第２押付け部３２９が設けられていない。なお、第２押付け部３２９は、第１実施形態の第２押付け部２９に対応しており、同様の構成を有する。

また、第２実施形態では、図１１に示すように、第１搬送部２０２と、第２搬送部３０２と、第３搬送部４０２とには、それぞれ、下側搬送部材２２１（３２１、４２１）および上側搬送部材２２２（３２２、４２２）を駆動する駆動モータ２３０（３３０、４３０）が設けられている。駆動モータ２３０（３３０、４３０）による下側搬送部材２２１（３２１、４２１）および上側搬送部材２２２（３２２、４２２）への動力伝達機構は、第１実施形態と同様である。また、第１搬送部２０２（第２搬送部３０２、第３搬送部４０２）には、位置規制プーリ２２２ｄ（３２２ｄ、４２２ｄ）が設けられている。なお、位置規制プーリ２２２ｄ（３２２ｄ、４２２ｄ）は、第１実施形態の位置規制プーリ２２ｄと対応しており、同様の構成を有する。

なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第２実施形態では、上記のように、基板搬送部１０２は、基板Ｐを待機させるための第１搬送部２０２および第３搬送部４０２と、基板Ｐ作業が行われる第２搬送部３０２と、を含んでいる。そして、第１搬送部２０２および第３搬送部４０２と第２搬送部３０２とは、それぞれ、下側搬送部材２２１（３２１、４２１）と上側搬送部材２２２（３２２、４２２）とを有する。そして、第１搬送部２０２および第３搬送部４０２と第２搬送部３０２とを、それぞれ、下側搬送部材２２１（３２１、４２１）と上側搬送部材２２２（３２２、４２２）との間に、水平面内で搬送方向と直交する方向の基板Ｐの両端部（ＰａおよびＰｂ）を上下方向に挟み込んだ状態で、基板Ｐを搬送するように構成する。これにより、基板搬送部１０２が複数の搬送部（第１搬送部２０２、第２搬送部３０２および第３搬送部４０２）に分割されている場合にも、搬送部の各々において、下側搬送部材２２１（３２１、４２１）と上側搬送部材２２２（３２２、４２２）との間に挟み込まれた状態で基板Ｐを搬送することができる。

なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更（変形例）が含まれる。

たとえば、上記第１および第２実施形態では、基板作業として部品実装作業を行う部品実装装置としての基板作業装置に本発明が適用された例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、本発明は、基板作業としてはんだなどの接合材を基板に印刷する印刷作業を行う接合材印刷装置としての基板作業装置に適用されてもよい。また、本発明は、基板作業として基板の検査作業を行う検査装置に適用されてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、基板搬送装置が第１押付け部を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、下側搬送部材と上側搬送部材との間に基板を挟み込むことができれば、基板搬送装置が第１押付け部を有さなくてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、下側搬送部材を可動側搬送部材とし、上側搬送部材を固定側搬送部材とする例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、上側搬送部材を可動側搬送部材とし、下側搬送部材を固定側搬送部材としてもよい。また、上側搬送部材および下側搬送部材の両方を、基板の搬入により、上下方向に可動するように構成してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、基板搬送部が、ベルト押付用部材を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、安定して基板を挟み込むことができれば、基板搬送部が、ベルト押付用部材を有さなくてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、基板搬送部が、基板を固定するための第２押付け部を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基板搬送部が、第２押付け部以外の基板固定機構を有していてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、下側搬送部材および上側搬送部材が、コンベアベルトである例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、下側搬送部材および上側搬送部材のうちの少なくともいずれか一方が、摩擦力により基板を搬送するコンベアローラであってもよい。変形例では、図１３に示すように、上側搬送部材５２２は、摩擦力により基板Ｐを搬送するコンベアローラである。変形例では、コンベアローラである上側搬送部材５２２は、固定側搬送部材５２４として構成されている。これにより、コンベアベルトとしての下側搬送部材２１とコンベアローラとしての上側搬送部材５２２とにより、基板Ｐを容易に挟み込むことができる。

