KR101811646B1

KR101811646B1 - 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치

Info

Publication number: KR101811646B1
Application number: KR1020120052240A
Authority: KR
Inventors: 이진복; 성기주
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2012-05-17
Filing date: 2012-05-17
Publication date: 2017-12-26
Also published as: TWI497085B; KR20130128500A; CN103418551A; TW201348721A; CN103418551B

Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 픽앤플레이스장치에 구성되는 캠부재를 지지 프레임과 캠 플레이트로 나누어 캠플레이트만 지지 프레임에 탈착시키는 방식으로 실질적인 캠의 교체를 이룰 수 있기 때문에 그 교체가 편리한 효과가 있다.

Description

테스트핸들러용 픽앤플레이스장치{PICK AND PLACE APPARATUS FOR TEST HANDLER}

본 발명은 테스트핸들러에서 반도체소자를 파지한 후 요구되는 위치로 이동시키는 픽앤플레이스장치에 관한 것이다.

테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 고객트레이(CUSTOMER TRAY)로부터 테스트트레이(TEST TRAY)로 로딩(LOADING)한 후, 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터(TESTER)에 의해 테스트(TEST)될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 다시 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩(UNLOADING)하는 기기로서 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.

테스트핸들러에는 위에서 언급한 고객트레이나 테스트트레이뿐만 아니라, 로딩부에 구성되는 얼라이너(ALIGNER)나 여분의 반도체소자들을 보관 적재하는 버퍼(BUFFER), 기동형 로딩테이블, 소팅테이블(SORTING TABLE) 등과 같이 반도체소자를 적재 또는 정렬시키기 위한 다수의 적재요소나 정렬요소가 구비된다.

본 발명은 상기와 같이 서로 다른 요소들(고객트레이, 테스트트레이, 얼라이너, 버퍼, 기동형 로딩테이블, 소팅테이블) 중 어느 두개의 요소들 사이에서 반도체소자들을 이송하기 위해, 일 측의 요소로부터 반도체소자를 파지한 후 타 측의 요소로 반도체소자를 이동시키는 픽앤플레이스장치(PICK AND PLACE APPARATUS)에 관한 것이다. 대개의 경우, 픽앤플레이스장치가 로딩부에 구성된 경우에는 로더 또는 로딩 핸드라고 칭하기도 하며, 언로딩부에 구성된 경우에는 언로더 또는 언로딩 핸드라고 칭하기도 한다.

지금까지 개시된 픽앤플레이스장치는, 반도체소자들을 파지하기 위해 2 X 4, 1 X 8, 2 X 8 또는 4 X 8 행렬(行列) 형태로 배열된 8개, 16개 또는 32개의 픽커(PICKER)들을 구비하고 있다. 여기서 픽앤플레이스장치에 픽커들을 복수행으로 구비시키는 이유는 1회에 이송할 수 있는 반도체소자의 개수를 늘려 로딩 또는 언로딩에 걸리는 시간을 단축하기 위함인데, 대개의 경우 1회 이동 처리 용량과 픽커들의 경량 및 소형화를 감안하여 2 X 8 행렬의 구성을 주로 채용하고 있다. 그리고 이러한 경우 2개의 픽커가 한 조를 이루어 하나의 픽커모듈을 구성한다(예를 들어 4 X 8 행렬 형태의 경우에는 4개의 픽커가 한 조를 이루어 하나의 픽커모듈을 구성함).

일반적으로 고객트레이는 반도체소자들의 보관을 위한 적재가 목적이기 때문에 가급적 많은 반도체소자들을 파지할 수 있도록 하기 위해 파지된 반도체소자들 간의 간격이 최소가 되도록 구비되며, 테스트레이는 적재된 반도체소자들이 테스트에 필요한 간격을 확보할 수 있도록 고객트레이에서보다 반도체소자들 간의 간격이 넓혀진 간격을 가지도록 구비된다. 즉, 고객트레이에서의 반도체소자들 간의 간격보다 테스트트레이에서의 반도체소자들 간의 간격이 더 넓게 되어 있다. 따라서 반도체소자들을 고객트레이로부터 테스트트레이로 로딩하거나, 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩할 경우에는 반도체소자들 간의 간격을 조정할 필요성이 있는 것이다. 더 나아가 고객트레이나 테스트트레이뿐만 아니라, 얼라이너나 버퍼, 기동형 로딩테이블, 소팅테이블 등과 같은 다수의 적재요소들 간에 반도체소자의 이동이 있을 경우, 요구에 따라 반도체소자들 간의 간격 조정이 이루어질 필요성이 있다.

