JP2689097B2 - プリント配線基板の搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線基板の搬
送装置に関する。すなわち、プリント配線基板の製造工
程で用いられる各装置に組み込み可能な、搬送装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】まず、技術的背景について述べる。プリ
ント配線基板は、最近ますます極薄化や高密度化が進み
つつある。例えばその肉厚は、１．０ｍｍから０．８ｍ
ｍ更には０．４ｍｍ程度と極薄化しつつあり、回路の高
密度化の進展も著しい。そしてプリント配線基板は、例
えば、材料切断，穴あけ加工，研磨，スルホールメッ
キ，研磨，エッチングレジストの塗布，乾燥，又は張り
付け，露光，現像，エッチング，回路部分のレジスト剥
離，等々の工程を辿って製造される。そして、このよう
なプリント配線基板の現像，エッチング，剥離等の製造
工程では、それぞれ、プリント配線基板を搬送しつつ薬
液処理が行われる。

【０００３】図１１は、この種従来例のプリント配線基
板の搬送装置を示し、（１）図は平面図、（２）図は側
面図である。同図に示した従来の搬送装置１では、上下
に対向してローラーコンベア２が配され、両ローラーコ
ンベア２は、搬送方向に沿って水平に設けられると共
に、駆動軸３，ギヤ部４等を介し各コンベア軸５が回転
され、もって、コンベア軸５に取り付け固定された各コ
マたるローラー６が回転されるようになっている。そし
てプリント配線基板Ａは、このような上下のローラーコ
ンベア２間に挟み込まれ、その各ローラー６の回転によ
り横姿勢で搬送されつつ、上下のスプレーパイプ７の各
スプレーノズル８から薬液Ｍが噴射され、もって薬液Ｍ
処理が行われていた。例えばエッチング工程では、薬液
Ｍとして腐食液が噴射され、もって、レジストで保護さ
れた回路部分以外の銅箔を溶解除去する、エッチング処
理が行われていた。

【０００４】なお、この種従来例の搬送装置１として
は、この図１１に示したもののほか、次のようなものも
用いられていた。まずローラーコンベア２を搬送方向に
沿って水平に１個のみ配し、その上にプリント配線基板
Ａが載せられ支えられつつ、横姿勢で搬送されるタイプ
のもの、又、このようなローラーコンベア２を搬送方向
に沿って縦に左右で対向して配し、プリント配線基板Ａ
がその間に挟み込まれつつ縦姿勢で搬送されるタイプの
もの、更には、このような両ローラーコンベア２と左右
のベルトコンベアとを組み合わせ、もってプリント配線
基板Ａが縦姿勢で搬送されるタイプのもの、等々も用い
られていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来例にあっては、次の問題が指摘されていた。第１
に、この種従来例のプリント配線基板Ａの搬送装置１に
おいて、ローラーコンベア２そして各ローラー６は、プ
リント配線基板Ａを搬送すると共に、搬送されるプリン
ト配線基板Ａが各スプレーノズル８から噴射される薬液
Ｍのスプレー圧にて、揺れ動き，跳ね飛ばされ，巻き込
まれ，落下したりしないように、安定的に搬送されるよ
うに保持すべく機能する。そして、前述したプリント配
線基板Ａの高密度化，極薄化傾向の進展に伴い、フレキ
シブル化が進むプリント配線基板Ａを安定的に保持，搬
送すべく、各ローラー６は、最近特にそのピッチ間隔が
狭く、相互間隔が離れないように密に多数個設けられて
おり、部分的にはオーバーラップするような形態で設け
られているものも多い。

【０００６】しかしながら、このようなローラーコンベ
ア２の各ローラー６が、各スプレーノズル８とプリント
配線基板Ａ間に介装位置することにより、薬液Ｍ噴射の
妨げになる、という問題が従来指摘されていた。つま
り、各スプレーノズル８から噴射された薬液Ｍが、密に
設けられた各ローラー６にて遮断され、その影となった
部分は塞がれたような状態となり、薬液Ｍがプリント配
線基板Ａの回路形成面に均一に噴射されない、という問
題が指摘されていた。

【０００７】第２に、そしてこのような障害物たる各ロ
ーラー６による薬液Ｍ噴射の塞がり率は、最近、プリン
ト配線基板Ａの回路形成面の３０％から５５％程度にま
で、達していた。そこで、このような影の部分にも薬液
Ｍを万べんなく噴射するためには、その分だけ、エッチ
ング処理等の薬液Ｍの噴射，処理を余分に実施すること
を要していたので、全体的な処理速度が遅くなり能率が
低下し、生産効率が悪いという問題が指摘されていた。
つまり、上述した塞がり率が３０％から５５％程度に達
すると、その分、生産性も３０％から５５％程度低下す
る、という指摘があった。

【０００８】第３に、更にこのように各ローラー６にて
薬液Ｍの噴射が塞がれ、プリント配線基板Ａの回路形成
面の全面に均一に噴射されないことに起因して、薬液処
理に誤差が生じ、形成される回路の精度にも問題が生じ
ていた。すなわち、前述したようにプリント配線基板Ａ
は、最近ますます回路の高密度化が進みつつあるが、そ
の各種製造工程において薬液Ｍが均一に噴射されないこ
とは、高密度なファインパターン回路の形成にとって重
大な障害となる。

【０００９】例えばエッチング処理工程において、各ロ
ーラー６にて塞がれた影の部分と塞がれない明の部分と
では、エッチング処理時間に時間的差が生じ、影の部分
のエッチング処理の遅れを待つ結果、明の部分がオーバ
ーエッチング処理されてしまう結果となる。図７は、プ
リント配線基板Ａの回路形成状態を示す正面拡大図であ
り、（１）図は悪い例を、（２）図は良い例を、（３）
図は理想例を示す。そして、上述によりオーバーエッチ
ングされた回路Ｂは、その（１）図に示したように断面
が大きく末広がり状をなし、他の（２）図に示した回路
Ｂと混在することになり、形成される回路Ｂの幅に過不
足・誤差・不良が生じ、不均一となり電気抵抗値も一定
しない等、回路Ｂの精度に問題が生じ、ファインパター
ン回路Ｂの形成に致命的な欠陥が生じることになる。な
お図７中、Ｃはプリント配線基板Ａの基材，Ｄは回路Ｂ
を形成する銅箔、Ｅはレジストである。

