KR101481097B1 - 증착 테스트 마스크 및 증착 테스트 모듈 - Google Patents

증착 테스트 마스크 및 증착 테스트 모듈 Download PDF

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Abstract

증착 테스트 마스크 및 증착 테스트 모듈이 개시된다. 테스트 기판의 일면이 노출되도록 복수의 상기 테스트 기판을 지지하는 기판 트레이에 대향하여 배치되며 상기 테스트 기판에 대한 증착 테스트를 수행하기 위한 증착 테스트 마스크로서, 평판 상의 마스크 본체와; 상기 마스크 본체에 형성되며, 상기 복수의 테스트 기판 중 일부의 증착영역을 노출시키는 증착 개구부와; 상기 마스크 본체의 일면에 형성되며, 상기 복수의 테스트 기판 중 나머지 일부의 증착영역을 커버하는 커버홈을 포함하는, 증착 테스트 마스크가 제공된다.

Description

증착 테스트 마스크 및 증착 테스트 모듈{Mask for deposition test and module for deposition test}
증착 테스트 마스크 및 증착 테스트 모듈에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 증착 테스트 마스크의 회전에 따라 증착 테스트 마스크의 증착 개구부에 노출되는 테스트 기판을 달리하여 여러 조건에 대한 증착 테스트를 수행할 수 있는 증착 테스트 마스크 및 증착 테스트 모듈에 관한 것이다.
최근 디스플레이 소자로 액정 표시 소자(Liquid Crystal Display, LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel, PDP), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED) 등 평판 표시 소자(Flat Panel Display)가 널리 이용되고 있다.
이러한 평판 표지 소자는 유리기판에 일정 패턴으로 금속박막이나 유기박막을 증착하는 증착공정 등 일련의 공정을 진행하여 제조된다.
특히, 유기 발광 소자의 경우, 유리기판에 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등의 유기 박막을 증착하여야 하는데, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 유리기판 상에 증착된다.
진공열증착방법은 진공챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크(mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증착물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증착물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
한편, 실제 기판에 대한 증착공정을 수행하기 전에 증착장치의 성능 테스트나 증착물질의 증착량 조절 등을 위하여 기판에 대한 증착 테스트를 수행하는데, 증착 테스트는 복수의 테스트 기판을 기판 트레이에 탑재시키고 기판 트레이에 마스크를 정렬시킨 후 증착 공정을 진행하여 테스트 기판에 증착된 증착물질의 증착량, 증착 균일도 등을 측정하는 방식으로 이루어진다.
대한민국 공개특허공보 제10-2006-0061662호 (2006.06.08 공개)
본 발명은 증착 테스트 마스크의 회전에 따라 증착 테스트 마스크의 증착 개구부에 노출되는 테스트 기판을 달리하여 여러 조건에 대한 증착 테스트를 수행할 수 있는 증착 테스트 마스크 및 증착 테스트 모듈을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 테스트 기판의 일면이 노출되도록 복수의 상기 테스트 기판을 지지하는 기판 트레이에 대향하여 배치되며 상기 테스트 기판에 대한 증착 테스트를 수행하기 위한 증착 테스트 마스크로서, 평판 상의 마스크 본체와; 상기 마스크 본체에 형성되며, 상기 복수의 테스트 기판 중 일부의 증착영역을 노출시키는 증착 개구부와; 상기 마스크 본체의 일면에 형성되며, 상기 복수의 테스트 기판 중 나머지 일부의 증착영역을 커버하는 커버홈을 포함하는, 증착 테스트 마스크가 제공된다.
상기 커버홈의 깊이는 상기 증착영역의 증착두께 보다 클 수 있다.
상기 증착 개구부 및 상기 커버홈은, 상기 증착 개구부를 통해 증착이 이루어진 증착영역이 상기 마스크 본체의 회전에 따라 상기 커버홈에 의해 커버되도록 서로 대칭을 이루어 형성될 수 있다.