그러한 반도체소자의 간격조정은 픽앤플레이스장치에 의해 이루어진다. 즉, 픽앤플레이스장치에 의해 일 측 적재요소에서 반도체소자들을 파지한 후, 반도체소자들 간의 간격을 요구되는 간격으로 조정한 다음 타 측 적재요소로 반도체소자를 이동시켜 적재시키도록 구현하고 있는 것이다.

따라서 픽앤프레이스장치에는 픽커모듈들 간의 간격을 조정하기 위한 구성을 가진다.

픽앤플레이스장치에서 반도체소자들 간의 간격을 조정하는 방식은 판 형상의 캠을 적용한 캠방식(대한민국 공개특허 10-1999-0038981호 참조)과 픽커모듈들 간을 링크로 연결한 링크방식(대한민국 등록특허 10-0648919호 참조)이 있으며, 본 발명은 캠방식과 관계한다.

캠방식의 경우, 테스트되어질 반도체소자의 크기가 달라지면 반도체소자들 간의 최대 간격 또는 최소 간격이 달라지기 때문에 캠을 교체해야만 하는 불편함이 따른다. 그런데 캠을 교체하고자 할 경우 픽앤플레이스장치가 테스트핸들러 내부에 구비되어 있어서 그 교체에 불편함이 있다. 더구나 캠을 그 좌우에 결합된 엘엠(LM)블럭들로부터 분리시키면 엘엠블럭들이 자중에 의해 엘엠가이드레일의 하방으로 이동하여 이탈될 가능성이 있으며, 이럴 경우 엘엠블럭들을 구성하는 쇠구슬들이 빠지게 되어 그 기능을 저하시킬 수 있다. 또한, 새로이 교체되는 캠이 엘엠블럭들에 평형이 맞지 않게 결합되는 등과 같이 적절히 결합되지 못하면, 엘엠블럭들이 엘엠가이드레일 상에서 이동할 때 과부하를 받게 되어 원활한 동작이 이루어지지 않거나 쉽게 고장을 일으킬 수 있다.

따라서 위와 같은 캠 교체에 수반되는 문제점을 해결하기 위해 등록특허 10-0622415호(발명의 명칭 : 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 반송장치, 이하 '종래기술'이라 함)와 같은 기술이 제안되어졌다.

종래기술은, 서보모터를 이용하여 픽앤플레이스장치(종래기술에는 '소자 반송장치'로 명명됨)에 파지된 반도체소자들 간의 최소 간격과 최대 간격을 임의로 조정할 수 있도록 함으로써, 테스트되어질 반도체소자의 크기가 달라지는 경우에도 캠을 교체할 필요가 없도록 하고 있다.

그러나 테스트트레이와 같은 적재요소에 적재된 반도체소자들 간의 간격이 모두 동일하면 종래기술이 유효할 수 있지만, 적재요소에 적재된 반도체소자들 간의 간격이 서로 상이할 경우(대한민국 공개특허 10-2008-0003145호 도면12 참조)나 상이해지거나 반대로 동일해질 경우 등에는 종래기술이 유효할 수 없다. 또한, 새로운 적재요소에 적재되는 반도체소자들 간의 최소 간격 또는 최대 간격이 현재 적용된 캠의 간격 조정 범위를 벗어나는 경우에도 종래기술을 유효하지 못하다. 이와 같은 경우 결국 캠을 교체해야만 되기 때문에 캠 교체에 따른 상술한 문제점을 그대로 가지게 된다. 그리고 서보모터를 구성함에 따라 장치가 복잡해지고 가격이 상승한다 문제점도 있다.

