KR101452095B1 - 트레이 이송 장치 - Google Patents

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김응수
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세메스 주식회사
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Abstract

테스트 핸들러에서 사용되는 트레이 이송 장치에 있어서, 상기 장치는 커스터머 트레이를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 파지부와 상기 파지부를 수직 이동시키는 수직 구동부를 각각 구비하고 수평 방향으로 순차적으로 배열된 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들과, 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들을 제1, 제2 및 제3 구간들에서 상기 수평 방향으로 각각 이동시키는 수평 구동부를 포함한다. 여기서, 상기 제1, 제2 및 제3 구간들은 서로 중첩될 수 있으며, 이에 따라 상기 커스터머 트레이의 이송에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.

Description

트레이 이송 장치{Apparatus for transferring trays}
본 발명의 실시예들은 트레이 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 복수의 반도체 소자들을 검사하기 위한 테스트 핸들러에서 상기 반도체 소자들을 수납하기 위한 트레이들을 이송하기 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정과 본딩 공정 및 패키징 공정 등을 통하여 완성될 수 있다.
상기와 같이 제조된 반도체 소자들은 전기적 특성 검사를 통하여 양품 또는 불량품으로 판정될 수 있다. 상기 전기적 특성 검사에는 상기 반도체 소자들을 핸들링하는 테스트 핸들러와 상기 반도체 소자들을 검사하기 위한 테스터가 사용될 수 있다.
상기 반도체 소자들은 외부 접속용 단자들을 가질 수 있으며, 상기 외부 접속용 단자들과 상기 테스터를 전기적으로 연결한 상태에서 전기적인 검사 공정을 수행할 수 있다. 상기 테스트 핸들러는 상기 반도체 소자들의 외부 접속용 단자들과 전기적으로 접속되는 콘택핀들을 구비하는 복수의 테스트 소켓들을 구비할 수 있다.
상기와 같은 테스트 핸들러는 상기 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이들을 이송하기 위한 트레이 이송 장치를 구비할 수 있다. 상기 트레이 이송 장치는 검사 전의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 상기 테스트 핸들러의 로드 플레이트로 로드하며, 상기 반도체 소자들이 상기 테스트 핸들러의 검사부로 모두 이송된 후 빈 커스터머 트레이를 상기 로드 플레이트로부터 언로드하며, 상기 빈 커스터머 트레이를 검사 후의 반도체 소자들을 수납하기 위하여 언로드 플레이트로 로드하고, 이어서 상기 언로드 플레이트로부터 상기 검사 후의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 언로드할 수 있다.
상기와 같이 테스트 핸들러에서 사용되는 트레이 이송 장치의 일 예들은 대한민국 특허공개 제10-2002-0031461호, 제10-2003-0062702호, 제10-2004-0043925호, 제10-2005-0075534호 등에 개시되어 있다.
특히, 상기 대한민국 특허공개 제10-2005-0075534호에는 3개의 트랜스퍼들을 이용하여 트레이 이송에 소요되는 시간을 단축시키는 트레이 이송 장치가 개시되어 있다. 상기 3개의 트랜스퍼들은 서로 다른 제1, 제2 및 제3 구간들에서 각각 트레이를 이송하도록 구성되며, 구체적으로, 제1 트랜스퍼는 제1 구간에서 커스터머 트레이를 로드 플레이트에 로드하며, 제2 트랜스퍼는 제2 구간에서 빈 커스터머 트레이를 상기 로드 플레이트로부터 언로드하고 이어서 빈 커스터머 트레이를 언로드 플레이트에 로드하고, 제3 트랜스퍼는 제3 구간에서 상기 언로드 플레이트로부터 상기 커스터머 트레이를 언로드하도록 구성된다.
