KR100792485B1

KR100792485B1 - 픽앤플레이스 장치

Info

Publication number: KR100792485B1
Application number: KR1020060061716A
Authority: KR
Inventors: 심재균; 나윤성; 전인구; 여동현
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2006-07-01
Filing date: 2006-07-01
Publication date: 2008-01-10
Also published as: JP5324439B2; TWI413783B; WO2008004778A1; KR20080003145A; US8141922B2; TWI339269B; CN101484987B; JP2009542551A; TW201033628A; US20090297301A1; TW200809229A; CN101484987A

Abstract

본 발명은 반도체소자가 제1열간격(列間隔)으로 일정하게 적재되는 제1적재요소와, 반도체소자가 제2 및 제3열간격으로 교번하여 적재되는 제2적재요소의 사이에서 반도체 소자를 이송 적재하기 위한 픽앤플레이스 장치에 있어서, 각각 적어도 하나 이상의 픽킹 소자를 구비한 다수의 픽킹소자 모듈과, 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격을 제1 내지 제3모드로 조정하기 위한 간격조정장치를 포함하며, 상기 제1 내지 제3열간격은 각각 서로 다른 값을 가지고, 상기 제1모드의 경우에 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격은 모두 상기 제1열간격과 동일하게 조정되며, 상기 제2모드의 경우에 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격은 최초 열간격부터 상기 제2 및 제3열간격의 순서로 교번하여 조정되고, 상기 제3모드의 경우에 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격은 최초 열간격부터 상기 제3 및 제2 열간격의 순서로 교번하여 조정됨으로써, 반도체소자들을 적재하거나 정렬하는 요소들 중 적재 또는 정렬된 반도체소자 간의 간격들이 동일 또는 상이하도록 배치되는 요소로부터 적재 또는 정렬된 반도체소자 간의 간격들이 상이 또는 동일하도록 배치되는 요소 사이에서 반도체소자들을 안정적으로 이송하기 위한 기술이 개시된다.

테스트핸들러, 로더, 픽앤플레이스, 픽킹장치, 픽커, 테스트트레이, 고객트레이

Description

픽앤플레이스 장치{PICK-AND-PLACE APPARATUS}

도1은 종래의 픽앤플레이스 장치를 설명하기 위한 개략도이다.

도2는 본 출원인의 선행 출원 기술에 따른 테스트트레이에 구체적인 예에 대한 개략도이다.

도3은 일반적인 고객트레이에 대한 개략도이다.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 픽앤플레이스 장치에 대한 사시도이다.

도5 내지 도7은 도4의 픽앤플레이스 장치를 측면에서 바라본 작동상태도이다. 도8은 본 발명의 응용에 따른 픽앤플레이스 장치에 대한 사시도이다.

도9는 도8의 픽앤플레이스 장치에 적용된 캠통의 안내홈형태를 도시한 참조도이다.

도10은 본 발명의 또 다른 응용에 따른 픽앤플레이스 장치에 대한 사시도이다.

도11 내지 도13은 도4의 픽앤플레이스 장치를 설명하기 위해 참고하고자 하는 반도체소자를 적재 또는 정렬하는 요소에 대한 개략도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

450 : 픽앤플레이스 장치

41 : 픽킹소자 42 : 안내돌기

43 : 레일홈 50 : 간격조정장치

51 : 설치판 52a, 52b : 측판

53 : 실린더 54 : 캠판

55a, 55b : 안내레일 56a, 56b : 슬라이딩부재

57 : 가이드레일

본 발명은 테스트핸들러(TEST HANDLER) 등의 자동화 장비에 적용 가능한 픽앤플레이스 장치(PICK-AND-PLACE APPARATUS)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체소자들을 적재하거나 정렬하는 서로 다른 요소들 사이에서 반도체소자들을 이송할 때, 반도체소자들 간의 간격을 조절하기 위한 기술에 관한 것이다.