본 발명은 전술한 문제점들을 개선하기 위하여 엘엠블럭과 결합을 유지한 상태에서 실질적으로 캠을 교체할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치는, 수평 이동이 가능하고, 각각 적어도 하나 이상의 픽커를 구비한 다수의 픽커모듈; - 상기한 픽커는 반도체소자를 파지하기 위해 마련됨 - 상기 다수의 픽커모듈의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재; 승강 가능하고, 승강에 의해 상기 다수의 픽커모듈들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하는 다수의 캠홈이 상기 다수의 픽커모듈들 각각에 대응되게 형성되어 있는 캠부재; 상기 캠부재의 승강을 안내하기 위한 제2 안내부재; 및 상기 캠부재의 승강에 필요한 구동력을 제공하는 구동원; 을 포함하고, 상기 캠부재는, 상기 제2 안내부재에 승강 가능하게 결합되는 지지 프레임; 및 상기 지지 프레임에 탈착 가능하게 결합되며, 상기한 다수의 캠홈이 형성되는 있는 캠 플레이트; 를 포함하고, 상기 다수의 픽커모듈 각각에는 상기한 다수의 캠홈에 각각 삽입됨으로써 상기 캠부재의 승강에 연동하여 상기 다수의 픽커모듈 각각에 수평방향으로의 이동력을 발생시키는 삽입부분이 구비되어 있고, 상기 캠부재의 승강 상태에 따라 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조절될 수 있도록, 상기한 다수의 캠홈 상호 간의 간격은 상기 캠부재의 승강에 따라 상기 다수의 픽커모듈의 삽입부분들을 지나는 수평선상에서 좁아지거나 넓어지도록 되어 있다.

상기한 다수의 캠홈 각각은 상단과 하단이 폐쇄되어 있다.

상기 지지 프레임에는 상기한 다수의 캠홈 하단에 대응되는 지점에 상기 다수의 픽커모듈의 삽입부분들이 각각 안착될 수 있는 다수의 안착홈이 형성되어 있다.

상기 캠 플레이트의 다수의 캠홈 각각의 하단에는 상기 삽입부분의 삽입을 안내하기 위한 안내부분을 가진다.

상기 안내부분은 상기한 캠홈의 하단 부위가 상기 다수의 픽커모듈을 대향하는 면 측으로 확장되어짐으로써 형성된다.

상기 지지 프레임의 일 측에는 돌기홈이 형성되어 있고, 상기 캠 플레이트에는 상기한 돌기홈에 대응되는 위치에 상기한 돌기홈에 끼워지는 결합돌기가 형성되어 있으며, 상기 캠부재는 상기한 돌기홈에 상기한 결합돌기가 끼워진 상태에서 상기 캠 플레이트가 상기 지지 프레임에 결합된 상태로 유지되도록 하는 유지기를 더 포함한다.

상기 캠부재는 상기 유지기가 상기 지지 프레임에 결합된 상기 캠플레이트를 일 측 방향으로 가압할 수 있도록 상기 유지기를 탄성 지지하는 탄성부재를 더 포함한다.

상기 캠부재는 상기 지지 프레임에 결합된 상기 캠 플레이트를 일 측 방향으로 가압할 수 있도록 마련되는 탄성부재를 더 포함한다.

본 발명에 따르면 캠부재를 구성하는 지지프레임이 엘엠블럭에 결합된 상태에서 캠 플레이트만 지지 프레임에 탈착시키면 되기 때문에 실질적인 캠의 교체가 편리한 효과가 있다.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도2는 도1의 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치로부터 캠 플레이트를 탈거시킨 상태를 도시하고 있다.
도3은 도2의 상태에서 지지 프레임을 더 탈거시킨 상태를 도시하고 있다.
도4는 도3의 상태에서 픽커모듈들의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재의 레일 지지판을 더 탈거시킨 상태를 도시하고 있다.
도5는 도1의 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 적용된 제 1 안내부재에 대한 배면도이다.
도6은 캠부재의 승강에 따라 픽커모듈들 간의 간격이 조정되는 상태를 도시하고 있다.
도7은 캠 플레이트의 배면이 보이는 개략적인 사시도이다.
도8a 및 도8b는 도1의 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 작동 상태를 설명하기 위한 참조도이다.
도9 및 도10은 도1의 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에서 캠 플레이트를 교체하는 기술을 설명하기 위한 참조도이다.