【００１０】本発明は、このような実情に鑑み、上記従
来例の問題点を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結
果なされたものである。そして、このプリント配線基板
の搬送装置は、プリント配線基板の上端を保持して送る
搬送機構と、プリント配線基板の下端を保持して送る揺
れ止め機構と、プリント配線基板に薬液を噴射する多数
のスプレーノズルと、を有してなる。そして請求項１で
は、このような搬送機構や揺れ止め機構として、プリン
ト配線基板の上端や下端を、突起間にて点接触状態で両
側から挟み込んで送るベルトコンベアが用いられてい
る。又、請求項２では、プリント配線基板の上端と下端
とを逆に反転させる所定の反転機構が、途中に介装され
ている。

【００１１】もって本発明は、第１に、搬送中のプリン
ト配線基板の揺れ動き等が確実に防止されると共に、第
２に、薬液がプリント配線基板に妨げなく均一に噴射さ
れ、第３に、もって生産性が大幅に向上すると共に、第
４に、形成される回路の精度に極めて優れた、プリント
配線基板の搬送装置を提案することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項１
については次のとおり。すなわち、この請求項１のプリ
ント配線基板の搬送装置は、プリント配線基板の製造工
程で用いられ、該プリント配線基板を縦姿勢で搬送しつ
つ薬液処理を行う。そして、搬送方向に沿って設けら
れ、該プリント配線基板の回路形成面を除く上端を保持
して送る搬送機構と、搬送方向に沿って設けられ、該プ
リント配線基板の回路形成面を除く下端を保持して送る
揺れ止め機構と、搬送される該プリント配線基板の回路
形成面に対向位置して薬液を噴射する多数のスプレーノ
ズルと、を有してなる。

【００１３】そして、該搬送機構としては、該プリント
配線基板の回路形成面を除く上端を両側から挟み込んで
送る、ベルトコンベアが用いられている。これと共に、
該揺れ止め機構としては、該プリント配線基板の回路形
成面を除く下端を両側から挟み込んで送る、ベルトコン
ベアが用いられている。

【００１４】かつ、該搬送機構の両側の該ベルトコンベ
アには、対向位置すると共に搬送方向に所定間隔で突起
が設けられ、各該突起間にて、点接触状態で該プリント
配線基板の上端を両側から挟み込んで送るようになって
いる。又、該揺れ止め機構の両側の該ベルトコンベアに
は、対向位置すると共に搬送方向に所定間隔で突起が設
けられ、各該突起間にて、点接触状態で該プリント配線
基板の下端を両側から挟み込んで送るようになっている
こと、を特徴とする。

【００１５】次に、請求項２については次のとおり。す
なわち、この請求項２のプリント配線基板の搬送装置
は、プリント配線基板の製造工程で用いられ、該プリン
ト配線基板を縦姿勢で搬送しつつ薬液処理を行う。そし
て、搬送方向に沿って設けられ、該プリント配線基板の
回路形成面を除く上端を保持して送る搬送機構と、搬送
方向に沿って設けられ、該プリント配線基板の回路形成
面を除く下端を保持して送る揺れ止め機構と、搬送され
る該プリント配線基板の回路形成面に対向位置して薬液
を噴射する多数のスプレーノズルと、を有してなると共
に、更に反転機構が途中に介装されており、該反転機構
は、該プリント配線基板を縦姿勢のまま保持しつつ回転
させ、その上端と下端とを逆に反転させるようになって
いる。

【００１６】そして該反転機構は、左右に開口を備える
と共に中央で左右に区画された箱状体よりなり、該箱状
体が、中央の水平の反転軸を中心に回転可能となってお
り、該プリント配線基板を収納して上側を経由して１８
０度回転した後、該プリント配線基板を排出すること、
を特徴とする。

【００１７】

【作用】本発明は、このような手段よりなるので、次の
ように作用する。この搬送装置は、プリント配線基板の
製造工程で用いられ、プリント配線基板を縦姿勢で搬送
しつつ、薬液処理が行われる。そしてプリント配線基板
は、上端が、搬送機構にて保持され送られると共に、下
端が、揺れ止め機構にて保持されつつ送られ、もって、
回路形成面に多数のスプレーノズルから薬液が噴射され
る。そして請求項１では、このような搬送機構や揺れ止
め機構として、搬送方向に所定間隔で突起が設けられた
ベルトコンベアが用いられ、プリント配線基板の上端や
下端を、突起間にて点接触状態で両側から挟み込んで送
るようになっている。又、請求項２では、途中に反転機
構が介装されており、プリント配線基板を回転させ、そ
の上端と下端とを逆に反転させるようになっている。

【００１８】さてそこで、このプリント配線基板の搬送
装置にあっては、第１に、プリント配線基板は、上端
が、搬送機構にて保持され送られると共に、下端が、揺
れ止め機構にて保持されている。もってプリント配線基
板が、噴射される薬液のスプレー圧にて、揺れ動き，跳
ね飛ばされ，巻き込まれ，落下したりすることは確実に
防止され、極めて安定的に搬送される。これと共に第２
に、プリント配線基板の回路形成面とスプレーノズル間
には、何物も介在位置せず、スプレーノズルからの薬液
は、回路形成面全体に障害なく遮断されることなく、つ
まり影となって塞がれるようなこともなく、万べんなく
均一に噴射される。

【００１９】第３に、従ってこの種従来例のように、ロ
ーラーコンベアの各ローラーにて塞がれた分だけ、余分
に薬液の噴射，処理を実施する必要がなく、薬液の噴射
が効果的に実施され全体的な処理速度も早くなる等、生
産性が向上する。これと共に第４に、このように薬液
が、プリント配線基板の回路形成面に、遮断され塞がれ
ることなく均一に噴射されるので、例えば、エッチング
処理工程においてオーバーエッチング処理が生じること
もない等、形成される回路の精度も極めて優れたものと
なり、高密度なファインパターン回路が確実に形成され
る。