상기 기판 트레이에는 상기 테스트 기판이 탑재되는 복수의 안착 개구부가 격자 상으로 형성될 수 있으며, 상기 증착 개구부는, 상기 복수의 안착 개구부 중 일부와 상응하여 상기 마스크 본체에 형성되고, 상기 커버홈은, 상기 복수의 안착 개구부 중 일부에 상응하여 상기 마스크 본체에 형성될 수 있으며, 이 경우, 상기 증착 개구부 및 상기 커버홈은, 상기 증착 개구부를 통해 증착이 이루어진 증착영역이 상기 마스크 본체의 회전에 따라 상기 커버홈에 의해 커버되도록 서로 대칭을 이루어 형성될 수 있다.
상기 커버홈은, 식각(etching) 방식에 의해 형성될 수 있다.
상기 마스크 본체는, 제1 플레이트 및 제2 플레이트가 서로 밀착되어 형성될 수 있으며, 상기 제1 플레이트에는, 상기 증착 개구부에 상응하여 제1 개구부가 형성되고, 상기 제2 플레이트에는, 상기 증착 개구부에 상응하는 제2 개구부와 상기 커버홈에 상응하는 제3 개구부가 형성되며, 상기 증착 개구부 및 상기 커버홈은, 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부가 연통되도록 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 서로 밀착됨에 따라 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 테스트 기판의 일면이 노출되도록 복수의 상기 테스트 기판을 지지하는 기판 트레이와; 상기 기판 트레이의 일면에 대향하여 배치되는 상기 증착 테스트 마스크를 포함하는, 증착 테스트 모듈이 제공된다.
상기 기판 트레이에는, 상기 테스트 기판이 탑재되도록 격자 상으로 형성되는 복수의 안착 개구부 및 상기 테스트 기판의 단부를 지지하도록 상기 안착 개구부의 내측으로 연장되는 지지돌부가 형성될 수 있다.
상기 마스크 본체에는 상기 기판 트레이에 상기 증착 테스트 마스크를 대향하여 배치함에 따라 상기 지지돌부가 삽입되는 삽입홈이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 증착 테스트 마스크의 회전에 따라 증착 테스트 마스크의 증착 개구부에 노출되는 테스트 기판을 달리하여 여러 조건에 대한 증착 테스트를 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 모듈을 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 마스크에 기판 트레이를 합착한 상태를 도시한 평면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 트레이의 일부를 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 트레이의 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 마스크의 평면도.
도 6은 도 5의 A-B 선에 따른 단면도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 마스크에 기판 트레이를 합착한 상태를 도시한 단면도.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 모듈을 이용한 증착 테스트 과정을 설명하기 위한 도면.
도 10 내지 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 마스크의 제조방법을 설명하기 위한 도면.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 증착 테스트 마스크 및 증착 테스트 모듈의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 모듈을 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 마스크에 기판 트레이를 합착한 상태를 도시한 평면도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 트레이의 일부를 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 트레이의 단면도이다. 그리고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 마스크의 평면도이고, 도 6은 도 5의 A-B 선에 따른 단면도이다. 그리고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 마스크에 기판 트레이를 합착한 상태를 도시한 단면도이다. 그리고, 도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 모듈을 이용한 증착 테스트 과정을 설명하기 위한 도면이다. 그리고, 도 10, 도 11 및 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 테스트 마스크의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 12에는, 테스트 기판(10), 기판 트레이(12), 증착 테스트 마스크(14), 안착 개구부(16), 지지돌부(18), 마스크 본체(19), 증착 개구부(20), 삽입홈(22), 커버홈(24), 제1 플레이트(26), 제2 플레이트(28), 제1 개구부(30), 제2 개구부(32), 제3 개구부(34)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 증착 테스트 모듈은, 테스트 기판(10)의 일면이 노출되도록 복수의 테스트 기판(10)을 지지하는 기판 트레이(12) 및 기판 트레이(12)의 일면에 대향하여 배치되는 증착 테스트 마스크(14)를 포함한다.
