KR20120138602A - 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 픽앤플레이스장치에 구성되는 다수의 픽커모듈들 간의 간격을 조정하기 위한 캠판의 간격 조정 범위를 제한할 수 있는 제한부재를 더 구성시킴으로써 손쉽게 픽커모듈들 간의 간격 조정의 범위를 가변시킬 수 있도록 하는 기술이 개시된다.

Description

테스트핸들러용 픽앤플레이스장치{PICK AND PLACE APPARATUS FOR TEST HANDLER}
본 발명은 테스트핸들러에서 반도체소자를 파지한 후 요구되는 위치로 이동시키는 픽앤플레이스장치에 관한 것이다.
테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 고객트레이(CUSTOMER TRAY)로부터 테스트트레이(TEST TRAY)로 로딩(LOADING)한 후, 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터(TESTER)에 의해 테스트(TEST)될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 다시 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩(UNLOADING)하는 기기로서 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.
테스트핸들러에는 위에서 언급한 고객트레이나 테스트트레이뿐만 아니라, 로딩부에 구성되는 얼라이너(ALIGNER)나 여분의 반도체소자들을 보관 적재하는 버퍼(BUFFER), 본 출원인의 선(先)출원된 기술(특허출원 10-2006-0007763호, 발명의 명칭 : 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 로딩방법)에서 소개된 바 있는 기동형로딩테이블, 언로딩부에 구성되는 소팅테이블(SORTING TABLE) 등과 같이 반도체소자를 적재 또는 정렬시키기 위한 다수의 적재요소나 정렬요소가 구비된다.
본 발명은 상기와 같이 서로 다른 요소들(고객트레이, 테스트트레이, 얼라이너, 버퍼, 기동형로딩테이블, 소팅테이블) 중 어느 두개의 요소들 사이에서 반도체소자들을 이송하기 위해, 일 측의 요소로부터 반도체소자를 파지한 후 타 측의 요소로 반도체소자를 이동시키는 픽앤플레이스장치(PICK AND PLACE APPARATUS)에 관한 것이다. 대개의 경우, 픽앤플레이스장치가 로딩부에 구성된 경우에는 로더 또는 로딩 핸드라고 칭하기도 하며, 언로딩부에 구성된 경우에는 언로더 또는 언로딩 핸드라고 칭하기도 한다.
지금까지 개시된 픽앤플레이스장치는, 반도체소자들을 파지하기 위해 2 X 4, 1 X 8, 2 X 8 또는 4 X 8 행렬(行列) 형태로 배열된 8개, 16개 또는 32개의 픽커(PICKER)들을 구비하고 있다. 여기서 픽앤플레이스장치에 픽커들을 복수행으로 구비시키는 이유는 1회에 이송할 수 있는 반도체소자의 개수를 늘려 로딩 또는 언로딩에 걸리는 시간을 단축하기 위함인데, 대개의 경우 1회 이동 처리 용량과 픽커들의 경량 및 소형화를 감안하여 2 X 8 행렬의 구성을 주로 채용하고 있다. 그리고 이러한 경우 2개의 픽커가 한 조를 이루어 하나의 픽커모듈을 구성한다(4 X 8 행렬 형태의 경우에는 4개의 픽커가 한 조를 이루어 하나의 픽커모듈을 구성함).
일반적으로 고객트레이는 반도체소자들의 보관을 위한 적재가 목적이기 때문에 가급적 많은 반도체소자들을 파지할 수 있도록 하기 위해 파지된 반도체소자들 간의 간격이 최소가 되도록 구비되며, 테스트레이는 적재된 반도체소자들이 테스트에 필요한 간격을 확보할 수 있도록 고객트레이에서보다 반도체소자들 간의 간격이 넓혀진 간격을 가지도록 구비된다. 즉, 고객트레이에서의 반도체소자들 간의 간격보다 테스트트레이에서의 반도체소자들 간의 간격이 더 넓게 되어 있다. 따라서 반도체소자들을 고객트레이로부터 테스트트레이로 로딩하거나, 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩할 경우에는 반도체소자들 간의 간격을 조정할 필요성이 있는 것이다. 더 나아가 고객트레이나 테스트트레이뿐만 아니라, 얼라이너나 버퍼, 기동형로딩테이블, 소팅테이블 등과 같은 다수의 적재요소들 간에 반도체소자의 이동이 있을 경우, 요구에 따라 반도체소자들 간의 간격 조정이 이루어질 필요성이 있다.
