JPH09156753A - 物品の方向変換装置 - Google Patents

物品の方向変換装置

Info

Publication number
JPH09156753A
JPH09156753A JP7318989A JP31898995A JPH09156753A JP H09156753 A JPH09156753 A JP H09156753A JP 7318989 A JP7318989 A JP 7318989A JP 31898995 A JP31898995 A JP 31898995A JP H09156753 A JPH09156753 A JP H09156753A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
transport system
sub
rail
main
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7318989A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Makino
誠 牧野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Machinery Inc
Original Assignee
Nichiden Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nichiden Machinery Ltd filed Critical Nichiden Machinery Ltd
Priority to JP7318989A priority Critical patent/JPH09156753A/ja
Publication of JPH09156753A publication Critical patent/JPH09156753A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】作業系の高速化を可能とする電子部品の方向変
換装置を提供する。 【解決手段】タ−ンテ−ブル5の周辺に複数のヘッド6
をほぼ等ピッチに配置しその下側に円形状のレ−ル10
を上下方向にのみスライド自在なるように配置し、ヘッ
ド6がレ−ル10に支持された状態で回転すると共にレ
−ル10の上下動に応じて上下にスライドするメインの
搬送系Aと、メインの搬送系に同期して間欠回転し、メ
インの搬送系の停止ポジションに合致する第1,第2の
停止ポジションを有する回転テ−ブル26を備えたサブ
の搬送系Bとを具備し、メインの搬送系にレ−ル10の
下降・上昇動作に基づいてヘッド6のみを下降・上昇さ
せ、第1の停止ポジションにおいてメインの搬送系のヘ
ッド6に支持した物品をサブの搬送系の回転テ−ブル2
6に移し替え、回転テ−ブル26の回転に基づいて物品
の方向を変更し、第2の停止ポジションにてメインの搬
送系のヘッド6に再び移し替える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は物品の方向変換装置
に関し、特に半導体装置,コンデンサなどの電子部品を
テ−ピングする装置において、テ−ピング時に電子部品
の極性,姿勢などに応じて所望の方向に高速で変換でき
る方向変換装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種電子部品の方向変換装置
は、例えば図9に示すように構成されている。同図にお
いて、Hはタ−ンテ−ブルの周辺にほぼ等ピッチにて配
置された複数の吸着ヘッドであって、図示しないセンタ
−バルブを介して真空系に接続されている。そして、所
定の停止ポジションには、吸着ヘッドHの下方に反転装
置Rが配置されている。この反転装置Rは上下動及び1
80°回転する反転部Sと、反転部Sに開閉自在なるよ
うに配置された一対のチャックCK,CKとから構成さ
れている。
【0003】この装置による電子部品Wの方向変換(反
転)は、次のように行なわれる。まず、適宜の停止ポジ
ションにて電子部品Wを吸着ヘッドHの下端に真空吸着
させる。そして、反転ポジションにて吸着ヘッドHが停
止すると、一対のチャックCK,CKが外側に開いた状
態で反転装置Rが所定位置まで上昇する。この状態でチ
ャックCK,CKを閉じると、電子部品WはチャックC
K,CKによって挟持される。この挟持に関連して吸着
ヘッドHの真空吸引が停止され、同ヘッドHによる吸着
から開放される。次に、反転装置Rが所定位置まで下降
し、反転部Sが180°回転する。然る後、反転装置R
が再び所定位置まで上昇すると、電子部品Wは吸着ヘッ