테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 고객트레이(CUSTOMER TRAY)로부터 테스트트레이(TEST TRAY)로 로딩(LOADING)한 후, 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터(TESTER)에 의해 테스트(TEST)될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 다시 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩(UNLOADING)하는 기기로서 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.

일반적으로 고객트레이는 반도체소자들의 보관을 위한 적재가 목적이기 때문 에 가급적 많은 반도체소자들을 파지할 수 있도록 하기 위해 파지된 반도체소자들 간의 횡(橫)열(列) 및 종(縱)열 간격이 최소가 되도록 구비되며, 테스트레이는 적재되는 반도체소자들 간에 테스트를 위해 필요한 횡렬 및 종렬 간격을 가지도록 구비된다. 즉, 고객트레이에서의 반도체소자들 간의 간격보다 테스트트레이에서의 반도체소자들 간의 간격이 더 넓게 되어 있다. 따라서 반도체소자들을 고객트레이로부터 테스트트레이로 로딩하거나, 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩할 경우에는 반도체소자들의 열 간격(間隔)을 조정(調整)할 필요성이 있는 것이다.

물론, 고객트레이 및 테스트트레이뿐만 아니라, 로딩/언로딩부에 구성되는 얼라이너(ALIGNER)나 프리사이져(PRECISER), 여분의 반도체소자들을 보관 적재하는 버퍼(BUFFER), 본 출원인의 선(先)출원된 기술(특허출원 10-2006-0007763호, 발명의 명칭 : 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 로딩방법)에서 소개된 바 있는 기동형로딩테이블이나, 언로딩부에 구성되는 소팅테이블(SORTING TABLE) 등에서도 반도체소자들은 임의의 간격(間隔)을 유지하게 된다.

본 발명은 상기와 같이 서로 다른 요소들(고객트레이, 테스트트레이, 얼라이너, 버퍼, 기동형로딩테이블, 소팅테이블) 중 어느 두개의 요소들 사이에서 반도체소자들을 이송하기 위해, 일 측의 요소로부터 반도체소자를 픽킹(PICKING)한 후 타 측의 요소로 반도체소자를 안착시키는 픽앤플레이스 장치에 관계한다. 이러한 픽앤플레이스 장치가 로딩부에 구성된 경우에는 로더 또는 로딩 핸드라고 칭하기도 하며, 언로딩부에 구성된 경우에는 언로더 또는 언로딩 핸드라고 칭하기도 한다.

지금까지 개시된 픽앤플레이스 장치는, 반도체소자들을 픽킹하기 위해 2 X 4, 1 X 8 또는 2 X 8 행렬(行列) 형태로 배열된 8개 또는 16개의 픽킹소자들과, 픽킹소자들의 횡방향 간격을 가변(可變)시켜 조정하는 횡방향 간격조정장치 및/또는 픽킹소자들의 종방향 간격을 가변시켜 조정하는 종방향 간격조정장치를 포함하는 것이 일반적인데, 최근에는 픽킹소자들의 경량 및 소형화에 따라 2 X 8 행렬의 구성을 주로 채용하고 있다. 여기서 픽앤플레이스 장치에 픽킹소자들을 2행으로 구비시키는 이유는 1회에 이송할 수 있는 반도체소자의 개수를 늘려 로딩 또는 언로딩에 걸리는 시간을 단축하기 위함인데, 이러한 2행 구조의 픽앤플레이스 장치를 통해 서로 다른 요소 간에 반도체소자를 이송하기 위해서는 픽킹소자들의 '종렬간 간격(횡방향 간격, 열간 간격)'뿐만 아니라 '횡렬간 간격(종방향 간격, 행간 간격)'도 조정하여야 한다.