그러한 반도체소자의 간격조정은 픽앤플레이스장치에 의해 이루어진다. 즉, 픽앤플레이스장치에 의해 일 측 적재요소에서 반도체소자들을 파지한 후, 반도체소자들 간의 간격을 요구되는 간격으로 조정한 다음 타 측 적재요소로 반도체소자를 이동시켜 적재시키도록 구현하고 있는 것이다.
따라서 픽앤프레이스장치에는 픽커모듈들 간의 간격을 조정하기 위한 간격조정장치가 구성되어 있다.
픽앤플레이스장치에서 반도체소자들 간의 간격을 조정하는 방식은 캠방식(대한민국 공개특허 10-1999-0038981호 참조, 배경기술1)과 링크방식(대한민국 등록특허 10-0648919호 참조)이 있으며, 본 발명은 캠방식과 관계한다.
그런데, 배경기술1에 의하면 픽커모듈 간의 간격 조정이 최소와 최대의 2단계로만 이루어지기 때문에 테스트하는 반도체소자의 크기가 변경되면 간격 조정에 필요한 캠부재를 바뀐 반도체소자에 맞는 것으로 교체해 주어야만 하는 번거로움이 있다. 이러한 점을 해결하기 위해 대한민국 공개특허 10-2006-0062796호(발명의 명칭 : 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 반송장치)에서와 같은 기술(배경기술2)이 제안되었다.
배경기술2는 서보모터를 사용하여 간격조정용 캠홈이 경사지게 형성된 캠판을 임의의 위치로 이동시킬 수 있도록 하여 픽커모듈들 간의 간격을 임의로 조정할 수 있게 하고 있다. 즉, 배경기술2는 테스트될 반도체소자의 크기가 변경된 경우에 서보모터의 제어신호를 가변시킴으로써 반도체소자들 간의 간격(픽커모듈들 간의 간격)을 가변시킬 수 있도록 한 것이다.
그러나 배경기술2에 따르는 경우에도 다음과 같은 문제점이 수반된다.
첫째, 서보모터가 고가여서 장비의 생산단가를 상승시킨다(대개 하나의 테스트핸들러에 적어도 2개 이상의 픽앤플레이스장치가 구성됨).
둘째, 현장의 작업자가 서보모터의 제어값을 변경하는 것에 능숙하지 않거나 실수하는 경우 원하는 간격 조정이 이루어지지 않게 된다.
셋째, 무거운 서보모터(부수적인 풀리 등이 포함됨)의 구성으로 인하여 픽앤플레이스장치의 관성 증가에 따른 이동 제어가 곤란하다.
본 발명은 상기한 배경기술2가 가지는 문제점들을 개선하기 위하여 동력원으로 종래와 같이 실린더와 같은 저가의 구동원을 그대로 사용하면서도 픽커모듈들 간의 간격을 임의의 값으로 손쉽게 조정하는 것이 가능한 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치는, 수평 이동이 가능하고, 각각 적어도 하나 이상의 픽커를 구비한 다수의 픽커모듈; - 상기한 픽커는 반도체소자를 파지하기 위해 마련됨 - 상기 다수의 픽커모듈의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재; 승강 가능하고, 승강에 의해 상기 다수의 픽커모듈들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하는 다수의 캠홈이 상기 다수의 픽커모듈들 각각에 대응되게 형성되어 있는 캠판; 상기 캠판의 승강을 안내하기 위한 제2 안내부재; 상기 캠판의 승강에 필요한 구동력을 제공하는 구동원; 및 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격 조정의 범위를 제한하기 위한 제한부재; 를 포함하며, 상기 다수의 픽커모듈 각각에는 상기 다수의 캠홈에 각각 삽입됨으로써 상기 캠판의 승강에 연동하여 상기 다수의 픽커모듈 각각에 수평방향으로의 이동력을 발생시키는 삽입부분이 구비되어 있고, 상기 다수의 픽커모듈들의 삽입부분들을 지나는 수평선상에서 상기 캠판의 승강된 위치에 따라 상기 다수의 캠홈들 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 되어 있다.