ドHの下端に当接される。これと同時に、吸着ヘッドH
が真空系に接続され、電子部品Wは方向を変換された状
態で吸着ヘッドHの下端に真空吸着される。そして、所
定のテ−ピング作業系に搬送される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この方向変
換装置によれば、作業系における反転ポジションにて電
子部品Wの方向を確実に反転できる関係で、電子部品W
を所望の姿勢で所定のテ−ピング作業系に確実に搬送す
ることができる。
【0005】しかしながら、上述の一連の反転動作は、
吸着ヘッドHが反転ポジションに移動して停止した後
に、反転装置Rの上昇,チャックCKによる電子部品W
の支持,反転装置Rの下降,反転部Sの回転,反転装置
Rの上昇,電子部品Wの吸着ヘッドHへの移し替えの動
作を要するために、吸着ヘッドHの停止期間における作
業時間が長くなる。従って、電子部品Wをテ−ピング作
業系に高速で供給することができないという問題があ
る。
【0006】それ故に、本発明の目的は、メインの搬送
系にバッファ機能を有するサブの搬送系を別設するとい
う比較的に簡単な構成によって作業系の高速化が可能と
なる物品の方向変換装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】従って、本発明は上述の
目的を達成するために、等ピッチに配置した複数のヘッ
ドを有し、かつヘッドに物品を支持して一定方向に間欠
的に搬送するメインの搬送系と、メインの搬送系に同期
して間欠回転し、かつメインの搬送系の停止ポジション
に合致する第1,第2の停止ポジションを有するサブの
搬送系とを具備し、前記メインの搬送系のヘッドに支持
されて搬送される物品を第1の停止ポジションにてサブ
の搬送系に移し替え、サブの搬送系の回転に基づいて物
品の方向を変更し、第2の停止ポジションにてメインの
搬送系のヘッドに移し替えるようにしたものである。
【0008】又、本発明の第2の発明は、タ−ンテ−ブ
ルの周辺に複数のヘッドをほぼ等ピッチに配置すると共
に、タ−ンテ−ブルの下側にほぼ円形状のレ−ルを上下
方向にのみスライド自在なるように配置し、かつヘッド
がレ−ルに支持された状態で回転すると共にレ−ルの上
下動に応じて上下にスライドするように構成したメイン
の搬送系と、メインの搬送系に同期して間欠回転し、か
つメインの搬送系の停止ポジションに合致する第1,第
2の停止ポジションを有する回転テ−ブルを備えたサブ
の搬送系とを具備し、前記メインの搬送系におけるレ−
ルの下降・上昇動作に基づいてヘッドのみを下降・上昇
させ、第1の停止ポジションにおいてメインの搬送系の
ヘッドに支持した物品をサブの搬送系の回転テ−ブルに
移し替え、回転テ−ブルの回転に基づいて物品の方向を
変更し、第2の停止ポジションにてメインの搬送系のヘ
ッドに再び移し替えることを特徴とする。
【0009】さらに、本発明の第3の発明は、タ−ンテ
−ブルの周辺に複数のヘッドをほぼ等ピッチに配置する
と共に、タ−ンテ−ブルの下側にほぼ円形状のレ−ルを
上下方向にのみスライド自在なるように配置し、かつヘ
ッドがレ−ルに支持された状態で回転すると共にレ−ル
の上下動に応じて上下にスライドするように構成したメ
インの搬送系と、ヘッドの周辺に配置し、レ−ルの下降
動作に伴うヘッドの下降をロックするロック機構と、メ
インの搬送系に同期して間欠回転し、かつメインの搬送
系の停止ポジションに合致する第1,第2の停止ポジシ
ョンを有する回転テ−ブルを備えたサブの搬送系とを具
備し、前記メインの搬送系の停止毎におけるレ−ルの下
降・上昇動作に際し、物品の方向変換を要しない場合に
はロック機構を動作させ、レ−ルが下降・上昇動作して
もヘッドを下降させないようにしたことを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
1〜図8を参照して説明する。同図において、Aは物品
が間欠的に搬送されるメインの搬送系であり、Bはメイ
ンの搬送系Aに関連して配置されたサブの搬送系であ
る。このメインの搬送系Aは、例えば次のように構成さ
れている。1は取付板であって、これの上面にはほぼ筒
状のシャフトハウジング2が垂直に固定されている。こ
のシャフトハウジング2には図7aに示すように間欠回
転するシャフト3が、それの上下端が突出するように貫
通して配置されており、図示しない軸受などによって支
持されている。尚、取付板1の下側部分に相当するシャ
フト3にはタイミングプ−リ4が固定されている。シャ
フト3の上方部分にはタ−ンテ−ブル5が固定されてお
り、その周辺部分にはほぼ等ピッチ間隔で複数のヘッド