한편, 검사하고자 하는 반도체 소자들의 종류에 따라 검사 시간 및/또는 대기 시간 등의 설정이 달라질 수 있으며, 이 경우 상기 제1, 제2 및 제3 구간들에서 작업량이 서로 다르게 될 수 있다. 예를 들면, 제1 구간에서 작업량이 증가하는 경우 제1 트랜스퍼만을 이용하므로 제2 및 제3 트랜스퍼들은 대기 상태에 있을 수 밖에 없으며, 또한 이와 유사한 경우들이 빈번하게 발생될 수 있다. 결과적으로, 상기 커스터머 트레이의 이송에 소요되는 시간이 크게 증가하는 문제점이 발생될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 테스트 핸들러에서 커스터머 트레이들의 이송에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 트레이 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따르면, 테스트 핸들러에서 사용되는 트레이 이송 장치에 있어서, 상기 장치는 커스터머 트레이를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 파지부와 상기 파지부를 수직 이동시키는 수직 구동부를 각각 구비하고 수평 방향으로 순차적으로 배열된 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들과, 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들을 제1, 제2 및 제3 구간들에서 상기 수평 방향으로 각각 이동시키는 수평 구동부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1, 제2 및 제3 구간들은 서로 중첩될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 수평 구동부는 상기 수평 방향으로 연장하는 고정자와, 상기 고정자에 의해 이동되는 제1, 제2 및 제3 가동자들을 구비하는 리니어 모터를 포함할 수 있으며, 상기 제1, 제2 및 제3 가동자들은 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들에 각각 결합될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 수평 구동부는 상기 고정자가 장착되는 베이스 패널과, 상기 베이스 패널 상에 구비되며 상기 수평 방향으로 연장하는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일에 이동 가능하게 결합되고 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들에 각각 결합되는 제1, 제2 및 제3 가이드 블록들을 더 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 트랜스퍼는 검사 전의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 상기 테스트 핸들러의 로드 플레이트로 로드하는 제1 단계와, 상기 로드 플레이트로부터 빈 커스터머 트레이를 언로드하는 제2 단계와, 상기 빈 커스터머 트레이를 상기 테스트 핸들러의 언로드 플레이트로 로드하는 제3 단계를 선택적으로 수행할 수 있고, 상기 제2 트랜스퍼는 상기 제1, 제2 및 제3 단계들과, 상기 언로드 플레이트로부터 검사 후의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 언로드하는 제4 단계를 선택적으로 수행할 수 있으며, 상기 제3 트랜스퍼는 상기 제2, 제3 및 제4 단계들을 선택적으로 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들은 검사 전의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 상기 테스트 핸들러의 로드 플레이트로 로드하는 제1 단계, 상기 로드 플레이트로부터 빈 커스터머 트레이를 언로드하는 제2 단계, 상기 빈 커스터머 트레이를 상기 테스트 핸들러의 언로드 플레이트로 로드하는 제3 단계 또는 상기 언로드 플레이트로부터 검사 후의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 언로드하는 제4 단계를 동시에 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들은 상기 빈 커스터머 트레이를 스태커에 수납하는 제1 부가 단계와, 상기 스태커로부터 상기 빈 커스터머 트레이를 픽업하는 제2 부가 단계를 선택적으로 더 수행할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 단계들 각각에서 요구되는 작업량에 따라 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들을 선택적으로 사용할 수 있으므로, 상기 제1, 제2 및/또는 제3 트랜스퍼들의 대기 시간을 제거 또는 감소시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 커스터머 트레이들의 이송 시간이 크게 단축될 수 있다.
추가적으로, 상기 제1, 제2 및 제3 가동자들이 하나의 고정자를 공유하도록 상기 수평 구동부를 구성함으로써 상기 수평 구동부의 구조와 크기 및 중량이 크게 감소될 수 있으며, 이에 따라 종래 기술과 비교하여 상기 트레이 이송 장치의 구조적인 안정성이 크게 개선될 수 있으며, 또한 유지보수에 소요되는 시간 및 비용 등이 크게 절감될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1 및 도 2에 도시된 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들의 작업 구간을 설명하기 위한 개략도들이다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치(100)는 반도체 소자들(미도시)의 검사를 위한 테스트 핸들러에서 바람직하게 사용될 수 있다. 특히, 검사 전 및 후의 반도체 소자들이 수납되는 커스터머 트레이들(10,30) 및 빈 커스터머 트레이들(20)을 이송하기 위하여 사용될 수 있다.