증착 장치는, 기판을 지지하는 기판 안착부와, 마스크가 부착되는 마스크프레임을 지지하는 마스크프레임 홀더를 구비할 수 있고, 이러한 기판 안착부와 마스크프레임 홀더가 상대적으로 이동하여 기판 안착부에 안착되는 기판과 마스크가 합착되도록 구성될 수 있다.
이러한 증착 장치를 이용하여 테스트 기판(10)에 대한 증착 테스트를 수행할 수 있는데, 다수의 테스트 기판(10)이 탑재된 기판 트레이(12)는 상기 기판 안착부에 안착되고, 기판 트레이(12)에 대향하여 밀착되는 증착 테스트 마스크(14)는 마스크프레임에 부착되어 마스크프레임 홀더에 의해 홀딩될 수 있다.
기판 트레이(12)는, 테스트 기판(10)의 일면이 노출되도록 복수의 테스트 기판(10)을 지지한다.
본 실시예에 따른 기판 트레이(12)는, 판 상의 기재에 복수의 안착 개구부(16)가 격자 상으로 형성된 형태로서, 안착 개구부(16)의 하단에는 테스트 기판(10)의 단부를 지지하도록 안착 개구부(16)의 내측으로 연장되는 지지돌부(18)가 형성되어 있다. 안착 개구부(16)의 상부에서 테스트 기판(10)이 안착 개구부(16)에 탑재되면 지지돌부(18)가 테스트 기판(10)의 단부를 지지하게 된다. 안착 개구부(16)에 탑재된 테스트 기판(10)의 일면은 안착 개구부(16)에 의해 하향 노출된다. 안착 개구부(16)에 의해 노출된 테스트 기판(10)의 일면에는 증착 테스트에 따라 증착물질이 증착된다.
테스트 기판(10)의 일면과 기판 트레이(12)의 하면이 실질적으로 동일 평면 상에 놓여지도록 지지돌부(18)는 기판 트레이(12)의 하면에서 안착 개구부(16)의 내측을 향하여 돌출될 수 있다.
테스트 기판(10)의 일면과 기판 트레이(12)의 하면이 실질적으로 동일 평면 상에 놓이도록 한 상태에서 증착 테스트 마스크(14)를 기판 트레이(12)의 하면에 밀착시키면 테스트 기판(10)의 일면과 증착 테스트 마스크(14)의 일면이 밀착될 수 있다. 이 경우, 기판 트레이(12)의 하면에 돌출되는 지지돌부(18)가 증착 테스트 마스크(14)의 밀착을 방해하지 않도록 지지돌부(18)에 상응하여 마스크 본체(19)에는 지지돌부(18)가 삽입되는 삽입홈(22)이 형성될 수 있다. 삽입홈(22)은 마스크 본체(19)를 관통하는 형태나, 지지돌부(18)가 삽입될 수 있도록 함입된 형태로 형성될 수 있다.
기판 트레이(12)는 상기 기판 안착부에 안착되는 기판에 상응한 크기로 제작될 수 있고, 테스트 기판(10)은 상기 기판 보다 작은 사이즈로 제작되어 기판 트레이(12)에 탑재된다.
증착 테스트 마스크(14)는, 증착 테스트 마스크(14)의 상면이 기판 트레이(12)의 하면에 대향하도록 기판 트레이(12)에 밀착된다.
증착 테스트 마스크(14)는 평판 상의 마스크 본체(19)와, 마스크 본체(19)에 형성되며, 복수의 테스트 기판(10) 중 일부의 증착영역을 노출시키는 증착 개구부(20)와; 마스크 본체(19)의 일면에 형성되며, 복수의 테스트 기판(10) 중 나머지 일부의 증착영역을 커버하는 커버홈(24)으로 구성된다.