6が上下方向にのみスライド可能に配置されている。
尚、このヘッド6はタ−ンテ−ブル5から等ピッチ間隔
で放射状に延在させた複数のア−ムの先端部分に配置す
ることもできる。特に、このヘッド6は、例えば下端面
に吸着孔を開口する吸着ノズル7と、吸着ノズル7の下
方に固定された第1のガイドロ−ラ8と、吸着ノズル7
の上方に固定された第2のガイドロ−ラ9とから構成さ
れている。尚、吸着ノズル7は後述するセンタ−バルブ
などを介して真空系に接続されている。
【0011】一方、シャフトハウジング2の上方部分
で、かつタ−ンテ−ブル5の下側部分には円形状のレ−
ル(円形レ−ル)10が上下方向にのみスライド可能に
配置されており、その周縁部分の上側には上述の第1の
ガイドロ−ラ8が当接されている。この円形レ−ル10
の下側にはスライダ−11が固定されており、このスラ
イダ−11はシャフトハウジング2の外面に垂直に固定
されたレ−ル12をガイドとして上下動自在なるように
構成されている。特に、スライダ−11の側部には、下
端が図示しないカムに係合されたタイロッド13が配置
されており、カムの回転に関連するタイロッド13の上
下動によってスライダ−11が上下動する。このスライ
ダ−11の上下動によって円形レ−ル10は図7cに示
すように一定のストロ−クで上下動すると共に、この動
作に応じてヘッド6も上下動する。
【0012】又、シャフト3の上端にはセンタ−バルブ
14が配置されている。このセンタ−バルブ14はロ−
タとステ−タとから構成されており、ロ−タ側はシャフ
ト3の上端に固定されており、ステ−タ側は第1のブラ
ケット15を介して第2のブラケット16に固定されて
いる。尚、第1のブラケット15は例えばL形に形成さ
れており、下端は取付板1に固定されている。上述の吸
着ノズル7の上端はフレキシブル性を有するホ−ス1
7,フィルタ−18を介してセンタ−バルブ14のロ−
タ側に接続されており、ステ−タ側を通して真空系に接
続されている。
【0013】上述の第2のブラケット16には第3のブ
ラケット19が固定されており、これにはヘッド6のロ
ック機構20が配置されている。このロック機構20は
例えば回転軸21aを有し、第3のブラケット19に固
定された電磁式のロ−タリソレノイド21と、第1の腕
部22a,第2の腕部22b,L形のロック部22cを
ほぼコ字形に形成し、回転軸21aに固定されたレバ−
22と、第1の腕部22aに一定以上回転しないように
配置されたストッパ−部23と、レバ−22が図示点線
以上に回転しないように配置されたストッパ−部24と
から構成されている。このロック機構20は、電子部品
(物品)の方向変換が必要な場合にはロ−タリソレノイ
ド21を駆動してレバ−22を図示点線位置に保持し、
方向変換が不必要な場合にはロ−タリソレノイド21を
駆動して図示実線位置に保持される。特に、ロック機構
20が図示実線位置に保持されると、円形レ−ル10が
図7cに示すように一定のストロ−クで上下動しても、
ヘッド6は図示実線位置に保持されて下降しない。
【0014】一方、メインの搬送系Aにおけるヘッド6
の所定の停止ポジションの下方にはサブの搬送系Bが配
置されている。このサブの搬送系Bは、例えば次のよう
に構成されている。取付板1に垂直に固定されたシャフ
トハウジング25と、このシャフトハウジング25に貫
通するように配置されたシャフトの上端に固定された回
転テ−ブル26と、シャフトの下端に固定されたプ−リ
27とから構成されており、プ−リ27は図7bに示す
ように間欠回転するようにタイミングプ−リ4に対して
ベルトによって連結されている。特に、回転テ−ブル2
6の間欠回転はシャフト3を駆動源としているが、例え
ばパルスモ−タなどを利用して回転制御することもでき
る。尚、回転テ−ブル26には例えば複数の電子部品W
を一定のピッチ間隔で真空吸着できる16個のヘッド
(図示しない吸着孔)が形成されており、センタ−バル
ブなどを介して真空系に接続されている。
【0015】この装置による物品例えばモ−ルド形半導
体装置などの電子部品Wの方向反転は次のように行なわ
れる。まず、ポジション#Aにてリ−ドフレ−ムから電
子部品Wを打ち抜き、第1の搬送系に供給し、ポジショ
ン#Bにて第2の搬送系に供給される。第2の搬送系で
はリ−ドの成形,特性測定などが行なわれる。そして、
ポジション#Cにて第3の搬送系に供給され、特性測定
結果に基づく特性ランク,製造者名などの表示記号がレ
−ザ−マ−キングされる。その後、ポジション#Dにて
メインの搬送系Aに供給される。この状態で電子部品W
はヘッド6の吸着ノズル7に吸着され、順次間欠回転し