상기 제한부재는 상기 다수의 캠홈들의 일 측 끝단부분을 폐쇄시키도록 상기 캠판에 탈착 가능하게 마련된다.
상기 제한부재에는 상기 다수의 캠홈과 대응되는 위치에 상기 다수의 픽커모듈들에 각각 구비된 삽입부분들이 각각 삽입될 수 있는 다수의 삽입홈이 형성되어 있다.
상기 동력원은 실린더인 것이 바람직하다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 형태에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치는, 수평 이동이 가능하고, 각각 적어도 하나 이상의 픽커를 구비한 다수의 픽커모듈; - 상기한 픽커는 반도체소자를 파지하기 위해 마련됨 - 상기 다수의 픽커모듈의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재; 승강 가능하고, 승강에 의해 상기 다수의 픽커모듈들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하는 다수의 캠홈이 상기 다수의 픽커모듈들 각각에 대응되게 형성되어 있는 캠판; 상기 캠판의 승강을 안내하기 위한 제2 안내부재; 상기 다수의 픽커모듈 중 적어도 하나의 픽커모듈에 수평방향으로의 이동력을 제공하는 실린더; 를 포함하며, 상기 다수의 픽커모듈 각각에는 상기 다수의 캠홈에 각각 삽입됨으로써 상기 캠판의 승강에 연동하여 상기 다수의 픽커모듈 각각에 수평방향으로의 이동력을 발생시키는 삽입부분이 구비되어 있고, 상기 다수의 픽커모듈들의 삽입부분들을 지나는 수평선상에서 상기 캠판의 승강된 위치에 따라 상기 다수의 캠홈들 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 되어 있으며, 상기 다수의 캠홈들 중 적어도 상기 실린더에 의해 수평방향으로의 이동력을 받는 상기 적어도 하나의 픽커모듈의 삽입부분이 삽입되는 캠홈은 경사지게 형성됨으로써 상기 실린더로부터 상기 적어도 하나의 픽커모듈에 제공되는 수평 방향으로의 이동력이 상기 캠판의 승강력으로 전환될 수 있도록 되어 있다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 형태에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치는, 수평 이동이 가능하고, 각각 적어도 하나 이상의 픽커를 구비한 다수의 픽커모듈; - 상기한 픽커는 반도체소자를 파지하기 위해 마련됨 - 상기 다수의 픽커모듈의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재; 승강 가능하고, 승강에 의해 상기 다수의 픽커모듈들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하는 다수의 제1 개방 캠홈이 상기 다수의 픽커모듈들 각각에 대응되게 형성되어 있는 캠판; 상기 캠판의 승강을 안내하기 위한 제2 안내부재; 상기 캠판의 승강에 필요한 구동력을 제공하는 구동원; 및 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격 조정의 범위를 제한하기 위해 다수의 제2 개방 캠홈이 형성되어 있는 제한부재; 를 포함하며, 상기한 제1 개방 캠홈과 제2 개방 캠홈은 각각 서로 마주보는 측으로 개방되어 있어서, 상기 제한부재가 설치되었을 시에 상기 제1 개방 캠홈과 제2 개방 캠홈이 연결되어 픽커모듈을 안내하기 위한 하나의 캠홈을 형성하고, 상기 다수의 픽커모듈 각각에는 상기 제한부재가 설치됨으로써 형성되는 다수의 캠홈에 각각 삽입됨으로써 상기 캠판의 승강에 연동하여 상기 다수의 픽커모듈 각각에 수평방향으로의 이동력을 발생시키는 삽입부분이 구비되어 있고, 상기 다수의 픽커모듈들의 삽입부분들을 지나는 수평선상에서 상기 캠판의 승강된 위치에 따라 상기 다수의 캠홈들 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 되어 있다.
상기 캠판은 상기 제한부재를 보강하기 위한 적어도 하나의 보강살을 가지는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 테스트될 반도체소자가 바뀜에 따라서, 제한부재만을 요구되는 것으로 간단하게 교체함으로써 누구나 손쉽게 픽커모듈들 간의 간격을 필요한 임의의 간격으로 조정할 수 있게 한다.
둘째, 저가의 실린더를 통해 구현이 되기 때문에 생산단가를 절감할 수 있다.
셋째, 동력원으로서 모터보다 가벼운 실린더를 구성시키기 때문에 전체적으로 픽앤플레이스장치의 무게를 감소시켜 그 제어가 용이하다.