그런데 종래의 간격조정장치는, 어느 하나의 행 또는 열에 속한 픽킹소자들의 간격은 모두 동일하도록 조정한다. 즉, 횡렬에 한정하여 도1을 참조하여 보면, 횡렬이 2열인 픽킹소자(11)들이 간격조정장치의 작동에 따라 선택적으로 제1상태인 도1의 (a)상태 또는 제2상태인 도1의 (b)상태에 있을 경우에, 제1상태에서 픽킹소자(11)들의 '횡렬들 간의 간격'은 x이고, 제2상태에서 픽킹소자(11)들의 '횡렬들 간의 간격'은 u이다. 이와 같이 종래의 간격조정장치는 두개의 조정상태(제1상태 및 제2상태)만을 제공할 수 있을 뿐이었다. 따라서 종래의 간격조정장치는 인접하는 '횡렬들 간의 간격'을 임의의 값 x로 유지시키거나 다른 임의의 값 u로 유지시키는 것만이 가능할 뿐이었다. 이와 같은 이유는 고객트레이에 파지되는 반도체소자들의 '횡렬들 간의 간격'이 모두 x로 동일하며, 테스트트레이에 파지되는 반도체 소자들의 '횡렬들 간의 간격'이 모두 u로 동일하기 때문이었다. 그리고 그러한 점은 종렬에 관해서도 마찬가지이다.

한편, 본 출원인은 선(先)출원된 특허 출원번호 10-2006-0003709호(발명의 명칭 : 테스트핸들러용 인서트 모듈과 테스트트레이, 이하 '선행기술'이라 함)를 통해 두개의 반도체소자를 수납(파지)하는 인서트 모듈(INSET MODULE)을 제시한 바 있으며, 테스트트레이는 그러한 인서트 모듈을 행렬형태로 다수 가지고 있다.

도2를 참조하여 선행기술에 따른 테스트트레이(200)를 횡렬만 고려하여 살펴보면, 도2에서 참조되는 바와 같이, 테스트트레이(200)에 설치된 인서트 모듈(201)들 각자가 두개의 반도체소자를 적재하도록 구성하였는데, 이러한 경우 여러 가지를 고려하여 볼 때, 파지된 반도체소자들의 '횡렬들 간의 간격'은 서로 다른 간격인 t와 u로 반복되도록 구현되는 것이 일반적임을 알 수 있다. 즉, 동일 인서트 모듈(201) 내에 파지된 반도체소자들의 횡렬 간의 간격은 t이고, 인접하는 인서트 모듈(201) 간에 마주하는 반도체소자들의 횡렬 간의 간격은 u이다. 한편, 도3에서 참조되는 바와 같이 고객트레이(300)에는 반도체소자들의 '횡렬들 간의 간격'이 x로 동일하다.

따라서 선행기술의 일 실시예에 따른 도2의 테스트트레이(200)에 대해 종래의 2행 8열 픽앤플레이스 장치를 적용하여, 반도체 소자들을 로딩시 고객트레이(300)로부터 테스트트레이(200)로 반도체소자들을 이송하거나, 언로딩시 테스트트레이(200)로부터 고객트레이(300)로 이송하는 경우에는, 전술한 바와 같이 픽앤플레이스 장치의 횡렬간의 간격 조정이 매우 제한적이기 때문에 픽앤플레이스 장치 의 성능을 최대로 이용할 수 없었다. 구체적으로, 로딩시에 테스트트레이(200)의 예를 들어 1, 2번 행에 반도체소자를 공급하고자 하는 경우에는, 종래의 2행 8열 픽앤플레이스 장치로써 1, 2번 행에 16개의 반도체소자를 한꺼번에 공급할 수 있었으나, 예를 들어 2, 3번 행에 반도체소자를 공급하여야 할 경우에는, 종래 픽앤플레이스 장치의 간격조정 제한 때문에 먼저 2번 행에 8개의 반도체소자를 공급하고, 이어서 3번행에 8개의 반도체소자를 공급할 수밖에 없었다. 따라서 픽앤플레이스 장치의 제어가 복잡해지고 이송 시간이 지연되었던 것이다.

따라서 본 발명의 첫 번째 목적은 픽킹소자들의 '열들 간의 간격'을 적어도 3이상의 값 중 어느 하나의 값으로 선택적으로 가변 조정할 수 있는 픽앤플레이스 장치를 제공하는 것이다.