てやがてポジション#Eに搬送されて停止する。尚、メ
インの搬送系Aにおいて、ヘッド6は各ポジションにて
停止する毎に、図7cに示すように円形レ−ル10の下
降・上昇動作に伴ってヘッド6も下降・上昇動作を繰り
返す。又、レバ−22のロック部22cは、ロ−タリソ
レノイド21の動作により、図4において点線で示す位
置(第2の腕部22bがストッパ−部24に当たる位
置)にあり、第2のガイドロ−ラ9から外れている。
【0016】ヘッド6がポジション#Eにて停止する
と、これに関連して、タイロッド13が下降すると共
に、スライダ−11も下降する。これと同時に、円形レ
−ル10は図7cに示すように一定のストロ−クだけ下
降し、これに関連して円形レ−ル10の周縁部分に第1
のガイドロ−ラ8を介して支持されているヘッド6も同
ストロ−クだけ下降する。そして、吸着ノズル7に吸着
されている電子部品Wはサブの搬送系Bの回転テ−ブル
26の#1ヘッドに載置され、吸着される。これと同時
に、吸着ノズル7による吸着が停止され、電子部品Wは
完全にメインの搬送系Aからサブの搬送系Bに移し替え
られる。その後、タイロッド13の上昇動作に関連して
円形レ−ル10は所定の高さまで持ち上げられ、所定時
間の経過後に間欠回転される。
【0017】一方、回転テ−ブル26に移し替えられた
電子部品Wは、図8に示すように回転テ−ブル26が順
次に間欠回転することによりメインの搬送系Aに対する
方向が変更されながらポジション#Fに搬送される。例
えばポジション#Eに位置する回転テ−ブル26の#1
ヘッドがポジション#Fに位置する#10ヘッドまで回
転すると、電子部品Wの方向はメインの搬送系Aに対し
て180°反転される。尚、回転テ−ブル26のヘッド
数及び両ポジション#E,#Fに存在するヘッド数など
は変更する方向によって適宜に変更できる。
【0018】即ち、ポジション#Eとポジション#Fと
のメインの搬送系での回転角度をθ 1 とし、回転テ−ブ
ル26の回転角度をθ2 とすると、360°/θ1 =N
(Nは整数)であることを要する。従って、回転テ−ブ
ル26の回転半径はこのθ2の回転でポジション#Eか
らポジション#Fに移動する寸法の半径とすればよい。
単純な場合の例として、Nが偶数の場合、θ2 =180
°+θ1 =180°+360°/Nであるから、回転テ
−ブル26もN分割してやれば、180°位置も分割点
となり、その次の分割点がポジション#Eになる。
【0019】方向が変換された電子部品Wがポジション
#Fに搬送され、停止されると、円形レ−ル10の下降
動作により吸着ノズル7の下端面が回転テ−ブル上の電
子部品Wに当接され、吸着される。これと同時に、回転
テ−ブル26の吸着動作が停止される。引き続き、タイ
ロッド13の上昇動作に関連して円形レ−ル10は所定
の高さまで持ち上げられ、所定時間の経過後に間欠回転
される。この段階で、電子部品Wの姿勢(方向)はポジ
ション#Eに対して180°反転された状態で完全にサ
ブの搬送系Bから再びメインの搬送系Aに移し替えられ
る。図7a,bに示すように両搬送系は同期して間欠回
転しているので、ポジション#Eではメインの搬送系A
からサブの搬送系Bにヘッド6及び回転テ−ブル26の
停止毎に電子部品Wが次々と移し替えられ、ポジション
#Fでは逆にサブの搬送系Bからメインの搬送系Aに回
転テ−ブル26及びヘッド6の停止毎に方向変換された
電子部品Wが次々と移し替えられる(戻される)。そし
て、この電子部品Wはポジション#G,#H,#Jにて
特性ランクに応じてそれぞれのテ−ピング装置に排出さ
れる。
【0020】電子部品Wの方向を変換する必要のない場
合には、次のように動作される。まず、ロ−タリソレノ
イド21を駆動してレバ−22のロック部22cを図4
に示す実線位置(第1の腕部22aがストッパ−部23
に当たるまで)まで回転させる。次に、ヘッド6がポジ
ション#Eにて停止すると、これに関連して、タイロッ
ド13が下降すると共に、スライダ−11も下降する。
これと同時に、円形レ−ル10は図7cに示すように一
定のストロ−クだけ下降し、これに関連して円形レ−ル
10の周縁部分に第1のガイドロ−ラ8を介して支持さ
れているヘッド6も下降しようとするが、第2のガイド
ロ−ラ9がロック機構20のロック部22cに支持され
ている関係で下降しない。このために、吸着ノズル7に
吸着されている電子部品Wはサブの搬送系Bに移し替え
られない。所定時間の経過後に、再び円形レ−ル10が
上昇し、その周縁部分に第1のガイドロ−ラ8が当接
(載置)されると、ヘッド6は円形レ−ル10の高さ位
置を保持しながら、かつ電子部品Wの方向を変換させる
ことなく、次のポジションに向けて搬送される。