그리고 더 나아가 실린더와 같은 동력원에 의해 제공되는 구동력이 픽커모듈을 통해 캠부재로 전달되기 때문에 픽앤플레이스장치에 대한 설계의 자유도를 더 확보할 수 있다.
도1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 정면도이다.
도2는 도1의 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 대한 배면도이다.
도3 내지 도5는 픽앤플레이스장치에 제한부재가 적용되는 다양한 예를 도시하고 있다.
도6a 및 도6b는 픽커모듈의 이동구조를 설명하기 위한 참조도이다.
도7a 내지 도7d는 픽앤플레이스장치의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도8a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 적용되는 캠판에 대한 정면도이다.
도8b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치에 적용되는 제한부재에 대한 정면도이다.
도9는 도8a의 캠판과 도8b의 제한부재가 결합된 예를 도시하고 있다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
<제1 실시예>
도1 및 도2는 각각 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치(100, 이하 '픽앤플레이스장치'라 약칭 함)에 대한 정면도와 배면도이다.
도1 및 2에서 참조되는 바와 같이, 8개의 픽커모듈(111 내지 118), 한 쌍의 제1 안내레일(121, 122), 캠판(130), 한 쌍의 제2 안내레일(141, 142), 실린더(150), 제한부재(160) 등을 포함하여 구성된다.
8개의 픽커모듈(111 내지 118)은, 각각 수평이동이 가능하면서, 각각 반도체소자를 파지하기 위한 적어도 하나의 픽커(P)를 구비한다. 참고로 도1 및 도2는 정면도와 배면도의 한계로 인하여 하나의 픽커모듈(111 / 112 ... / 118)에 하나의 픽커(P)만이 구비되는 것으로 표현되어 있으나, 실시하기에 따라서 하나의 픽커모듈(111 / 112 ... / 118)에 복수개의 픽커(P)를 구비시킬 수 있음은 당연하고, 실질적으로 본 실시예에서도 하나의 픽커모듈(111 / 112 ... / 118)에 2개의 픽커(P)가 구성되는 구조를 예정하고 있다).
그리고 8개의 픽커모듈(111 내지 118) 중 4개의 픽커모듈(111, 113, 116, 118)은 부호 121의 제1 안내레일에 수평 이동이 가능하게 결합되어 있고 나머지 4개의 픽커모듈(112, 114, 115, 117)은 부호 122의 제1 안내레일에 수평 이동이 가능하게 결합되어 있다.
또한, 8개의 픽커모듈(111 내지 118) 각각에는 전방으로 돌출된 삽입부분(111a 내지 118a)이 구비되어 있으며, 삽입부분(111a 내지 118a)들 각각은 베어링(B)을 가지고 있다.
한 쌍의 제1 안내레일(121, 122)은 상기한 8개의 픽커모듈(111 내지 118)들의 수평 이동을 안내하기 위한 안내부재로서 구비된다.
캠판(130)은, 승강 가능하며, 승강에 의해 8개의 픽커모듈(111 내지 118)들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 8개의 픽커모듈(111 내지 118)들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하기 위해 마련된다. 이를 위해 캠판(130)에는 8개의 픽커모듈(111 내지 118)들 각각에 대응되게 8개의 캠홈(131 내지 138)이 상하 방향으로 길쭉하면서도 8개의 캠홈(131 내지 138)들 간의 간격이 상측 부분에서 하측 부분으로 갈수록 넓어지도록 경사지게 형성되어 있다. 따라서 픽커모듈(111 내지 118)들의 삽입부분(111a 내지 118a)들을 지나는 수평선(H)상에서 캠판(130)의 승강된 위치에 따라 캠홈(131 내지 138)들 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 되어 있다.
한편, 상기한 8개의 픽커모듈(111 내지 118)들의 삽입부분(111a 내지 118a)들은 캠판(130)의 8개의 캠홈(131 내지 138)에 각각 삽입되어진다. 따라서 캠판(130)의 승강에 연동하여 경사진 캠홈(131 내지 138)들에 의해 삽입부분(111a 내지 118a)들에 수평 방향으로의 이동력이 발생되게 됨으로써 픽커모듈(111 내지 118)들이 수평 방향으로 이동될 수 있게 되는 것이다. 여기서 삽입부분(111a 내지 118)들이 가지는 베어링(B)은 픽커모듈(111 내지 118)들이 각각 경사진 캠홈(131 내지 138)들을 따라 부드럽게 이동될 수 있게 한다.