또, 본 발명의 두 번째 목적은 적어도 2이상의 조정상태 중 어느 하나의 조정상태에서 픽킹 소자들의 '인접하는 열들 간의 간격'들 중 적어도 하나의 '인접하는 열들 간의 간격'은 적어도 다른 하나의 '인접하는 열들 간의 간격'과 다른 값을 가지도록 하는 픽앤플레이스 장치를 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 반도체소자가 제1열간격(列間隔)으로 일정하게 적재되는 제1적재요소와, 반도체소자가 제2 및 제3열간격으로 교 번하여 적재되는 제2적재요소의 사이에서 반도체 소자를 이송 적재하기 위한 픽앤플레이스 장치에 있어서, 각각 적어도 하나 이상의 픽킹 소자를 구비한 다수의 픽킹소자 모듈과, 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격을 제1 내지 제3모드로 조정하기 위한 간격조정장치를 포함하며, 상기 제1 내지 제3열간격은 각각 서로 다른 값을 가지고, 상기 제1모드의 경우에 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격은 모두 상기 제1열간격과 동일하게 조정되며, 상기 제2모드의 경우에 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격은 최초 열간격부터 상기 제2 및 제3열간격의 순서로 교번하여 조정되고, 상기 제3모드의 경우에 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격은 최초 열간격부터 상기 제3 및 제2 열간격의 순서로 교번하여 조정되는 것을 특징으로 한다.

상기 간격조정장치는, 상기 픽킹소자 모듈 사이의 간격을 조정하는 캠부재와, 상기 캠부재의 동작을 위한 동력을 제공하는 동력원을 구비하는 것을 구체적인 특징으로 한다.

상기 캠부재는, 각각의 픽킹소자 모듈에서 돌출된 안내돌기들과 각각 슬라이딩 가능하게 결합되어 상기 안내돌기들 간의 간격을 조정함으로써 상기 픽킹소자 모듈 사이의 간격을 가변(可變)시키기 위한 복수의 안내홈이 형성되어 있는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 캠부재는 판 형상이며, 상기 동력원은 상기 캠부재를 병진 이동시키기 위한 동력을 제공하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 픽앤플레이스 장치는, 횡방향 일렬로 배열된 다수의 픽킹 소자 및 상기 다수의 픽킹 소자 사이의 횡방향 간격을 조정하기 위한 횡방향 간격조정장치를 각각 구비한 채 종방향 일렬로 배열된 다수의 픽킹 모듈과, 상기 다수의 픽킹 모듈 사이의 종방향 간격을 조정하기 위한 종방향 간격조정장치를 포함하며, 상기 종방향 간격조정장치는 적어도 3개의 간격 조정 모드를 갖는 것을 특징으로 한다.

상기 종방향 간격조정장치는, 캠판과, 상기 캠판을 병진 구동하기 위한 구동 장치를 구비하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 픽앤플레이스 장치에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더 상세히 설명하되, 중복되는 설명이나 주지한 기술적 사항은 가급적 생략하거나 축약하기로 한다.

도4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 픽앤플레이스 장치(450)에 대한 사시도이다.

도4를 참조하면, 본 실시예에 따른 픽앤플레이스 장치(450)는, 종방향으로 나란히 배열되는 픽킹소자모듈(40)들과 간격조정장치(50)를 포함하여 구성된다.

상기 픽킹소자모듈(40)들은 각각 8개의 픽킹소자(41)들이 횡방향으로 나란히 배열되는 구조를 가진다. 따라서 4개의 픽킹소자모듈(40)에 구성되는 픽킹소자(41)들은 4 X 8의 행렬 형태로 배열되어 있는 것이다. 더 구체적으로는, 각각 8개의 픽킹소자(41)가 4개의 행(횡렬)이 종방향으로 열(종렬)을 이루는 구조를 가지며, 1개 의 횡렬에 배치되는 8개의 픽킹소자(41)들은 종방향으로 함께 이동하도록 일체로 모듈화 되어 있다. 그리고 픽킹소자모듈(40)들의 일단(좌측단)에는 안내돌기(42)가 형성되어 있고 타단(우측단)에는 레일홈(43)이 형성되어 있다.