이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치(100, 이하 '픽앤플레이스장치'라 약칭 함)에 대한 개략적인 사시도이고, 도2는 도1의 픽앤플레이스장치(100)로부터 캠부재(130)를 구성하는 캠 플레이트(132)를 탈거시킨 상태의 개략적인 사시도이며, 도3은 도2의 상태에서 캠부재(130)를 구성하는 지지 프레임(131)을 더 탈거시킨 상태의 개략적인 사시도이다. 그리고 도4는 도3의 상태에서 픽커모듈(111 내지 118)들의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재(120)의 레일 지지판(123)을 더 탈거시킨 상태의 개략적인 단면도이다.

도1 내지 도4에서 참조되는 바와 같이, 본 실시예에 따른 픽앤플레이스장치(100)는 8개의 픽커모듈(111 내지 118), 제1 안내부재(120), 캠부재(130), 한 쌍의 제2 안내부재(141, 142), 한 쌍의 실린더(151, 152) 등을 포함하여 구성된다.

8개의 픽커모듈(111 내지 118)은, 각각 수평이동이 가능하면서, 각각 반도체소자를 파지하기 위한 적어도 하나의 픽커(P)를 구비한다. 참고로 도1 내지 도4에는 하나의 픽커모듈(111 / 112 ... / 118)에 2개의 픽커(P)가 구비되는 것으로 표현되어 있으나, 실시하기에 따라서 하나의 픽커모듈(111 / 112 ... / 118)에 하나 또는 3개 이상의 픽커를 구비시킬 수 있음은 당연하다. 또한, 8개의 픽커모듈(111 내지 118) 각각에는 전방으로 돌출된 삽입부분(111a 내지 118a)이 구비되어 있으며, 삽입부분(111a 내지 118a)들 각각은 베어링(B)을 가지고 있다.

제1 안내부재(120)는, 8개의 픽커모듈(111 내지 118)의 수평 이동을 안내하기 위해 마련되며, 도5의 배면도에서 참조되는 바와 같이 쌍으로 구비되는 제1 안내레일(121a 및 121b)들, 8개의 제1 레일블럭(122a 내지 122h) 및 레일 지지판(123)으로 구성된다.

2개의 제1 안내레일(121a 및 121b)들은, 좌우 방향으로 긴 형태이며, 상호 상하 방향으로 이격되게 위치한다.

8개의 제1 레일블럭(122a 내지 122h)들은 각각 8개의 픽커블럭(111 내지 118)들이 수평 방향으로 이동 가능할 수 있도록 2개의 제1 안내레일(121a 및 121b)들에 선택적으로 결합시키기 위해 마련된다. 즉, 8개의 제1 레일블럭(122a 내지 122h)들은 교호적으로 상측의 제1 안내레일(121a) 또는 하측의 제1 안내레일(121b)에 결합된다. 그리고 8개의 픽커블럭(111 내지 118)들은 각각 8개의 제1 레일블럭(122a 내지 122h)들에 결합된다. 따라서 8개의 픽커모듈(111 내지 118)들은 제1 레일블럭(122a 내지 122h)들을 통해 제1 안내레일(121a 및 121b)에 의해 안내되면서 수평방향으로 이동할 수 있게 된다.

레일 지지판(123)은 제1 안내레일(121a 및 121b)을 지지하기 위해 마련된다. 즉, 제1 안내레일(121a 및 121b)들은 레일 지지판(123)에 결합되는 상태로 설치되게 된다. 그리고 레일 지지판(123)은 상하 양측의 제1 안내레일(121a 및 121b)들 사이에 픽커모듈(111 내지 118)들의 삽입부분(111a 내지 118a)이 전방으로 통과될 수 있도록 수평방향으로 긴 통과구멍(123a)이 형성되어 있다.