상기 트레이 이송 장치(100)는 복수의 커스터머 트레이들(10,20,30)이 각각 수납될 수 있는 스태커들(40,50,60)에 인접하게 배치되어 상기 스태커들(40,50,60)로부터 상기 커스터머 트레이들(10,20,30)의 픽업 및 수납이 가능하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 트레이 이송 장치(10)는 상기 커스터머 트레이들(10,20,30)을 이송하기 위한 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들(110,120,130)을 구비할 수 있다. 각각의 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들은 상기 커스터머 트레이(10,20,30)를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 파지부(112,122,132)와 상기 파지부(112,122,132)를 수직 방향으로 이동시키는 수직 구동부(114,124,134)를 구비할 수 있으며, 수평 방향으로 순차적으로 배열될 수 있다.
상기 파지부(112,122,132)는, 일 예로서, 공압 실린더와 그리퍼들을 이용하여 상기 커스터머 트레이(10,20,30)의 양쪽 측면 부위를 파지하도록 구성될 수 있다. 상기 파지부(112,122,132)에 대하여는 상기 배경 기술에서 언급된 선행기술문헌들에 상세하게 개시되어 있으므로 추가적인 상세 설명은 생략하기로 한다.
상기 수직 구동부(114,124,134)는 상기 파지부(112,122,132)를 수직 방향으로 이동시키기 위하여 사용될 수 있으며, 일 예로서, 리니어 모션 가이드와, 모터와 타이밍 벨트 등을 이용하는 직선 구동 장치를 이용하여 구성될 수 있다. 또한, 모터와 볼 스크루 및 볼 너트 등을 이용하는 직선 구동 장치가 선택적으로 사용될 수도 있다.
상기 트레이 이송 장치(100)는 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들(110,120,130)을 제1, 제2 및 제3 구간에서 상기 수평 방향으로 각각 독립적으로 이동시키는 수평 구동부(140)를 포함할 수 있다.
도 3 내지 도 5는 도 1 및 도 2에 도시된 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들의 작업 구간을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 제1, 제2 및 제3 구간은 서로 중첩될 수 있다. 이는 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들(110,120,130)이 상기 서로 중첩되는 구간에서 선택적으로 작업이 가능하도록 하여 상기 커스터머 트레이(10,20,30)의 이송에 소요되는 시간을 단축하기 위함이다. 즉, 작업 구간이 서로 다름으로 인하여 발생될 수 있는 상기 제1, 제2 또는 제3 트랜스퍼(110,120,130)의 대기 시간을 감소 또는 제거함으로써 상기 커스터머 트레이(10,20,30)의 이송 시간을 감소시킬 수 있다.
