JP3067005B2 - テストトレイ用位置決めストッパ - Google Patents

テストトレイ用位置決めストッパ

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JP3067005B2 JP6171913A JP17191394A JP3067005B2 JP 3067005 B2 JP3067005 B2 JP 3067005B2 JP 6171913 A JP6171913 A JP 6171913A JP 17191394 A JP17191394 A JP 17191394A JP 3067005 B2 JP3067005 B2 JP 3067005B2
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    • B23Q7/14—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting co-ordinated in production lines
    • B23Q7/1426—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting co-ordinated in production lines with work holders not rigidly fixed to the transport devices
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    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体試験装置におい
て、デバイス同時試験数の選択の範囲を増加させるため
のテストトレイ用位置決めストッパに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】被試験デバイスをテストトレイ１０に搭
載し、そのテストトレイ１０を半導体試験装置のテスト
ヘッドの上部に搬送し、複数デバイスを同時試験する装
置は従来より実現されている。図３に従来のテストトレ
イ１０と位置決めストッパ１３の関係を示す。テストト
レイ１０には、例えば６４個の被試験デバイスが搭載さ
れている。テストトレイ１０は、図３の「テストトレイ
進行方向」に搬送され、テストチェンバ内でストッパＡ
１１及びストッパＢ１２に、平面部１４が当たり、ピッ
チＤの差をもって２箇所に位置決めできる。つまり、テ
ストトレイ１０が、位置決めストッパ１３方向に移動
し、ストッパＡ１１に平面部１４が当たり、最初の位置
決めができる。続いて、ストッパＡ１１を位置決めスト
ッパ内に格納する動作ＯＦＦを実行し、ストッパＡ１１
を後退させる。この結果、テストトレイ１０は、更に移
動し、ストッパＢ１２に平面部１４が当たり、２つ目の
位置決めができる。
【０００３】図４は、２つの被試験デバイスをテストす
るテストチェンバを使用し、ピッチＤの間隔で２つのス
トッパＡ１１及びストッパＢ１２を設けたときの被試験
デバイスの配置を示す。ストッパＡ１１及びストッパＢ
１２により停止する位置で、それぞれ１６個の被試験デ
バイスが試験され、１つのチェンバで３２個、２つのチ
ェンバで合計６４個の被試験デバイスを試験することが
できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、１つの
チェンバ内では、ストッパの数だけしか停止位置が選べ
ないため、１度の停止で試験する被試験デバイスの数を
多くしなければならない。そこで、１度の停止で試験す
る被試験デバイスの数を少なくするためには、１つのチ
ャンバ内での停止位置の数を増やす必要がある。その方
法として、ストッパの数を増やすことが考えられる。し
かし、位置決めストッパ１３を増やすと、それだけ機構
部が増加し、大型化するという問題になる。本発明は、
機構部が増加したり、必要な空間を増加することなく、
１つのチェンバ内での停止位置を増やすテストトレイ用
位置決めストッパを実現することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、被試験デバイスを搭載するテス
トトレイのストッパ側側面に１つの切り欠き凹部を設け
ている。位置決めストッパには２つのストッパが構成さ
れ、テストトレイの前端から切り欠き凹部の後端までの
距離を２つのストッパ間の距離の２倍にしている。切り
欠き凹部は複数であってもよく、ストッパも少なくとも
１つあればよい。その結果、テストトレイの停止数は、
切り欠き凹部の数にテストトレイ前端の１を加えた数と
ストッパの数を掛け合わせた値になる。
【０００６】
【作用】テストトレイの前端から切り欠き凹部の後端ま
