KR20080058562A - 테스트 핸들러용 트레이 이송장치 - Google Patents

테스트 핸들러용 트레이 이송장치 Download PDF

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KR20080058562A
KR20080058562A KR1020060132374A KR20060132374A KR20080058562A KR 20080058562 A KR20080058562 A KR 20080058562A KR 1020060132374 A KR1020060132374 A KR 1020060132374A KR 20060132374 A KR20060132374 A KR 20060132374A KR 20080058562 A KR20080058562 A KR 20080058562A
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이진환
공근택
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세크론 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체소자가 안착되는 트레이를 픽업부에 의해서 다수개의 수납부에 로딩/언로딩시키는 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 관한 것으로, 상기 픽업부는 구동부와, 상기 구동부의 동작에 따라 X축 방향으로 왕복운동되는 한 쌍의 위치이동바, 및 상기 위치이동바와 힌지로 연결되고 상기 트레이를 픽업하고 해제하는 핑거를 포함하는 것이 특징이다.
본 발명에 의하면, 픽업부에 구비된 핑거의 동작을 최소의 위치이동만으로하여 트레이를 픽업하고 해제할 수 있다.
Figure P1020060132374
테스트, 핸들러, 이송, 픽업, 트레이, 공급, 핑거

Description

테스트 핸들러용 트레이 이송장치{Tray transfer device for Test Handler}
도 1은 종래의 테스트 핸들러 구성의 일예를 개략적으로 나타낸 도면,
도 2는 도 1의 테스트 핸들러에 구비되어 트레이를 로딩/언로딩시키는 픽업부를 도시한 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 A부의 확대도,
도 4는 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치(픽업부)의 사시도,
도 5는 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치의 평면도,
도 6은 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치가 동작된 상태를 도시한 평면도,
도 7은 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치가 트레이를 픽업한 상태의 사시도,
도 8은 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치가 트레이를 픽업한 상태의 평면도,
도 9는 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치가 설치된 상태의 측면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 픽업부 110a,110b : 구동부
111a,111b : 실린더 112a,112b : 피스톤로드
113a,113b : 돌출부재 114a,114b : 동력전달부재
120a,120b : 위치이동바 130a,130b,130c,130d : 연결부재
131a,131b,131c,131d : 힌지 140a,140b,140c,140d : 핑거
141a,141b,141c,141d : 수직부재 142a,142b,142c,142d : 수평부재
143a,143b,143c,143d : 경사면 144a,144b,144c,144d : 안착턱
150a,150b,150c,150d : 가이드블럭 160a,160b,160c,160d : 이동블럭
170a,170b,170c,170d : 회동안내부재 171a,171b,171c,171d : 몸체
172a,172b,172c,172d : 상부회동핀 173a,173b,173c,173d : 하부회동핀
200 : 베이스
본 발명은 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 관한 것으로서, 테스트 전ㆍ후의 반도체소자가 안착된 커스터머 트레이를 다수개의 수납부에 로딩/언로딩시키는 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 패키지의 제조공정은 크게 웨이퍼(Wafer)의 불량을 체크하는 원자재 검사, 웨이퍼를 절단하여 반도체 칩을 낱개로 분리하는 소잉(Sawing)공정, 낱개로 분리된 반도체 칩을 리드 프레임(Lead frame)의 탑재판에 부착시키는 다이본딩(Die Bonding)공정, 반도체 칩 상에 구비된 칩 패드와 리드 프레임의 리드 를 와이어로 연결시켜주는 와이어본딩(Wire Bonding)공정, 반도체 칩의 내부회로와 그 외의 구성부품을 보호하기 위하여 봉지재로 외부를 감싸는 몰딩(Molding)공정, 리드와 리드를 연결하고 있는 댐바를 커팅하는 트림공정 및 리드를 원하는 형태로 구부리는 포밍(Foaming)공정, 상기 공정을 거쳐 완성된 패키지의 불량을 검사하는 공정으로 이루어진다. 여기서, 상기와 같은 반도체 패키지를 자동으로 테스트하는데 사용되는 장치가 테스트 핸들러(Handler)이다.
이러한 테스트 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 온도상태의 환경을 조성하여 상기 반도체소자 및 모듈 등이 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.