마스크 본체(19)는, 평판 상의 금속 재질로 이루어질 수 있으며, 기판 트레이(12)에 탑재된 테스트 기판(10)의 일면에 밀착된다. 도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이, 마스크 본체(19)에는 증착물질이 유입되는 증착 개구부(20)가 형성되는데, 증착 개구부(20)는, 기판 트레이(12)에 탑재된 모든 테스트 기판(10)의 증착영역을 노출시키지 않고, 기판 트레이(12) 탑재된 복수의 테스트 기판(10) 중 일부의 증착영역이 노출되도록 마스크 본체(19)에 형성된다. 이에 따라 기판 트레이(12)에 증착 테스트 마스크(14)가 밀착된 경우 증착 개구부(20)와 상응한 위치의 테스트 기판(10)의 증착영역만이 노출된다. 이에 따라 증착 개구부(20)가 형성되지 않은 테스트 기판(10)의 일면은 마스크에 의해 커버되어 테스트 증착 수행 시 증착물질이 증착되지 않는다.
본 실시예에 있어서는, 도 1에 도시된 바와 같이, 마스크 본체(19)의 일면이 X축과 Y축으로 이루어진 가상의 직교축에 의해 사분면으로 분할된다고 가정할 때, 제1 사분면과 제2 사분면에 격자 상으로 증착 개구부(20)가 형성된 형태를 제시한다.
여기서, 증착영역이라 함은, 증착 테스트 마스크(14)가 기판 트레이(12)에 밀착된 경우 테스트 기판(10)의 일면 중 증착 테스트 마스크(14)의 증착 개구부(20)에 의해 노출되어 증착물질이 증착되는 부분을 의미한다.
그리고, 테스트 기판(10)의 일면과 대향하는 마스크 본체(19)의 일면에는 복수의 테스트 기판(10) 중 나머지 일부의 증착영역을 커버하는 커버홈(24)이 형성된다. 커버홈(24)은 마스크 본체(19)의 일면에 함입되어 형성되며 증착 개구부(20)에 의해 노출되는 않는 테스트 기판(10)의 증착영역을 커버한다. 커버홈(24)의 크기는 증착 개구부(20)의 크기보다 크게 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서는, 도 1에 도시된 바와 같이, 마스크 본체(19)의 일면이 X축과 Y축으로 이루어진 가상의 직교축에 의해 사분면으로 분할된다고 가정할 때, 제3 사분면과 제4 사분면에 증착 개구부(20)와 대칭을 이루어 격자 상으로 커버홈(24)이 형성된 형태를 제시한다.
도 7를 참조하면, 테스트 기판(10)이 탑재된 기판 트레이(12)에 증착 테스트 마스크(14)를 밀착시키면, 증착 개구부(20)에 의해 일부 테스트 기판(10)의 증착영역이 노출되고, 나머지 일부의 테스트 기판(10)의 증착영역은 커버홈(24)에 의해 커버된다.
이 상태에서 증착 테스트을 수행하면 증착 개구부(20)에 의해 노출된 증착영역은 증착물질의 증착이 이루어지며 증착 개구부(20)에 의해 노출되지 않는 테스트 기판(10)에 대해서는 증착이 이루어지지 않게 된다.
증착 개구부(20)에 의해 노출된 테스트 기판(10)에 대한 테스트 증착이 완료되면 증착 테스트 마스크(14)를 기판 트레이(12)에서 분리한 후, 증착 개구부(20)에 의해 증착이 이루어지지 않은 테스트 기판(10)의 증착영역이 노출되도록 증착 테스트 마스크(14)를 회전시키고 다시 기판 트레이(12)에 증착 테스트 마스크(14)를 밀착시킨다. 이때 증착이 이루어진 테스트 기판(10)의 증착영역은 증착 테스트 마스크(14)의 커버홈(24)에 의해 커버된다. 증착 테스트 마스크(14)의 회전과 밀착이 완료되면 다시 증착을 수행하여 나머지 일부 테스트 기판(10)에 대한 증착 테스트를 수행한다.