での距離を２つのストッパ間の距離の２倍にすること
で、テストトレイをストッパ間の距離をおいて４位置で
停止できる。
【０００７】
【実施例】図１に１つのチェンバ内で停止位置を４箇所
にする場合を示す。この場合、位置決めストッパ１３
は、従来と同じものである。従来のものとの違いは、テ
ストトレイ２０のトレイ搬送方向と平行の位置決めスト
ッパ１３側側面に、切り欠き凹部２１を設けたことであ
る。この切り欠き凹部２１を設けたことにより、Ａ位置
からＤ位置までの４位置でテストトレイ２０を停止させ
ることができるようになった。
【０００８】図１を参照し、ストッパＡ１１またはスト
ッパＢ１２が突出してテストトレイ２０を停止させる状
態をＯＮ、ストッパＡ１１またはストッパＡ１２が後退
してテストトレイ２０が通過し、停止させない状態をＯ
ＦＦとして、４位置で停止する状態を説明する。 （ａ） Ａ位置 ストッパＡ１１、ストッパＢ１１共にＯＮにし、テスト
トレイ２０の前端がストッパＡ１１に当たってテストト
レイ２０が停止する。 （ｂ） Ｂ位置 Ａ位置でストッパＡ１１をＯＦＦし、テストトレイ２０
が移動し、テストトレイ２０の前端がストッパＢ１２に
当たってテストトレイ２０が停止する。 （ｃ） Ｃ位置 Ｂ位置でストッパＡ１１をＯＮし、ストッパＢ１２をＯ
ＦＦする。テストトレイ２０が移動し、切り欠き凹部２
１の後端がストッパＡ１１に当たってテストトレイ２０
が停止する。 （ｄ） Ｄ位置 Ｃ位置でストッパＢ１２をＯＮし、ストッパＡ１１をＯ
ＦＦする。テストトレイ２０が移動し、切り欠き凹部２
１の後端がストッパＢ１２に当たってテストトレイ２０
が停止する。この後、テストトレイ２０を次のテストチ
ェンバへ移動させるため、ストッパＡ１１及びストッパ
Ｂ１２を共にＯＦＦする。
【０００９】図２は、１テストチェンバ内で、テストト
レイ２０が４位置で停止する場合の、各停止位置と被試
験デバイスの関係を示す。この場合、各停止位置で８個
の被試験デバイスを試験することで、各チェンバ内で３
２個を試験でき、２つのチェンバを合わせて６４個の被
試験デバイスを試験できる。
【００１０】テストトレイ２０の側面に１つの切り欠き
凹部２１を入れる方法を拡大して、２つの切り欠き、更
に多数の切り欠きを入れることができれば、その切り欠
き凹部２１の数及びテストトレイ２０前端の１を加えた
数とストッパの数を掛け合わせた数の位置でテストトレ
イ２０を停止させることができる。
【００１１】また、テストトレイ２０の前端から切り欠
き凹部２１の後端の距離ＥをストッパＡ１１からストッ
パＢ１２までの距離Ｄの２倍にすることで、テストトレ
イ２０が一定の距離Ｄを移動する毎に停止することがで
きる。また、上記Ｅの距離を変更することで、違った間
隔でテストトレイ２０を停止させることも可能である。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、機構部を増加させたり、必要な空間を増加
することなく、１つのチェンバ内での停止位置を増やす
ことができる。その結果、１回の停止で試験する被測定
デバイスの数を少なくでき、また、従来と同じ回数停止
することも可能であるため、１回に試験する被測定デバ
イスの数の選択の幅を広くでき、自由度の高い半導体試
験装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例を示す説明図である。
【図２】本発明の１例で、１テストチェンバ内で、テス
トトレイが４位置で停止する場合の説明図である。
【図３】従来のテストトレイと位置決めストッパの関係
を示す説明のための斜視図である。
【図４】従来の１テストチェンバ内で、テストトレイが
２位置で停止する場合の説明図である。
【符号の説明】
１０、２０ テストトレイ １１ ストッパＡ １２ ストッパＢ １３ 位置決めストッパ １４ 平面部 １５ 位置センサ ２１ 切り欠き凹部

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被試験デバイスを搭載するテストトレイ
    （２０）の位置決めストッパ（１３）側側面に１つの切
    り欠き凹部（２１）を設け、 テストトレイ（２０）の前端及び切り欠き凹部（２１）
    の後端でテストトレイ（２０）を停止させる２つのスト
    ッパを構成した位置決めストッパ（１３）を設け、 テストトレイ（２０）の前端から切り欠き凹部（２１）
    の後端までの距離を２つのストッパの距離の２倍として
    切り欠き凹部（２１）を設けた、 以上を具備することを特徴としたテストトレイ用位置決
    めストッパ。
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