【0021】尚、本発明は、何ら上記実施例に制約され
ることなく、例えばメインの搬送系は間欠回転系の他、
間欠移動するチェ−ンコンベアなどの直線系を適用する
こともできる。又、ヘッドは物品を真空吸着によって支
持する構成の他、チャックなどによる支持構造を採用す
ることも可能である。
【0022】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、物品が間
欠的に搬送されるメインの搬送系には、複数の停止ポジ
ションに跨がって、メインの搬送系に同期して間欠回転
するサブの搬送系が別設されているために、単に物品を
メインの搬送系からサブの搬送系に移し替えるだけでサ
ブの搬送系の回転に従って自動的に方向が変換される。
従って、所定の停止ポジションにてサブの搬送系からメ
インの搬送系に物品を戻すことによって方向を簡単に変
更できる。
【0023】しかも、物品の方向変更は物品がサブの搬
送系に移し替えられた後、サブの搬送系の間欠回転のみ
によって順次に方向が変更されるために、従来のように
1作業期間内において物品を挟持して反転させる操作が
不要となる。従って、作業時間の短縮が可能となり、搬
送系を高速化することができる。
【0024】又、物品は複数のポジションにて同時に、
方向変更する物品がメインの搬送系からサブの搬送系
に、方向変更された物品がサブの搬送系からメインの搬
送系に移し替えられるために、上述の物品を挟持した状
態での反転操作の不要化と相俟って一層の高速化が可能
となる。
【0025】特に、メインの搬送系にヘッドのロック機
構を設ければ、物品の方向変更が不要の場合には物品の
移し替え時にヘッドの下降を阻止でき、物品の姿勢を変
更させることなく次工程に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の概略構成を示す平面図。
【図2】本発明の1実施例を示す要部正面図。
【図3】図2の側断面図。
【図4】本発明にかかるロック機構部分の正面図。
【図5】本発明にかかる円形レ−ルの昇降機構部分の側
面図。
【図6】図5の要部断面図。
【図7】搬送系のタイミングチャ−ト。
【図8】サブの搬送系による物品の方向変更を説明する
ための平面図。
【図9】従来の方向変更装置の要部正面図。
【符号の説明】
A メインの搬送系 B サブの搬送系 W 物品(電子部品) 1 取付板 3 シャフト 5 タ−ンテ−ブル 6 ヘッド 7 吸着ノズル 8 第1のガイドロ−ラ 9 第2のガイドロ−ラ 10 円形レ−ル 11 スライダ− 12 ガイドレ−ル 13 タイロッド 15,16,19 ブラケット 20 ロック機構 21 ロ−タリソレノイド 22 レバ− 22c ロック部 26 回転テ−ブル

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 等ピッチに配置した複数のヘッドを有
    し、かつヘッドに物品を支持して一定方向に間欠的に搬
    送するメインの搬送系と、メインの搬送系に同期して間
    欠回転し、かつメインの搬送系の停止ポジションに合致
    する第1,第2の停止ポジションを有するザブの搬送系
    とを具備し、前記メインの搬送系のヘッドに支持されて
    搬送される物品を第1の停止ポジションにてサブの搬送
    系に移し替え、サブの搬送系の回転に基づいて物品の方
    向を変更し、第2の停止ポジションにてメインの搬送系
    のヘッドに移し替えることを特徴とする物品の方向変換
    装置。
  2. 【請求項2】 タ−ンテ−ブルの周辺に複数のヘッドを
    ほぼ等ピッチに配置すると共に、タ−ンテ−ブルの下側
    にほぼ円形状のレ−ルを上下方向にのみスライド自在な
    るように配置し、かつヘッドがレ−ルに支持された状態
    で回転すると共にレ−ルの上下動に応じて上下にスライ
    ドするように構成したメインの搬送系と、メインの搬送
    系に同期して間欠回転し、かつメインの搬送系の停止ポ
    ジションに合致する第1,第2の停止ポジションを有す
    る回転テ−ブルを備えたサブの搬送系とを具備し、前記
    メインの搬送系におけるレ−ルの下降・上昇動作に基づ
    いてヘッドのみを下降・上昇させ、第1の停止ポジショ
    ンにおいてメインの搬送系のヘッドに支持した物品をサ
    ブの搬送系の回転テ−ブルに移し替え、回転テ−ブルの
    回転に基づいて物品の方向を変更し、第2の停止ポジシ
    ョンにてメインの搬送系のヘッドに再び移し替えること
    を特徴とする物品の方向変換装置。