이와 같이, 증착 테스트 마스크(14)의 회전에 따라 증착 테스트 마스크(14)의 증착 개구부(20)에 노출되는 테스트 기판(10)을 달리하여 여러 조건에 대한 증착테스트를 수행할 수 있다.
커버홈(24)은 증착이 이루어진 테스트 기판(10)이 증착영역을 보호하기 위한 것으로, 커버홈(24)이 없는 경우, 증착 테스트 마스크(14)의 일면이 증착이 이루어진 테스트 기판(10)의 증착영역과 접하게 되면서 증착영역의 증착물질을 훼손하게 되고 이에 따라 파티클(particle)이 발생하면서 정밀한 증착 테스트를 수행할 수 없다.
따라서, 본 실시예에서는 커버홈(24)을 증착 테스트 마스크(14)의 일면에 형성하여 둠으로써 증착 테스트 마스크(14)을 회전시킨 후 다시 기판 트레이(12)에 밀착하더라도 이미 수행된 테스트 기판(10)의 증착부분을 보호할 수 있다.
증착 테스트 마스크(14)의 일면에 형성되는 커버홈(24)의 함입 깊이를 증착테스트에 의해 형성되는 증착물질의 증착두께보다 크게 함으로써 커버홈(24)의 바닥면이 증착물질과 닿지 않도록 한다.
증착 테스트 마스크(14)에 형성되는 증착 개구부(20) 및 커버홈(24)은, 마스크 본체(19)에 회전에 따라 증착 개구부(20)를 통해 증착이 이루어진 증착영역이 커버홈(24)에 의해 커버되도록 서로 대칭을 이루어 형성되도록 할 수 있다.
본 실시예에서는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 안착 개구부(16)가 동일 간격으로 격자 상으로 형성된 기판 트레이(12)와, 복수의 안착 개구부(16) 중 일부와 상응하여 증착 개구부(20)가 형성되며, 복수의 안착 개구부(16) 중 나머지 일부에 상응하여 커버홈(24)이 형성된 증착 테스트 마스크(14)를 증착 테스트 모듈을 제시하고 있다. 이 경우, 마스크 본체(19)에 형성되는 증착 개구부(20) 및 커버홈(24)은, 마스크 본체(19)에 회전에 따라 증착 개구부(20)를 통해 증착이 이루어진 증착영역이 커버홈(24)에 의해 커버되도록 서로 대칭을 이루어 형성된다. 보다 상세하게, 도 1에 도시된 바와 같이, 마스크 본체(19)의 일면이 X축과 Y축으로 이루어진 가상의 직교축에 의해 사분면으로 분할된다고 가정할 때, 제1 사분면과 제2 사분면에 격자 상으로 증착 개구부(20)가 형성된 경우, 커버홈(24)은 증착 개구부(20)의 X축에 대해 대칭으로 제4 사분면과 제3 사분면에 격자 상으로 형성된다.
다른 예로서, 제1 사분면에 증착 개구부(20)가 형성된 경우, 커버홈(24)은, 증착 개구부(20)의 X축에 대한 대칭으로 제4 사분면에 형성되거나, 증착 개구부(20)의 Y축에 대한 대칭으로 제2 사분면에 형성될 수 있다. 또한, 증착 개구부(20)의 원점에 대한 대칭으로 제3 사분면에 커버홈(24)이 형성될 수 있다.
도 8 및 도 9는 본 실시예에 따른 증착 테스트 모듈을 이용한 증착 테스트 과정을 설명하기 위한 도면이다. 도 7, 도 8 및 도 9를 참조하여 본 실시예에 따른 증착 테스트 모듈을 이용하여 증착 테스트하는 과정을 설명하기로 한다.
