TW201506422A - 半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置 - Google Patents

Abstract

本發明涉及半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置。根據本發明的托盤裝載裝置具備引導客戶托盤的裝載方向的方向引導器，進而具備通過簡單的操作移動方向引導器的移動器。據此，由於客戶托盤能夠適當地裝載到托盤裝載裝置，據此可提高設備的可靠性，並可以通過簡單的操作改變客戶托盤的裝載方向，據此具有能夠提高分選機的使用率的效果。

Description

半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置

本發明涉及在對半導體元件測試時所使用的分選機的托盤裝載裝置。

半導體元件測試用分選機(以下稱為“分選機”)是一種將經過預定製造工序製造出的半導體元件電連接到測試器之後，根據測試結果分類半導體元件的設備。

用於支持半導體元件的測試的分選機通過諸如韓國公開專利10-2002-0053406號或日本公開專利特開2011-247908等的多種專利文獻被公開。

在分選機中，從客戶托盤移出半導體元件並對其進行加熱之後電連接到測試器，並將完成測試的半導體元件移入空的客戶托盤。在此，半導體元件的移出作業是將位於移出位置的客戶托盤作為物件而進行，而完成測試的半導體元件的移入作業則將位於移入位置的客戶托盤作為物件而進行。

通常，安置有需要測試的半導體元件的客戶托盤裝載於搬入用托盤裝載裝置，而安置有完成測試的半導體元件的客戶托盤裝載於搬出用托盤裝載裝置。因此，裝載於搬入用托盤裝載裝置的客戶托盤向移出位置移動，位於移入位置的客戶托盤朝搬出用托盤裝載裝置移動。

圖1為關於如上的通常的分選機的100的概略的平面圖。

分選機100具備多個托盤裝載裝置111至116、加熱板120、往復板130、連接部分140以及緩衝托盤151、152。

多個托盤裝載裝置111至116包括搬入用托盤裝載裝置111、一對空的托盤裝載裝置112、113、三個搬出用托盤裝載裝置111至116。

搬入用托盤裝載裝置111中裝載有安置有需要測試的半導體元件的客戶托盤CT。裝載於搬入用托盤裝載裝置111的客戶托盤CT依次一張一張地朝後方的移出位置DP移動。而且，移出了所安置的所有半導體元件的客戶托盤CT從移出位置DP朝右側的搬出位置CP移動。

第一空的托盤裝載裝置112中裝載有來自搬出位置CP的空的客戶托盤CT。

第二空的托盤裝載裝置113中裝載有空的客戶托盤CT。裝載於這種第二空的托盤裝載裝置113的空的客戶托盤CT依次一張一張地朝後方的待機位置WP移動之後朝右側的移入位置TP₁至TP₃。而且，裝填有完成測試的半導體元件的客戶托盤CT從移入位置TP₁至TP₃朝前方的搬出用托盤裝載裝 置114至116移動。

搬出用托盤裝載裝置114至116中裝載有安置有完成測試的半導體元件的客戶托盤CT。作為參考，具備多個搬出用托盤裝載裝置114至116的原因在於，為了根據測試結果而區分放置半導體元件。

加熱板120對從位於移出位置DP的客戶托盤CT移出過來的半導體元件進行加熱。這種加熱板120沿前後方嚮往復移動。作為參考，半導體元件在常溫條件下進行測試時，半導體元件也可以不經過加熱板而從客戶托盤CT直接移動至往復板130。

設置往復板130的目的在於，接收來自加熱板120的半導體元件而供應到連接部分140，或者將從連接部分140接收的半導體元件供應到緩衝托盤151、152或客戶托盤CT。為此，往復板130沿左右方嚮往復移動。在此，在往復板130位於左側的裝載位置LP的情況下，接收來自加熱板120的半導體元件，而在往復板130位於右側的卸載位置UP的情況下，所安置的半導體元件朝緩衝托盤151、152或位於移入位置TP₁至TP₃的客戶托盤CT移動，在往復板130位元元於連接部分140後方的出入位置GP的情況下，所安置的半導體元件借助連接部分140而移出或借助連接部分140而移入。

