KR101249018B1 - 이젝터 및 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템 - Google Patents

이젝터 및 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템 Download PDF

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전성현
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Abstract

본 발명의 이젝터는 인서트핀을 구비한 헤드부와, 헤드부와 아암에 의해 상호 연결되는 손잡이부와, 손잡이부에 연결되는 복수개의 링크로 이루어진 동작부로 이루어지며, 상기 헤드부의 인서트핀은 이젝트 블럭의 양측에 형성된 복수개의 고정홈의 하나에 삽입되어 고정된다. 또한, 본 발명의 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템은 이젝터와, 번인 보드랙이나 사이트 보드랙을 구비하고, 추가로 고정되거나 이동가능한 이젝트 블럭을 더 구비하게 된다.

Description

이젝터 및 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템{Ejector and Ejecting system using ejector}
본 발명은 이젝터 및 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템에 관한 것으로, 특히 테스트 보드 및 사이트 보드를 용이하게 유입/유출할 수 이젝터 및 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 번인검사는 반도체 집적 회로소자를 소비자에게 공급하기 전에 또는 시스템에 장착하기 전에 초기 불량소자를 찾아내기 위한 신뢰성 검사의 일종으로서, 웨이퍼에서 분리된 반도체 칩을 조립공정을 거쳐 패키지 한 다음에 진행하는 것이 일반적이다.
번인 검사장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 다수개의 반도체 소자(41)가 결합된 번인보드(40)는 그 후방에 콘텍엣지면(50)이 구비되고, 사각 박스형상의 번인보드랙(30)에 다수개의 번인보드(40)가 삽입된 후 상기 번인보드랙(30)이 번인장치의 피드쓰루기판(20)에 결합되어 번인보드(40)의 콘텍엣지면(50)이 피드쓰루기판(20)과 정확하게 결합되어 반도체 소자(41)의 불량 유무를 테스트하게 된다.
이때, 상기 번인보드(40)의 콘텍엣지면(50)과 메인보드(1)의 피드쓰루기판(20)이 결합하게 되는 데, 그 결합을 용이하게 하기 위해 피드쓰루기판(20)의 전방에는 가이드(10)가 결합되어 번인보드(40)의 콘텍엣지면(50)이 피드쓰루기판(20)과 정확하게 결합되도록 한다.
그런데, 상기 번인 검사장치는 수동으로 번인보드를 착탈하는 경우에 시험실내가 좁기 때문에 작업성이 불량하고 착탈조작이 용이하지 않은 문제점을 내포하고 있다.
이와 같은 종래의 번인보드(일종의 테스트 보드)들은 비교적 큰 체적과 상당한 중량을 가지고 있다. 따라서, 작업자가 상기 테스트 보드의 유입이나 유출의 교체나 수리 등을 위하여 테스트 보드를 테스트 챔버나 테스트 헤드로부터 분리하는 데에 힘이 들고 어려우며, 작업시간이 오래 걸리게 되어 생산량을 저하시키는 문제점이 있다.
한국공개특허 제2009-3755호(특허문헌 1)는 테스트 헤드의 측벽 상부에 형성된 가이드 홈에 삽입되며, 상기 가이드 홈과 접촉하는 받침점을 갖는 몸체부와; 상기 몸체부로부터 제1 방향으로 연장 형성되며, 상기 받침점으로부터 제1 거리만큼 이격된 힘점에 힘이 가해지는 레버와; 상기 테스트 헤드에 삽입된 테스트 보드의 일측부에 형성된 걸림턱과 접촉하도록 상기 몸체부로부터 제2 방향으로 연장 형성되며, 상기 받침점으로부터 상기 제1 거리보다 짧은 제2 거리만큼 이격된 작용점에 상기 힘이 작용되는 작용부로 구성되어 있다. 상기 선행기술은 테스트 보드의 걸림턱을 상부로 이동시키게 되어 테스트 보드를 테스트 헤드로부터 손쉽게 인출할 수 있다.
한국공개특허 제2009-3755호(공개일: 2009.01.12)
본 발명은 종래 기술의 이젝터의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 고속 테스트를 하기 위한 번인 보드를 번인 보드랙이나 사이트 보드랙에 용이하게 유입 및 유출시킬 수 있는 이젝터를 제공하는 점에 있다.