첨부된 도 1은 반도체소자를 테스트하는 핸들러 구성의 일예를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 테스트 핸들러에 구비되어 트레이를 로딩/언로딩시키는 픽업부를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 A부의 확대도이다.
도시된 도 1에서 보는 바와 같이, 테스트 핸들러의 전방부에는 트레이가 로딩/언로딩되는 수납부(10)가 설치된다. 또한, 상기 수납부(10)는 로딩부스택커(11)와 언로딩스택커(12)로 구성되고, 상기 로딩스택커(11)는 테스트할 반도체소자들이 다수개 수납되어 있는 커스터머 트레이들이 적재되는 것이다.
또한, 상기 언로딩스택커(12)는 로딩스택커(11)의 일 측부에 구비되는데, 테스트가 완료된 반도체소자들이 테스트 결과에 따라 분류되어 적재된 커스터머 트레 이는 상기 언로딩스택커(12)에 수납된다.
그리고, 상기 핸들러의 중간 부분의 양 측부에는 상기 로딩스택커(11)로부터 이송되어 온 반도체소자들을 일시적으로 장착하는 복수개의 버퍼(13)가 설치되어 있다. 이들 버퍼(13) 사이에는 테스트할 반도체소자를 이송하여 테스트 트레이(T)에 재장착하는 작업과 테스트 트레이(T)의 테스트 완료된 반도체소자를 버퍼(13)로 반송하여 장착하는 작업이 이루어지게 되는 교환부(14)가 설치되어 있다.
상기 로딩스택커(11) 및 언로딩스택커(12)가 배치된 핸들러 전방부와, 상기 교환부(14) 및 버퍼(13)에 배치된 핸들러의 중간부 사이에는 X-Y축으로 선형 운동하며 반도체 소자들을 픽업하여 이송하는 제 1픽커(15)(picker)와 제 2픽커(16)가 각각 설치된다.
상기 제 1픽커(15)는 로딩스택커(11) 및 언로딩스택커(12)와 버퍼(13) 사이를 이동하며 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 역할을 하고, 상기 제 2픽커(16)는 X축 방향으로 이동하면서 버퍼(13)과 교환부(14)의 반도체 소자들을 픽업하여 이송하는 역할을 한다.
이러한 상기 핸들러의 구성 및 작용에 대한 상세한 설명은 대한민국 특허 등록번호 제031280호와 제0551996호를 참조하도록 하고 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 첨부된 도 2에서 보는 바와 같이, 상기 테스트 핸들러에는 픽업부(20a,20b)가 구비되는데, 상기 픽업부(20a,20b)는 수직 방향으로 승강되는 한 쌍의 픽업부(20a,20b)로 구비된다. 이 픽업부(20a,20b)는 상기 로딩스택커(11)와 언 로딩스택커(12) 내에서 승강되어 반도체소자가 안착된 커스터머 트레이 및 반도체소자가 안착되지 않은 빈 트레이를 승강시키는 것이다.
즉, 상기 픽업부(20a,20b)는 상기 로딩스택커(11)에 적재된 트레이를 픽업하여 상기 버퍼(13)로 이송하고, 테스트가 완료된 트레이를 픽업한 후 상기 언로딩스택커(12)에 적재시키게 된다. 그런데, 상기 픽업부(20a,20b)가 상기 트레이를 픽업하고 해제할 때, 그 양측에 각각 구비된 핑거(P1,P2)가 양측 방향으로 이동되어 다른 부재들과의 간섭을 받게 되는 문제점이 있었다.
즉, 도시된 도 3에서 보는 바와 같이, 한 쌍의 상기 픽업부(20a,20b) 사이에서 상기 핑거(P1,P2)들이 교차되지 않도록 하기 위해서 상기 픽업부(20a,20b)를 각각 제어해야만 하고, 상기 핑거(P1,P2)가 동작될 때 상기 수납부(10)에 구비된 다수의 부재들과 접촉되지 않도록 하기 위해서 서로 인접된 위치에 구비된 핑거(P1,P2)의 동작을 최소화해야만 했다.
이러한 문제점을 해결하기 위해서는 한 쌍의 상기 픽업부(20a,20b)의 간격을 넓게 해야하는데, 이러한 경우에는 테스트 핸들러의 소형화 구현을 어렵게 하는 문제점이 발생되는 것이다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 픽업부에 구비된 핑거의 동작을 최소의 위치이동만으로도 트레이를 픽업하고 해제할 수 있는 테스트 핸들러용 트레이 이송장치를 제공하는 데 있다.