상기 수평 구동부(140)는 상기 제1, 제2 및 제3 구간들이 서로 중첩될 수 있도록 리니어 모터를 이용하여 구성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 구동부(140)는 도 1에 도시된 바와 같이 상기 수평 방향으로 연장하는 고정자(142)와 상기 고정자(142)에 의해 이동 가능하게 구성되는 제1, 제2 및 제3 가동자들(144,146,148)을 구비하는 리니어 모터를 이용하여 구성될 수 있다. 여기서, 상기 제1, 제2 및 제3 가동자들(144,146,148)은 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들(110,120,130)에 각각 결합될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 구동부(140)는 상기 고정자(142)가 장착되는 베이스 패널(150)과, 상기 베이스 패널(150) 상에 구비되며 상기 수평 방향으로 연장하는 가이드 레일(152)과, 상기 가이드 레일(152)에 이동 가능하게 결합되고 또한 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들(110,120,130)에 각각 결합되는 제1, 제2 및 제3 가이드 블록들(154,156,158)을 구비할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 트레이 이송 장치(100)는 검사 전의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이(10)를 상기 테스트 핸들러의 로드 플레이트(70)로 로드하는 제1 단계와, 상기 로드 플레이트(70) 상의 커스터머 트레이(10)로부터 상기 반도체 소자들이 상기 테스트 핸들러의 검사부로 모두 이송된 후 빈 커스터머 트레이(20)를 상기 로드 플레이트(70)로부터 언로드하는 제2 단계와, 상기 빈 커스터머 트레이(20)를 상기 테스트 핸들러의 언로드 플레이트(80)로 로드하는 제3 단계와, 상기 언로드 플레이트(80) 상의 커스터머 트레이(20)에 검사 후의 반도체 소자들이 수납된 후 상기 검사 후의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이(30)를 상기 언로드 플레이트(80)로부터 언로드하는 제4 단계를 수행할 수 있다.
일 예로서, 상기 테스트 핸들러는 상기 검사 전의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이들(10)이 수납된 제1 스태커들(40)과, 빈 커스터머 트레이들(20)이 수납되는 제2 스태커들(50)과, 상기 검사 후의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이들(30)을 수납하는 제3 스태커들(60)을 구비할 수 있다.
상기 제1 단계에서는 상기 제1 스태커(40)로부터 상기 검사 전의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이(10)를 픽업하여 상기 로드 플레이트(70)에 로드할 수 있으며, 상기 제4 단계에서는 상기 검사 후의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이(30)를 상기 언로드 플레이트(80)로부터 언로드하여 상기 제3 스태커(60)에 수납할 수 있다.
또한, 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들(110,120,130)은 상기 로드 플레이트(70)로부터 언로드된 빈 커스터머 트레이(20)를 상기 제2 스태커(50)에 수납하는 제1 부가 단계와, 상기 제2 스태커(50)에 수납된 빈 커스터머 트레이(20)를 픽업하는 제2 부가 단계를 선택적으로 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제1 트랜스퍼(110)는 상기 제1, 제2 및 제3 단계들을 선택적으로 수행할 수 있고, 상기 제2 트랜스퍼(120)는 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 단계들을 선택적으로 수행할 수 있으며, 상기 제3 트랜스퍼(130)는 상기 제2, 제3 및 제4 단계들을 선택적으로 수행할 수 있다.
일 예로서, 상기 제1 및 제2 트랜스퍼들(110,120)이 상기 제1 단계 또는 제2 단계를 동시에 수행할 수 있으며, 그 동안 상기 제3 트랜스퍼(130)는 상기 제3단계 또는 제4 단계를 수행할 수 있다. 또한, 상기 제1 트랜스퍼(110)가 상기 제1 단계 또는 제2 단계를 수행하는 동안 상기 제2 및 제3 트랜스퍼(120,130)가 상기 제3 단계 또는 제4 단계를 동시에 수행할 수도 있다. 그 밖에도 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들(110,120,130)이 상기 제2 또는 제3 단계를 동시에 수행할 수도 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 테스트 핸들러의 로드 플레이트(70) 및 언로드 플레이트(80)의 개수에 따라서 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들(110,120,130)이 상기 제1 단계 또는 제4 단계를 동시에 수행하도록 구성될 수도 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 단계들 각각에서 요구되는 작업량에 따라 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들(110,120,130)을 선택적으로 사용할 수 있으므로, 상기 제1, 제2 및/또는 제3 트랜스퍼들(110,120,130)의 대기 시간을 제거 또는 감소시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 커스터머 트레이들(10,20,30)의 이송 시간이 크게 단축될 수 있다.