본 발명의 다른 목적은 번인 보드랙이나 사이트 보드랙에 이젝트 블럭을 적용하고 상기 이젝트 블럭에 이젝터를 설치하여 번인 보드를 번인 보드랙이나 사이트 보드랙으로부터 적은 힘으로 유입 및 유출시킬 수 있는 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템을 제공하는 점에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 이젝터는 인서트핀을 구비한 헤드부와; 상기 헤드부와 아암에 의해 상호 연결되는 손잡이부와; 상기 손잡이부에 연결되는 복수개의 링크로 이루어진 동작부로 이루어지며, 헤드부의 인서트핀은 이젝트 블럭의 양측에 형성된 복수개의 고정홈의 하나에 삽입되어 고정되는 점에 있다.
본 발명의 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템은 복수개의 반도체 소자가 설치된 번인보드를 수용하기 위하여 내측에 간격을 두고 형성된 복수개의 레일이 형성된 번인 보드랙과; 상기 번인 보드랙의 일측에 설치되며, 양측 단부에 고정홈이 간격을 두고 복수개 설치되는 이젝트 블럭과; 상기 이젝트 블럭에 형성된 고정홈에 끼워지도록 인서트핀을 갖는 헤드부와; 상기 헤드부와 아암에 의해 상호 연결되는 손잡이부와; 상기 손잡이부에 연결되는 복수개의 링크로 이루어진 동작부로 이루어지는 점에 있다.
본 발명의 이젝터를 이용한 다른 이젝팅 시스템은 복수개의 반도체 소자가 설치된 사이트 보드를 수용하기 위하여 내측에 간격을 두고 형성된 복수개의 레일이 형성된 사이트 보드랙과; 상기 사이트 보드랙의 일측에 설치되며, 양측 단부에 고정홈이 간격을 두고 복수개 설치되는 이젝트 블럭과; 상기 이젝트 블럭에 형성된 고정홈에 끼워지도록 인서트핀을 갖는 헤드부와; 상기 헤드부와 아암에 의해 상호 연결되는 손잡이부와; 상기 손잡이부에 연결되는 복수개의 링크로 이루어진 동작부로 이루어지는 점에 있다.
본 발명의 이젝터는 사용자가 테스트 보드나 사이트 보드를 직접 힘으로 수동으로 유입 및 배출하지 않게 되므로 용이하게 유입 및 유출할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템은 번인 보드랙이나 사이트 보드랙에 설치되거나 이동가능한 이젝트 블럭에 이젝터를 적용하게 되므로 보다 적은 힘으로 번인보드를 용이하게 유입 및 배출할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 종래의 번인 검사장치의 주요 구성을 개략적으로 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명의 번인 보드랙에 번인보드가 이젝터에 의해 설치된 상태를 나타낸 사시도,
도 3은 본 발명의 요부인 이젝터를 개략적으로 나타낸 단면도,
도 4 및 도 5는 본 발명의 요부인 이젝터를 이용하여 번인보드를 유입 및 유출시키는 동작 관계를 나타낸 단면도,
도 6은 본 발명의 사이트 보드랙에 번인보드가 이젝터에 의해 설치된 상태를나타낸 사시도이다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 이젝터 및 이젝터를 이용한 이젝팅시스템에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 이젝터(100)는 헤드부(110)와, 손잡이부(120) 및 동작부(130)로 크게 이루어지게 된다.
상기 헤드부(110)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 일측에 인서트핀(102)이 설치된다. 상기 인서트핀(102)은 이젝트 블럭(150)에 끼워지게 된다. 즉, 상기 헤드부(110)의 인서트핀(102)은 이젝트 블럭(150)의 양측에 형성된 복수개의 고정홈(152)의 하나에 삽입되어 고정되게 된다.
상기 손잡이부(120)는 헤드부(110)와 아암(112)에 의해 상호 연결된다. 상기 아암(112)은 일측이 핀(114)에 의해 헤드부(110)에 연결되고 타측이 핀(122)에 의해 손잡이부(120)에 연결된다, 상기 손잡이부(120)는 헤드부(110)에 설치된 핀(114)을 중심으로 좌,우로 이동 가능하게 설치된다.
상기 동작부(130)는 손잡이부(120)에 연결되는 복수개의 제1 내지 제3링크(132,134,136)를 구비하게 된다.