캠부재(130)는, 승강 가능하며, 승강에 의해 8개의 픽커모듈(111 내지 118)들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 8개의 픽커모듈(111 내지 118)들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하기 위해 마련된다. 이를 위해 캠부재(130)는 지지 프레임(131), 캠 플레이트(132), 유지기(133) 및 스프링(134) 등을 포함하여 구성된다.

지지 프레임(131)은, 제1 안내부재(120)의 전방에 구비되며, 양단이 승강 가능한 제2 안내부재(141, 142)의 제2 레일블럭(141b, 142b)에 결합된다. 이러한 지지 프레임(131)에는 캠부재(130)가 승강할 때 픽커모듈(111 내지 118)들의 삽입부분(111a 내지 118a)과 간섭되지 않도록 중앙에 넓은 사각 형태의 개방구멍(131a)이 형성되어 있고, 그 일 측으로는 캠 플레이트(132)를 결합시키기 위한 결합홈(131b)이 형성되어 있다. 또한, 캠 플레이트(132)의 배면이 지지 프레임(131)에 지지 되도록 지지면(SF)이 지지 프레임(131)의 정면(FF)에서 단차지게 들어간 형태로 형성되어 있다. 즉, 본 발명에서는 지지면(SF)은 캠 플레이트(132)의 외각면과 중간부분을 지지하도록 형성되어 있으나, 장비 구성에 따라 형태를 달리 할 수 있다. 또한 지지 프레임(131)의 정면(FF)과 지지면(SF)은 캠 플레이트(132)의 두께와 동일하게 하는 것이 좋은데, 이는 캠 플레이트(132)를 지지 프레임(131)에 결합할 때, 유지지(133) 및 결합돌기(132i)와의 원활한 결합관계를 위해서이다.

캠 플레이트(132)는, 캠부재(130)의 승강에 따라 픽커모듈(111 내지 118)들 간의 간격을 조정시키는 역할을 수행하기 위해 마련되며, 지지 프레임(131)에 탈착 가능하게 마련된다. 이러한 캠 플레이트(132)에는 8개의 픽커모듈(111 내지 118)들 각각에 대응되게 8개의 캠홈(132a 내지 132h)이 상하 방향으로 길쭉하게 형성되어 있다. 여기서 8개의 캠홈(132a 내지 132h)들은, 상호 간의 간격이 상측 부분에서 하측 부분으로 갈수록 넓어지도록 경사지게 형성되며, 각각 상단과 하단이 폐쇄되어 있다. 즉, 캠 플레이트(132)에 8개의 캠홈(132a 내지 132h)들이 온전히 형성되어 있어서 삽입부분(111a 내지 118a)들을 적절히 안내할 수 있도록 되어 있는 것이다. 그리고 상기한 8개의 픽커모듈(111 내지 118)들의 삽입부분(111a 내지 118a)들은 캠 플레이트(132)의 8개의 캠홈(132a 내지 132h)에 각각 삽입되어진다. 따라서 도6의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 픽커모듈(111 내지 118)들의 삽입부분(111a 내지 118a)들을 지나는 수평선(H)상에서 캠 플레이트(132)의 승강에 따라 경사진 캠홈(132a 내지 132h)들에 의해 삽입부분(111a 내지 118a)에 수평 방향으로의 이동력이 발생되게 됨으로써 픽커모듈(111 내지 118)들이 수평 방향으로 이동하면서 상호 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 되어 있다. 이 때, 삽입부분(111a 내지 118)들이 가지는 베어링(B)은 픽커모듈(111 내지 118)들이 각각 경사진 캠홈(132a 내지 132h)들을 따라 부드럽게 이동될 수 있게 한다. 또한 캠 플레이트(132)의 일 측에는 상기한 결합홈(131b)에 끼워지는 결합돌기(132i)가 형성되어 있다.