간격조정장치(50)는 설치판(51), 쌍으로 구비되는 후판 및 전판(52a, 52b), 실린더(53), 캠판(54), 한 쌍의 안내레일(55a, 55b), 한 쌍의 슬라이딩부재(56a, 56b), 가이드레일(57) 등을 포함하여 구성된다.

설치판(51)은 상기 픽킹소자(41)들의 좌측방에 위치되며, 이러한 설치판(51)에는 상기한 후판 및 전판(52a, 52b), 실린더(53), 캠판(54), 한 쌍의 안내레일(55a, 55b), 한 쌍의 슬라이딩부재(56a, 56b), 가이드레일(57) 등이 설치 및 지지된다.

후판 및 전판(52a, 52b)은 각각 설치판(51)의 전후 양단으로부터 픽킹소자(41)들의 횡렬을 따라 뻗어 있으며, 일단은 설치판(51)에 고정되고, 타단은 가이드레일(57)과 결합된다.

실린더(53)는 캠판(54)을 상하방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 동력원으로서 구비된다. 물론, 응용에 따라서는 실린더(53) 외에 모터 및/또는 기어장치를 적용하여 동일한 역할을 수행하도록 구현될 수도 있을 것이다.

캠판(54)은 설치판(51)에 평행하게 배치되며, 실린더(53)의 작동에 의해 상하(上下)방향으로 이동됨으로써, 픽킹소자모듈(40)들의 간격을 조정한다. 이러한 캠판(54)에는 전술한 4개의 픽킹소자모듈(40)의 간격에 각각 대응하는 안내홈들(54a, 54b, 54c, 54d)이 대체로 상하방향으로 길게 형성되어 있는데, 이러한 안 내홈들(54a, 54b, 54c, 54d)에 상기 안내돌기(42)들이 각각 슬라이딩 가능하게 (삽입)결합된다. 캠판(54)의 안내홈들(54a, 54b, 54c, 54d)에 대하여는 도4의 픽앤플레이스 장치를 좌측방향에서 도시하고 있는 도5를 참조하여 더 상세히 설명한다.

도5를 참조하면, 각각의 안내홈들(54a, 54b, 54c, 54d)은 캠판(51)의 중앙부를 표시하는 B선(線)상(上)에서 각각의 '안내홈들 간의 간격'이 최소(最小)가 되고, B선을 기준으로 상하 양측에 위치하는 A선 및 C선상에서 각각의 '안내홈들 간의 간격'이 벌어져 더 넓어지는 형상을 가진다. 여기서 A, B 및 C선은 안내돌기(42)들 및 픽킹소자모듈(40)들 간의 간격이 가변되어 조정된 상태를 유지하는 선으로 편의상 '조정상태 유지 선'으로 정의한다.

도5에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면 '인접하는 임의의 두 안내홈들 간의 간격'이 A, B 및 C 선상별로 각각 달라진다. 즉, 예를 들어 부호 54a 및 54b로 표시된 인접한 두 안내홈들 간의 간격은, A선상에서는 't'(제2간격)이고, B선상에서는 'x'(제1간격)이며, C선상에서는 'u'(제3간격)이다. 그리고 부호 54b 및 54c의 '안내홈들 간의 간격'은 A, B 및 C선상에서 각각 u, x, t간격을, 부호 54c 및 54d의 '안내홈들 간의 간격'은 A, B 및 C선상에서 각각 t, x, u간격을 가진다. 따라서 안내돌기(42)들이 A선상에 위치해 있을 때는 픽킹소자모듈(40)들의 종방향으로의 간격들이 t, u, t 간격을 유지하며, 안내돌기(42)들이 B선상에 위치해 있을 때는 픽킹소자모듈(40)들의 종방향으로의 간격들이 x, x, x 간격을 유지하고, 안내돌기(42)들이 C선상에 위치해 있을 때는 픽킹소자모듈(40)들의 종방향으로의 간격들이 u, t, u 간격을 유지하게 된다.