추가적으로, 상기 제1, 제2 및 제3 가동자들(144,146,148)이 하나의 고정자(142)에 결합되도록 상기 수평 구동부(140)를 구성함으로써 상기 수평 구동부(140)의 구조와 크기 및 중량이 크게 감소될 수 있으며, 이에 따라 종래 기술과 비교하여 상기 트레이 이송 장치(100)의 구조적인 안정성이 크게 개선될 수 있으며, 또한 유지보수에 소요되는 시간 및 비용 등이 크게 절감될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10,20,30 : 커스터머 트레이 40,50,60 : 스태커
70 : 로드 플레이트 80 : 언로드 플레이트
100 : 트레이 이송 장치 110,120,130 : 트랜스퍼
112,122,132 : 파지부 114,124,134 : 수직 구동부
140 : 수평 구동부 142 : 고정자
144,146,148 : 가동자 150 : 베이스 패널
152 : 가이드 레일 154,156,158 : 가이드 블록

Claims (6)

  1. 테스트 핸들러에서 사용되는 트레이 이송 장치에 있어서,
    커스터머 트레이를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 파지부와 상기 파지부를 수직 이동시키는 수직 구동부를 각각 구비하고 수평 방향으로 순차적으로 배열된 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들; 및
    상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들을 서로 중첩된 제1, 제2 및 제3 구간들에서 상기 수평 방향으로 각각 이동시키는 수평 구동부를 포함하되,
    상기 제1 트랜스퍼는 검사 전의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 상기 테스트 핸들러의 로드 플레이트로 로드하는 제1 단계와, 상기 로드 플레이트로부터 빈 커스터머 트레이를 언로드하는 제2 단계와, 상기 빈 커스터머 트레이를 상기 테스트 핸들러의 언로드 플레이트로 로드하는 제3 단계를 선택적으로 수행하며,
    상기 제2 트랜스퍼는 상기 제1, 제2 및 제3 단계들과, 상기 언로드 플레이트로부터 검사 후의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 언로드하는 제4 단계를 선택적으로 수행하고,
    상기 제3 트랜스퍼는 상기 제2, 제3 및 제4 단계들을 선택적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수평 구동부는 상기 수평 방향으로 연장하는 고정자와, 상기 고정자에 의해 이동되는 제1, 제2 및 제3 가동자들을 구비하는 리니어 모터를 포함하며, 상기 제1, 제2 및 제3 가동자들은 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들에 각각 결합되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 수평 구동부는 상기 고정자가 장착되는 베이스 패널과, 상기 베이스 패널 상에 구비되며 상기 수평 방향으로 연장하는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일에 이동 가능하게 결합되고 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들에 각각 결합되는 제1, 제2 및 제3 가이드 블록들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
  4. 삭제
  5. 테스트 핸들러에서 사용되는 트레이 이송 장치에 있어서,
    커스터머 트레이를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 파지부와 상기 파지부를 수직 이동시키는 수직 구동부를 각각 구비하고 수평 방향으로 순차적으로 배열된 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들; 및
    상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들을 서로 중첩된 제1, 제2 및 제3 구간들에서 상기 수평 방향으로 각각 이동시키는 수평 구동부를 포함하되,
    상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들은 검사 전의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 상기 테스트 핸들러의 로드 플레이트로 로드하는 제1 단계, 상기 로드 플레이트로부터 빈 커스터머 트레이를 언로드하는 제2 단계, 상기 빈 커스터머 트레이를 상기 테스트 핸들러의 언로드 플레이트로 로드하는 제3 단계 또는 상기 언로드 플레이트로부터 검사 후의 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 언로드하는 제4 단계를 동시에 수행하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
  6. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 제3 트랜스퍼들은 상기 빈 커스터머 트레이를 스태커에 수납하는 제1 부가 단계와, 상기 스태커로부터 상기 빈 커스터머 트레이를 픽업하는 제2 부가 단계를 선택적으로 더 수행하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
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