【００２０】そして請求項１において、プリント配線基
板は、搬送機構や揺れ止め機構のベルトコンベアの突起
にて、その上下端が、点接触状態で両側から挟み込んで
送られる。もってプリント配線基板について、スプレー
ノズルによる薬液の噴射そして噴射された薬液の流れ
が、より確実となり、例えば不用なレジストを残りなく
除去できるようになる。請求項１ではこの面から、特に
上述した第４の点に優れ、極めて回路の精度に優れ、高
密度なファインパターンの回路が形成されるようにな
る。又、請求項２に関しては次のとおり。すなわち、プ
リント配線基板は縦姿勢で搬送されるので、その回路形
成面に噴射された薬液は上から下へと流下し、形成され
る回路に流れぐせ・上部のだれ等を生じさせることがあ
る。そこで、請求項２のように搬送装置の途中に反転機
構を介装しておくと、このような流れぐせ・上部のだれ
等が解消され、もってこの面から、特に上述した第４の
点に優れ、極めて回路の精度に優れ高密度なファインパ
ターンの回路が形成されるようになる。

【００２１】

【実施例】以下本発明を、図面に基づいて詳細に説明す
る。図１，図２，図３，図４，図５，図９等は本発明の
実施例を示し、図１は側面図、図２は平面図、図３は要
部の平面図である。図４の（１）図は正面図であり、
（２）図はプリント配線基板への薬液の噴射状態の正面
説明図、（３）図は回路形成の悪い例の正面拡大図、
（４）図は、回路形成の良い例の正面拡大図である。図
５は反転機構の側面図である。図９は、ベルトコンベア
の突起等を示す正面図である。なお図６は、上記反転機
構を適用可能な搬送機構や揺れ止め機構の参考例を示
し、（１）図は、共にクリップ方式の係止コンベアが用
いられた例の側面図、（２）図は、共に引っ掛け方式の
係止コンベアが用いられた例の側面図、（３）図は、搬
送機構としてベルトコンベアが用いられると共に揺れ止
め機構としてＶ字材が用いられた例の正面図、（４）図
は、搬送機構としてベルトコンベアが用いられると共に
揺れ止め機構として線材が用いられた例の正面図、
（５）図は同側面図である。図８は、プリント配線基板
の説明図である。又、図１０は、前記反転機構を適用可
能な搬送機構や揺れ止め機構の他の参考例を示し、挟み
グリップを用いたクリップ方式の係止コンベアが用いら
れた正面図である。

【００２２】この搬送装置９は、プリント配線基板Ａの
製造工程で用いられる。まず、この搬送装置の搬送，処
理対象であるプリント配線基板Ａについて述べる。プリ
ント配線基板Ａは、ＯＡ用の両面基板，コンピュータ用
の多層基板，計算機用のフレキシブル基板等々、用途に
より多種多様であり、その製造工程も多種多様である。
そしてプリント配線基板Ａは、近年ますます小型軽量
化，極薄化，多層化，回路Ｂの高密度化，微細化等々が
進みつつある。そして、このようなプリント配線基板Ａ
は、例えば次のように製造される。すなわちプリント配
線基板Ａは、材料切断，穴あけ加工，研磨，スルホール
メッキ，研磨，エッチングレジストの塗布や乾燥，又は
張り付け，露光，現像，エッチング，回路Ｂ部分のレジ
スト剥離、等々の工程を辿って製造される。

【００２３】これらについて、図７、図８等を参照しつ
つ、更に詳述する。まず、絶縁材たる基材Ｃの両面に銅
箔Ｄが張り合わされた両面銅箔Ｄ張り積層板が、ワーク
サイズの短尺に切断され、次に、スルホール用の穴あけ
加工が施された後、洗浄および両面研磨処理が行われて
から、スルホールメッキが実施される。つまり、表面の
電気回路と裏面の電気回路を導通すべく、スルホールの
内壁にメッキが施される。なおこれらによらず、基材Ｃ
の片面のみに銅箔Ｄが張り付けられた銅箔Ｄ張り積層板
が用いられる場合もある。しかる後、再び洗浄，両面研
磨処理，洗浄，乾燥等が行われてから、エッチングレジ
ストつまり耐アルカリ性や耐酸性の保護膜たる感光性の
レジストＥを、膜状に塗布して乾燥したり張り付けたり
する処理が行われ、それから、回路形成面Ｆに回路Ｂの
ネガフィルムである回路写真をあてて露光し、事後、感
光性レジストＥは露光され硬化した回路Ｂ部分を残し、
他の不要部分が薬液Ｍたる現像液の噴射により溶解除去
される。

【００２４】しかる後、洗浄，乾燥が行われてから、エ
ッチングマシンにて、このように感光性のレジストＥが
硬化して保護された回路Ｂ部分の銅箔Ｄを残し、上述に
より感光性のレジストＥが溶解除去された不要部分の銅
箔Ｄが、薬液Ｍたる腐食液の噴射により溶解除去され
る。それから、残っていた上述の硬化した回路Ｂ部分の
感光性のレジストＥが、薬液Ｍたる剥離液の噴射により
溶解除去された後、洗浄，乾燥され、もって、回路形成
面Ｆに所定の回路Ｂが形成されたプリント配線基板Ａが
得られる。プリント配線基板Ａは、例えば、縦横が５５
０mm×５５０mmや、５００mm×３００mm程度の寸法より
なり、中央の回路Ｂが形成された回路形成面Ｆの周縁端
部が、１０mm程度の幅でつかみ代たるみみ部Ｇとなって
いる。

【００２５】なお、このような工程を辿って製造された
プリント配線基板Ａについては、その製造工程の一環を
なす後処理工程として、形成された回路Ｂの保護被膜が
形成される。すなわち、回路Ｂが形成されたプリント配
線基板Ａの回路形成面Ｆ全体に、ソルダーレジストたる
感光性のレジストを、塗布，乾燥したり張り付けたりす
る処理が行われた後、ネガフィルムをあてて露光，現像
が実施され、スルホール部分，ラウンド部分等の部品装
着部分つまり事後ハンダが行われる部分の感光性のレジ
ストを、溶解除去して露出させる。このようにして、プ
リント配線基板Ａに感光性のレジストによる保護被膜が
形成されて、その回路Ｂが被膜保護され、もって事後、
部品装着部分に対し実施されるハンダの付着等から、プ
リント配線基板Ａの回路Ｂが保護される。