한편, 한 쌍의 안내레일(55a, 55b)은 캠판(54)을 사이에 두고 설치판(51)의 전후측에 상하방향으로 길게 설치된다.

한 쌍의 슬라이딩부재(56a, 56b)는 한 쌍의 안내레일(55a, 55b)에 상하방향으로 슬라이딩 가능하게 결합되며, 일단은 캠판(54)에 고정된다. 그리고 앞측 슬라이딩부재(55b)는 그 타단이 실린더(53)의 피스톤 로드(53a)와 결합되어 있다. 따라서 실린더(53)가 작동하면 한 쌍의 슬라이딩부재(56a, 56b)가 각각 한 쌍의 안내레일(55a, 55b)을 따라 상하방향으로 슬라이딩하게 되고, 당연히 슬라이딩부재(56a, 56b)와 결합된 캠판(54)이 상하방향으로 상승 또는 하강할 수 있게 되는 것이다.

다시 도4를 참조하면, 가이드레일(57)은 전후 양단이 한 쌍의 후판 및 전판(52a, 52b) 타단에 결합되고, 이러한 가이드레일(57)에는 레일홈(43)에 의해 픽킹소자모듈(40)의 우측단이 전후 방향으로 슬라이딩 가능하게 결합된다.

위와 같이 구성된 픽앤플레이스 장치(450)의 작동에 대하여 도5 내지 도7과, 참조도인 도11 내지 도13을 참조하여 설명한다. 먼저 도11 내지 도13을 참조하여 보면, 도11 및 도12(또는 도13)는 반도체소자들을 적재 또는 정렬시키기 위한 요소들(고객트레이, 테스트트레이, 기동형로딩테이블, 얼라이너, 버퍼, 소팅테이블 등) 중 '횡렬들 간의 간격'이 x인 제1요소(E1)와, '횡렬들 간의 간격'이 t, u, t, u ... 순으로 반복되는 제2요소(E2)를 도시하고 있다. 설명의 편의상 종렬들 간의 간격은 동일한 것으로 상정하였다. 여기서 도11의 제1요소(E1)는 예를 들어 고객트레이, 소팅테이블 등일 수 있으며, 도12 및 도13에 도시된 제2요소(E2)는 예를 들어 테스트트레이, 기동형로딩테이블, 얼라이너 등일 수 있다.

먼저, 반도체소자를 제1요소(E1)로부터 제2요소(E2)로 이동시키는 경우를 상정해서 살펴본다. 이러한 경우, 픽킹소자모듈(40)들 간의 간격은 x로 동일하여야 하기 때문에 도5의 상태, 즉, 간격조정장치(50)가 제1모드로 조정상태를 유지하여 각 안내돌기(42)들이 각 안내홈들(54a, 54b, 54c, 54d)의 B선상에 위치하는 상태에서 제1요소(E1)로부터 반도체소자를 픽킹한 후, 미도시된 이동장치(예를 들어 XY 로봇)에 의해 제2요소(E2)의 위치로 이동하면서 간격조정장치(50)가 동작하여 제2모드의 조정상태로 되도록 실린더(53)가 작동하여 캠판(54)을 하방향으로 이동시킴으로써 안내돌기(42)들이 A선상에 위치하도록 한 다음, 픽킹하고 있던 반도체소자들을 제2요소(E2)에 안착시킨다. 한편, 도13에서 참조되는 바와 같이, 제2요소(E2)에 Z선까지 반도체소자들이 안착된 경우, Z선 이하에서부터 반도체소자들을 안착시켜야 할 경우가 발생할 수 있다. 즉, 반도체소자들을 t, u, t 간격으로 안착시키는 것이 아니라, u, t, u 간격으로 안착시켜야 될 필요성이 있는데, 이러한 경우에는 간격조정장치(50)가 제1모드로 조정상태를 유지하여 제1요소(E1)로부터 반도체소자들을 픽킹한 후, 제2요소(E2)로 이동하면서 간격조정장치(50)가 제3모드의 조정상태가 되도록 실린더(53)가 작동하여 캠판(54)을 상방향으로 이동시킴으로써, 안내돌기(42)들이 C선상에 위치하도록 하고, 이러한 상태에서 픽킹하였던 반도체소자들을 제2요소(E2)에 안착시키는 것이다.