連接部分140從往復板130移出半導體元件並將半導體元件電連接到測試器(未圖示)，且使完成測試的半導體元件移入至往復板130。作為參考，電連接於測試器的半導體元件通過測試器測試電特性。

緩衝托盤151、152中安置有來自位於卸載位置UP的往復板130的少量的半導體元件。這種緩衝托盤151、152可單獨地構成，也可由客戶托盤CT實現。

大致的情況是，經測試的半導體元件被分為多個等級而分類，對於若干等級(為了便於說明稱為“少量等級”)而言，被劃分有少量的半導體元件，而對於其他若干等級(為了便於說明稱為“多量等級”)而言，被劃分有多量的半導體元件。此時，在緩衝托盤151、152上安置測試結果被劃分為少量等級的半導體元件，在位於移入位置TP₁至TP₃的客戶托盤CT上安置被劃分為多量等級的半導體元件。

另外，半導體元件具有按照預定方式排列的多個電連接端子(針狀或球狀)。但是，根據需要新測試的半導體元件，會發生電連接端子的排列於測試機上的電連接端子的排列相差180度的情形。

因此，尤其在搬入用托盤裝載裝置111中，有必要考慮電連接到測試機上的半導體元件的連接方向而裝載客戶托盤。在此，由於將多個客戶托盤CT裝載到搬入用托盤裝載裝置111的作業是通過手動方式實現的，因此需要作業者對客戶托盤CT的裝載方向格外注意。如果客戶托盤CT以錯誤的裝載方向裝載到了搬入用托盤裝載裝置111，則半導體元件將以錯誤的狀態連接到測試機，因此會發生測試錯誤、半導體元件損傷以及測試損傷。

本發明的目的在於提供一種能夠引導客戶托盤的裝載方向的托盤裝載裝置。

根據本發明第一形態的半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置，包括：至少一個裝載引導器，引導待裝載的客戶托盤的裝載；至少一個支撐器，支撐根據所述裝載引導器的引導而被裝載的客戶托盤；方向識別器，識別出待裝載的客戶托盤的裝載方向。

所述半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置還可以包括固定部件，用於可裝卸地固定所述方向識別器。

所述半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置還可以包括移動器，用於移動所述方向識別器。

所述半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置還包括設置所述移動器的設置板，所述設置板上形成有用於引導所述移動器的移動的引導孔。

所述移動器包括：移動部件，由所述引導孔引導的同時能夠移動；結合部件，將所述移動部件可移動地結合於所述設置板。

所述移動部件具有被插入到所述引導孔的引導凸起，所述移動部件和所述結合部件隔著所述設置板在所述引導凸起部分相互結合。

所述移動器還包括固定部件，用於固定所述移動器的位置或解除固定。

根據本發明第二形態的半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置，包括：至少一個裝載引導器，引導待裝載的 客戶托盤的裝載；至少一個支撐器，支撐根據所述裝載引導器的引導而被裝載的客戶托盤；移動器，識別出待裝載的客戶托盤的裝載方向並可移動地設置。

所述半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置還包括設置所述移動器的設置板，所述設置板上形成有用於引導所述移動器的移動的引導孔。