또한, 핑거를 직선운동의 방식에서 회동운동의 방식으로 하여 한 쌍의 픽업 부와의 간격을 최적화할 수 있는 테스트 핸들러용 트레이 이송장치를 제공하는 데 다른 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서, 반도체소자가 안착되는 트레이를 픽업부에 의해서 다수개의 수납부에 로딩/언로딩시키는 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치는, 픽업부는 구동부; 상기 구동부의 동작에 따라 X축 방향으로 왕복운동되는 한 쌍의 위치이동바; 및 상기 위치이동바와 힌지로 연결되고, 상기 트레이를 픽업하고 해제하는 핑거;를 포함하는 것이 특징이다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 있어서, 상기 픽업부는, 상기 구동부가 고정될 수 있도록 베이스;가 구비된다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 있어서, 상기 픽업부는, 상기 베이스의 상면에 설치되는 가이드블럭; 및 상기 가이드블럭에 대하여 슬라이딩되고, 일단이 상기 위치이동바와 결합되는 이동블럭;이 더 포함된다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 있어서, 상기 구동부는, 피스톤로드가 구비된 실린더; 및 상기 피스톤로드의 일부를 수용한 상태로 상기 위치이동바에 결합되는 동력전달블럭;이 더 포함된다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 있어서, 상기 픽업부는, 상기 핑거가 상기 위치이동바의 높이보다 낮게 위치되도록 연결되는 연결부재;가 더 포함된다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 있어서, 상기 연결부재는, 상 기 위치이동바에서 외측 방향으로 절곡된다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 있어서, 상기 연결부재는, 절곡된 모서리 부분에 힌지로 결합되고, 하측은 상기 베이스에 삽입되어 회동되는 회동안내부재;가 더 포함된다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 있어서, 상기 핑거는, 상기 핑거는 상기 회동안내부재를 중심으로 호의 형상을 가지며 회동된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치의 구성 및 작용을 설명하도록 한다.
도시된 도 4와 도 5에서 보는 바와 같이, 상기 테스트 핸들러용 트레이 이송장치는 픽업부(100)가 구비되어 반도체소자가 안착 된, 또는 상기 반도체소자가 안착되는 커스터머 트레이(T)를 로딩/언로딩시키게 된다. 또한, 상기 픽업부(100)는 별도의 승강기 및 왕복운동수단에 의해 연결된다. 즉, 상기 픽업부(100)는 다수개의 수납부 중 반도체소자가 안착된 커스터머 트레이(T)가 적재되는 로딩부에서 상기 커스터머 트레이(T)를 개별적으로 픽업하여 상승된 후, 상기 왕복운동수단에 의해서 테스트를 수행한 트레이(T)를 언로딩부의 수납부로 이송시키게 되는 것이다.
이러한 상기 픽업부(100)는 구동부(110a,110b), 위치이동바(120a,120b), 연결부재(130a,130b,130c,130d), 핑거(140a,140b,140c,140d), 가이드블럭(150a,150b,150c,150d), 이동블럭(160a,160b,160c,160d)으로 크게 구성된다.
상기 구동부(110a,110b)는 상기 이송장치에 구비되는 베이스(200)의 상면에 한 쌍으로 설치된다. 그리고, 상기 구동부(110a,110b)는 모터 및 실린더(111a,111b)로 구비될 수 있으나, 도시된 도면에서는 피스톤로드(112a,112b)가 구비된 실린더(111a,111b)로 도시하였다. 또한, 상기 구동부(110a,110b)는 상기 베이스(200)의 중심부에 위치되고, 상기 피스톤로드(112a,112b)가 각각 상기 베이스(200)의 양측 방향을 향하도록 배치된다. 그리고, 상기 피스톤로드(112a,112b)의 끝단에는 걸림턱이 형성된 돌출부재(113a,113b)가 결합된다.