한편, 전술한 지지 프레임(131)에는 캠 플레이트(132)의 캠홈(132a 내지 132h) 하단에 대응되는 지점에 픽커모듈(111 내지 118)들의 삽입부분(111a 내지 118a)들이 각각 안착될 수 있는 8개의 안착홈(131c-1 내지 131c-8)이 형성되어 있어서 차후 캠 플레이트(132)를 교체할 시에 픽커모듈(111 내지 118)들의 수평 이동이 제한될 수 있도록 되어 있다. 또한, 캠 플레이트(132)의 배면에는 도7에서 참조되는 바와 같이 캠 플레이트(132)의 설치 시에 삽입부분(111a 내지 118a)의 적절한 삽입을 안내하기 위해 캠홈(132a 내지 132h)의 하단 부위가 픽커모듈(111 내지 118)을 대향하는 면 측으로 확장되어짐으로써 형성되는 안내부분(G)이 있다.

유지기(133)는 일 측의 결합돌기(132i)가 지지 프레임(131)의 결합홈(131b)에 끼워진 상태에 있는 캠 플레이트(132)의 타 측을 걸어 줌으로써 캠 플레이트(132)가 지지 프레임(131)에 결합된 상태를 유지할 수 있도록 하는 역할을 수행한다. 이러한 유지기(133)는, 캠 플레이트(132) 측으로 진퇴 가능하게 마련되며, 캠 플레이트(132)에 결합된 지지 프레임(131)의 타 측이 걸릴 수 있는 걸림단(133a)을 가지고 있다.

스프링(134)은, 유지기(133)를 탄성 지지하기 위한 탄성부재로서 마련되며, 더 나아가 유지기(133)를 통해 캠 플레이트(132)를 일 측 방향으로 밀어 줌으로써 지지 프레임(131)에 결합된 캠 플레이트(132)를 적절한 위치로 정렬시킨다. 물론, 본 실시예에서는 스프링(134)이 유지기(133)를 통해 캠 플레이트(132)에 탄성력을 가함으로써 캠 플레이트(132)를 일 측으로 정렬시키고 있지만, 실시하기에 따라서는 스프링이 별도로 캠 플레이트에 탄성력을 가하도록 구현하는 것도 가능하다.

한편 한 쌍의 제2 안내부재(141, 142)는, 캠부재(130)의 승강 이동을 안내하기 위해 마련되는 것으로서, 각각 제2 안내레일(141a, 142a)과 제2 레일블럭(141b, 142b)으로 구성된다.

제2 안내레일(141a, 142a)은 캠부재(130)의 승강 이동을 안내하기 위해 상하 방향으로 길게 설치되며, 제2 레일블럭(141b, 142b)은 캠부재(130)의 승강 이동이 가능하도록 캠부재(130)의 양 단을 제2 안내레일(141a, 142a)에 결합시킨다.

실린더(150)는, 캠부재(130)의 승강에 필요한 구동력을 제공하기 위한 구동원으로서 마련된다.

계속하여 위와 같은 픽앤플레이스장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.

먼저 예를 들어 고객트레이에 적재된 반도체소자들을 파지하기 위해 픽커모듈(111 내지 118)들 간의 간격이 좁아질 필요가 있는 경우, 도8a에서와 같이, 실린더(151, 152)가 제2 레일블럭(141b, 142b)을 하방으로 내림으로써 제2 레일블럭(141b, 142b)에 결합된 캠부재(130)를 하방으로 이동시킨다. 이에 따라 픽커모듈(111 내지 118)들의 삽입부분(111a 내지 118a)이 캠부재(130)의 경사진 캠홈(132a 내지 132h)에 의해 수평 이동력을 받아서, 궁극적으로 픽커모듈(111 내지 118)들이 캠홈(132a 내지 132h)에 의해 규정된 만큼 수평 이동을 하면서 도8b에서와 같이 상호 간의 간격을 좁히게 된다. 그리고 픽커모듈(111 내지 118)들이 파지한 반도체소자들을 예를 들어 테스트트레이 등에 적재시키기 위해 픽커모듈(111 내지 1118)들 간의 간격을 넓히고자 할 경우에는 실린더(151, 152)가 제2 레일블럭(141b, 142b)을 상방으로 올려 캠부재(130)를 상방으로 이동시킴으로써 도8b의 상태에서 도8a의 상태로 되돌린다.