상기 제1 내지 제3 링크(132,134,136)에서, 제1링크(132)는 제2링크(134)와 고정되게 연결되어 있고, 제2 및 제3 링크(134,136)은 핀(144)에 의해 회동 가능하게 연결되며, 제3링크(136) 및 손잡이부(120)는 핀(154)에 의해 회동 가능하게 연결된다.
상기 제1 링크(132)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 일측에 걸림부(232)가 형성되고, 상기 걸림부(232)는 번인보드(240)에 형성된 핀(242)에 끼워지도록 구성되어 있다. 상기 번인보드(240)는 도 2에 도시된 바와 같이, 복수개의 반도체소자(241)가 내측에 설치되고, 사각형 양측 단부에 4개의 핀(242)이 설치되어 있다. 상기 4개의 핀(242)중 1개에 제1링크(132)의 걸림부(232)가 끼워지게 된다. 통상 이젝터(100)는 2개를 적용하게 되므로, 4개의 핀(242) 중 2개에 각기 제1링크(132)의 걸림부(232)가 끼워지게 된다. 헤드부(110)를 이젝트 블럭(150)에 고정한 상태에서, 제1링크(132)의 걸림부(232)를 핀(242)에 끼우게 된다.
한편, 본 발명의 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템은 도 2에 도시된 바와 같이, 번인 보드랙(230)과, 이젝트 블럭(150)과, 이젝터(100)로 구성되게 된다.
상기 번인 보드랙(230)은 직육면체 형태로 내측에 복수개의 반도체 소자(241)가 설치된 번인보드(240)를 복수개 수용할 수 있게 구성된다. 상기 번인 보드랙(230)의 내측에는 간격을 두고 복수개의 레일(234)이 양측으로 설치된다. 상기 레일(234)상에는 번인보드(240)가 이동 가능하게 설치된다. 상기 번인보드(240)는 200Mhz 이상의 고속 테스트가 되기 위해서는 기존의 엣지타입 보드로는 실현이 불가하고, 고속 테스트가 가능한 컨넥터를 이용한 보드 구조로 되어야 하므로 사람의 손으로는 유입/유출이 용이하지 않으므로 이젝터(100)를 이용하여 유입/유출하게 된다.
한편, 이젝트 블럭(150)은 번인 보드랙(230)의 일측에 설치된다. 상기 이젝트 블럭(150)은 번인 보드랙(230)에 고정하여 설치할 수도 있지만, 여기서는 별도로 구성된 이젝트 블럭(150)을 일예로 설명하기로 한다.
상기 이젝트 블럭(150)은 사각형 형태로 구성되고, 양측에는 세로 방향으로 일정한 간격을 두고 고정홈(152)이 각기 설치된다. 상기 이젝트 블럭(150)은 번인 보드랙(230)의 양측에 형성된 레일(234)에 끼워지는 안내부(260)를 갖는 체결부(270)를 구비하게 된다. 상기 안내부(260)는 번인 보드랙(230)의 레일(234)에 끼워져서 체결되게 된다. 그리고, 상기 체결부(270)는 도 2에 도시된 바와 같이, 이젝트 블럭(150)의 양측에 각기 간격을 두고 3개가 설치된 것을 나타냈지만, 사용자의 요구에 따라 그 개수는 변경할 수 있다.
상기 이젝터(100)는 전술한 바와 같이, 헤드부(110)와, 손잡이부(120) 및 동작부(130)로 구성된다. 상기 헤드부(152)는 돌출된 형태로 구성된 인서트핀(102)을 갖게 된다. 그리고, 손잡이부(120) 및 동작부(130)는 전술한 이젝터(100)의 설명란과 유사하므로 여기서는 상세한 설명을 생략하기로 한다.
본 발명의 이젝터를 이용한 다른 이젝팅 시스템은 도 6에 도시된 바와 같이, 사이트 보드랙(330)과, 이젝트 블럭(350) 및 이젝터(100)로 구성된다.
상기 사이트 보드랙(330)은 번인 테스트 장치(도시되지 않음)에서 전방에 설치되는 전술한 번인 보드랙(230)과 달리 후방에 설치되게 된다. 따라서, 사이트 보드랙(330)은 번인 보드랙(230)과 같이 이젝터(100)를 전방에 설치한 후 번인보드(240)를 유입 및 유출하는 것이 아니고, 후방에 설치된 이젝트 블럭(350)에 이젝터(100)를 후방에 설치한 후 사이트 보드(240)를 유입 및 유출하게 구성되어 있다. 따라서, 상기 사이트 보드랙(330)에서 사이트 보드(240)는 후방으로 유입 및 유출하게 된다. 상기 사이트 보드랙(330)은 전술한 번인 보드랙(230)과 마찬가지로 간격을 두고 복수개의 레일(234)이 형성되고, 상기 레일(234)에는 사이트 보드(240)가 이동할 수 있게 구성된다.