먼저, 도 7에 도시된 바와 같이, 테스트 기판(10)이 탑재된 기판 트레이(12)에 테스트 마스크를 밀착시키면, 증착 개구부(20)에 의해 일부 테스트 기판(10)의 증착영역이 노출되고, 나머지 일부의 테스트 기판(10)의 증착영역은 커버홈(24)에 의해 커버된다. 이 상태에서, 도 8에 도시된 바와 같이, 테스트 증착을 수행하면 증착 개구부(20)에 의해 노출된 증착영역은 증착물질의 증착이 이루어지며 증착 개구부(20)에 의해 노출되지 않는 테스트 기판(10)에 대해서는 증착이 이루어지지 않게 된다. 그리고, 도 9에 도시된 바와 같이, 증착 테스트 마스크(14)를 기판 트레이(12)에서 분리한 후, 증착 개구부(20)에 의해 증착이 이루어지지 않은 테스트 기판(10)의 일면이 노출되도록 증착 테스트 마스크(14)를 회전시키고 다시 기판 트레이(12)에 증착 테스트 마스크(14)를 밀착시킨다. 이때 증착이 이루어진 테스트 기판(10)의 증착영역은 증착 테스트 마스크(14)의 커버홈(24)에 의해 커버된다. 그리고, 증착 테스트 마스크(14)의 회전과 밀착이 완료되면 다시 증착 테스트를 수행하여 나머지 일부 테스트 기판(10)에 대한 증착을 수행한다.
이와 같이, 증착 테스트 마스크(14)의 회전에 따라 테스트 마스크의 증착 개구부(20)에 노출되는 테스트 기판(10)을 달리하여 여러 조건에 대한 증착 테스트를 수행할 수 있다.
도 10, 도 11 및 도 12는 본 실시예에 따른 증착 테스트 마스크(14)의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 1의 마스크 본체(19)는, 제1 플레이트(26) 및 제2 플레이트(28)가 서로 밀착되게 결합되어 형성될 수 있다.
즉, 증착 개구부(20)에 상응하여 제1 개구부(30)가 형성되는 제1 플레이트(26)(도 10 참조)와, 증착 개구부(20)에 상응하는 제2 개구부(32) 및 커버홈(24)에 상응하는 제3 개구부(34)가 형성되는 제2 플레이트(28)(도 11 참조)를 준비하고, 도 12에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(26)의 제1 개구부(30)와 제2 플레이트(28)의 제2 개구부(32)가 연통되도록 제1 플레이트(26)와 제2 플레이트(28)를 서로 밀착시켜 부착하면, 제1 개구부(30)와 이에 연통되는 제2 개구부(32)는 증착 개구부(20)를 형성하게 되고, 제1 플레이트(26)에 의해 일단이 막히는 제3 개구부(34)는 커버홈(24)을 형성하게 된다.
본 실시예에서는 두 개의 플레이트(26, 28)를 밀착시켜 증착 테스트 마스크(14)를 형성하는 방법을 제시하고 있으나, 판 상의 마스크 본체에 증착 개구부(20)를 펀칭이나 식각방식으로 형성하고, 커버홈(24)은 마스크 본체의 일면에 일정 깊이로 식각(etching)하여 형성하는 것도 가능하다. 식각은 일반적으로 알려진 화학적 식각이나 물리적 식각 방식을 사용하므로 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.