한편, 제2요소(E2)로부터 제1요소(E1)로 반도체소자들을 이동시킬 때, 제2요소(E2)에 반도체소자들이 t, u, t 간격으로 유지되어 있는 경우는 도7의 상태에서 반도체소자들을 픽킹한 후, 제1요소(E1)로 이동하면서 도5의 상태로 가변시킨 다음 반도체소자들을 제1요소(E1)에 안착시키게 되고, 만일 반도체소자들이 u, t, u 간격으로 유지되어 있는 경우를 픽킹할 때에는 도8의 상태에서 반도체소자들을 픽킹한 후, 제1요소(E1)로 이동하면서 도5의 상태로 가변시킨 다음 반도체소자들을 제1요소(E1)에 안착시킨다.

상술한 바와 같이, 상기한 실시예는 캠부재로서 캠판(54)을 사용하고 있으며 동력원으로 실린더(53)를 사용하고 있지만, 동력원은 모터 및 기어장치를 이용할 수도 있으며, 도8에서와 같이, 캠부재로서 캠통(84)을 사용하고 동력원으로 모터(83)를 사용하는 것도 가능하다. 도9는 도8의 캠통(84)에 형성된 안내홈들을 평면상에 표현시키고 있는 도면이다.

또한, 상기한 실시예에서 캠판(54)은 B선을 기준으로 양측에 위치한 A선 및 B선상에서의 '안내홈들 간의 간격'이 B선상에서의 '안내홈들 간의 간격'보다 더 넓어지는 형상을 가지고 있으나, 도10에서와 같이 '안내홈들 간의 간격'이 가장 좁은 D선을 기준으로 어느 일 측 방향으로 더 넓어지는 형상도 고려될 수 있다. 물론, 캠판의 이동거리 등을 고려할 경우 도10보다는 상기한 도4의 실시예에 따른 캠판(54)이 더 바람직하게 고려될 수는 있을 것이다.

그리고 상기한 실시예에서는 4개의 횡렬(4개의 픽킹소자모듈)만을 개시하고 있으나, 더 많거나 더 적은 수의 횡렬로 구성하는 것도 가능하다. 예를 들어, 2개의 횡렬로 구성시키는 것도 가능한데, 만일 횡렬을 2열로 구성시킨 경우에는 캠판에 두개의 안내홈만이 형성되면 족하므로, '인접하는 안내홈들 간의 간격'이 하나 만 존재하게 되며, 이러한 경우에도 '안내홈들 간의 간격'은 3개의 '조정상태 유지 선'상에서 각각 x, t, u의 간격을 가지도록 형성됨으로써 픽킹소자들의 '횡렬들 간의 간격'을 3개의 조정간격 중 어느 하나의 값으로 선택적으로 가변시킬 수 있도록 되어야 할 것이다.

또, 상술한 실시예에서는 픽킹소자(41)들의 '횡렬들 간의 간격'만을 조정하도록 하고, 종방향으로 배열된 픽킹소자(41)들은 모듈화되어 종렬들 간의 간격이 일정한 것으로 상정하여 설명하였지만, 그 역의 경우도 가능하며, 행렬형태로 배열된 픽킹소자들의 횡렬 및 종렬 각각이 서로 간섭 없이 간격 조정될 수 있도록 구현하는 것도 가능하다. 만일 행렬형태로 배열된 픽킹소자들의 횡렬 및 종렬 각각이 서로 간섭 없이 간격 조정될 수 있도록 구현한 경우에는, 종렬 또는 횡렬의 간격을 조정하기 위한 간격조정장치 중 어느 하나는 도5의 간격조정장치가 적용될 수 있고 다른 하나는 종래의 간격조정장치가 적용될 수도 있으며, 구체적인 실시형태에 따라서 종렬과 횡렬의 간격을 조정하기 위한 두개의 간격조정장치를 모두 도4의 간격조정장치로 적용할 수도 있을 것이다.