  3. 【請求項3】 タ−ンテ−ブルの周辺に複数のヘッドを
    ほぼ等ピッチに配置すると共に、タ−ンテ−ブルの下側
    にほぼ円形状のレ−ルを上下方向にのみスライド自在な
    るように配置し、かつヘッドがレ−ルに支持された状態
    で回転すると共にレ−ルの上下動に応じて上下にスライ
    ドするように構成したメインの搬送系と、ヘッドの周辺
    に配置し、レ−ルの下降動作に伴うヘッドの下降をロッ
    クするロック機構と、メインの搬送系に同期して間欠回
    転し、かつメインの搬送系の停止ポジションに合致する
    第1,第2の停止ポジションを有する回転テ−ブルを備
    えたサブの搬送系とを具備し、前記メインの搬送系の停
    止毎におけるレ−ルの下降・上昇動作に際し、物品の方
    向変換を要しない場合にはロック機構を動作させ、レ−
    ルが下降・上昇動作してもヘッドを下降させないように
    したことを特徴とする物品の方向変換装置。
JP7318989A 1995-12-07 1995-12-07 物品の方向変換装置 Pending JPH09156753A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7318989A JPH09156753A (ja) 1995-12-07 1995-12-07 物品の方向変換装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7318989A JPH09156753A (ja) 1995-12-07 1995-12-07 物品の方向変換装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09156753A true JPH09156753A (ja) 1997-06-17

Family

ID=18105256

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7318989A Pending JPH09156753A (ja) 1995-12-07 1995-12-07 物品の方向変換装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09156753A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107055068A (zh) * 2017-06-02 2017-08-18 海宁上通优必胜轴承有限公司 圆盘上料机

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107055068A (zh) * 2017-06-02 2017-08-18 海宁上通优必胜轴承有限公司 圆盘上料机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3433218B2 (ja) 電子部品装着装置
JP4387416B2 (ja) 加工テーブル
KR100244688B1 (ko) 웨이퍼 반송장치
JPS6151407A (ja) コンベア装置
CN207267719U (zh) 一种送料装置
JPH09156753A (ja) 物品の方向変換装置
WO2021141058A1 (ja) 電子部品搬送装置
KR100217285B1 (ko) 다이이송장치
JP3395791B2 (ja) 板状体の搬送装置
JP2591022B2 (ja) 電子部品移載装置
JP3097529B2 (ja) 電子部品の特性測定装置及びその測定方法
JPH10315178A (ja) ロボット
JP3671051B2 (ja) 電子部品のボンディング装置およびボンディング方法
JPH04144811A (ja) 基板挿入装置
JP3144053B2 (ja) 電子部品実装装置
JPS6212521A (ja) 物品の姿勢反転装置
JPH05319572A (ja) 反転パイリング装置
JP3036364B2 (ja) 部品搬送装置および部品搬送方法
JP2952566B2 (ja) ワーク洗浄装置
JPH01316147A (ja) ワーク搬送装置
JP2004083093A (ja) テーピング装置
KR200147788Y1 (ko) 하드디스크 공급장치
JPH1057875A (ja) 基板処理装置
JPH01261899A (ja) 電子部品の実装装置
JP2581085B2 (ja) ウエ−ハアライメント装置

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19990810