상기 이젝트 블럭(350)은 번인 보드랙(330)의 후방 일측에 고정되게 설치되고, 양측 단부에 고정홈(352)이 간격을 두고 설치된다.
상기 이젝터(100)는 전술한 실시예와 유사하게 구성되므로 여기서는 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이제, 상기와 같이 구성된 본 발명의 이젝터 및 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템의 동작 관계에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 이젝터(100)를 번인 보드랙(230)에 적용할 경우에는 번인 보드랙(230)의 전방에 이젝트 블럭(150)을 설치하고 이젝터(100)를 동작시키게 된다. 본 발명의 이젝터(100)는 사용자가 이젝트 블럭(150)을 번인 보드랙(230)의 전면에 부착하게 된다. 상기 이젝트 블럭(150)은 번인 보드랙(230)에 고정시킬 수도 있지만, 여기서는 이동 가능한 번인 보드랙(230)을 적용한 것에 대하여 설명하기로 한다.
사용자가 상기 이젝트 블럭(150)에 형성된 고정홈(152)에 이젝터(100)의 헤드부(110)에 형성된 인서트 핀(102)을 삽입하게 된다. 그리고, 동작부(130)의 제1 링크(132)에 형성된 걸림부(232)를 번인보드(240)의 양측 단부에 형성된 핀(242,242)중의 하나에 끼우게 된다. 여기서, 이젝터(100)는 2개를 적용하게 되므로 번인보드(240)의 전방부에 형성된 2개의 핀(242,242)에 하나의 걸림부(232)가 각기 끼워지게 된다.
이와 같이, 이젝터(100)의 헤드부(110)는 이젝트 블럭(150)에 고정되고 동작부(130)의 제1링크(132)의 걸림부(232)가 핀(242)에 끼워진 상태에서 사용자가 손잡이부(120)를 도 4에 도시된 바와 같이, 사용자측으로 당기게 되면 번인보드(240)가 앞으로 전진하여 유출되게 된다(도 4에서, 화살표 방향으로 이젝터(100)의 손잡이(120)를 동작시키면 번인보드(240)가 두꺼운 화살표 방향으로 유출된다). 이때, 사용자가 상기 번인보드(240)를 소정의 위치로 이동시킬 수 있게 된다.
이와 반대로 사용자가 도 5에 도시된 바와 같이, 이젝터(100)의 헤드부(110)가 이젝트 블럭(150)에 고정되고, 동작부(130)의 제1링크(132)의 걸림부(232)가 핀(242)에 끼워진 상태에서 손잡이부(120)를 반대방향으로 밀게 되면 번인보드(240)가 번인 보드랙(230)의 안쪽으로 유입되게 된다(도 5에서, 화살표 방향으로 이젝터(100)의 손잡이(120)를 동작시키면 번인보드(240)가 두꺼운 화살표 방향으로 유입된다). 즉, 상기 이젝터(100)는 사용자가 손잡이부(120)의 이동방향에 따라 번인보드(240)를 유입 및 유출시킬 수 있게 구성되어 있다.
한편, 본 발명의 이젝터(100)를 전술한 실시예와 달리 번인 보드랙(230)에 적용하지 않고 사이트 보드랙(330)에 적용하는 경우에는 사이트 보드(240)를 후방에서 유입 및 유출하게 된다.
상기 사이트 보드랙(330)은 도 6에 도시된 바와 같이, 후방에 이젝트 블럭(150)이 설치된다. 여기서, 상기 이젝트 블럭(150)은 고정된 것을 일 예로 설명한다.
상기 이젝트 블럭(150)의 고정홈(152)에 이젝터(100)의 헤드부(110)에 형성된 인서트핀(102)을 끼우게 된다. 그리고, 동작부(130)의 제1링크(132)에 형성된 걸림부(232)를 사이트 보드(240)의 양측 단부에 형성된 핀(242,242)중 하나에 끼우게 된다. 상기 이젝터(100)는 사이트 보드(240)를 꺼내기 위하여 2개를 적용하기 때문에 걸림부(232)는 번인보드 양측 단부에 형성된 전체 4개의 핀(242,242)중 2개의 핀(242)에 각기 끼워지게 된다.