더 추가하여 만일 픽킹소자들을 2열로 구성시킬 때에는 열 간의 간격을 3단 이상의 정해진 작동거리를 가지는 실린더나 3단 이상의 정해진 회전거리를 가지는 스탭모터 등을 적용하여 3개 이상의 조정상태의 값을 가지도록 제어함으로써 본 발명이 실현될 수도 있을 것이다.

이상과 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예 에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 반도체소자들을 적재 또는 정렬시키는 서로 다른 요소들이 있고, 적어도 하나의 요소에 적재 또는 정렬되는 반도체소자들의 열 간격이 서로 다른 경우에도 해당 요소들 간에 반도체소자를 이동할 수 있기 때문에, 고객트레이로부터 선행기술에 따른 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩하거나 그 역으로 언로딩하는 경우에도 적절히 반도체소자들을 이동할 수 있는 효과가 있다.

Claims

반도체소자가 제1열간격(列間隔)으로 일정하게 적재되는 제1적재요소와, 반도체소자가 제2 및 제3열간격으로 교번하여 적재되는 제2적재요소의 사이에서 반도체 소자를 이송 적재하기 위한 픽앤플레이스 장치에 있어서,

각각 적어도 하나 이상의 픽킹 소자를 구비한 다수의 픽킹소자 모듈과,

상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격을 제1 내지 제3모드로 조정하기 위한 간격조정장치를 포함하며,

상기 제1 내지 제3열간격은 각각 서로 다른 값을 가지고,

상기 제1모드의 경우에 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격은 모두 상기 제1열간격과 동일하게 조정되며,

상기 제2모드의 경우에 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격은 최초 열간격부터 상기 제2 및 제3열간격의 순서로 교번하여 조정되고,

상기 제3모드의 경우에 상기 다수의 픽킹소자 모듈 사이의 간격은 최초 열간격부터 상기 제3 및 제2 열간격의 순서로 교번하여 조정되는

픽앤플레이스 장치.
제1항에 있어서,

상기 간격조정장치는,

상기 픽킹소자 모듈 사이의 간격을 조정하는 캠부재와,

상기 캠부재의 동작을 위한 동력을 제공하는 동력원을 구비하는

픽앤플레이스 장치.
제2항에 있어서,

상기 캠부재는, 각각의 픽킹소자 모듈에서 돌출된 안내돌기들과 각각 슬라이딩 가능하게 결합되어 상기 안내돌기들 간의 간격을 조정함으로써 상기 픽킹소자 모듈 사이의 간격을 가변(可變)시키기 위한 복수의 안내홈이 형성되어 있는

픽앤플레이스 장치.
제3항에 있어서,

상기 캠부재는 판 형상이며,

상기 동력원은 상기 캠부재를 병진 이동시키기 위한 동력을 제공하는 것을 특징으로 하는

픽앤플레이스 장치.
삭제
횡방향 일렬로 배열된 다수의 픽킹 소자 및 상기 다수의 픽킹 소자 사이의 횡방향 간격을 조정하기 위한 횡방향 간격조정장치를 각각 구비한 채 종방향 일렬로 배열된 다수의 픽킹 모듈과,

상기 다수의 픽킹 모듈 사이의 종방향 간격을 조정하기 위해 적어도 3개의 간격 조정 모드를 갖는 종방향 간격조정장치를 포함하며,

상기 종방향 간격조정장치는,

캠부재와,

상기 캠부재를 구동하기 위한 동력을 제공하는 동력원을 구비하는

픽앤플레이스 장치.