【００２６】さて、このようにプリント配線基板Ａの各
製造工程では、それぞれ、酸性やアルカリ性の現像液，
腐食液，剥離液，その他の薬液Ｍや、事後の水洗水等の
液体が、搬送されるプリント配線基板Ａに対し噴射さ
れ、もって、各々所定の薬液Ｍ処理・表面処理・化学処
理が施される。例えばエッチング処理工程のエッチング
マシンでは、塩化第二銅，塩化第二鉄，アルカリ性液等
の腐食液たる薬液Ｍが、プリント配線基板Ａに噴射さ
れ、回路Ｂの部分以外の銅箔Ｄが溶解除去される。

【００２７】さて、この搬送装置９は、このように現像
液，腐食液，剥離液，その他の薬液Ｍが、搬送されるプ
リント配線基板Ａに対し噴射され、もって各種の薬液Ｍ
処理が実施される、プリント配線基板Ａの各製造工程に
おいて用いられる（なお、図１，図２，図３，図４の
（１）図においては、ベルトコンベアに関し、突起の図
示は省略されている）。そして、図１，図２，図３，図
４の（１）図，図９は、このような搬送装置９の実施例
を示す。この図１，図２，図３，図４の（１）図，図９
に示した実施例の搬送装置９について説明すると、まず
この搬送装置９において、プリント配線基板Ａは縦姿勢
で搬送される。すなわち、もしもプリント配線基板Ａを
横姿勢例えば水平状態で搬送しつつ薬液Ｍの噴射を実施
すると、プリント配線基板Ａの上面に液だまりが発生，
滞留し、このような液だまりに起因して、形成される回
路Ｂの幅に過不足・誤差・不良が生じ、電気抵抗値も一
定せず、回路Ｂの精度に問題が生じることになる。そこ
でこの搬送装置９では、プリント配線基板Ａを縦姿勢で
搬送しつつ、薬液Ｍを噴射するようにしたことにより、
液だまりに起因した回路Ｂの精度低下が防止されてい
る。なお、この縦姿勢としては、垂直状態が代表的であ
るが、これに限定されるものではなく垂直状態から若干
傾斜した状態も可能である。

【００２８】そして、このプリント配線基板Ａの搬送装
置９は、例えば、エッチング処理工程でエッチングマシ
ンとして用いられ、搬送されるプリント配線基板Ａに対
し、腐食液たる薬液Ｍが噴射されるようになっており、
次の搬送機構１０，揺れ止め機構１１，スプレーノズル
８等を備えてなる。すなわちこの搬送装置９は、搬送方
向に沿って設けられ、プリント配線基板Ａの有効面たる
回路形成面Ｆを除く上端のみみ部Ｇ（図８参照）を、保
持して送る搬送機構１０と、搬送方向に沿って設けら
れ、プリント配線基板Ａの回路形成面Ｆを除く下端のみ
み部Ｇ（図８参照）を、保持して送る揺れ止め機構１１
と、搬送される該プリント配線基板Ａの回路形成面Ｆに
対向位置して薬液Ｍを噴射する多数のスプレーノズル８
と、を有してなる。

【００２９】これらについて更に詳述する。まず搬送機
構１０として、図１，図２，図３，図４の（１）図，図
９に示した実施例では、プリント配線基板Ａの回路形成
面Ｆを除く上端を、左右両側から挟み込んで送るベルト
コンベア１２が用いられている。

【００３０】そして、この搬送機構１０を形成するこの
両ベルトコンベア１２は、それぞれ図１に示したよう
に、後述したモーターに接続される連結駆動軸１３と、
この連結駆動軸１３に傘歯車等を用いたギヤ部１４を介
し接続された横駆動軸１５と、この横駆動軸１５に所定
間隔を置きつつ、傘歯車等を用いた各ギヤ部１６を介し
接続された各縦駆動軸１７と、この各縦駆動軸１７の端
に固設された各ギヤ１８と、を備えてなる。そして図３
に示したように、外側にゴム製の搬送ベルト１９が内側
に噛み合い面２０が一体的に配された無端状の帯体が、
噛み合い面２０を各ギヤ１８の一側と噛み合わせつつ、
テンションを持って配されている。もって、この両ベル
トコンベア１２では、モーター（図示せず）が駆動され
ることにより、その連結駆動軸１３，ギヤ部１４，横駆
動軸１５，各ギヤ部１６，各縦駆動軸１７等を介し、各
ギヤ１８が回転駆動されることにより、噛み合い面２０
が各ギヤ１８と噛み合った搬送ベルト１９が、搬送方向
に走行されるようになっている。そして、このような搬
送機構１０の両ベルトコンベア１２間に上端が挟み込ま
れることにより、プリント配線基板Ａが搬送方向に送ら
れる。図１中２１は、各縦駆動軸１７等の受フレームで
ある。なお、この図示例において、最上流側のギヤ１８
は、ギヤ部１４，横駆動軸１５，ギヤ部１６，縦駆動軸
１７等を介することなく、連結駆動軸１３にて直接回転
駆動されるようになっている。

【００３１】次に、揺れ止め機構１１として、この図
１，図２，図３，図４の（１）図，図９に示した実施例
では、上述した搬送機構１０に準じ、プリント配線基板
Ａの回路形成面Ｆを除く下端を、左右両側から挟み込ん
で送るベルトコンベア２２が用いられている。

【００３２】すなわち図１等に示したように、この揺れ
止め機構１１を形成する両ベルトコンベア２２は、駆動
源たるモーター（図示せず）と、このモーターのモータ
ー軸２３にギヤ部２４を介し接続された駆動軸２５と、
この駆動軸２５に同軸に連結された前述した連結駆動軸
１３と、更に前述したベルトコンベア１２に準じ、ギヤ
部１４，横駆動軸１５，各ギヤ部１６，各縦駆動軸１
７，各ギヤ１８，搬送ベルト１９，その噛み合い面２０
等を備えてなる。もってこのベルトコンベア２２でも、
モーターが駆動されることにより、モーター軸２３，ギ
ヤ部２４，駆動軸２５，連結駆動軸１３，ギヤ部１４，
横駆動軸１５，各ギヤ部１６，各縦駆動軸１７等を介
し、各ギヤ１８が回転駆動されることにより、噛み合い
面２０が各ギヤ１８と噛み合った搬送ベルト１９が、搬
送方向に走行するようになっている。そして、このよう
な揺れ止め機構１１の両ベルトコンベア２２間に下端が
挟み込まれることにより、プリント配線基板Ａが搬送方
向に送られる。図１中２６は、その各縦駆動軸１７等の
受フレームである。なお、この図示例において、最上流
側のギヤ１８は、ギヤ部１４等々を介することなく、連
結駆動軸１３にて直接回転駆動されるようになってい
る。