한편, 상기 위치이동바(120a,120b)는 한 쌍으로 구비되며, 상기 베이스(200)의 양측에 각각 위치된다. 이 위치이동바(120a,120b)는 서로 마주보는 형태로 각각 상기 구동부(110a,110b)에 연결된다. 즉, 상기 피스톤로드(112a,112b)에 결합된 돌출부재(113a,113b)가 상기 위치이동바(120a,120b)에 결합되는 것이다. 그러나, 도시된 도면에서는 별도의 동력전달블럭(114a,114b)이 구비되어 상기 구동부(110a,110b)와 상기 위치이동바(120a,120b)를 결합시키도록 하였다. 상기 동력전달블럭(114a,114b)은 상기 위치이동바(120a,120b)의 중심부에 각각 결합되고, 그 내측면에는 상기 돌출부재(113a,113b)와 대응되는 홈이 형성된다. 그리고, 상기 돌출부재(113a,113b)가 상기 홈에 삽입된 상태로 연결되는 것이다.
상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)는 상기 위치이동바(120a,120b)의 양 끝단에 위치된다. 즉, 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)는 하나의 상기 위치이동바(120a,120b)에 각각 2개씩 구비되고, 90°절곡된 형상을 갖는다. 여기서, 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)의 절곡된 방향은 상기 위치이동바(120a,120b)의 외측 방향으로 각각 절곡되어 돌출되는 것이다. 뿐만 아니라, 상기 위치이동 바(120a,120b)와 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)는 힌지(131a,131b,131c,131d)로 연결되며, 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)의 하면이 상기 위치이동바(120a,120b)의 상면에 밀착된다. 또한, 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)는 그 외측면이 하측 방향으로 절곡되는 형상을 갖는다. 이는 후술되는 핑거(140a,140b,140c,140d)가 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)에 용이하게 결합되도록 하기 위한 것이다.
또한, 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)의 모서리부에는 회동안내부재(170a,170b,170c,170d)가 연결된다. 상기 회동안내부재(170a,170b,170c,170d)는 몸체(171a,171b,171c,171d), 상부회동핀(172a,172b,172c,172d), 하부회동핀(173a,173b,173c,173d)으로 구성된다. 상기 몸체(171a,171b,171c,171d)는 그 상면이 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)의 하면에 밀착되고, 상기 상부회동핀(172a,172b,172c,172d)은 상기 몸체(171a,171b,171c,171d)와 일체로 형성되어 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)에 대하여 회동될 수 있도록 구비된다. 즉, 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)에는 회동안내홀이 형성되고, 상기 상부회동핀(172a,172b,172c,172d)이 상기 회동안내홀에 삽입된 상태로 구비되는 것이다. 그리고, 상기 하부회동핀(173a,173b,173c,173d)은 상기 몸체(171a,171b,171c,171d)의 하면에 일체로 형성되고, 전술되어진 베이스(200)에 삽입되는 것이다.
한편, 상기 핑거(140a,140b,140c,140d)는 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)의 개수와 동일하게 구비되고, 각각 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)에 하나씩 연결된다. 상기 핑거(140a,140b,140c,140d)는 전술되어진 커스터머 트레이(T)를 실질적으로 픽업하고 해제하는 역할을 하는 것이다. 이 핑거(140a,140b,140c,140d)는 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)에 결합되는 수직부재(141a,141b,141c,141d)와, 상기 수직부재(141a,141b,141c,141d)와 일체로 형성되어 횡 방향으로 구비된 수평부재(142a,142b,142c,142d)로 구성된다.
상기 수평부재(142a,142b,142c,142d)는 상기 수직부재(141a,141b,141c,141d)에서 90°절곡된 형상을 갖는다. 그리고, 상기 수평부재(142a,142b,142c,142d)는 그 내측면에 경사면(143a,143b,143c,143d)과 안착턱(144a,144b,144c,144d)이 형성된다. 상기 경사면(143a,143b,143c,143d)과 상기 안착턱(144a,144b,144c,144d)은 상기 수직부재(141a,141b,141c,141d)의 하측부에서 상기 수평부재(142a,142b,142c,142d)의 측면으로 갈수록 점차적으로 작아지는 경사를 갖는다. 이 경사면(143a,143b,143c,143d)과 안착턱(144a,144b,144c,144d)이 상기 커스터머 트레이(T)의 측면과 하면 일부분을 지지해주는 것이다.