また、上記第１および第２実施形態では、基板搬送部が、位置規制プーリを有する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、上側搬送部材が基板搬送部の上方を移動する可動部（基板作業部など）の移動を妨げなければ、基板搬送部が、位置規制プーリを有さなくてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、下側搬送部材と上側搬送部材とが単一の駆動モータにより駆動される例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、下側搬送部材と上側搬送部材とが、別個の駆動モータにより駆動されてもよい。

また、上記第２実施形態では、基板搬送部が、３つの搬送部に分割されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板搬送部が、３つ以外の複数の搬送部に分割されてもよい。

２、１０２ 基板搬送部
２１、２２１、３２１、４２１ 下側搬送部材
２２、２２２、３２１、４２２、５２２ 上側搬送部材
２３、２２３、３２３、４２３ 可動側搬送部材
２４、２２４、３２４、４２４、５２４ 固定側搬送部材
２６ 第１押付け部
２７ ベルト押付用部材
２９ 第２押付け部
１００、２００ 基板作業装置
２０２ 第１搬送部（バッファ用搬送部）
３０２ 第２搬送部（基板作業用搬送部）
４０２ 第３搬送部（バッファ用搬送部）
Ａ 基板作業位置
Ｅ 部品
Ｐ 基板

Claims (8)

1. 部品が実装される基板を搬送する基板搬送部を備え、
   前記基板搬送部は、
   摩擦力により前記基板を搬送する下側搬送部材と、
   前記下側搬送部材と上下方向に対向するように配置され、摩擦力により前記基板を搬送する上側搬送部材と、を有し、
   前記下側搬送部材と前記上側搬送部材との間に、水平面内で搬送方向と直交する方向の前記基板の両端部を上下方向に挟み込んだ状態で、前記基板を搬送するように構成されており、
   前記基板搬送部は、前記下側搬送部材の下側に配置され、前記下側搬送部材の下側から、前記下側搬送部材を、前記上側搬送部材に向かって上方向に押し付けることにより、前記基板を基板作業位置で固定するための基板固定部をさらに有する、基板作業装置。
2. 前記下側搬送部材は、前記下側搬送部材と前記上側搬送部材との間に前記基板が搬入されることにより、基板搬入前の状態から上下方向に移動する可動側搬送部材として構成されており、
   前記基板搬送部は、前記可動側搬送部材としての前記下側搬送部材を、前記上側搬送部材に向かって上方向に押し付ける押付け部をさらに有する、請求項１に記載の基板作業装置。
3. 前記下側搬送部材は、前記可動側搬送部材として構成されており、
   前記上側搬送部材は、前記基板の搬入の前後で、上下方向に移動しない固定側搬送部材として構成されており、
   前記押付け部は、前記可動側搬送部材を、前記固定側搬送部材に向かって上方向に押し付けるように構成されている、請求項２に記載の基板作業装置。
4. 前記可動側搬送部材は、コンベアベルトであり、
   前記基板搬送部は、前記コンベアベルトと前記押付け部との間に配置され、前記コンベアベルトが延びる方向に沿って延びる板状のベルト押付用部材をさらに有し、
   前記押付け部は、前記ベルト押付用部材を介して、前記可動側搬送部材としての前記コンベアベルトを、前記固定側搬送部材に向かって上方向に押し付けるように構成されている、請求項３に記載の基板作業装置。
5. 前記基板固定部は、前記押付け部よりも大きい押し付け力を有する、請求項２に記載の基板作業装置。
6. 前記下側搬送部材および前記上側搬送部材は、コンベアベルトである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板作業装置。
7. 前記下側搬送部材は、コンベアベルトであり、
   前記上側搬送部材は、コンベアローラである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板作業装置。
8. 前記基板搬送部は、前記基板を待機させるためのバッファ用搬送部と、基板作業が行われる基板作業用搬送部と、を含み、
   前記バッファ用搬送部と前記基板作業用搬送部とは、それぞれ、前記下側搬送部材と前記上側搬送部材とを有し、
   前記バッファ用搬送部と前記基板作業用搬送部とは、それぞれ、前記下側搬送部材と前記上側搬送部材との間に、水平面内で前記搬送方向と直交する方向の前記基板の両端部を上下方向に挟み込んだ状態で、前記基板を搬送するように構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板作業装置。

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