한편, 테스트될 반도체소자의 크기가 변함으로써 테스트트레이에 적재되는 반도체소자들 간의 간격이나 테스터의 테스트소켓(반도체소자는 테스트소켓을 통해 테스터에 전기적으로 접속된다) 간의 간격들이 변화된 경우, 관리자는 캠부재(130)의 캠 플레이트(132)만 간단하게 교체함으로써 빠르고 쉽게 새로이 테스트될 반도체소자에 대한 전용성을 획득할 수 있다.

즉, 관리자는 캠부재(130)가 상방으로 이동된 도8a와 같은 상태에서 유지기(133)를 캠 플레이트(132)의 반대 측으로 밀어 줌으로써 캠 플레이트(132)의 타단이 유지기(133)의 걸림단(133a)에 걸려 있는 상태를 해제시킨다. 이 때, 픽커모듈(111 내지 118)들의 삽입부분(111a 내지 111h)은, 도9에서 참조되는 바와 같이, 지지 프레임(131)의 안착홈(131c-1 내지 131c-8)에 안착되어지기 때문에 수평 방향으로의 자유이동이 제한됨으로써 차후 새로운 캠 플레이트(132, 부호는 편의상 기존의 캠 플레이트와 동일하게 함)의 장착을 수월하게 한다. 도9에서와 같이 기존의 캠 플레이트(132)가 지지 프레임(131)으로부터 탈거된 상태에서, 도10에서 참조되는 바와 같이 새로이 교체될 캠 플레이트(132)의 일 측에 있는 결합돌기(132i)를 지지 프레임(131)의 결합홈(131b)에 끼운다. 이어서 새로운 캠 플레이트(132)의 타 측을 지지 프레임(131) 측으로 밀어 준다. 이 때, 캠 플레이트(132)의 타단이 유지기(133)의 걸림단(133a)에 있는 경사부분(S)에 닿으면서 관리자가 캠 플레이트(132)를 지지 프레임(131) 측 방향으로 미는 힘에 의해 유지기(133)가 캠 플레이트(132)의 반대 측으로 일시 후퇴하게 되고, 캠 플레이트(132)가 지지 프레임(131)에 결합되는 상태로 위치되면 유지기(133)가 스프링(134)의 탄성력에 의해 캠 플레이트(132) 측으로 이동하여 유지기(133)의 걸림단(133a)이 캠 플레이트(132)의 타단을 걸어 줌으로써 새로운 캠 플레이트(132)의 설치가 완료된다. 이 때, 스프링(134)은 유지기(133)를 통해 지속적으로 캠 플레이트(132) 탄성력을 가함으로써 캠 플레이트(132)가 지지 프레임(131)의 결함홈(131b) 측으로 정렬될 수 있도록 한다. 여기서 캠 플레이트(132)의 일 측이 지지 프레임(131)의 결합홈(131b)에 먼저 끼워진 후 타 측을 지지 프레임(131) 측으로 밀어 결합하는 방식을 취하더라도, 캠 플레이트(132)의 캠홈 (132a 내지 132h)하단 부위가 픽커모듈(111 내지 118)을 대향하는 면 측으로 확장되어져 있기 때문에 픽커모듈(111 내지 118)의 삽입부분(111a 내지 118a)이 캠홈(132a 내지 132h)에 삽입되는 것이 적절히 안내될 수 있게 된다.

본 발명에서는 캠부재(130)의 승강에 필요한 구동원으로 실린더(151,152)를 이용하였으나, 경우에 따라서는 모터를 이용할 수도 있다.