한 쌍의 제2 안내레일(141, 142)은 상기한 캠판(130)의 승강 이동을 안내하기 위한 안내부재로서 구비된다.
실린더(150)는, 캠판(130)의 승강에 필요한 구동력을 제공하기 위한 구동원으로서 마련되는 것으로, 그 로드(151)의 끝단 부분이 부호 118의 픽커모듈의 배면에 결합되어 있어서 해당 픽커모듈(118)에 수평 방향으로의 이동력을 가한다. 이렇게 해당 픽커모듈(118)이 실린더(150)로부터 수평 방향으로 이동력을 받아 이동하게 되면, 해당 픽커모듈(118)의 삽입부분(118a)이 삽입되어 있는 캠홈(138)이 경사지게 형성되어 있기 때문에 궁극적으로 캠판(130)에 승강력이 발생하게 된다(이와 같은 픽커모듈의 이동구조에 대해서는 차후에 하나의 예를 들어 더 구체적으로 후술한다). 즉, 본 발명에 따른 픽앤플레이스장치(100)에서는 실린더(150)가 특정 픽커모듈(118)에 수평 방향으로의 이동력을 제공하게 되고, 특정 픽커모듈(118)에 제공된 수평 방향으로의 이동력은 경사진 캠홈(138)을 매개로 하여 승강력으로 전환되어지는 것이다. 이러한 구성은 실린더의 구동력을 캠판에 직접 가하여 캠판을 승강시키는 구조가 다른 구조와의 간섭 등에 의해 설계하기가 어려울 경우에도 실린더(150)에 의해 캠판(130)을 승강시키는 것이 가능할 수 있도록 한다.
참고로 본 실시예에서는 실린더(150)가 하나만 구비되고 있으나, 실시하기에 따라서는 복수개의 픽커모듈에 각각 수평 방향으로의 이동력을 가하기 위해 실린더가 복수개로 구비되는 것도 바람직하게 고려될 수 있다. 또한, 실린더의 로드에 결합되는 픽커모듈은 가장 외측에 위치하는 것이 바람직한데, 이러한 이유는 해당 픽커모듈의 삽입부분이 삽입되는 캠판의 캠홈이 다른 캠홈들에 비하여 경사진 정도가 가장 크기 때문에 수평 이동력을 수직 상승력으로 부드럽게 전환할 수 있기 때문이다.
제한부재(160)는, 픽커모듈(111 내지 118)들 간의 간격 조정의 범위를 제한하기 위해 마련되는 것으로서, 캠홈(131 내지 138)들의 상측 끝단부분을 폐쇄시킴으로써 캠판(130)의 승강 범위를 조정하여 궁극적으로 픽커모듈(111 내지 118)들 간의 간격 조정의 범위가 제한될 수 있도록 한다. 이러한 제한부재(160)는 캠판(130)의 상측 부분에 탈착 가능하게 결합되어 캠홈(131 내지 138)들의 상측 끝단부분을 폐쇄시키는 긴 바(bar)형태로 구비되어 있다. 물론, 본 실시예에서는 픽커모듈(111 내지 118)들의 최소 간격의 범위를 제한하기 위해 제한부재(160)를 캠판(130)의 상측 부분에 탈착 가능하게 구비시키고 있으나, 실시하기에 따라서는 픽커모듈들의 최대 간격을 제한하기 위해 도3에서 참조되는 바와 같이 제한부재(160A)를 캠판(130A)의 하측 부분에 탈착 가능하게 구비시킬 수도 있고, 픽커모듈들의 최소 간격과 최대 간격을 모두 제한하기 위해 도4에서 참조되는 바와 같이 두 개의 제한부재(160B, 160C)를 각각 캠판(130B)의 상측 부분과 하측 부분에 구비시킬 수도 있다.
또한, 삽입부분(111a 내지 118a)들의 베어링(B)이 요구되는 위치에서 요동 없이 적절히 삽입 고정될 수 있도록 하기 위해 도5에서 참조되는 바와 같이 캠홈(131 내지 138)들과 대응되는 위치에 베어링(B)이 삽입될 수 있는 삽입홈(561 내지 568)들이 형성된 제한부재(560)도 바람직하게 고려될 수 있다.