【００３３】このようにして、この図１，図２，図３，
図４の（１）図，図９に示した実施例では、搬送機構１
０の両ベルトコンベア１２と、揺れ止め機構１１の両ベ
ルトコンベア２２とが、同期連動して走行され、もっ
て、プリント配線基板Ａが搬送方向に上下で保持されつ
つ送られる。なおこの図示例では、上側の搬送機構１０
の両ベルトコンベア１２は、上下方向に不動となってい
るが、下側の揺れ止め機構１１の両ベルトコンベア２２
は、全体的に上下動可能とされると共に付設された昇降
機構（図示せず）にて適宜上下動され、もって、プリン
ト配線基板Ａの各種大きさ・寸法に対応して使用可能と
なっている。

【００３４】そして図９には、この搬送装置９のベルト
コンベア１２，２２の詳細が示されている。すなわち、
この搬送装置９において、搬送機構１０の両側のベルト
コンベア１２の搬送ベルト１９には、両側で対向位置す
ると共に搬送方向に所定間隔でそれぞれ突起Ｒが設けら
れており、この各突起Ｒ間にて点接触状態で、プリント
配線基板Ａの上端を両側から挟み込んで送るようになっ
ている。又、この搬送装置９において、揺れ止め機構１
１の両側のベルトコンベア２２の搬送ベルト１９にも、
両側で対向位置すると共に搬送方向に所定間隔でそれぞ
れ突起Ｒが設けられており、この各突起Ｒ間にて点接触
状態で、プリント配線基板Ａの下端を両側から挟み込ん
で送るようになっている。このように点接触状態でプリ
ント配線基板Ａを挟み込むことにより、プリント配線基
板Ａへの薬液Ｍの噴射，流れがより確実となり、例えば
不用なレジストＥを残りなく除去できるようになる。

【００３５】次に、スプレーノズル８について述べる。
図２や図４の（１）図に示したように、このような搬送
機構１０や揺れ止め機構１１が配設されたチャンバーた
る処理室２７の側壁内側には、左右にそれぞれ、搬送方
向に沿って上下多段に、噴射口たるスプレーパイプ７が
配されている。そして液槽（図示せず）からの薬液Ｍ
が、ポンプ（図示せず）を介し、スプレーパイプ７に多
数付設されたスプレーノズル８から、搬送されるプリン
ト配線基板Ａに向け水平に噴射される。なお、図示例で
は左右両側にスプレーパイプ７，スプレーノズル８が設
けられているが、プリント配線基板Ａの片面のみに回路
Ｂが形成されている場合は、片側のみにスプレーパイプ
７，スプレーノズル８が設けられるか、又は両側に設け
たうちの片側のみから薬液Ｍが噴射されることになる。

【００３６】図１，図２，図３，図４の（１）図，図９
に示した搬送装置９は、このようになっている。つま
り、この搬送装置９は、処理室２７内に上述した搬送機
構１０，揺れ止め機構１１，スプレーノズル８等を備え
てなる。

【００３７】次に図５により、反転機構２８について述
べる。この反転機構２８は、上述した搬送装置９の途中
に介装され、プリント配線基板Ａを縦姿勢のまま保持し
つつ回転させ、その上端と下端とを逆に反転させるよう
になっている。すなわち反転機構２８は、１つの処理室
２７，１台の搬送装置９，例えば単連のエッチングマシ
ンの場合は、その中間に介装され、又、複数の処理室２
７，複数台の搬送装置９，例えば複数連のエッチングマ
シンの場合は、その間に介装される。そして、この反転
機構２８は、左右に縦長の開口２９を備えると共に中央
で左右に区画された薄い箱状体よりなり、中央の水平の
反転軸３０を中心に回転可能となっている。そこで反転
機構２８は、図面上では左側からプリント配線基板Ａを
収納して、図中矢示のように上側を経由して１８０度回
転した後、右側からプリント配線基板Ａを排出する。図
中３１は、プリント配線基板Ａの収納，排出用に正逆回
転可能なガイド用のローラーであり、箱状をなす反転機
構２８の内部に付設されている。

【００３８】なお、ここで図６について述べておく。本
発明に係る上述した反転機構２８が適用される搬送装置
９は、前述した図１，図２，図３，図４の（１）図，図
９に示したものに限定されず、次のように構成された搬
送装置９に反転機構２８を適用することも可能である。
まず図６の（１）図，（２）図の参考例に示したよう
に、搬送機構１０や揺れ止め機構１１として、プリント
配線基板Ａの回路形成面Ｆを除くみみ部Ｇ（図８参照）
の上端や下端を係止して送る、係止コンベア３２や係止
コンベア３３を用いた例が考えられる。そして図６の
（１）図に示した係止コンベア３２，３３は、搬送方向
に走行する無端状のチェーンコンベア３４と、このチェ
ーンコンベア３４から垂下，立設された複数個単位のク
リップ３５と、からなり、クリップ３５にてプリント配
線基板Ａの上端や下端を係止するようになっている。

【００３９】又、図６の（２）図の参考例に示した係止
コンベア３２，３３は、搬送方向に走行する無端状のチ
ェーンコンベア３４と、このチェーンコンベア３４から
垂下，立設された複数個単位の引っ掛け材３６と、プリ
ント配線基板Ａの上端や下端に取付けられるアタッチメ
ント３７と、アタッチメント３７に形成された複数個の
穴３８と、からなる。そして、各引っ掛け材３６をアタ
ッチメント３７の各穴３８に挿入することにより、この
ような穴３８を介しプリント配線基板Ａの上端や下端を
係止するようになっている。なおアタッチメント３７を
用いず、プリント配線基板Ａの上端に複数個の穴３８を
直接形成することもある。

【００４０】次に、図６の（３）図の参考例に示した揺
れ止め機構１１は、Ｖ字材３９を用いてなる。そして、
この揺れ止め機構１１たるＶ字材３９は、プリント配線
基板Ａの回路形成面Ｆを除くみみ部Ｇの下端下から、そ
の左右両側に対向設されている。もって、このＶ字材３
９は、プリント配線基板Ａが左右に揺れようとすると、
その下端に当接可能であるが、それ以外の常時は、プリ
ント配線基板Ａの下端に対し下方ほど接近しつつ僅かな
間隔を存してなる。なお、このようなＶ字材３９に代え
Ｕ字材が用いられることもある。