이와 같은 상태에서, 사용자가 이젝터(100)의 손잡이부(120)를 외측으로 벌리게 되면 사이트 보드랙(330)에 수납된 사이트 보드(240)가 외부로 유출되게 된다. 상기 손잡이부(120)는 헤드부(110)의 인서트핀(102)이 이젝트 블럭(150)에 대하여 작용점으로 작용하여 손잡이부(120)에 전달된 힘이 작용점에 전달되어 적은 힘으로 사이트 보드(240)를 꺼낼 수 있다. 여기서, 제1링크(132)에 형성된 걸림부(232)는 핀(242)을 잡아서 안내하는 역할을 하게 된다.
한편, 상기와 반대로 사이트 보드(240)를 사이트 보드랙(330)의 내측으로 유입하게 될 때는 전술한 설명과 반대로 동작시키게 되면, 사이트 보드(240)를 사이트 보드랙(330)의 내측으로 유입시킬 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 이젝터는 이젝팅 시스템에 적용할 수 있으며, 번인보드를 번인 보드랙이나 사이트 보드랙에 적은 힘으로 유입 및 유출시킬 수 있다.
본 발명의 이젝터 및 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템은 테스트 보드나 사이트 보드가 적용되는 번인 테스트 장치와 같은 반도체 장비는 물론 다양한 종류의 보드를 유입 및 유출하는 장비 분야에 널리 적용될 수 있다.
100: 이젝터 110: 헤드부
120: 손잡이부 130: 동작부
132,134,136: 제1 내지 제3링크 150: 이젝트 블럭
230: 번인 보드랙 234: 레일
240: 사이트 보드 242: 핀
260: 안내부 270: 체결부재
330: 사이트 보드랙 350: 이젝트 블럭

Claims (7)

  1. 인서트핀을 구비한 헤드부와;
    상기 헤드부와 아암에 의해 상호 연결되는 손잡이부와;
    상기 손잡이부에 연결되는 복수개의 링크로 이루어진 동작부로 이루어지며,
    상기 헤드부의 인서트핀은 이젝트 블럭의 양측에 형성된 복수개의 고정홈의 하나에 삽입되어 고정되며,
    상기 동작부의 복수개의 링크는 제1 내지 제3 링크이며, 제1링크는 일측에 걸림부가 형성되고, 상기 걸림부는 번인보드에 형성된 핀에 끼워지는 것을 특징으로 하는 이젝터.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 복수개의 반도체 소자가 설치된 번인보드를 수용하기 위하여 내측에 간격을 두고 형성된 복수개의 레일이 형성된 번인 보드랙과;
    상기 번인 보드랙의 일측에 설치되며, 양측 단부에 고정홈이 간격을 두고 복수개 설치되는 이젝트 블럭과;
    상기 이젝트 블럭에 형성된 고정홈에 끼워지도록 인서트핀을 갖는 헤드부와;
    상기 헤드부와 아암에 의해 상호 연결되는 손잡이부와;
    상기 손잡이부에 연결되며, 복수개의 링크로 이루어진 동작부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이젝트 블럭은 번인 보드랙의 양측에 형성된 레일에 끼워지는 안내부를 갖는 체결부를 구비하고, 상기 체결부는 이젝트 블럭의 양측에 적어도 한 개 이상 설치되는 것을 특징으로 하는 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템.
  6. 복수개의 반도체 소자가 설치된 사이트 보드를 수용하기 위하여 내측에 간격을 두고 형성된 복수개의 레일이 형성된 사이트 보드랙과;
    상기 사이트 보드랙의 일측에 설치되며, 양측 단부에 고정홈이 간격을 두고 복수개 설치되는 이젝트 블럭과;
    상기 이젝트 블럭에 형성된 고정홈에 끼워지도록 인서트핀을 갖는 헤드부와;
    상기 헤드부와 아암에 의해 상호 연결되는 손잡이부와;
    상기 손잡이부에 연결되는 복수개의 링크로 이루어진 동작부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 이젝트 블럭은 사이트 보드랙의 일측에 고정되게 설치되는 것을 특징으로 하는 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템.
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