참고로 제한부재(160)가 캠판(130)에 결합되는 방식은 스프링을 이용한 탄성압착결합방식이나 볼트에 의한 볼트결합방식 등이 교체성이나 생산단가를 고려하여 선택될 수 있다.
한편, 도6a 및 도6b를 참조하여 픽커모듈의 이동구조에 대하여 하나의 예를 들어 설명한다.
도2에서 참조되는 바와 같이, 픽앤플레이스장치(100)의 프레임에는 한 쌍의 풀리(171, 172)가 구비되며, 회전벨트(180)가 한 쌍의 풀리(171, 172)를 각각 회전 반환점으로 하여 회전한다. 그리고 도6a 및 도6b의 개념도에서 참조되는 바와 같이, 부호 118의 픽커모듈은 회전벨트(180)의 상측 부분에 결합되어 있고, 부호 111의 픽커모듈은 회전벨트(180)의 하측 부분에 결합되어 있다. 이러한 구조로 인하여 실린더(150)의 로드(151)가 진퇴함에 따라 부호 118의 픽커모듈과 부호 111의 픽커모듈은 서로 연동하여 상호 반대방향으로 이동하게 되는 것이다.
즉, 실린더(150)의 구동력은 부호 118의 픽커모듈로 가해지지만, 부호 118의 픽커모듈과 부호 111의 픽커모듈이 설명된 바와 같이 회전벨트(180)에 의해 서로 연동하여 반대 방향으로 이동하는 구조로 되어 있기 때문에 궁극적으로 실린더(150)의 구동력은 부호 118의 픽커모듈과 부호 111의 픽커모듈 모두에 미치게 되는 것이다. 그리고 나머지 픽커모듈(112 내지 117)의 경우에는 부호 118의 픽커모듈과 부호 111의 픽커모듈이 이동함에 따른 캠판(130)의 승강에 의해 캠홈(132 내지 137)의 경사진 형상이 가지는 수평방향으로의 성분에 의해 수평 방향으로 이동하게 된다.
계속하여 상기한 바와 같은 픽앤플레이스장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
도7a와 같이 픽커모듈(111 내지 118)들이 최소 간격(t)을 유지하고 있는 상태에서 픽커모듈(111 내지 118)들이 최대 간격으로 넓어지도록 하기 위해서 공기압이 가해지면서 실린더(150)의 로드(151)가 전진하여 부호 118의 픽커모듈에 수평한 외측 방향으로 이동력(MF)을 가하게 되면, 앞서 설명한 바와 같이, 회전벨트(180)에 결합된 해당 픽커모듈(118, 111)이 수평한 외측 방향으로 이동하게 되면서 이에 연동하는 상승력(RF)을 받은 캠판(130)이 도7b 및 도7c에서 참조되는 바와 같이 점차적으로 상승하게 되고, 이에 따라 나머지 픽커모듈(112 내지 117)들도 캠판(130)의 작용에 의해 각각 수평 방향으로 이동하게 되면서 궁극적으로 픽커모듈(111 내지 118)들이 최대 간격으로 넓어지게 된다(물론, 최대 간격에서 최소 간격으로 좁아지도록 작동하는 경우에는 역순이 된다).
한편, 도7c와 같은 상태에서 테스트될 반도체소자들이 바뀌게 되어 픽커모듈(111 내지 118)들의 최소 간격이 약간 넓어져야 할 필요성이 있는 경우, 해당 테스트될 반도체소자들의 안착 간격으로 규격화된 제한부재(160)를 캠판(130)에 결합시켜 캠홈(131 내지 138)들의 상측 부분들을 폐쇄시키게 되면, 도7d에서 참조되는 바와 같이 실린더(150)의 로드(151)가 최대한 후퇴하더라도 제한부재(160)의 작용에 의해 캠판(130)의 하강이 제한됨으로써 궁극적으로 픽커모듈(111 내지 118)들 간의 최소 간격이 테스트될 반도체소자들의 간격에 맞도록 넓어지게 된다. 이때, 실린더(150)는 탄성 압축과 팽창이 가능한 공기로 구동되는 것이기 때문에, 실린더(150) 내부 공기의 압축과 팽창으로 제한부재(160)에 의한 강제적인 로드(151)의 진퇴 제한이 보상될 수 있다.