상기 가이드블럭(150a,150b,150c,150d)은 베이스(200)의 상면에 고정된 상태로 구비된다. 이 가이드블럭(150a,150b,150c,150d)은 구동부(110a,110b)의 양측에 각각 위치되도록 4개로 구성된다. 상기 가이드블럭(150a,150b,150c,150d)은 상기 구동부(110a,110b)가 설치된 방향과 동일한 방향으로 배치되는 것이다.
상기 이동블럭(160a,160b,160c,160d)은 상기 가이드블럭(150a,150b,150c,150d)에 대하여 왕복운동되는 것으로서, 양측 끝단은 각각 전술되어진 위치이동바(120a,120b)에 결합된다. 또한, 상기 이동블럭(160a,160b,160c,160d)과 상기 가이드블럭(150a,150b,150c,150d)에는 각각 가이 드홈과 가이드돌기가 구비되어 상기 이동블럭(160a,160b,160c,160d)의 위치 이동이 구현되는 것이다.
이상과 같이 구성된 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치의 사용상태를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 반도체소자의 테스트를 수행하기 위해서는 다수개의 안착홈이 구비된 커스터머 트레이(T)에 상기 반도체소자가 안착된다. 이러한 커스터머 트레이(T)는 약 40개 정도가 적재되어 다수개의 수납부에 구비된 로딩부로 작업자가 공급하게 된다.
상기 로딩부에 상기 커스터머 트레이(T)가 공급되면 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이(T) 이송장치에 구비된 픽업부(100)가 하강되고, 상기 커스터머 트레이(T)를 순차적으로 픽업하게 된다. 이때, 상기 픽업부(100)의 하강은 별도의 승강기에 의해 구현되고, 상기 픽업부(100)가 상기 커스터머 트레이(T)를 픽업하는 것은 상기 픽업부(100)에 구비된 구동부(110a,110b)의 동작에 의해 구현되는 것이다.
즉, 상기 픽업부(100)에 구비된 핑거(140a,140b,140c,140d)는 그 초기 상태가 양측 방향으로 벌어진 상태로 위치된다. 그리고, 상기 구동부(110a,110b)가 동작되면 피스톤로드(112a,112b)가 베이스(200)에 대하여 양측 방향으로 각각 이동되는데, 이때, 상기 피스톤로드(112a,112b)에 연결된 한 쌍의 위치이동바(120a,120b)의 간격이 서로 멀어지게 되는 것이다.
그리고, 첨부된 도 6에서 보는 바와 같이, 상기 피스톤로드(112a,112b) 및 상기 위치이동바(120a,120b)가 위치 이동될 때, 상기 위치이동바(120a,120b)에 결합된 이동블럭(160a,160b,160c,160d)이 가이드블럭(150a,150b,150c,150d)을 따라 슬라이딩 된다. 상기 위치이동바(120a,120b)가 상기 베이스(200)의 중심부에서 각각 양측 방향으로 이동되는 동안, 상기 위치이동바(120a,120b)의 양 끝단에 힌지(131a,131b,131c,131d)로 연결된 4개의 연결부재(130a,130b,130c,130d)가 각각 회동되는 것이다.
여기서, 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)는 상측에 위치된 상부회동핀(172a,172b,172c,172d)이 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)에 대하여 회동되고, 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)의 하측에 위치된 하부회동핀(173a,173b,173c,173d)은 상기 베이스(200)에 대하여 회동된다. 또한, 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)와 상기 위치이동바(120a,120b)는 힌지(131a,131b,131c,131d)로 회동되기 때문에, 핑거(140a,140b,140c,140d)의 위치는 호의 형상을 가지면서 상기 연결부재(130a,130b,130c,130d)에 결합된 상태로 회동되는 것이다.
한편, 첨부된 도 7 내지 도 9에서 보는 바와 같이, 상기 위치이동바(120a,120b)는 상기 베이스(200)의 중심부에서 양측 방향으로 각각 벌어지게 되지만, 상기 핑거(140a,140b,140c,140d)는 상기 위치이동바(120a,120b)와 반대로 상기 베이스(200)의 중심부 방향으로 회동되면서 커스터머 트레이(T)의 측면과 하면을 지지하게 되는 것이다. 여기서, 상기 핑거(140a,140b,140c,140d)가 상기 커스터머 트레이(T)를 픽업할 때, 상기 핑거(140a,140b,140c,140d)에 구비된 경사면이 상 기 커스터머 트레이(T)의 측면에 밀착되고, 상기 핑거(140a,140b,140c,140d)에 구비된 안착턱이 상기 커스터머 트레이(T)의 하면을 지지하게 된다.