【００４１】又、図６の（４）図，（５）図の参考例に
示した揺れ止め機構１１は、線材４０を用いてなる。そ
して、この揺れ止め機構１１たる線材４０は、少なくと
もプリント配線基板Ａの回路形成面Ｆを除く下端に沿
い、その左右両側に傾斜して多数対向設されている。そ
して、このような左右の各線材４０は、左右でクロスす
る位置関係に配されると共に、プリント配線基板Ａの下
端上まで各々延出されている。この左右両側の各線材４
０は相互間に若干の間隔が存し、プリント配線基板Ａが
その間を搬送されると共に、プリント配線基板Ａが左右
に揺れようとすると、これに当接可能となっている。

【００４２】なお、本発明に係る前述した反転機構２８
が適用される搬送装置９は、このような図６の（１）
図，（２）図，（３）図，（４）図，（５）図等に示し
た参考例以外にも、その他各種の組み合わせ例が考えら
れる。つまり、上述した図６の（１）図，（２）図，
（３）図，（４）図，（５）図に示した参考例の搬送機
構１０や揺れ止め機構１１は、各々図示した組み合わせ
以外にも、各種の組み合わせのものが考えられる。例え
ば、図６の（１）図や（２）図中に示したように、クリ
ップ３５や引っ掛け材３６等を用いた係止コンベア３２
よりなる搬送機構１０と、図１，図２，図３，図４の
（１）図中に示したベルトコンベア２２よりなる揺れ止
め機構１１と、を組み合わせた搬送装置９も可能であ
る。又、図６の（３）図，（４）図，（５）図中に示し
たように、Ｖ字材３９，Ｕ字材や線材４０を用いた揺れ
止め機構１１と、同図に示したベルトコンベア１２より
なる搬送機構１０ではなく、図６の（１）図や（２）図
中に示した係止コンベア３２よりなる搬送機構１０と、
を組み合わせた搬送装置９も可能である。更に、図１，
図２，図３，図４の（１）図中に示したベルトコンベア
１２よりなる搬送機構１０と、図６の（１）図，（２）
図中に示した係止コンベア３３よりなる揺れ止め機構１
１と、を組み合わせた搬送装置９も可能である。本発明
に係る前述した反転機構２８は、このような各種の搬送
装置９にも適用可能である。

【００４３】本発明は、以上説明したように構成されて
いる。そこで以下のようになる。この搬送装置９は、プ
リント配線基板Ａの製造工程で用いられ、プリント配線
基板Ａを縦姿勢で搬送しつつ、薬液Ｍによる処理が行わ
れる。そしてプリント配線基板Ａは、上端が、搬送機構
１０にて保持され送られると共に、下端が、揺れ止め機
構１１にて保持されて送られ、もって回路形成面Ｆに、
多数のスプレーノズル８から薬液Ｍが噴射される。そし
て、このような搬送機構１０や揺れ止め機構１１として
は、プリント配線基板Ａの上端や下端を、図１，図２，
図３，図４の（１）図，図９等に示したように、挟み込
んで送るベルトコンベア１２，２２が用いられており、
このベルトコンベア１２，２２には、搬送方向に所定間
隔で突起Ｒが設けられ、もってプリント配線基板Ａの上
端や下端を、突起Ｒ間にて点接触状態で両側から挟み込
んで送るようになっている。そしてこの搬送装置９は、
例えば、プリント配線基板Ａのエッチング処理工程で用
いられ、スプレーノズル８から薬液Ｍとして腐食液が噴
射される。又図５に示したように、この搬送装置９に
は、プリント配線基板Ａの上端と下端とを逆に反転させ
る反転機構２８が、適宜、途中に介装される。さてそこ
で、このプリント配線基板Ａの搬送装置９にあっては、
次の第１，第２，第３，第４のようになる。

【００４４】第１に、この搬送装置９においてプリント
配線基板Ａは、上端が、搬送機構１０にて保持されて送
られると共に、下端が、揺れ止め機構１１にて保持され
たり揺れ止め機構１１に当接可能となっている。もっ
て、搬送されるプリント配線基板Ａは、側方の多数のス
プレーノズル８から薬液Ｍが噴射されるものの、このよ
うに、上端が保持されると共に下端が保持，当接される
ので、噴射される薬液Ｍのスプレー圧にて大きく変位す
ることは防止される。つまりプリント配線基板Ａが、薬
液Ｍのスプレー圧にて揺れ動き，跳ね飛ばされ、巻き込
まれ，落下したりすることは確実に防止され、極薄化，
フレキシブル化が進むプリント配線基板Ａではあるが、
極めて安定的に搬送されるようになる。

【００４５】第２に、この搬送装置９においてプリント
配線基板Ａは、このように、上端が搬送機構１０にて保
持され送られると共に、下端が揺れ止め機構１１にて保
持されたり揺れ止め機構１１に当接可能となっている。
もって、搬送されるプリント配線基板Ａの回路形成面Ｆ
には、側方の多数のスプレーノズル８から薬液Ｈが噴射
されるが、この回路形成面Ｆとスプレーノズル８間には
何物も介在位置せず、薬液Ｍは回路形成面Ｆ全体に万べ
んなく均一に噴射される。つまりこの搬送装置９におい
て、揺れ止め機構１１は、プリント配線基板Ａの下端に
位置しており、前述した図１１のこの種従来例の搬送装
置１のように、プリント配線基板Ａの回路形成面Ｆとス
プレーノズル８間に、揺れ止め用のローラーコンベア２
の各ローラー６が介在位置している訳ではない。従って
各スプレーノズル８からの薬液Ｍは、プリント配線基板
Ａの回路形成面Ｆに対し、障害なく遮断されることな
く、つまり影となって塞がれるようなこともなく、均一
に噴射される。

【００４６】第３に、この搬送装置９にあっては、この
ように、各スプレーノズル８から薬液Ｍが、プリント配
線基板Ａの回路形成面Ｆに遮断され塞がれることなく均
一に噴射される。従って、前述した図１１のこの種従来
例の搬送装置１のように、ローラーコンベア２の各ロー
ラー６にて塞がれた分だけ、余分に薬液Ｍの噴射，処理
を実施する必要がなく、薬液Ｈの噴射が効果的に実施さ
れ、全体的な処理速度も早くなる等、生産性が向上す
る。