所述移動器包括：移動部件，由所述引導孔引導的同時能夠移動；結合部件，將所述移動部件可移動地結合於所述設置板。

所述移動部件具有被插入到所述引導孔的引導凸起，所述移動部件和所述結合部件隔著所述設置板在所述引導凸起部分相互結合。

所述移動器還包括固定部件，用於固定所述移動器的位置或解除固定。

根據本發明，由於通過方向識別器識別客戶托盤的裝載方向，因此提高設備的可靠性。

進而，根據本發明，基於需要測試的半導體元件的種類，可通過簡單的操作移動方向識別器，據此變更客戶托盤的裝載方向，因此可提高分選機的使用率。

410、810、910‧‧‧托盤裝載裝置

411a至411h、811a至811h、911a至911d‧‧‧裝載引導器

412a至412d、812a至812d、912a至912d‧‧‧支撐器

413、813‧‧‧方向識別器

414‧‧‧固定部件

814‧‧‧設置板

GH‧‧‧引導孔

815‧‧‧移動器

815a、915a‧‧‧移動部件

GP‧‧‧引導凸起

815b‧‧‧結合部件

815c‧‧‧固定部件

圖1為通常的半導體元件測試用分選機的概略的平面圖。

圖2為應用了根據本發明的托盤裝載裝置的半導體 元件測試用分選機的概略的平面圖。

圖3為能夠裝載到根據本發明的托盤裝載裝置的客戶托盤的平面圖。

圖4為關於根據本發明第一實施例的托盤裝載裝置的概略的立體圖。

圖5至圖7為用於說明圖4的托盤裝載裝置的參照圖。

圖8為關於根據本發明第二實施例的托盤裝載裝置的概略的立體圖。

圖9為關於圖8的托盤裝置的主要部分的分解立體圖。

圖10和圖11為用於說明圖8的托盤裝載裝置的概略的剖視圖。

圖12為關於第二實施例的變形例的托盤裝載裝置的概略的立體圖。

圖13和圖14為用於說明圖12的托盤裝載裝置的概略的平面圖。

以下，參照附圖說明如上所述的基於本發明的優選實施例，且為了說明的簡潔性而儘量省略或者縮減背景技術中涉及的說明。

圖2為應用了根據本發明的托盤裝載裝置的測試分選機的示意性平面圖。

根據圖2的測試分選機200具有：多個托盤裝載裝置 111至116；一對加熱板221、222；一對穿梭板231、232；連接部分240；以及3個緩衝托盤251至253。

在圖2的測試分選機200中，一對加熱板221、222被設置為上下方向上具有高度差，從而可以朝前後方向交叉並往復移動，且一對穿梭板231、232將連接部分240置於中間而得到配置。由於這樣的加熱板221、222與穿梭板231、232的複數型構成而可以提高處理速度。關於圖2的測試分選機200的其餘構成或功能的說明與背景技術重複，因此予以省略。

當然，由於緩衝托盤251至253可用客戶托盤CT替代，因此其作為選擇性的構成的一點與前述內容相同。

圖3為關於可被裝載於根據本發明的托盤裝載裝置的客戶托盤CT的平面圖。

客戶托盤CT以行列形態具有可用於安置半導體元件的多個安置槽SS，而前端和後端具有一對方向識別要素AP，所述一對方向識別要素AP為了使作業者能夠識別裝載方向而有前端和後端的一部分分別朝前後方向突出。這樣的一對方向識別要素AP形成為朝一側偏移。

<關於托盤裝載裝置的第一實施例>

圖4為關於根據本發明的第一實施例的托盤裝載裝置410的示意性立體圖。

根據本實施例的托盤裝載裝置410包括：8個裝載引導器411a~411h、4個支撐器412a~412d、方向識別器413、以及固定部件414。

8個裝載引導器411a~411h為上下方向上長細的棒形 態。如在圖5的平面圖中所見，這種裝載引導器411a~411h兩兩成對，從而引導客戶托盤410的四角棱角部分。當然，只要能夠執行客戶托盤CT的裝載引導以及裝載維持功能，8個裝載引導器411a~411h就可以變更為多種多樣的形態。

4個支撐器412a~412d按照裝載引導器411a~411h的引導而在4個部分支撐所裝載的客戶托盤CT。在此，支撐器412a~412d只要能夠支撐客戶托盤CT就可以應用為多種多樣的個數以及形態(構成)。

方向識別器413為上下方向上長細的棒形態。這樣的方向識別器413引導客戶托盤CT的裝載方向。即，方向識別器413被設置於處在前方的符號為411b的裝載引導器與符號為411c的裝載引導器之間，並設置為相鄰於符號為411b的裝載引導器。