이와 같이 상기 픽업부(100)가 상기 커스터머 트레이(T)를 픽업하게 되면 승강기가 상승되고, 별도의 피커장치가 상기 커스터머 트레이(T)를 인계하여 반도체소자를 테스트하는 테스트부로 이송하게 되는 것이다. 그리고, 상기 테스트부에서 검사가 완료된 반도체소자는 재차 상기 픽업부(100)가 픽업을 하게 되고, 왕복이동수단에 의해서 횡 방향으로 이송되는 것이다. 그리고, 다수개의 수납부 중 언로딩부에 구비된 수납부에 테스트가 완료된 트레이(T)를 적재하게 되는 것이다.
상기 픽업부(100)가 상기 커스터머 트레이(T)의 픽업을 해제할 경우에는, 상기 픽업부(100)에 구비된 구동부(110a,110b)의 동작을 역방향으로 진행시켜 구현할 수 있다. 즉, 구동부(110a,110b)가 동작되면 피스톤로드(112a,112b)가 동작되고, 상기 피스톤로드(112a,112b)에 연결된 한 쌍의 위치이동바(120a,120b)가 베이스(200)의 중심부 방향으로 이동된다. 이때, 상기 커스터머 트레이(T)를 픽업하고 있는 핑거(140a,140b,140c,140d)들이 회동되면서 상기 커스터머 트레이(T)의 픽업을 해제하게 되는 것이다.
한편, 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치는, 커스터머 트레이(T)를 픽업하고 해제하는 핑거(140a,140b,140c,140d)의 동작 영역을 최소하 할 수 있기 때문에 수납부 및 트레이(T)들과의 간섭을 피할 수 있는 것이다.
이상과 같이 이루어진 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 이송장치는, 픽업 부에 구비된 핑거의 동작을 최소의 위치이동만으로도 트레이를 픽업하고 해제할 수 있다.
또한, 핑거를 직선운동의 방식에서 회동운동의 방식으로 하여 한 쌍의 픽업부와의 간격을 최적화할 수 있다.

Claims (8)

  1. 반도체소자가 안착되는 트레이를 픽업부에 의해서 다수개의 수납부에 로딩/언로딩시키는 테스트 핸들러용 트레이 이송장치에 있어서,
    상기 픽업부는,
    구동부;
    상기 구동부의 동작에 따라 X축 방향으로 왕복운동되는 한 쌍의 위치이동바; 및
    상기 위치이동바와 힌지로 연결되고, 상기 트레이를 픽업하고 해제하는 핑거;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 트레이 이송장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 픽업부는,
    상기 구동부가 고정될 수 있도록 베이스;가 구비된 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 이송장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 픽업부는,
    상기 베이스의 상면에 설치되는 가이드블럭; 및
    상기 가이드블럭에 대하여 슬라이딩되고, 일단이 상기 위치이동바와 결합되 는 이동블럭;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 이송장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 구동부는,
    피스톤로드가 구비된 실린더; 및
    상기 피스톤로드의 일부를 수용한 상태로 상기 위치이동바에 결합되는 동력전달블럭;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 이송장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 픽업부는,
    상기 핑거가 상기 위치이동바의 높이보다 낮게 위치되도록 연결되는 연결부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 이송장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 연결부재는,
    상기 위치이동바에서 외측 방향으로 절곡된 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 이송장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 연결부재는,
    절곡된 모서리 부분에 힌지로 결합되고, 하측은 상기 베이스에 삽입되어 회동되는 회동안내부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 이송장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 핑거는,
    상기 핑거는 상기 회동안내부재를 중심으로 호의 형상을 가지며 회동되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 트레이 이송장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101032418B1 (ko) * 2009-01-28 2011-05-03 에버테크노 주식회사 트레이 이송장치
KR20130002023U (ko) * 2011-09-21 2013-03-29 세메스 주식회사 커스터머 트레이 이송암
KR20210029403A (ko) * 2019-09-06 2021-03-16 (주)케이엠씨에프에이 부품 제조 공정용 부품 이송 장치

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