【００４７】第４に、この搬送装置９にあっては、同様
に、各スプレーノズル８からの薬液Ｍが、プリント配線
基板Ａの回路形成面Ｆに対し、遮断され塞がれることな
く均一に噴射される。従って、図１１の前述したこの種
従来例の搬送装置１のように、各ローラー６にて塞がれ
た影の部分と塞がれない明の部分とが生じ、もって薬液
Ｍにて処理されて形成される回路Ｂの幅に、過不足・誤
差・不良が生じることはなく、その電気抵抗値も一定で
ある。例えばエッチング処理工程において、噴射される
薬液Ｍたる腐食液にて明の部分がオーバーエッチング処
理されてしまうこともない。このように、形成される回
路Ｂの精度も極めて優れたものとなり、高密度化が進む
プリント配線基板Ａにも十分対応でき、高密度なファイ
ンパターンの回路Ｂが確実に形成される。例えば形成さ
れた回路Ｂは、図７の（２）図に示したように、理想例
に近いもので統一される。

【００４８】そして、この搬送装置９にあっては、図９
に示したように、その搬送機構１０のベルトコンベア１
２の搬送ベルト１９や、揺れ止め機構１１のベルトコン
ベア２２の搬送ベルト１９について、突起Ｒが設けられ
ている。もってプリント配線基板Ａは、このような搬送
機構１０や揺れ止め機構１１の突起Ｒにて、その上下端
が、点接触状態で両側から挟み込んで送られる。そこで
プリント配線基板Ａについて、スプレーノズル８による
薬液Ｍの噴射、そして噴射された薬液Ｍの流れが、より
確実となり、例えば不用なレジストＥを残りなく除去で
きるようになる。従ってこの面から、上述した第４の点
に特に優れ、極めて回路Ｂの精度に優れ、高密度なファ
インパターンの回路Ｂが形成されるようになる。

【００４９】又、図５に示したように搬送装置９の途中
に反転機構２８を介装すると、特に回路Ｂの精度に優れ
たプリント配線基板Ａが得られるようになる。すなわ
ち、プリント配線基板Ａは縦姿勢で搬送されるので、そ
の回路形成面Ｆに噴射された薬液Ｈは、図４の（２）図
に示したように縦に上から下へと流下し、このような薬
液Ｈの流下にて薬液Ｈ処理され、形成される回路Ｂの形
状が、図４の（３）図に示したように、上側と下側とで
若干相違することがある。そこで、このような回路Ｂの
形状の流れぐせ・上部のだれ等を防止すべく、搬送装置
９の途中に反転機構２８を介装しておくと、図４の
（４）図に示したように、形成される回路Ｂの形状が上
側と下側でも均一となり、この面から、特に回路Ｂの精
度に優れ、高密度なファインパターンの回路Ｂが形成さ
れるようになる。

【００５０】なお図１０には、本発明に係る反転機構２
８を適用可能な搬送装置９の１例として、係止コンベア
３２，３３を用いた参考例が示されている。すなわち、
この図１０の搬送装置９においては、搬送機構１０の係
止コンベア３２のクリップ３５として、プリント配線基
板Ａの上端を全体的に挟み込んで送る挟みグリップＳが
用いられている。又、この搬送装置９において、揺れ止
め機構１１の係止コンベア３３のクリップ３５として、
プリント配線基板Ａの下端を全体的に挟み込んで送る挟
みグリップＳが用いられている。なお、この搬送機構１
０において、挟みグリップＳは適宜開閉され、閉状態で
プリント配線基板Ａを挟み込むと共に、チェーンコンベ
ア３４から垂下，立設されているが、チェーンコンベア
３４によらず前述したベルトコンベア１２，２２に準じ
たベルトコンベアから垂下，立設するようにした例も考
えられる。本発明の反転機構２８は、前述した各搬送装
置９のほか、この図１０の参考例に示した搬送装置９に
も、適用可能である。

【００５１】

【発明の効果】本発明に係るプリント配線基板の搬送装
置は、以上説明したように、プリント配線基板の上端を
保持して送る搬送機構と、プリント配線基板の下端を保
持して送る揺れ止め機構と、プリント配線基板に薬液を
噴射する多数のスプレーノズルと、を有してなる。そし
て請求項１では、このような搬送機構や揺れ止め機構と
して、プリント配線基板の上端や下端を、突起間にて点
接触状態で両側から挟み込んで送るベルトコンベアが用
いられている。又、請求項２では、プリント配線基板の
上端と下端とを逆に反転させる所定の反転機構が、途中
に介装されている。そこで、次の効果を発揮する。

【００５２】第１に、搬送中のプリント配線基板の揺れ
動き等が確実に防止される。すなわち、このプリント配
線基板の搬送装置にあっては、前述したこの種従来例の
ように、安定搬送用にプリント配線基板を挟み込むロー
ラーコンベアを使用せず、もって、各スプレーノズルと
プリント配線基板間に各ローラーを介在位置させること
がない。そこで搬送されるプリント配線基板が、スプレ
ーノズルにて噴射される薬液のスプレー圧にて、揺れ動
き，跳ね飛ばされ，巻き込まれ，落下したりすることも
なく、これらは確実に防止される。もってプリント配線
基板は、極めて安定的に搬送されるようになり、最近の
プリント配線基板の極薄化，フレキシブル化にも十分対
応可能となる。

【００５３】第２に、これと共に薬液が、プリント配線
基板に妨げなく均一に噴射されるようになる。すなわ
ち、このプリント配線基板の搬送装置にあっては、前述
したこの種従来例のように、プリント配線基板を挟み込
むローラーコンベアを使用せず、もって、各スプレーノ
ズルとプリント配線基板の回路形成面間に、各ローラー
を介在位置させることがない。そこでスプレーノズルか
らの薬液が、障害なく遮断されることなく、つまり影と
なって塞がれることもなく、プリント配線基板の回路形
成面全体に均一に噴射されるようになる。