상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
10: 테스트 기판 12: 기판 트레이
14: 증착 테스트 마스크 16: 안착 개구부
18: 지지돌부 19: 마스크 본체
20: 증착 개구부 22: 삽입홈
24: 커버홈 26: 제1 플레이트
28: 제2 플레이트 30: 제1 개구부
32: 제2 개구부 34: 제3 개구부

Claims (9)

  1. 테스트 기판의 일면이 노출되도록 복수의 상기 테스트 기판을 지지하는 기판 트레이에 대향하여 배치되며 상기 테스트 기판에 대한 증착 테스트를 수행하기 위한 테스트 마스크로서,
    평판 상의 마스크 본체와;
    상기 마스크 본체에 형성되며, 상기 복수의 테스트 기판 중 일부 테스트 기판의 증착영역을 노출시키는 증착 개구부와;
    상기 마스크 본체의 일면에 형성되며, 상기 복수의 테스트 기판 중 나머지 일부 테스트 기판의 증착영역을 커버하는 커버홈을 포함하는, 증착 테스트 마스크.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 커버홈의 깊이는 상기 증착영역의 증착두께 보다 큰 것을 특징으로 하는, 증착 테스트 마스크.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 증착 개구부 및 상기 커버홈은,
    상기 증착 개구부를 통해 증착이 이루어진 증착영역이 상기 마스크 본체의 회전에 따라 상기 커버홈에 의해 커버되도록 서로 대칭을 이루어 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 테스트 마스크.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기판 트레이에는 상기 테스트 기판이 탑재되는 복수의 안착 개구부가 격자 상으로 형성되며,
    상기 증착 개구부는,
    상기 복수의 안착 개구부 중 일부와 상응하여 상기 마스크 본체에 형성되고,
    상기 커버홈은,
    상기 복수의 안착 개구부 중 일부에 상응하여 상기 마스크 본체에 형성되며,
    상기 증착 개구부 및 상기 커버홈은,
    상기 증착 개구부를 통해 증착이 이루어진 증착영역이 상기 마스크 본체의 회전에 따라 상기 커버홈에 의해 커버되도록 서로 대칭을 이루어 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 테스트 마스크.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 커버홈은,
    식각(etching) 방식에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 테스트 마스크.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 본체는,
    제1 플레이트 및 제2 플레이트가 서로 밀착되어 형성되며,
    상기 제1 플레이트에는, 상기 증착 개구부에 상응하여 제1 개구부가 형성되고,
    상기 제2 플레이트에는, 상기 증착 개구부에 상응하는 제2 개구부와 상기 커버홈에 상응하는 제3 개구부가 형성되며,
    상기 증착 개구부 및 상기 커버홈은,
    상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부가 연통되도록 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 서로 밀착됨에 따라 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 테스트 마스크.
  7. 테스트 기판의 일면이 노출되도록 복수의 상기 테스트 기판을 지지하는 기판 트레이와;
    상기 기판 트레이의 일면에 대향하여 배치되는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 증착 테스트 마스크를 포함하는, 증착 테스트 모듈.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기판 트레이에는,
    상기 테스트 기판이 탑재되도록 격자 상으로 형성되는 복수의 안착 개구부 및 상기 테스트 기판의 단부를 지지하도록 상기 안착 개구부의 내측으로 연장되는 지지돌부가 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 테스트 모듈.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 마스크 본체에는,
    상기 기판 트레이에 상기 증착 테스트 마스크를 대향하여 배치함에 따라 상기 지지돌부가 삽입되는 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 테스트 모듈.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20080102087A (ko) * 2007-05-18 2008-11-24 미래산업 주식회사 캐리어모듈 개방장치, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및그를 이용한 반도체 소자 제조방법
KR20090089699A (ko) * 2008-02-19 2009-08-24 삼성에스디아이 주식회사 유체 회수장치 및 이를 구비한 연료전지 시스템
KR20110133075A (ko) * 2010-06-04 2011-12-12 주성엔지니어링(주) 마스크 장치와 이를 이용한 박막 패턴의 제조 장치 및 제조 방법
KR20130016719A (ko) * 2011-08-08 2013-02-18 주성엔지니어링(주) 태양 전지의 제조 방법 및 제조 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080102087A (ko) * 2007-05-18 2008-11-24 미래산업 주식회사 캐리어모듈 개방장치, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및그를 이용한 반도체 소자 제조방법
KR20090089699A (ko) * 2008-02-19 2009-08-24 삼성에스디아이 주식회사 유체 회수장치 및 이를 구비한 연료전지 시스템
KR20110133075A (ko) * 2010-06-04 2011-12-12 주성엔지니어링(주) 마스크 장치와 이를 이용한 박막 패턴의 제조 장치 및 제조 방법
KR20130016719A (ko) * 2011-08-08 2013-02-18 주성엔지니어링(주) 태양 전지의 제조 방법 및 제조 장치

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