마찬가지로 테스트될 반도체소자들이 바뀌어 픽커모듈(111 내지 118)들의 최소 간격이 좁아져야 할 경우에는 장착된 제한부재(160)를 탈거시키거나 또는 테스트될 반도체소자의 안착 간격으로 규격화된 제한부재(160)로 교체함으로써 손쉽게 픽커모듈(111 내지 118)들간 최소 간격의 범위를 조정할 수 있게 된다.
한편, 픽커모듈들의 최대 간격의 범위를 조정하거나 최대 간격과 최소 간격의 범위를 함께 조정할 필요성이 있는 경우에도 전술한 설명과 동일한 원리로서 설명되므로, 픽커모듈들의 최대 간격의 범위를 조정하거나 최대 간격과 최소 간격의 범위를 함께 조정하는 부분에 대한 설명은 전술한 설명으로 갈음한다.
<제2 실시예>
도8a 및 도8b 각각은 본 발명의 제2 실시예에 따른 픽앤플레이스장치에 적용되는 캠판(830)과 제한부재(860)를 도시하고 있다.
도8a에서 참조되는 바와 같이, 본 실시예에서의 캠판(830)은 상측이 개방되어 있는 불완전한 제1 개방 캠홈(831a 내지 838a)들을 가지고 있으며, 도8b의 제한부재(860)를 보강하기 위한 보강살(R)을 가진다. 또한, 캠판(830)에는 제한부재(860)가 적절히 안착될 수 있도록 제한부재(860)가 안착되는 면이 단차지게 형성되어 있다.
그리고 도8b에서 참조되는 바와 같이, 본 실시예에서의 제한부재(860)는 하측이 개방되어 있는 제2 개방 캠홈(861a 내지 868a)들을 가지고 있다.
즉, 제1 개방 캠홈(831a/.../838a)과 제2 개방 캠홈(861a/.../868a)은 각각 서로 마주보는 측으로 개방되어 있어서, 도9에서 참조되는 바와 같이, 제한부재(860)가 설치되었을 시에 제1 개방 캠홈(831a/.../838a)과 제2 개방 캠홈(861a/.../868a)이 연결되어 픽커모듈을 안내하기 위한 하나의 캠홈(831/.../838)을 형성하게 된다.
따라서 도8a의 캠판(830)과 도8b의 제한부재(860)가 적용되는 픽앤플레이스장치는 서로 다른 간격 조정의 범위를 가지는 제한부재(860)를 임의로 탈착함으로써 손쉽게 픽커모듈들 간의 간격 조정을 이룰 수 있게 된다.
물론, 본 실시예에서는 픽커모듈들의 최소 간격을 조정하는 것으로 되어 있지만, 실시하기에 따라서는 픽커모듈들의 최대 간격을 조정하는 예도 얼마든지 구현 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
100 : 픽앤플레이스장치
111 내지 118 : 픽커모듈
111a 내지 118a : 삽입부분
P : 픽커
121, 122 : 제1 안내레일
130, 130A, 130B, 830 : 캠판
131 내지 138, 831 내지 838 : 캠홈
831a 내지 838a : 제1 개방 캠홈
861a 내지 868a : 제2 개방 캠홈
R : 보강살
141, 142 : 제2 안내레일
150 : 실린더
160, 160A, 160B, 160C, 560 : 제한부재
561 내지 568 : 삽입홈

Claims (7)

  1. 수평 이동이 가능하고, 각각 적어도 하나 이상의 픽커를 구비한 다수의 픽커모듈; - 상기한 픽커는 반도체소자를 파지하기 위해 마련됨 -
    상기 다수의 픽커모듈의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재;
    승강 가능하고, 승강에 의해 상기 다수의 픽커모듈들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하는 다수의 캠홈이 상기 다수의 픽커모듈들 각각에 대응되게 형성되어 있는 캠판;
    상기 캠판의 승강을 안내하기 위한 제2 안내부재;
    상기 캠판의 승강에 필요한 구동력을 제공하는 구동원; 및
    상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격 조정의 범위를 제한하기 위한 제한부재; 를 포함하며,
    상기 다수의 픽커모듈 각각에는 상기 다수의 캠홈에 각각 삽입됨으로써 상기 캠판의 승강에 연동하여 상기 다수의 픽커모듈 각각에 수평방향으로의 이동력을 발생시키는 삽입부분이 구비되어 있고,