固定部件414固定方向識別器413的位置。本實施例中的固定部件414將方向識別器413以可拆卸的方式結合於符號為411b的裝載引導器，從而防止方向識別器413的任意的旋轉或移動。

因此，如圖5所示，方向識別器413只在客戶托盤CT的方向識別要素AP偏向符號為411c的裝載引導器側的狀態下允許客戶托盤CT的裝載，而在客戶托盤CT的方向識別要素AP如圖6所示地偏向符號為411b的裝載引導器側的狀態下則不允許裝載。

如果在客戶托盤CT的方向識別要素AP如圖6所示地偏向符號為411b的裝載引導器側的狀態下需要裝載，則可以 解開固定部件414而使方向識別器413從符號為411b的裝載引導器脫離，然後如圖7所示地將方向識別器413結合於符號為411c的裝載引導器，從而可以實現客戶托盤CT的適當的裝載。

<關於托盤裝載裝置的第二實施例>

圖8為關於根據本發明的第二實施例的托盤裝載裝置810的示意性立體圖，圖9為關於圖8的托盤裝載裝置810的主要部分的分解立體圖。

根據本實施例的托盤裝載裝置810包括：8個裝載引導器811a~811h、4個支撐器812a~812d、方向識別器813、設置板814以及移動器815。

8個裝載引導器811a~811h兩兩成對而引導客戶托盤CT的四角棱角部分。

4個支撐器812a~812d支撐裝載的客戶托盤CT。

方向識別器813引導客戶托盤CT的裝載方向。

設置板814是為了設置移動器815而配備。為此，設置板814上形成有用於移動器815的移動和設置的上下一對引導孔GH以及用於固定移動器815的位置的一對固定孔FH。一對引導孔GH朝左右方向延伸而形成，而一對固定孔FH在左右方向上留下間距而形成於一對引導孔GH之間。

移動器815是為了使方向識別器813朝符號為811b的裝載引導器側或者朝符號為811c的裝載引導器側移動而配備。移動器815包括移動部件815a、結合部件815b、固定部件815c以及彈簧815d。

移動部件815a具有向前方突出的上下一對引導凸起GP。一對引導凸起GP分別插入於位於設置板814的一對引導孔GH中。因此，引導凸起GP通過引導孔GH而被引導，從而可以使移動器815朝左右方向恰當地移動。這樣的移動部件815a上結合有方向識別器813。

結合部件815b是為了將移動部件815a可移動地結合於設置板814而配備。移動部件815a與結合部件815b將設置板814置於中間而在引導凸起GP所處的部分通過螺栓B相互結合。這樣的結合部件815b上形成有可用於使固定部件815c的後端通過的穿通孔TH。

固定部件815c的後端可通過穿通孔TH而被插入到設置板814的固定孔FH，或者借助於外力而從固定孔FH脫離。在固定部件815c的後端插入到固定孔FH的情況下移動器815的位置成為固定狀態，而在固定部件815c的後端從固定孔FH脫離的情況下成為移動器815能夠向左右方向移動的固定解除狀態。

當然，在圖9的分解立體圖中圖示為固定部件815c從結合部件815b分離，然而由於固定部件815c被設計為可進退地結合於結合部件815b，因此即使固定部件815c的後端從固定孔FH脫離之後，固定部件815c、結合部件815b以及移動部件815a也能夠以結合在一起的狀態移動。

彈簧815d對固定部件815c施加朝向後方的彈性力。

需注意，固定部件815c和彈簧815d等能夠以分度銷(index plunger)的形態實現模組化。

根據本實施例，如圖10的剖面圖所示，作業者將固定部件815c朝前方拉拽而使固定部件815b的後端從固定孔FH脫離，在此狀態下使移動器815朝符號為812b的裝載引導器側移動或者朝符號為812c的裝載引導器側移動，然後放開固定部件815c，從而可以簡便地設定移動器815的位置。當然，由於移動器815上結合有方向識別器813，因此借助於作業者而移動的移動器815將使方向識別器813移動。另外，如圖11所示，作業者的人力消失後的固定部件815c在彈簧815d的彈性力的作用下後退，並使其後端插入到固定孔FH，因此移動器815的位置將被固定。