또한, 본 발명에서는 캠 플레이트(132)를 지지 프레임(131)에 결합된 상태를 유지시키기 위하여 결합홈(131b)과 유지기(133)를 이용하였으나, 캠 플레이트의 결합방법에 따라 유지기만을 이용할 수도 있으며, 캠 플레이트에 설치한 결합돌기(132i)와 안내부분(G)도 필요에 따라 선택적으로 구현할 수 도 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

100 : 픽앤플레이스장치
111 내지 118 : 픽커모듈
P : 픽커
111a 내지 118a : 삽입부분
120 : 제1 안내부재
130 : 캠부재
131 : 지지 프레임
131b : 결합홈
131c-1 내지 131c-8 : 안착홈
132 : 캠 플레이트
132a 내지 132h : 캠홈
132i : 결합돌기
G : 안내부분
133 : 유지기
134 : 스프링
141, 142 : 제2 안내부재
151, 152 : 실린더

Claims

수평 이동이 가능하고, 각각 적어도 하나 이상의 픽커를 구비한 다수의 픽커모듈; - 상기한 픽커는 반도체소자를 파지하기 위해 마련됨 -
상기 다수의 픽커모듈의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재;
승강 가능하고, 승강에 의해 상기 다수의 픽커모듈들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하는 다수의 캠홈이 상기 다수의 픽커모듈들 각각에 대응되게 형성되어 있는 캠부재;
상기 캠부재의 승강을 안내하기 위한 제2 안내부재; 및
상기 캠부재의 승강에 필요한 구동력을 제공하는 구동원; 을 포함하고,
상기 캠부재는,
상기 제2 안내부재에 승강 가능하게 결합되는 지지 프레임; 및
상기 지지 프레임에 탈착 가능하게 결합되며, 상기한 다수의 캠홈이 형성되는 있는 캠 플레이트; 를 포함하고,
상기 다수의 픽커모듈 각각에는 상기한 다수의 캠홈에 각각 삽입됨으로써 상기 캠부재의 승강에 연동하여 상기 다수의 픽커모듈 각각에 수평방향으로의 이동력을 발생시키는 삽입부분이 구비되어 있고,
상기 캠부재의 승강 상태에 따라 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조절될 수 있도록, 상기한 다수의 캠홈 상호 간의 간격은 상기 캠부재의 승강에 따라 상기 다수의 픽커모듈의 삽입부분들을 지나는 수평선상에서 좁아지거나 넓어지도록 되어 있으며,
상기 구동원에 의해 상기 지지 프레임과 상기 지지 프레임에 탈착 가능하게 결합된 상기 캠플레이트가 함께 승강하는 구조를 가지는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
제1항에 있어서,
상기한 다수의 캠홈 각각은 상단과 하단이 폐쇄되어 있는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
제1항에 있어서,
상기 지지 프레임에는 상기한 다수의 캠홈 하단에 대응되는 지점에 상기 다수의 픽커모듈의 삽입부분들이 각각 안착될 수 있는 다수의 안착홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
제1항에 있어서,
상기 캠 플레이트의 다수의 캠홈 각각의 하단에는 상기 삽입부분의 삽입을 안내하기 위한 안내부분을 가지는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
제4항에 있어서,
상기 안내부분은 상기한 캠홈의 하단 부위가 상기 다수의 픽커모듈을 대향하는 면 측으로 확장되어짐으로써 형성되는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
제1항에 있어서,
상기 지지 프레임의 일 측에는 돌기홈이 형성되어 있고,
상기 캠 플레이트에는 상기한 돌기홈에 대응되는 위치에 상기한 돌기홈에 끼워지는 결합돌기가 형성되어 있으며,
상기 캠부재는 상기한 돌기홈에 상기한 결합돌기가 끼워진 상태에서 상기 캠 플레이트가 상기 지지 프레임에 결합된 상태로 유지되도록 하는 유지기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
제6항에 있어서,
상기 캠부재는 상기 유지기가 상기 지지 프레임에 결합된 상기 캠플레이트를 일 측 방향으로 가압할 수 있도록 상기 유지기를 탄성 지지하는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
제1항에 있어서,
상기 캠부재는 상기 지지 프레임에 결합된 상기 캠 플레이트를 일 측 방향으로 가압할 수 있도록 마련되는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.