    상기 다수의 픽커모듈들의 삽입부분들을 지나는 수평선상에서 상기 캠판의 승강된 위치에 따라 상기 다수의 캠홈들 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 되어 있는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제한부재는 상기 다수의 캠홈들의 일 측 끝단부분을 폐쇄시키도록 상기 캠판에 탈착 가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제한부재에는 상기 다수의 캠홈과 대응되는 위치에 상기 다수의 픽커모듈들에 각각 구비된 삽입부분들이 각각 삽입될 수 있는 다수의 삽입홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 동력원은 실린더인 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
  5. 수평 이동이 가능하고, 각각 적어도 하나 이상의 픽커를 구비한 다수의 픽커모듈; - 상기한 픽커는 반도체소자를 파지하기 위해 마련됨 -
    상기 다수의 픽커모듈의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재;
    승강 가능하고, 승강에 의해 상기 다수의 픽커모듈들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하는 다수의 캠홈이 상기 다수의 픽커모듈들 각각에 대응되게 형성되어 있는 캠판;
    상기 캠판의 승강을 안내하기 위한 제2 안내부재;
    상기 다수의 픽커모듈 중 적어도 하나의 픽커모듈에 수평방향으로의 이동력을 제공하는 실린더; 를 포함하며,
    상기 다수의 픽커모듈 각각에는 상기 다수의 캠홈에 각각 삽입됨으로써 상기 캠판의 승강에 연동하여 상기 다수의 픽커모듈 각각에 수평방향으로의 이동력을 발생시키는 삽입부분이 구비되어 있고,
    상기 다수의 픽커모듈들의 삽입부분들을 지나는 수평선상에서 상기 캠판의 승강된 위치에 따라 상기 다수의 캠홈들 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 되어 있으며,
    상기 다수의 캠홈들 중 적어도 상기 실린더에 의해 수평방향으로의 이동력을 받는 상기 적어도 하나의 픽커모듈의 삽입부분이 삽입되는 캠홈은 경사지게 형성됨으로써 상기 실린더로부터 상기 적어도 하나의 픽커모듈에 제공되는 수평 방향으로의 이동력이 상기 캠판의 승강력으로 전환될 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
  6. 수평 이동이 가능하고, 각각 적어도 하나 이상의 픽커를 구비한 다수의 픽커모듈; - 상기한 픽커는 반도체소자를 파지하기 위해 마련됨 -
    상기 다수의 픽커모듈의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재;
    승강 가능하고, 승강에 의해 상기 다수의 픽커모듈들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하는 다수의 제1 개방 캠홈이 상기 다수의 픽커모듈들 각각에 대응되게 형성되어 있는 캠판;
    상기 캠판의 승강을 안내하기 위한 제2 안내부재;
    상기 캠판의 승강에 필요한 구동력을 제공하는 구동원; 및
    상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격 조정의 범위를 제한하기 위해 다수의 제2 개방 캠홈이 형성되어 있는 제한부재; 를 포함하며,
    상기한 제1 개방 캠홈과 제2 개방 캠홈은 각각 서로 마주보는 측으로 개방되어 있어서, 상기 제한부재가 설치되었을 시에 상기 제1 개방 캠홈과 제2 개방 캠홈이 연결되어 픽커모듈을 안내하기 위한 하나의 캠홈을 형성하고,
    상기 다수의 픽커모듈 각각에는 상기 제한부재가 설치됨으로써 형성되는 다수의 캠홈에 각각 삽입됨으로써 상기 캠판의 승강에 연동하여 상기 다수의 픽커모듈 각각에 수평방향으로의 이동력을 발생시키는 삽입부분이 구비되어 있고,
    상기 다수의 픽커모듈들의 삽입부분들을 지나는 수평선상에서 상기 캠판의 승강된 위치에 따라 상기 다수의 캠홈들 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 되어 있는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 캠판은 상기 제한부재를 보강하기 위한 적어도 하나의 보강살을 가지는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 픽앤플레이스장치.








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