<第二實施例的變形例>

第二實施例中，對於將方向識別器813設置在移動部件815a進行了說明，但根據本變形例，方向識別器可以被省略。

圖12為關於根據本變形例的托盤裝載裝置910的概略的立體圖。

根據本變形例的托盤裝載裝置910包括四個裝載引導器911a至911d、四個支撐器912a至912d、設置板914、移動器915。

四個裝載引導器911a至911d水準截面為“┐”形，各自分別引導客戶托盤CT的四角邊角部分。作為參考，在該變形例中，為了便於作業者從前面裝載客戶托盤CT的作業的便利性，使得符號911a和911b的裝載引導器的高度較短。

四個支撐器912a至912d、設置板914以及移動器915與第二實施例的四個支撐器812a至812d、設置板814、移動器815的結構相同。

只是，在本變形例中，移動器915的移動部件915a兼具有識別客戶托盤CT的裝載方向的功能。即，如圖13所示地在移動器915移動到右側的狀態下，方向識別要素AP偏向左側的客戶托盤CT可以適當地被裝載，但如圖14所示地方向識別要素AP偏向右側的客戶托盤CT則因移動部件915a妨礙裝載，因此能夠適當地識別出客戶托盤CT的裝載方向。

上面說明的托盤裝載裝置210、810、910可根據需要可選擇性地或均應用於搬入用托盤裝載裝置211、空的托盤裝載裝置212、213以及搬出用托盤裝載裝置214至216或者其他的托盤裝載裝置。

如上所述，通過參照附圖的實施例對本發明進行了具體說明，然而前述實施例僅僅是舉出本發明的優選示例而進行的說明，因此不能僅局限於上述的實施例來理解本發明，本發明的權利範圍應當以申請專利範圍以及其等價概念來理解。

810‧‧‧托盤裝載裝置

811a至811h‧‧‧裝載引導器

812a至812d‧‧‧支撐器

813‧‧‧方向識別器

814‧‧‧設置板

815‧‧‧移動器

GH‧‧‧引導孔

GP‧‧‧引導凸起

Claims (8)

1. 一種半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置，其特徵在於包括：至少一個裝載引導器，引導待裝載的客戶托盤的裝載；至少一個支撐器，支撐根據所述裝載引導器的引導而被裝載的客戶托盤；方向識別器，識別出待裝載的客戶托盤的裝載方向。
2. 如請求項1所述的半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置，其特徵在於，還包括固定部件，用於可裝卸地固定所述方向識別器。
3. 如請求項1所述的半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置，其特徵在於，還包括移動器，用於移動所述方向識別器。
4. 一種半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置，其特徵在於包括：至少一個裝載引導器，引導待裝載的客戶托盤的裝載；至少一個支撐器，支撐根據所述裝載引導器的引導而被裝載的客戶托盤；移動器，識別出待裝載的客戶托盤的裝載方向並可移動地設置。
5. 如請求項3或4所述的半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置，其特徵在於，還包括設置所述移動器的設置板，所述設置板上形成有用於引導所述移動器的移動的引導孔。
6. 如請求項5所述的半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝 置，其特徵在於，所述移動器包括：移動部件，由所述引導孔引導的同時能夠移動；結合部件，將所述移動部件可移動地結合於所述設置板。
7. 如請求項6所述的半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置，其特徵在於，所述移動部件具有被插入到所述引導孔的引導凸起，所述移動部件和所述結合部件隔著所述設置板在所述引導凸起部分相互結合。
8. 如請求項6所述的半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置，其特徵在於，所述移動器還包括固定部件，用於固定所述移動器的位置或解除固定。