【００５４】第３に、従って生産性が大幅に向上する。
すなわち、このプリント配線基板の搬送装置にあって
は、前述したこの種従来例のように、薬液の噴射が３０
％から５５％程度にまで各ローラーにて塞がれてしまう
ようなこともなく、その分だけ薬液の噴射，処理を余分
に実施する必要もない。このように、薬液の噴射が効果
的に実施され、全体的な処理速度もその分だけ早くな
り、能率が向上し生産効率に優れており、上述した３０
％から５５％程度の分だけ生産性が向上する。

【００５５】第４に、形成される回路の精度が極めて優
れている。すなわち、このプリント配線基板の搬送装置
にあっては、プリント配線基板の製造工程において、ま
ず、前述したこの種従来例のように薬液の噴射が塞がれ
るようなことがなく、薬液は、プリント配線基板の回路
形成面の全面に均一に噴射されるようになる。更にこれ
に加え、請求項１では、プリント配線基板は、搬送機構
や揺れ止め機構のベルトコンベアの突起にて、その上下
端が、点接触状態で両側から挟み込んで送られるので、
プリント配線基板について薬液の噴射，流れが、より確
実となり、例えば不用なレジストを残りなく除去できる
ようになる。又、請求項２では、搬送装置の途中に反転
機構が介装されており、途中でプリント配線基板の上端
と下端とが逆に反転されるので、形成される回路につい
て、流れぐせ・上部のだれ等の発生が回避されるように
なる。

【００５６】これらにより、本発明のプリント配線基板
の搬送装置によると、第４に、形成される回路の幅に過
不足・誤差・不良が生じることはなく、その電気抵抗値
も一定である等、高密度なファインパターン回路が確実
に形成されるようになり、最近のプリント配線基板の高
密度化にも、十分対応可能となる。このように、この種
従来例に存した問題点が一掃される等、本発明の発揮す
る効果は、顕著にして大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプリント配線基板の搬送装置の実
施例を示す、側面図である。

【図２】同実施例の平面図である。

【図３】同実施例の要部の平面図である。

【図４】（１）図は、同実施例の正面図であり、（２）
図は、同実施例におけるプリント配線基板への薬液の噴
射状態の正面説明図、（３）図は、回路形成の悪い例の
正面拡大図、（４）図は、回路形成の良い例の正面拡大
図である。

【図５】同実施例の反転機構の側面図である。

【図６】本発明に係る上記反転機構が適用される搬送機
構や揺れ止め機構の参考例を示し、（１）図は、共にク
リップ方式の係止コンベアが用いられた例の側面図、
（２）図は、共に引っ掛け方式の係止コンベアが用いら
れた例の側面図、（３）図は、搬送機構としてベルトコ
ンベアが用いられると共に揺れ止め機構としてＶ字材が
用いられた例の正面図、（４）図は、搬送機構としてベ
ルトコンベアが用いられると共に揺れ止め機構として線
材が用いられた例の正面図、（５）図は、同側面図であ
る。

【図７】プリント配線基板の回路形成状態を示す正面拡
大図であり、（１）図は悪い例を、（２）図は良い例
を、（３）図は理想例を示す。

【図８】プリント配線基板の説明図である。

【図９】本発明に係るプリント配線基板の搬送装置の実
施例について、その搬送機構や揺れ止め機構のベルトコ
ンベアの突起等を示す正面図である。

【図１０】本発明に係る前記反転機構が適用される搬送
機構や揺れ止め機構の参考例を示し、挟みグリップを用
いたクリップ方式の係止コンベアが用いられた例の正面
図である。

【図１１】この種従来例のプリント配線基板の搬送装置
を示し、（１）図は平面図、（２）図は側面図である。

【符号の説明】

８ スプレーノズル ９ 搬送装置 １０ 搬送機構 １１ 揺れ止め機構 １２ ベルトコンベア ２２ ベルトコンベア ２８ 反転機構 ２９ 開口 ３０ 反転軸 Ａ プリント配線基板 Ｂ 回路 Ｆ 回路形成面 Ｍ 薬液 Ｒ 突起

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プリント配線基板の製造工程で用いら
   れ、該プリント配線基板を縦姿勢で搬送しつつ薬液処理
   が行われる搬送装置であって、 搬送方向に沿って設けられ、該プリント配線基板の回路
   形成面を除く上端を保持して送る搬送機構と、搬送方向
   に沿って設けられ、該プリント配線基板の回路形成面を
   除く下端を保持して送る揺れ止め機構と、搬送される該
   プリント配線基板の回路形成面に対向位置して薬液を噴
   射する多数のスプレーノズルと、を有してなり、 該搬送機構として、該プリント配線基板の回路形成面を
   除く上端を両側から挟み込んで送るベルトコンベアが用
   いられると共に、該揺れ止め機構として、該プリント配
   線基板の回路形成面を除く下端を両側から挟み込んで送
   るベルトコンベアが用いられており、 かつ、該搬送機構の両側の該ベルトコンベアには、対向
   位置すると共に搬送方向に所定間隔で突起が設けられ、
   各該突起間にて点接触状態で該プリント配線基板の上端
   を両側から挟み込んで送るようになっており、又、該揺
   れ止め機構の両側の該ベルトコンベアには、対向位置す
   ると共に搬送方向に所定間隔で突起が設けられ、各該突
   起間にて点接触状態で該プリント配線基板の下端を両側
   から挟み込んで送るようになっていること、を特徴とす
   るプリント配線基板の搬送装置。
2. 【請求項２】 プリント配線基板の製造工程で用いら
   れ、該プリント配線基板を縦姿勢で搬送しつつ薬液処理
   が行われる搬送装置であって、 搬送方向に沿って設けられ、該プリント配線基板の回路
   形成面を除く上端を保持して送る搬送機構と、搬送方向
   に沿って設けられ、該プリント配線基板の回路形成面を
   除く下端を保持して送る揺れ止め機構と、搬送される該
   プリント配線基板の回路形成面に対向位置して薬液を噴
   射する多数のスプレーノズルと、を有してなると共に、 更に、反転機構が途中に介装されており、該反転機構
   は、該プリント配線基板を縦姿勢のまま保持しつつ回転
   させ、その上端と下端とを逆に反転させるようになって
   おり、 該反転機構は、左右に開口を備えると共に中央で左右に
   区画された箱状体よりなり、該箱状体が、中央の水平の
   反転軸を中心に回転可能となっており、該プリント配線
   基板を収納して上側を経由して１８０度回転した後、該
   プリント配線基板を排出すること、を特徴とするプリン
   ト配線基板の搬送装置。